單晶體的上爐體的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及單晶硅制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種單晶爐的上爐體。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅是具有完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種良好的半導(dǎo)體材料，目前被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件以及太陽能電池的制造。單晶硅使用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制而成的，在市場上有很廣闊的前景。目前單晶硅的拉制裝置為單晶爐，它是由上爐體、下爐室、上爐室、爐蓋、翻板箱、副室六大部分組成，目前普遍采用的單晶爐的上爐體只有單層爐壁，由于在單晶爐的工作過程中長時間處于高溫狀態(tài)，會將上爐體燒壞，造成很大的損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種使用壽命長，能夠散熱的單晶爐的上爐體。
[0004]實現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]一種單晶爐的上爐體，包括上法蘭、下法蘭、爐內(nèi)壁和爐外壁，所述上法蘭和下法蘭之間設(shè)有爐外壁和爐內(nèi)壁，爐外壁上設(shè)有進水口和出水口，爐外壁和爐內(nèi)壁之間設(shè)有水夾層,水夾層內(nèi)設(shè)有若干個過濾板,過濾板兩邊與水夾層內(nèi)的爐外壁和爐內(nèi)壁連接固定,過濾板上開設(shè)有若干個通孔，每相鄰兩個過濾板上的通孔為交錯對應(yīng)。
[0006]所述過濾板均布于水夾層內(nèi)且相互平行，過濾板上的通孔為均勻布置，能夠使水的流量均勻，充分達到吸收熱量的效果。
[0007]所述過濾板為耐高溫的金屬板，能夠吸收熱量而不至于變形。
[0008]所述進水口與出水口在相反的位置，且進水口的位置高于出水口，易于操作。
[0009]本發(fā)明的有益效果是:爐外壁和爐內(nèi)壁之間的水夾層內(nèi)為冷卻系統(tǒng)，通過冷卻系統(tǒng)可以降低上爐體的溫度，過濾板能夠使冷卻介質(zhì)在水夾層內(nèi)充分吸收熱量，從而達到冷卻的效果，結(jié)構(gòu)簡單且散熱快。
【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為過濾板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]附圖中，I為上法蘭，2為下法蘭，3為進水口，4為出水口，5為爐內(nèi)壁，6為爐外壁，7為過濾板,8為通孔,9為水夾層。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進行進一步說明；
[0014]參見圖1和圖2所示，一種單晶爐的上爐體，包括上法蘭1、下法蘭2、爐內(nèi)壁5和爐外壁6，所述上法蘭I和下法蘭2之間設(shè)有爐外壁6和爐內(nèi)壁5，爐外壁上6設(shè)有進水口3和出水口 4，爐外壁6和爐內(nèi)壁5之間設(shè)有水夾層9，水夾層9內(nèi)設(shè)有若干個過濾板7，過濾板7兩邊與水夾層9內(nèi)的爐外壁6和爐內(nèi)壁5連接固定，過濾板7上開設(shè)有若干個通孔8，每相鄰兩個過濾板7上的通孔為交錯對應(yīng)。
[0015]所述過濾板7均布于水夾層9內(nèi)且相互平行，過濾板7上的通孔8為均勻布置，能夠使水的流量均勻，充分達到吸收熱量的效果，過濾板7為耐高溫的金屬板，能夠吸收熱量而不至于變形，進水口 3與出水口 4在相反的位置，且進水口 3的位置高于出水口 4，易于操作。
[0016]本發(fā)明并不局限于所述的實施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神即公開范圍內(nèi)，仍可作一些修正或改變，故本發(fā)明的權(quán)利保護范圍以權(quán)利要求書限定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項】
1.單晶爐的上爐體，包括上法蘭、下法蘭、爐內(nèi)壁和爐外壁，其特征在于:所述上法蘭和下法蘭之間設(shè)有爐外壁和爐內(nèi)壁,爐外壁上設(shè)有進水口和出水口，爐外壁和爐內(nèi)壁之間設(shè)有水夾層，水夾層內(nèi)設(shè)有若干個過濾板，過濾板兩邊與水夾層內(nèi)的爐外壁和爐內(nèi)壁連接固定，過濾板上開設(shè)有若干個通孔，每相鄰兩個過濾板上的通孔為交錯對應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的上爐體，其特征在于:所述過濾板均布于水夾層內(nèi)且相互平行，過濾板上的通孔為均勻布置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的上爐體，其特征在于:所述過濾板為耐高溫的金屬板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的上爐體，其特征在于:所述進水口與出水口在相反的位置。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種單晶爐的上爐體，包括上法蘭、下法蘭、爐內(nèi)壁和爐外壁，所述上法蘭和下法蘭之間設(shè)有爐外壁和爐內(nèi)壁，爐外壁上設(shè)有進水口和出水口，爐外壁和爐內(nèi)壁之間設(shè)有水夾層，水夾層內(nèi)設(shè)有若干個過濾板，過濾板兩邊與水夾層內(nèi)的爐外壁和爐內(nèi)壁連接固定，過濾板上開設(shè)有若干個通孔，每相鄰兩個過濾板上的通孔為交錯對應(yīng)。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單，冷卻效果好，使用壽命長等特點。
【IPC分類】C30B35-00, C30B29-06
【公開號】CN104711682
【申請?zhí)枴緾N201310684249
【發(fā)明人】潘燕萍
【申請人】常州市天龍光電設(shè)備有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請日】2013年12月12日