本技術(shù)涉及廢氣收集，具體的說(shuō)是一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置。

背景技術(shù)：

1、在cz法中，n型重?fù)絾尉诫s劑主要有磷、砷和銻。銻在硅晶格中的固溶度遠(yuǎn)小于砷和磷，因此注定銻無(wú)法使硅單晶具有特別低的電阻率值，所以需要使用砷和磷令硅單晶降低電阻率值。但是砷的氧化物為劇毒物質(zhì)、磷超標(biāo)會(huì)對(duì)人體造成多種危害。所以為獲得低電阻率的硅單晶，摻磷、摻砷的硅單晶拉制必須進(jìn)行一定的防護(hù)。

2、而在實(shí)際車間生產(chǎn)中，單晶爐主體分為上爐室和下爐室，也叫副爐室和主爐室。通常單晶爐主體由于在硅單晶拉制過程中揮發(fā)物多的原因，所以將副爐室設(shè)計(jì)采用平開門式結(jié)構(gòu)，以便更好的清掃揮發(fā)物，單晶爐主體采用真空系統(tǒng)，來(lái)將砷、磷等重?fù)絾尉t內(nèi)的雜質(zhì)揮發(fā)物、氧化物，隨抽空管道進(jìn)入廢氣處理系統(tǒng)。同時(shí)為了高效的對(duì)單晶爐主體內(nèi)的廢氣進(jìn)行收集，并在一定程度上增加單晶爐主體的散熱效率且降低長(zhǎng)時(shí)間使用真空系統(tǒng)所造成的能源消耗，同時(shí)也是為了避免主爐室直接與外界接觸造成單晶爐主體的結(jié)構(gòu)損傷，以及工作人員控制副爐室與主爐室分離過程中因單晶爐主體內(nèi)過高的余溫造成人員受傷的原因，所以在使用真空系統(tǒng)抽吸大部分廢氣后，則將副爐室的平開門打開露出進(jìn)出口與廢氣處理系統(tǒng)直接相連，從而達(dá)到高效收集廢氣且在一定程度上輔助單晶爐主體散熱的目的，即保持穩(wěn)定且較高的重?fù)絾尉е苽湫省?/p>

3、但是從副爐室處收集廢氣的過程中，主爐室內(nèi)的溫度會(huì)因間隔副爐室而造成溫度下降緩慢，所以持續(xù)從副爐室的平開門進(jìn)出口處進(jìn)行廢氣收集無(wú)疑會(huì)影響到重?fù)絾尉е苽湫?，故而在副爐室的平開門進(jìn)出口處進(jìn)行廢氣收集并溫度降低一定程度后，則需要將副爐室與主爐室分離將主爐室與副爐室的對(duì)接口露出，進(jìn)而進(jìn)行更為高效的散熱以及后續(xù)的清潔工作，并且在將副爐室的對(duì)接口露出后為了進(jìn)一步加速副爐室的散熱，還需將副爐室豎向移動(dòng)令更多的副爐室表面從單晶爐主體中露出，進(jìn)而達(dá)到進(jìn)一步提高散熱效率的目的，從而保持重?fù)絾尉У闹苽湫省?/p>

4、但是在主爐室的對(duì)接口露出后，主爐室還將會(huì)因主爐室的余溫以及揮發(fā)物和外界接觸仍舊排出廢氣，進(jìn)而對(duì)工作環(huán)境造成污染并對(duì)工作人員造成身體傷害。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在提供一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，以在保證生產(chǎn)安全的情況下，保持對(duì)重?fù)絾尉У闹苽湫省?/p>

2、為了解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的具體方案為：一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，包括收集筒以及與收集筒密封連通的輸送管，收集筒與單晶爐主體的主爐室對(duì)接口間隙配合，輸送管用于將收集筒與廢氣處理系統(tǒng)連通，令廢氣處理系統(tǒng)的抽吸力傳遞到收集筒處，從而提高收集筒收集主爐室內(nèi)有害雜質(zhì)廢氣的效率，輸送管連接有用于穩(wěn)定收集筒位置的承載架，承載架固定在用于適應(yīng)主爐室豎向位移的豎向伸縮件上，豎向伸縮件固定連接在底座上，底座底部設(shè)有滾輪。

3、作為本實(shí)用新型一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述收集筒為圓錐筒狀，收集筒擴(kuò)口端用于與主爐室對(duì)接口間隙配合，收集筒收窄端用于與輸送管密封連通。

4、作為本實(shí)用新型一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述輸送管由固定連管以及彈性管組成，固定連管一端與收集筒固定連通，固定連管另一端與彈性管密封連通，固定連管與承載架卡接，用于將收集筒定位且便于快速拆裝，彈性管用于伸縮配合固定連管令收集筒與廢氣處理系統(tǒng)連通。

5、作為本實(shí)用新型一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述豎向伸縮件包括與承載架固定連接的伸縮筒，伸縮筒內(nèi)滑動(dòng)連接有固定柱，固定柱設(shè)置在與底座固定連接的底部架上。

6、作為本實(shí)用新型一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述底座與底部架之間設(shè)有加固桿，加固桿用于配合底座與底部架呈三角形，來(lái)保持底部架與底座的連接穩(wěn)定。

7、作為本實(shí)用新型一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述承載架包括與豎向伸縮件中伸縮筒固定連接的承載板，承載板內(nèi)滑動(dòng)連接有收縮架，收縮架上固定有與輸送管配合的束縛箍。

8、作為本實(shí)用新型一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述收縮架上均勻開設(shè)有多個(gè)調(diào)節(jié)孔，調(diào)節(jié)孔與承載板上開設(shè)的鎖定孔適配，鎖定孔內(nèi)滑動(dòng)連接有用于配合調(diào)節(jié)孔將收縮架定位的鎖定釘。

9、作為本實(shí)用新型一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述底座背離收集筒的一端固定有卡接筒，卡接筒卡接有用于輔助推動(dòng)收集筒位移的推動(dòng)把。

10、作為本實(shí)用新型一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置的進(jìn)一步優(yōu)化，所述滾輪為具有鎖定結(jié)構(gòu)的萬(wàn)向輪。

11、本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比存在的有益效果為：

12、本實(shí)用新型通過設(shè)置收集筒與主爐室的對(duì)接口對(duì)接配合，同時(shí)通過輸送管與廢氣收集系統(tǒng)對(duì)接口的連接，來(lái)配合廢氣處理系統(tǒng)的抽吸力進(jìn)行高效的廢氣抽吸，進(jìn)而既避免了有害雜質(zhì)廢氣對(duì)工作環(huán)境的污染和工作人員的損傷，又避免了長(zhǎng)時(shí)間的廢氣收集以及余熱消散工作阻礙后續(xù)重?fù)絾尉У闹苽洌幢３种負(fù)絾尉У闹苽湫?。從而在保證生產(chǎn)安全的情況下，保持重?fù)絾尉У闹苽湫省?/p>

13、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步優(yōu)化，通過設(shè)置伸縮筒、固定柱以及底部架的配合能夠根據(jù)具體情況將收集筒拉取到合適高度，進(jìn)而方便工作人員將收集筒與主爐室對(duì)接口連接，來(lái)達(dá)到收集有害雜質(zhì)廢氣的目的，同時(shí)還可適應(yīng)主爐室上移加速散熱的情況。通過設(shè)置承載板以及收縮架能夠令束縛箍帶動(dòng)收集筒移動(dòng)位置，進(jìn)而避免底座受到阻礙物影響使收集筒不能與主爐室配合的現(xiàn)象，同時(shí)還可通過調(diào)節(jié)孔、鎖定孔以及鎖定釘?shù)呐浜线M(jìn)行位置鎖定，方便工作人員在環(huán)境變動(dòng)較小的工作環(huán)境內(nèi)使用。并且設(shè)置束縛箍能夠便于工作人員拆卸更換檢修收集筒。

技術(shù)特征：

1.一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，其特征在于：包括收集筒(8)以及與收集筒(8)密封連通的輸送管(7)，收集筒(8)與單晶爐主體的主爐室對(duì)接口間隙配合，輸送管(7)用于將收集筒(8)與廢氣處理系統(tǒng)連通，令廢氣處理系統(tǒng)的抽吸力傳遞到收集筒(8)處，從而提高收集筒(8)收集主爐室內(nèi)有害雜質(zhì)廢氣的效率，輸送管(7)連接有用于穩(wěn)定收集筒(8)位置的承載架(6)，承載架(6)固定在用于適應(yīng)主爐室豎向位移的豎向伸縮件(5)上，豎向伸縮件(5)固定連接在底座(2)上，底座(2)底部設(shè)有滾輪(1)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，其特征在于：所述收集筒(8)為圓錐筒狀，收集筒(8)擴(kuò)口端用于與主爐室對(duì)接口間隙配合，收集筒(8)收窄端用于與輸送管(7)密封連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，其特征在于：所述輸送管(7)由固定連管(71)以及彈性管(72)組成，固定連管(71)一端與收集筒(8)固定連通，固定連管(71)另一端與彈性管(72)密封連通，固定連管(71)與承載架(6)卡接，用于將收集筒(8)定位且便于快速拆裝，彈性管(72)用于伸縮配合固定連管(71)令收集筒(8)與廢氣處理系統(tǒng)連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，其特征在于：所述豎向伸縮件(5)包括與承載架(6)固定連接的伸縮筒(53)，伸縮筒(53)內(nèi)滑動(dòng)連接有固定柱(52)，固定柱(52)設(shè)置在與底座(2)固定連接的底部架(51)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，其特征在于：所述底座(2)與底部架(51)之間設(shè)有加固桿(54)，加固桿(54)用于配合底座(2)與底部架(51)呈三角形，來(lái)保持底部架(51)與底座(2)的連接穩(wěn)定。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，其特征在于：所述承載架(6)包括與豎向伸縮件(5)中伸縮筒(53)固定連接的承載板(61)，承載板(61)內(nèi)滑動(dòng)連接有收縮架(64)，收縮架(64)上固定有與輸送管(7)配合的束縛箍(65)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，其特征在于：所述收縮架(64)上均勻開設(shè)有多個(gè)調(diào)節(jié)孔(66)，調(diào)節(jié)孔(66)與承載板(61)上開設(shè)的鎖定孔(63)適配，鎖定孔(63)內(nèi)滑動(dòng)連接有用于配合調(diào)節(jié)孔(66)將收縮架(64)定位的鎖定釘(62)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，其特征在于：所述底座(2)背離收集筒(8)的一端固定有卡接筒(3)，卡接筒(3)卡接有用于輔助推動(dòng)收集筒(8)位移的推動(dòng)把(4)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，其特征在于：所述滾輪(1)為具有鎖定結(jié)構(gòu)的萬(wàn)向輪。

技術(shù)總結(jié)
一種輔助清潔重?fù)絾尉t的廢氣收集裝置，涉及廢氣收集技術(shù)領(lǐng)域，包括收集筒以及與收集筒密封連通的輸送管，收集筒與單晶爐主體的主爐室對(duì)接口間隙配合，輸送管用于將收集筒與廢氣處理系統(tǒng)連通，令廢氣處理系統(tǒng)的抽吸力傳遞到收集筒處，從而提高收集筒收集主爐室內(nèi)有害雜質(zhì)廢氣的效率，輸送管連接有用于穩(wěn)定收集筒位置的承載架，承載架固定在用于適應(yīng)主爐室豎向位移的豎向伸縮件上，豎向伸縮件固定連接在底座上，底座底部設(shè)有滾輪。以在保證生產(chǎn)安全的情況下，保持重?fù)絾尉У闹苽湫省?br/>
技術(shù)研發(fā)人員：馬武祥,范吉祥,馬三寶
受保護(hù)的技術(shù)使用者：麥斯克電子材料股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240219
技術(shù)公布日：2024/12/19