一種石英坩堝磨具車(chē)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種石英坩堝系統(tǒng)領(lǐng)域，特別是涉及一種石英坩堝磨具車(chē)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空電弧法生產(chǎn)石英坩堝設(shè)備是目前世界上生產(chǎn)坩堝最先進(jìn)的技術(shù)設(shè)備。它以電弧為熱源，離心成型的工藝制造坩堝。其特點(diǎn)是設(shè)備可操作性強(qiáng)，工藝成熟，產(chǎn)品利潤(rùn)空間大，市場(chǎng)前景廣闊。石英玻璃坩堝是單晶硅生產(chǎn)中的關(guān)鍵必需品，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的龍頭產(chǎn)業(yè)。廣泛應(yīng)用于電子、化工等諸多行業(yè)。用電弧法制的半導(dǎo)體半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今，世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。主要是采用電弧為熱源，離心成型為基礎(chǔ)，融化預(yù)先成型的高純石英粉料，通過(guò)抽真空制造高純度內(nèi)層透明，外層乳白的石英坩堝裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提供一種石英坩堝磨具車(chē)裝置，主要是由石墨磨具1、水冷套2、多孔石墨底座3、傾動(dòng)臺(tái)4、旋轉(zhuǎn)軸5和電機(jī)6組成，所述石墨磨具I外層套一層水冷套2，所述石墨磨具I的底部裝有多孔石墨底座3，所述多孔石墨底座3置于傾動(dòng)臺(tái)4上；所述傾動(dòng)臺(tái)5的下部裝有電機(jī)6 ；
[0004]進(jìn)一步地，所述電機(jī)6通過(guò)帶輪I及帶輪II連接旋轉(zhuǎn)軸5;水冷套2和石墨模具I形成一個(gè)內(nèi)腔；旋轉(zhuǎn)軸5上裝有一穿過(guò)水冷套2和石墨模具I中心孔與所述內(nèi)腔相通形成的真空管道；石墨模具I有微氣孔。通過(guò)水冷套2內(nèi)的石墨模具旋轉(zhuǎn)，以實(shí)現(xiàn)石墨模具內(nèi)的石英粉均勻成型，再通過(guò)電極放電產(chǎn)生高溫將石英粉熔化成坩堝。
[0005]本發(fā)明采用模具車(chē)平臺(tái)上安裝傾動(dòng)臺(tái)及模具水套，由推桿驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)模具的進(jìn)給到隔音壁內(nèi)的打堝位置和退出到坩堝成型后的出堝位置。
【附圖說(shuō)明】
[0006]圖1為本發(fā)明的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0007]參照?qǐng)D1中，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為一種石英坩堝磨具車(chē)裝置，主要是由石墨磨具1、水冷套2、多孔石墨底座3、傾動(dòng)臺(tái)4、旋轉(zhuǎn)軸5和電機(jī)6組成，所述石墨磨具I外層套一層水冷套2，所述石墨磨具I的底部裝有多孔石墨底座3，所述多孔石墨底座3置于傾動(dòng)臺(tái)4上；所述傾動(dòng)臺(tái)5的下部裝有電機(jī)6 ；
[0008]進(jìn)一步地，所述電機(jī)6通過(guò)帶輪I及帶輪II連接旋轉(zhuǎn)軸5;水冷套2和石墨模具I形成一個(gè)內(nèi)腔；旋轉(zhuǎn)軸5上裝有一穿過(guò)水冷套2和石墨模具I中心孔與所述內(nèi)腔相通形成的真空管道；石墨模具I有微氣孔。通過(guò)水冷套2內(nèi)的石墨模具旋轉(zhuǎn)，以實(shí)現(xiàn)石墨模具內(nèi)的石英粉均勻成型，再通過(guò)電極放電產(chǎn)生高溫將石英粉熔化成坩堝。
[0009]以上所述，僅是本發(fā)明的實(shí)施例，并非對(duì)本發(fā)明作任何限制，凡是根據(jù)本發(fā)明技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變化，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石英坩堝磨具車(chē)裝置，其特征在于:主要是由石墨磨具(I)、水冷套(2)、多孔石墨底座(3)、傾動(dòng)臺(tái)(4)、旋轉(zhuǎn)軸(5)和電機(jī)(6)組成，所述石墨磨具(I)外層套一層水冷套(2)，所述石墨磨具(I)的底部裝有多孔石墨底座(3)，所述多孔石墨底座(3)置于傾動(dòng)臺(tái)(4)上；所述傾動(dòng)臺(tái)(5)的下部裝有電機(jī)(6)。
2.如權(quán)利要求1所述一種石英坩堝磨具車(chē)裝置，其特征在于:所述電機(jī)(6)通過(guò)帶輪I及帶輪II連接旋轉(zhuǎn)軸(5);水冷套(2)和石墨模具(I)形成一個(gè)內(nèi)腔；旋轉(zhuǎn)軸(5)上裝有一穿過(guò)水冷套(2)和石墨模具(I)中心孔與所述內(nèi)腔相通形成的真空管道；石墨模具(I)有微氣孔。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種石英坩堝磨具車(chē)裝置，主要是由石墨磨具、水冷套、多孔石墨底座、傾動(dòng)臺(tái)、旋轉(zhuǎn)軸和電機(jī)組成，所述石墨磨具外層套一層水冷套，所述石墨磨具的底部裝有多孔石墨底座，所述多孔石墨底座置于傾動(dòng)臺(tái)上；所述傾動(dòng)臺(tái)的下部裝有電機(jī)；本發(fā)明采用模具車(chē)平臺(tái)上安裝傾動(dòng)臺(tái)及模具水套，由推桿驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)模具的進(jìn)給到隔音壁內(nèi)的打堝位置和退出到坩堝成型后的出堝位置。
【IPC分類(lèi)】C03B20-00
【公開(kāi)號(hào)】CN104649569
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310579463
【發(fā)明人】祝軍武, 高喜梅, 張新麗
【申請(qǐng)人】西安艾力特電子實(shí)業(yè)有限公司
【公開(kāi)日】2015年5月27日
【申請(qǐng)日】2013年11月16日