專利名稱:細長玻璃特別是光波導用的預制件的制備方法
本發(fā)明涉及制備細長玻璃體，特別是以SiO2為原料的光波導用的預制件的方法，在此方法中，先由玻璃粉料制成多孔體，然后把多孔體燒結成玻璃體。
在DE-OS3217965中介紹過這樣一種方法。在該方法中，由玻璃粉料制成多孔體的過程如下把玻璃粉料松散地裝入壓制模具中，然后把松散裝入的粉料壓制成多孔體的形狀。這種裝料步驟也可以稱為一次裝料，特別是在粉料有很細分布的情形下，只會得到很小的密度。結果使保持形狀的壓制變得很困難。再有，在以這一方法進行的裝料過程中，由于粉料中形成橋結構。因而可能會產生空洞，從而使壓制模具裝料不均勻。
DE-PS32 40 355也介紹了一種類似的制備方法。在該方法中，將小顆粒狀的玻璃料松散地堆成一種塊狀體，在其堆積過程中，此塊狀體的四周形狀得到穩(wěn)定。然后用壓制方法，由它們制得多孔體。這一制備方法也有如下缺點，從堆積開始，此塊體中的密度很小，并有可能形成空穴，這一點使保持形狀的壓制變得很困難。
為此，本發(fā)明的目標在于提供一種能避免傳統(tǒng)方法的這些缺點的制備方法。權利要求
1中提出的方法達到了這一目標。在從屬權利要求
中提出了這一制備方法的最佳實施方案以及進一步發(fā)展。特別地，權利要求
14涉及實施根據本發(fā)明的方法的設備。
下面，將參照附圖1至3并結合例子，更為詳細地解釋本發(fā)明，在附圖中圖1 展示按照本發(fā)明提出的制備方法把玻璃粉料裝入壓制模具的一種設備。
圖2 展示了用于調節(jié)圖1中所示設備的裝料的一種裝置。
圖3a 展示了用于制作管狀多孔體的一種供料設備的一部份。
圖3b 展示了圖3a中所示的供料設備相配合的一種壓制模具。
下面，著眼于本發(fā)明在制備光波導用的預制件方面的實際應用，來描述本發(fā)明，其原料以SiO2為主，為了改變材料的折射率，原料中通常含有一種或幾種摻雜劑，如GeO2、P2O5、F、B2O3。應當指出，按照本發(fā)明的制備方法也適于制備除光波導外的其他制品。只要能把所使用的原料制成粉末狀，能把它們壓制成多孔體，并把多孔體燒結成玻璃體。
圖1中所示的設備包括一個貯料器1，其中裝有玻璃粉原料，這個貯料器是密封的，與外界大氣隔絕。就前面提到的實際應用情況而論，涉及到以SiO2為主要成份、用合成法制備的玻璃粉料，其中也可能加入一些摻雜劑。為了制備材料，不僅可以使用前面提到的先有公開中介紹的化學氣相反應法，以及火焰水解法(也稱為熱解法)，也可以使用所謂的“濕化學”法，在這種濕化學法中，由化學液相反應得到沉淀物。其后將沉淀物烘干得到粉料。
在把粉料裝入料罐之前，根據由合成法得到的粉料的濕度和純度?？赡苡斜匾ㄟ^在真空中回火對粉料進行干燥處理和/或通過在含氯環(huán)境中的熱處理對粉料進行提純;或最好進行這些處理。由于粉料的表面非常之大，所以這種干燥和提純的效果要比在制成多孔體之后的相應處理的效果大得多。相應地，這一預處理允許使用純度較低和濕度較大而制備成本較低的材料。為了增加粉料的體密度，從而便于保持形狀的壓制，可能有必要或最好使粉料結團，為此目的，可采用的方法有熱處理、機械處理或者液體處理。
在貯料器1內靠近底部處，有一個螺旋供料器3，它是由外部的電動機驅動的。借助于此螺旋供料器，裝在貯料器的粉料能通過一根長供料管道從貯料器1運出。供料管道4伸入到待裝料的壓制模中。在給出的例子中，壓制模是一根有柔曲性的軟管5，在它的位于供料方向的一端，用蓋6將它封住。由于螺旋供料器借助由它的電動機產生的供料力朝著蓋6的方向壓料，并且蓋6受到與供料方向相反的反向力的作用，從而產生了裝料壓力。
為了限制裝料壓力，提供了一種能產生可調反向力的設備，在下文將參照圖2對這種設備進行說明。裝料壓力的作用會使作壓制模具的柔曲軟管不規(guī)則地擴張，這樣會與所要求的圓柱形裝入料產生相當大的偏離。由于這個緣故，在裝料過程中，用圍繞軟管的一剛性形狀保持部件使軟管5的形狀保持穩(wěn)定。實際上，一根管子便足以達到這個目的，把軟管的端部塞過該管，而且在裝料過程中軟管貼付該管的內壁。但是，由于在其后的已裝入軟管材料的壓制過程中，體積會發(fā)生相當大的收縮，所以在這個壓制過程中，在軟管5中會引起折皺。這些折皺可以在所得到的多孔體表面看到，如果不采取專門的對策，會使多孔體表面產生不希望有的折皺和波紋。根據按本發(fā)明制備方法的一個最佳實施方案，提出了一個對付措施，即在裝料過程中使軟管5予擴張進行，從而防止在以后的壓制過程中形成皺折。能實現(xiàn)這一點，是因為使用一種雙壁管7作為穩(wěn)定形狀的剛性體，該雙壁管7的內壁如圖中所示地打了許多小孔，兩個壁之間的內部空間既能夠承受增大的壓強，也能夠承受減小的壓強。為了實現(xiàn)壓強的變化，在管7的外壁設有裝上管接頭(或插口)8的開口，該管接頭上能套上真空泵抽氣管。這個真空泵，如噴水抽氣泵，在管壁間的空隙中產生負壓。該負壓通過多孔內壁作用在軟管5上，沿著內壁的方向拉它，并使它擴張到與該內壁平滑接觸的程度。因此，這樣的剛性形狀保持件使軟管5予擴張，同時，使軟管5的形狀在裝料過程中保持穩(wěn)定。
為了密封供料管4和予擴張軟管5之間的空間，用密封環(huán)9圍繞供料管4的出口端，這個密封環(huán)固定在供料管上，并用它在供料管4和預擴張軟管5間提供一個恒定的摩擦力，此摩擦力與供料管4伸入到壓制模具中的長度無關。
用上述的蓋6來密封位于供料方向上的壓制模端口，在這個蓋對著壓制模的一側，設有一個截錐形突出部分10，它蓋在軟管5上并被壓向管7的端口，從而使其外套表面牢固地與軟管的端口接觸，從而將它密封。用圖中未畫出的固定裝置，例如夾鉗，把這個蓋裝在管7上，它能夠裝在管7的外側，或者用一個包圍該蓋的螺絲帽把它擰在管7的外側上。
在把粉料裝入所述的壓制模中時，裝料壓力使粉料得到了預壓實。在此過程中，螺旋供料器的供料力推動包括形狀保持部件在內的整個壓制模，其方向與作用在蓋上的反向力相反，使壓制模具沿著供料方向離開供料管，直到軟管5的整個內部空間差不多都裝滿了預壓實粉料。在裝料操作期間，壓制模具相對于供料管的運動方向由壓制模具下間所示的箭頭表示，其指向沿著供料方向(圖1)。
裝料操作結束后，關閉真空泵，從管接頭或插口8取下抽氣管。裝入的預壓實粉料使得經過予擴張的軟管5保持在其擴張狀態(tài)。這時，從裝料設備上取下包括它的形狀保持部件在內的壓制模具，整個裝料設備示于圖2，下文中還要進行說明。再用一個相應于上述蓋6的蓋將壓制模具的另一端口密封，然后把它放在等靜壓機的工作液體中。該等靜壓機的工作液體由管接頭或插口8進入雙壁管7的間隙中，空隙中的空氣也從該管接頭或插口，或從另一個開口逸出。隨后，把等靜壓機的壓強控制在100至300巴(bar)的范圍內，此壓強通過管7的多孔內壁作用在預擴張軟管的外側，使整個軟管沿徑向受壓，從而得到所要求的多孔體。雖然等靜壓機從各個方面向裝在壓機中的這個結構施加均勻的壓力，但是在目前的情形下，由于軟管的兩端都被剛性蓋所密封，故這個壓力只是沿徑向作用在壓制模具上，這樣在壓制過程中，裝入料的縱向尺寸保持不變。
與前面提到的DE-PS 3040355中作為一種最佳壓制方法的等壓壓制工藝不同，專門沿徑向壓制使制造長連續(xù)多孔體變得容易，因為壓制過程的參數并不由長度而改變。
在壓制操作完成后，從等靜壓機中取下管7，把一個或二個蓋打開，然后從管7中取下被軟管5包圍的受壓體。接著，再擴張軟管5，從那里取下壓好的多孔體，在進一步加工之前，可能有必要用諸如研磨表面的方法對多孔體表面進行機械加工，直到它的幾何形狀合乎要求。
接著對多孔體進行物理和/或化學清潔處理。作為物理清潔處理，可以把它放在電弧中或高壓等離子體中進行清潔處理，而作為化學清潔處理，可以在含氯環(huán)境中對它進行熱處理，以便從多孔體中除去可能含有的任何羥基和過渡金屬雜質。
由上述制備方法得到的多孔體具有均勻的材料組成。這時，可以進一步把它加工成光波導，例如，把多孔體通過燒結制成玻璃體，然后從制成的玻璃體拉制成玻璃纖維。
在最簡單的情形下，可以在拉制過程中把折射率比玻璃料小的透明塑料包層涂覆在玻璃纖維上，由此得到塑料包層纖維形式的光波導，即所謂的PCS(塑料包層石英)纖維。但是也可以用其他任何方法把多孔體進一步加工成各種類型的光波導，這一點還要在下文中說明。
現(xiàn)在，參照圖2來說明裝料設備的全部結構，(其中與本發(fā)明制備方法有關的重要細節(jié)已于圖1中示出)，特別是說明在裝料期間產生與螺旋供料器的供料力方向相反的反向力的設備。下述部件都牢固地安裝在底板11上貯料器1，從它上面伸出供料管4;垂直放置在底板上的安裝板12，安裝板12和貯料器1被設置在底板11相對的兩端;支承架13，它是以橋形方式裝在底板上的，即其過梁14的長度方向與底板的縱軸相垂直，并與安裝板12的方向相平行。在支承架豎直部件和安裝板12之間裝有如導管15那樣的兩個互相平行的導向部件，在導管15上，裝有導向套筒17的反壓板16可沿著底板的縱向在支承架和安裝板之間移動。
內有壓制模具，并有供料管4伸入其中的管7，可以象反壓板16那樣，沿著縱向移動，因為它是剛性但可拆卸地與反壓板16相連接，或者因為它是可移動地放置在導引槽中，它被一個蓋密封的一端口與反壓板相接觸而沒有相連接。借助一個可調重物18，從外面把反壓板16與管7的這一端相貼緊，這個重物18通過牽引繩索19和繩索輪20懸掛在支承架13上，由于螺旋供料器的作用，把管7內的粉料推向該管的這一端，牽引繩索19裝在反壓板16的兩側。
這樣，在裝料過程中，由于螺旋供料器的作用，壓制模具被沿著供料方向推離開供料管，結果使裝入的粉料得到了預壓實。進行預壓實的壓力取決于重物18，這個重物擠壓反壓板，因此也就以與螺旋供料器的供料力方向相反的方向，擠壓著供料管的這一端，粉料裝入模具的供料速度是由螺旋供料器的結構及其轉速決定的，而裝料壓力可通過重物18來調節(jié)。
不言而喻，還有其它一些設備也適于以可調的裝料壓力把粉料裝入壓制模具中。例如，在運動學上操作方向相反的一種設備也是可能的，在該設備中，管7是固定地設置的，而與作用方向與供料力方向相反的可調重物相對，貯料器連同供料管4的設置使之可以沿著與供料方向相反的方向移動。
原則上，參照圖1所描述的裝料操作也能應用于待制成的多孔體的構成不均勻，但材料組成沿著徑向改變材料這種情況。這是可能的，因為除了所示的把壓制模具縱軸區(qū)域內的粉料運至其內的螺旋供料器3之外，還可安裝與中心螺旋供料器3共軸放置的一個或幾個其他的螺旋供料器，用于把其它結構的料裝入緊靠中心區(qū)域的共軸區(qū)域中。這時，這些螺旋供料器被配置在幾個共軸放置的供料器管道之間的空隙中。對每一個螺旋供料器，都能分別調節(jié)其供料速度和裝料壓力。正如前面所說的，在各個區(qū)域內達到的最大裝料壓力取決于作用在管道密封端反向力。通過分別調節(jié)由不同螺旋供料器分別產生的裝料壓力，就能夠使沿徑向彼此相鄰的各個區(qū)域的材料組成在軸向上有選定的變化。為了制備各種類型的光波導，按本發(fā)明的制備方法，利用這種共軸式螺旋供料器裝置，能夠制成由蕊玻璃料組成的多孔體，而且如果需要的話，其徑向組成可逐漸變化，外面是按任何所要求等級的包層玻璃料。
利用放置成諸如三角形式方形的螺旋供料器，而該供料器周圍分別包圍有供料器管道，還能夠制備其他沒有上述那樣的完全旋轉對稱結構的多孔體。這樣，便可以制備多蕊光波導。在這種多蕊光波導中，獨立的光信號能夠互相平行地傳播，或者這種光波導具有保持光信號偏振態(tài)的特性。如果這種多蕊裝置也需要圍有一層或幾層包層，那么利用另外的一個或幾個圍繞著這種多蕊裝置延伸的螺旋供料器，把一種或幾種料裝入與多蕊裝置共軸的區(qū)域中，也能夠實現(xiàn)這一點。這里，對每一個供料器，都能分別調節(jié)它的裝料壓力和供料速度。
在本說明書的上述部分，描述的壓制模具獨立于螺旋供料器裝置，它的形狀是空心圓柱體。這樣，由其后進行的壓制得到的總是棒狀多孔體。但是，也可以這樣來設計壓制模具，使得到的多孔體是管狀的，為此目的，需要使用一種與圖1中所示的螺旋供料器不同的螺旋供料器。這種供料器并不輸運在其軸線區(qū)域內的料，而是輸運與其旋轉軸共軸的圓環(huán)形橫截面區(qū)域內的料。圖3a中顯示了一種這樣的螺旋供料器。
這種螺旋供料器20在共軸排列的內管21和外管22之間的空隙中繞著內管旋轉，以便把玻璃粉料通過這個空隙輸入壓制模具以及共軸地離開軸線的區(qū)域。
為了形成管狀體，可使用圖1中所示類型的壓制模具，但此時必須把它稍加修改，也可以使用圖3所示的壓制模具。對圖1中所示的壓制模具的修改包括沿著它的縱軸，從一端到另一端，配置一根棒或管子，例如石英制做的棒或管子，例如，能把它裝在蓋6的中心凹槽中，而且在裝料過程結束后，也可把它裝在另一個蓋的相應凹槽中。圖3a中所示的這種螺旋供料器，以相應于前面參照圖1所描述的那種方式，把粉料裝入該石英玻璃棒或管和預擴張軟管5之間的空隙中。在壓制過程結束后，能容易地從壓好的多孔體中心取出該棒狀或管狀基體。
在圖3a中所示的裝置在其前端包含有兩個密封環(huán)23和24，用來密封粉料進入壓制模具的區(qū)域。這兩個密封環(huán)23和24與圖1中所示的裝置中的密封環(huán)9相同，能提供與位置無關的恒定摩擦力。在圖1中所示的壓制模具的情形下，把內密封環(huán)23裝在內管21的里面。并與棒狀或管狀基體的外側相接觸，而把外密封環(huán)24裝在外管22的外側，并與軟管25的內側相接觸。
在圖3b中，顯示了采用圖3a中所示的這類螺旋供料器制做管狀多孔體的壓制模具的另一種實施方案。這種壓制模具由易柔曲軟管25和剛性外管26組成。借助圖3a中所示的裝置，把粉料裝入軟管25和外管26之間的空隙。為了在裝料操作期間使軟管25的形狀保持穩(wěn)定，把它套在一剛性基體上。最好用多孔管27作為這樣的基體，通過該多孔管27上的孔或洞，壓力機的工作液體可將其壓力施加于軟管25的內部。這樣，能把裝在軟管和剛性外管之間，并在裝料期間被預壓實的粉料沿著徑向壓向剛性管外壁。與圖1的裝置不同，在此裝置中不必將軟管25預擴張，因為這里在壓制操作期間，軟管從內向外擴張。而不是象圖1的情形那樣從外向內壓縮。在裝料操作期間，用剛性蓋228，在位于供料方向的壓制模具一端，把與多孔管27接觸的軟管25和剛性外管26之間的空隙密封起來，這個剛性蓋有一個環(huán)狀凸臺29伸入此空隙中，從四周把它密封。為了使工作液體在裝料操作結束后能從內部進入多孔管27，蓋28的中心有一個小孔。就象壓在壓制模具另一側的相應的蓋一樣。在裝料操作之后，用圖1中所示的裝置，把一個可調的反向力加在蓋28的背面，這個反向力限制了裝料壓力。而且，出于與參照圖1所描述的同樣的理由，使用這種壓制模具對壓制是沿著徑向進行的，在這種情形下也導致了同樣的優(yōu)點。
有好幾種方法能把管狀多孔體改變?yōu)檫m于作光波導預制棒的細長的棒狀玻璃體。在經過相應于前面結合棒狀多孔體所說明的物理、化學處理，以及在必要時的機械處理之后，可以把這種管狀多孔體燒結成棒狀玻璃體。第二種可能性是把棒狀多孔體插入用前述方法制備的管狀多孔體中，然后對這個多孔棒一管結構進行燒結而得到棒狀玻璃體，如果管狀多孔體是由光波導的包層材料和其蕊材料組成的棒狀多孔體組成。則在這種情形下，能夠用由此得到的玻璃質預制棒制造出蕊子一包層結構的光波導。
由棒狀多孔體和管狀多孔體制作細長玻璃體的另一種可行的方法，是把管狀多孔體燒結成玻璃管，把棒狀多孔體燒結成玻璃棒，然后把玻璃棒插入玻璃管中，并將此結構熔融而得到細長玻璃體。
還應當指出，在上述制備方法的每一階段，從制備粉料直到燒結成適于用作預制件的細長玻璃體，都必須防止材料受到污染。
為此目的，最好讓盛放粉料的貯料器始終密封不透氣，并且在密封環(huán)境中，例如在抽真空的手套箱中把粉料裝入壓制模具。一個或幾個供料器管道從外面通過真空密封通道伸入手套箱中。只是在用蓋把壓制模具兩側密閉之后，才把壓制模具從這個手套箱中取出，然后把它放入等靜壓機中。
避免污染的另一個措施是，在氯氣環(huán)境中進行多孔體的熱處理，接著在一種設備中把它燒結成玻璃體，在這種設備中，多孔體在含氯氣環(huán)境中的熱處理和燒結工藝之間，一直處于密封環(huán)境中。例如，從下向上移動多孔體，先讓它通過進行熱處理的第一個區(qū)域，再把它從那里直接移入進行燒結的第二個區(qū)域。
下面，描述另一種可供選樣的型式的制備方法，它同樣采用根據本發(fā)明的原理。即在把料裝入壓制模具的過程中預壓實玻璃粉料，但是，在這一方法中，把料裝入壓制模具時沒有使用任何螺旋供料器，這一變型的制備方法在于，可以用同樣的方法設計壓制模具，或者壓制模具與前面所描述的相類似，但在裝料操作期間使壓制模具旋轉，即使離心力沿其縱軸方向起作用，粉料被裝入壓制模具，并在這個離心力的作用下得到預壓實，裝料壓力取決于離心力。在這一方法中，也可以使用幾根共軸管道來制備徑向組成漸變的多孔體，或者管狀多孔體。
權利要求
1.制備細長玻璃體特別是以SiO2為基礎組份的光波導用的預制件的方法，在該方法中先把玻璃粉料加工成多孔體，再把多孔體燒結成玻璃體，其特征在于玻璃粉料裝入壓制模具(5、25、26)的方式應使之在裝料過程中得到預壓實，而在裝料完成后用壓制方法把此經過預壓實的材料加工成多孔體。
2.如權利要求
1所提出的方法，其特征是用一根有柔曲性的軟管(5)作為壓制模具，而在裝料期間，通過圍繞該軟管的形狀保持部件(7)使軟管形狀保持穩(wěn)定。
3.如權利要求
2所提出的方法，其特征是使用一種雙壁管(7)作為形狀保持部件，它的內壁鉆有小孔，管子兩壁間之空隙中的壓力能夠降低或者增大。
4.如權利要求
3所提出的方法，其特征是在裝料期間，通過減小管(7)兩壁間空隙中的壓力，使上述有柔曲性的軟管(5)預擴張，而在裝料過程完成后，通過增大該空隙中的壓力，沿徑向壓縮軟管，由此即把已裝填好的料壓制成多孔體。
5.如權項1至4中任何一項所提出的方法，其特征是借助螺旋供料器(3、20)，在壓力連續(xù)可調，供料速度可調的條件下，把玻璃粉料裝入壓制模具(5、25、26)中。
6.如權項1至4中的任何一項所提出的方法，其特征是用多個共軸螺旋供料器組成的裝置，把第一種組成的粉料裝入該裝置的軸線附近的區(qū)域，并至少把一種不同組成的粉料裝入與上述的軸線附近區(qū)域共軸的至少一個區(qū)域中，在壓力分別連續(xù)可調和供料速度分別可調的條件下，把料裝入壓制模具(5、25、26)中。
7.如權項1至4中任何一項所提出的方法，其特征是用幾個互相平行排列的螺旋供料器，把相同組成或不同組成的材料裝入內部區(qū)域，再用一個或幾個圍繞該內部區(qū)域，且互相共軸的螺旋供料器，把其它組成的材料裝入其緊鄰的區(qū)域中，這些材料的裝入分別在壓力連續(xù)可調和供料速度分別可調的條件下進行。
8.如權利要求
1至7中任何一項所提出的方法，其特征是所述的壓制模具(5)的設計使制成的多孔體呈棒狀形式。
9.如權利要求
1至7中任何一項所提出的方法，其特征是所述的壓制模具(25、26)的設計使制成的多孔體取管狀形式。
10.如權利要求
9所提出的方法，其特征是在所述壓制模具(5)的中心，沿著縱向從其一端延伸到另一端，放置一棒狀基體，將玻璃粉料經預壓實裝入該基體和壓制模具側壁間的空隙中，然后壓制，在壓制過程結束后，從多孔體中取出棒狀基體。
11.如權利要求
9所提出的方法，若不按照權利要求
9，則參照權利要求
2、3、4和7，其特征是所述壓制模具(25、26)是由共軸放置的剛性管(26)和可柔曲軟管(25)組成的裝置，把預壓實的粉料裝入軟管(25)和剛性管(26)間的空隙中，將剛性圓柱體(27)插入軟管內，使該軟管(25)的形狀在裝料過程中保持穩(wěn)定。
12.如權利要求
11所提出的方法，其特征是用多孔管(27)作為剛性圓柱體，在裝料過程結束后，增大多孔管中的壓力，使軟管(25)擴張，從而使裝入的粉料從內向外沿著徑向被壓縮，壓成管狀多孔體。
13.按照權利要求
1至12中任何一項所提出的方法，其特征是用于預壓實裝在壓制模具中的玻璃粉之壓力，取決于螺旋供料器(3、20)的力，并受到作用在壓制模具(5;25，26)的一端，位于供料方向上的可調反向力的限制。
14.實施權利要求
13中所提出之方法的設備，其特征是個別起作用的或在裝置內起作用的每一個螺旋供料器(3，20)，都放置在供料器管道(4)或這種供料器管道裝置(21、22)內，在把粉料裝入由形狀保持件(7，27)使其形狀保持穩(wěn)定的壓制模具(5、25)期間內，壓制模具的一端是密封的，供料器管道(4)或這種供料器管道裝置(21、22)沿著壓制模具的縱向從它的另一端伸入，壓制模具沿著供料方向放置并可以相對于供料器管道(4、21、22)對著作用在其密封端的反向力移動。
15.如權利要求
1至13中任何一項所提出的方法，其特征是，在裝好粉料后，各用一個剛性蓋(6、28)把由形狀保持件(7、27)保持其形狀穩(wěn)定的該壓制模具(5;25，26)的兩端密封起來，然后把它放在等靜壓機中經受從各方面作用在它側面的壓力，即用這樣的方式施加壓力，使工作液體只通過形狀保持件(7、27)的多孔壁沿著徑向向該壓制模具(5;25，26)施加壓力。
16.如權利要求
15中所提出的工藝，其特征是對由壓制得到的多孔體進行物理或化學的清潔處理。
17.如權利要求
16所提出的工藝，其特征是在對上述多孔體進行清潔處理之前，先對它的表面進行機械加工，直到它的幾何形狀合乎要求。
18.如權利要求
17所提出的工藝，其特征是分別制備棒狀多孔體和管狀多孔體，把棒狀多孔體插入管狀多孔體中，對由此得到的棒一管結構進行燒結從而獲得玻璃體。
19.如權利17所提出的工藝，其特征是分別制備棒狀多孔體和管狀多孔體，并把它們制備成棒狀玻璃體和管狀玻璃體，把棒狀玻璃體插入管狀玻璃體中，然后把兩者熔融而得到玻璃體。
20.如以上任何一項權利要求
所提出的工藝，其特征是使用合成法得到的玻璃粉料，在把玻璃粉料裝入壓制模具前，先用真空回火法對它們進行干燥處理和/或用含氯氣氛中的熱處理方法進行提純。
21.如上述任何一項權利要求
所提出的工藝，其特征是在把玻璃粉料裝入壓制模具之前，先讓它們結團以增大體密度。
專利摘要
在以SiO
文檔編號C03B37/075GK85106106SQ85106106
公開日1987年3月4日 申請日期1985年8月13日
發(fā)明者雷蒙德·多恩, 阿明·伯姆加特納 申請人:國際標準電氣公司導出引文BiBTeX, EndNote, RefMan