本技術(shù)涉及法蘭環(huán),特別涉及一種單晶爐用法蘭環(huán)裝置。
背景技術(shù):
1、在直拉單晶行業(yè)中,單晶爐是將多晶硅原料轉(zhuǎn)化為單晶硅棒的重要設(shè)備,而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)材料。目前在直拉單晶硅棒生產(chǎn)中為提升產(chǎn)能控制生產(chǎn)成本,在拉制完成一棒單晶硅棒后,通常采用加料器往單晶爐內(nèi)石英堝中復(fù)投多晶硅原料,實(shí)現(xiàn)一爐拉制多棒單晶硅棒的效果。在使用加料器復(fù)投料工序過程中,需要加料器與單晶爐相對(duì)固定,常規(guī)的固定操作是在單晶爐小副室處設(shè)一法蘭環(huán),法蘭環(huán)通過人工取放。在加料時(shí),通過下降加料器使加料器自身法蘭環(huán)到達(dá)單晶爐小副室處法蘭環(huán)上,小副室處法蘭環(huán)內(nèi)徑小于加料器自身法蘭環(huán)外徑,小副室處法蘭環(huán)起到支撐加料器的作用,實(shí)現(xiàn)加料器與單晶爐相對(duì)固定。
2、常規(guī)的操作采用人工取放法蘭環(huán),當(dāng)人員疏忽忘記擺放法蘭環(huán)時(shí)加料器降至爐內(nèi)與硅液接觸造成生產(chǎn)事故。另外,當(dāng)人工放置法蘭環(huán)后,法蘭環(huán)與單晶爐保持相對(duì)靜止,法蘭環(huán)的直徑小于單晶爐小副室的內(nèi)徑并且不可調(diào)整,這會(huì)導(dǎo)致在不需要加料的生產(chǎn)過程中,法蘭環(huán)會(huì)占據(jù)單晶爐小副室的一部分空間,當(dāng)加料器更換尺寸時(shí),也需要更換配套尺寸的法蘭環(huán)。另外,當(dāng)加料器碎裂掉入爐內(nèi)或原料帶入其他雜質(zhì)時(shí),需要把雜質(zhì)提出,由于雜質(zhì)尺寸大小不一,當(dāng)雜質(zhì)尺寸大于法蘭環(huán)內(nèi)徑時(shí)提雜工作不能進(jìn)行。而且,由于拉晶過程中爐內(nèi)及晶棒高溫,當(dāng)晶棒發(fā)生晃動(dòng)時(shí),存在晶棒晃動(dòng)碰到法蘭環(huán)造成事故的風(fēng)險(xiǎn)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、有鑒于此,本實(shí)用新型提供一種單晶爐用法蘭環(huán)裝置,用以解決加料器更換尺寸時(shí)需要人工取放法蘭環(huán),存在由于操作人員疏忽造成加料器與硅液接觸造成生產(chǎn)事故的問題,不用人工取放法蘭環(huán),并且可以在不加料時(shí),不占據(jù)小副室的空間,法蘭環(huán)的直徑也可以根據(jù)加料器的直徑調(diào)整,便于單晶硅生產(chǎn)。
2、為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提供一種單晶爐用法蘭環(huán)裝置,用于單晶爐與加料器的固定,單晶爐包括頂端設(shè)置有小副室的主室和與小副室連接的副室,單晶爐用法蘭環(huán)裝置包括:
3、法蘭環(huán)固定座,法蘭環(huán)固定座的底部用于與小副室連接,法蘭環(huán)固定座的頂部用于與副室連接,法蘭環(huán)固定座為中心設(shè)有軸向通孔的環(huán)狀結(jié)構(gòu),并且其側(cè)壁設(shè)置有與通孔連通的環(huán)形凹槽;
4、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的第一端與法蘭環(huán)固定座的外側(cè)壁連接,第二端穿透法蘭環(huán)固定座的側(cè)壁至通孔;
5、法蘭組件,容納在法蘭環(huán)固定座的環(huán)形凹槽內(nèi)并且與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的第二端連接,以在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下完全縮回在環(huán)形凹槽內(nèi)或者從環(huán)形凹槽內(nèi)伸出至通孔內(nèi)。
6、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,法蘭組件包括至少兩個(gè)子法蘭,至少兩個(gè)子法蘭在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下從環(huán)形凹槽內(nèi)伸出至通孔內(nèi)時(shí)拼接成環(huán)狀法蘭,
7、其中,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括分別驅(qū)動(dòng)每個(gè)子法蘭的多個(gè)子驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),并且每個(gè)子驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)方向沿法蘭環(huán)固定座的徑向方向。
8、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,子驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括:
9、驅(qū)動(dòng)件,與法蘭環(huán)固定座連接;
10、推桿,一端與驅(qū)動(dòng)件連接,另一端穿透法蘭環(huán)固定座的側(cè)壁與子法蘭連接。
11、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,每個(gè)子法蘭的其中一端上設(shè)有第一定位銷,另一端設(shè)有與第一定位銷配合的第一定位孔,相鄰子法蘭通過端部的第一定位銷和第一定位孔彼此拼接成環(huán)狀法蘭。
12、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,法蘭環(huán)固定座的頂部設(shè)有第二定位銷,副室的底部設(shè)有與第二定位銷配合的第二定位孔,第二定位孔用于與第二定位銷配合,以使法蘭環(huán)固定座與副室固定在一起。
13、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,還包括:
14、多個(gè)密封組件,成中空管狀結(jié)構(gòu)并且設(shè)置在每個(gè)子驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)件和法蘭環(huán)固定座之間,以密封每個(gè)子驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)件和法蘭環(huán)固定座之間的推桿。
15、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,法蘭環(huán)固定座上設(shè)有分別與子驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)固定座,子驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)件固定在驅(qū)動(dòng)固定座上。
16、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,法蘭組件包括兩個(gè)半圓的第一子法蘭和第二子法蘭,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與第一子法蘭連接的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和與第二子法蘭連接的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),其中第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)稱設(shè)置。
17、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,驅(qū)動(dòng)件為氣缸。
18、在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中,密封組件為波紋管。
19、本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案的有益效果如下:
20、本實(shí)用新型的單晶爐用法蘭環(huán)裝置,通過設(shè)置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和法蘭組件,以使法蘭組件的直徑根據(jù)加料器或者提雜工作進(jìn)行調(diào)整。相對(duì)于傳統(tǒng)法蘭環(huán)裝置需要人工干預(yù),本實(shí)用新型減少了操作人員的更換步驟,提高了拉晶效率。同時(shí)法蘭環(huán)固定座可以固定驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和法蘭組件,防止操作人員由于忘記添加法蘭環(huán)而造成事故,提高了生產(chǎn)安全性。
1.一種單晶爐用法蘭環(huán)裝置,用于單晶爐與加料器的固定,所述單晶爐包括頂端設(shè)置有小副室的主室和與所述小副室連接的副室,其特征在于,所述單晶爐用法蘭環(huán)裝置包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐用法蘭環(huán)裝置,其特征在于,所述法蘭組件包括至少兩個(gè)子法蘭,至少兩個(gè)所述子法蘭在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下從所述環(huán)形凹槽內(nèi)伸出至所述通孔內(nèi)時(shí)拼接成環(huán)狀法蘭,
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐用法蘭環(huán)裝置,其特征在于,所述子驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括:
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐用法蘭環(huán)裝置,其特征在于,每個(gè)所述子法蘭的其中一端上設(shè)有第一定位銷,另一端設(shè)有與所述第一定位銷配合的第一定位孔,相鄰所述子法蘭通過端部的所述第一定位銷和所述第一定位孔彼此拼接成所述環(huán)狀法蘭。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐用法蘭環(huán)裝置,其特征在于,所述法蘭環(huán)固定座的頂部設(shè)有第二定位銷,所述副室的底部設(shè)有與所述第二定位銷配合的第二定位孔,第二定位孔用于與所述第二定位銷配合,以使所述法蘭環(huán)固定座與所述副室固定在一起。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的單晶爐用法蘭環(huán)裝置,其特征在于,還包括:
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單晶爐用法蘭環(huán)裝置,其特征在于,所述法蘭環(huán)固定座上設(shè)有分別與所述子驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)固定座,所述子驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)件固定在所述驅(qū)動(dòng)固定座上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的單晶爐用法蘭環(huán)裝置,其特征在于,所述法蘭組件包括兩個(gè)半圓的第一子法蘭和第二子法蘭,所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與所述第一子法蘭連接的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和與所述第二子法蘭連接的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),其中所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)稱設(shè)置。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的單晶爐用法蘭環(huán)裝置,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)件為氣缸。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的單晶爐用法蘭環(huán)裝置,其特征在于,所述密封組件為波紋管。