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      晶硅片切割刃料的制備方法

      文檔序號(hào):9902290閱讀:716來(lái)源:國(guó)知局
      晶硅片切割刃料的制備方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001 ]本發(fā)明涉及切割刃料技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種晶硅片切割刃料的制備方法。
      【背景技術(shù)】
      [0002]適用于晶硅電池片切割的碳化硅微粉,與普通的磨料有很多的不同,質(zhì)量有了更高的要求。1.是對(duì)切割用微粉的粒度,要求分布非常集中;2.線切割微粉的鋒線度;3.線切割微粉的化學(xué)成份;4.線切割微粉的堆積密度;5.線切割的表面清潔度等一系列指標(biāo)都有嚴(yán)格的要求。碳化硅微粉是以碳化硅為原料,經(jīng)破碎、分選等工藝生產(chǎn)而成的,主要用于制作精細(xì)砂輪、油石、砂布、砂帶等精加工磨具,并被廣泛用于機(jī)械零件、電子元件、石材加工等研磨拋光。隨著太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,作為傳統(tǒng)磨料的碳化硅由于其自身的高強(qiáng)度、高硬度性能,被用作切割刃料來(lái)對(duì)太陽(yáng)能單晶硅片和多晶硅片進(jìn)行線切割。目前,國(guó)內(nèi)的碳化硅切割刃料生產(chǎn)存在粉碎效果差,微粉粒徑分布過(guò)寬以及產(chǎn)率低等問(wèn)題。因此,希望提供一種碳化硅微粉粒徑分布適當(dāng),產(chǎn)率較高的碳化硅切割刃料的生產(chǎn)方法。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0003]本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供用于加工出質(zhì)量好的晶硅片切割刃料的制備方法。
      [0004]考慮到現(xiàn)有技術(shù)的上述問(wèn)題,根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,為解決上述的技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
      [0005]—種晶硅片切割刃料的制備方法,它包括以下步驟:
      [0006](I)選取碳化硅塊料,通過(guò)立軸沖擊式破碎機(jī)破碎并過(guò)篩,收集粒度< 4.5mm的碳化硅粒度砂;其包括1#分級(jí)機(jī)和2#分級(jí)機(jī),物料研磨后的細(xì)粉隨風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的氣流被帶入1#分級(jí)機(jī)進(jìn)行分選,在1#分級(jí)輪的離心作用下粒度過(guò)粗的物料落回重磨,合格細(xì)粉則隨氣流進(jìn)入2#分級(jí)機(jī),在2#分級(jí)輪的離心作用下經(jīng)出粉管排出,即得到所需粒度,未經(jīng)排出的細(xì)粉隨氣流經(jīng)微粉旋風(fēng)收集器粉管排出;
      [0007](2)在真空條件下,干法球磨分級(jí)采用干式球磨分級(jí)設(shè)備對(duì)上述碳化硅粒度砂進(jìn)行磨粉、分級(jí)得粒度為3?Sum的碳化硅粉體;
      [0008](3)在真空條件下,將所述碳化硅粉體加入水中,并在頻率為25?60KHz超聲波下震蕩處理15?19分鐘,然后通入沉淀裝置沉淀10分鐘,再將沉淀裝置上部渾濁水抽出;
      [0009](4)在真空條件下,引入溢流分級(jí)裝置,向溢流缸引入向上流動(dòng)的水流,水流速度等于顆粒沉降速度時(shí),該顆粒滯留不動(dòng)。粒徑大于該顆粒的就下沉,粒徑小于該顆粒的就隨水流溢出。將料漿投入溢流缸,先用小流量沖出細(xì)粒,隨后略調(diào)大流量,并改動(dòng)溢流管位置,即可獲得一種規(guī)格微粉。當(dāng)溢流出來(lái)的料漿濃度很稀時(shí),再次調(diào)大流量并改換溢流管位置,又可獲得一種較粗規(guī)格的微粉。如此重復(fù)操作,可分出各個(gè)粒度的微粉,根據(jù)不同的粒度分級(jí)要求,調(diào)節(jié)料漿濃度,進(jìn)行溢流分級(jí);再根據(jù)不同粒徑分別通入酸洗裝置;
      [0010](5)在真空條件下,酸洗裝置在攪拌的情況下同時(shí)加入鹽酸,攪拌反應(yīng)12小時(shí)后脫酸以去除金屬離子;然后再通入裝有濃硫酸的離心機(jī)中,所述濃硫酸與所述碳化硅粉體的質(zhì)量比為1:30,然后再攪拌反應(yīng)2小時(shí),以進(jìn)一步去除金屬離子,并脫去水分;
      [0011](6)濃縮脫水采用刮刀離心機(jī)對(duì)分級(jí)后的料漿進(jìn)行濃縮脫水處理,使所得粉料的含水率<6%;
      [0012](7)烘干將濃縮脫水后的粉料送入隧道干燥窯進(jìn)行干燥,烘干溫度為75度,使其含水率<0.04% ;
      [0013](8)混配將烘干后的同一粒度段的不同批次的粉料送入干混機(jī)干混2.1小時(shí);
      [0014](9)精篩以超聲波振動(dòng)篩精篩上步所得粉料,去除結(jié)團(tuán)和大顆粒雜質(zhì)后即得晶硅片切割刃料,然后將所述晶硅片切割刃料按照質(zhì)量比是25:27與石英砂進(jìn)行混合;
      [0015](10)將上述得到的產(chǎn)品裝于具有硅膠、活性碳和沸石的箱體內(nèi),所述硅膠、活性碳和沸石的比例為5:3:2。
      [0016]為了更好地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明,進(jìn)一步的技術(shù)方案是:
      [0017]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案,所述碳化硅塊料采用綠碳化硅。
      [0018]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果之一是:
      [0019]本發(fā)明的一種晶硅片切割刃料的制備方法,將破碎粉磨過(guò)程中粒度合格的碳化硅刃料粉體分流出來(lái),避免因過(guò)度研磨而產(chǎn)生大量的細(xì)粉廢料;并且能夠?qū)崿F(xiàn)不同粒度范圍的粉體分流,除去了粉體中雜質(zhì)的功能;本發(fā)明易于操作,能夠提高碳化硅切割刃料粉體產(chǎn)品的成品率和質(zhì)量,以及提高生產(chǎn)效率、節(jié)約生產(chǎn)成本。
      【具體實(shí)施方式】
      [0020]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)說(shuō)明,但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。[0021 ] 一種晶硅片切割刃料的制備方法,它包括以下步驟:
      [0022](I)選取碳化硅塊料,通過(guò)立軸沖擊式破碎機(jī)破碎并過(guò)篩,收集粒度< 4.5mm的碳化硅粒度砂;其包括1#分級(jí)機(jī)和2#分級(jí)機(jī),物料研磨后的細(xì)粉隨風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的氣流被帶入1#分級(jí)機(jī)進(jìn)行分選,在1#分級(jí)輪的離心作用下粒度過(guò)粗的物料落回重磨,合格細(xì)粉則隨氣流進(jìn)入2#分級(jí)機(jī),在2#分級(jí)輪的離心作用下經(jīng)出粉管排出,即得到所需粒度,未經(jīng)排出的細(xì)粉隨氣流經(jīng)微粉旋風(fēng)收集器粉管排出;
      [0023](2)在真空條件下,干法球磨分級(jí)采用干式球磨分級(jí)設(shè)備對(duì)上述碳化硅粒度砂進(jìn)行磨粉、分級(jí)得粒度為3?Sum的碳化硅粉體;
      [0024](3)在真空條件下,將所述碳化硅粉體加入水中,并在頻率為25?60KHz超聲波下震蕩處理15?19分鐘,然后通入沉淀裝置沉淀10分鐘,再將沉淀裝置上部渾濁水抽出;
      [0025](4)在真空條件下,引入溢流分級(jí)裝置,向溢流缸引入向上流動(dòng)的水流,水流速度等于顆粒沉降速度時(shí),該顆粒滯留不動(dòng)。粒徑大于該顆粒的就下沉,粒徑小于該顆粒的就隨水流溢出。將料漿投入溢流缸,先用小流量沖出細(xì)粒,隨后略調(diào)大流量,并改動(dòng)溢流管位置,即可獲得一種規(guī)格微粉。當(dāng)溢流出來(lái)的料漿濃度很稀時(shí),再次調(diào)大流量并改換溢流管位置,又可獲得一種較粗規(guī)格的微粉。如此重復(fù)操作,可分出各個(gè)粒度的微粉,根據(jù)不同的粒度分級(jí)要求,調(diào)節(jié)料漿濃度,進(jìn)行溢流分級(jí);再根據(jù)不同粒徑分別通入酸洗裝置;
      [0026](5)在真空條件下,酸洗裝置在攪拌的情況下同時(shí)加入鹽酸,攪拌反應(yīng)12小時(shí)后脫酸以去除金屬離子;然后再通入裝有濃硫酸的離心機(jī)中,所述濃硫酸與所述碳化硅粉體的質(zhì)量比為1:30,然后再攪拌反應(yīng)2小時(shí),以進(jìn)一步去除金屬離子,并脫去水分;
      [0027](6)濃縮脫水采用刮刀離心機(jī)對(duì)分級(jí)后的料漿進(jìn)行濃縮脫水處理,使所得粉料的含水率<6%;
      [0028](7)烘干將濃縮脫水后的粉料送入隧道干燥窯進(jìn)行干燥,烘干溫度為75度,使其含水率<0.04% ;
      [0029](8)混配將烘干后的同一粒度段的不同批次的粉料送入干混機(jī)干混2.1小時(shí);
      [0030](9)精篩以超聲波振動(dòng)篩精篩上步所得粉料,去除結(jié)團(tuán)和大顆粒雜質(zhì)后即得晶硅片切割刃料,然后將所述晶硅片切割刃料按照質(zhì)量比是25:1與石英砂進(jìn)行混合;
      [0031](10)將上述得到的產(chǎn)品裝于具有硅膠、活性碳和沸石的箱體內(nèi),所述硅膠、活性碳和沸石的比例為5:3:2。
      [0032]所述碳化硅塊料優(yōu)先采用綠碳化硅。
      [0033]綜上所述,本發(fā)明高純度、大結(jié)晶的碳化硅原材料,保證了碳化硅切割微粉的優(yōu)良切割性能和穩(wěn)定的物理狀態(tài);粒度形狀為等積且刃鋒,保證了碳化硅微粉作為切割刃料的均衡性,從而保證被切割材料TTV的最小化;粒度分布集中并且均勻;有高熱震穩(wěn)定性和荷重軟化溫度,確保了在荷重切割時(shí)小線膨脹系數(shù),保證切割的穩(wěn)定,并且同切割機(jī)有很好的適配性;其微粉具備大比表面積和清潔外表,與聚乙二醇等切削液有很好的適配性。
      [0034]本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其它實(shí)施例的不同之處,各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分相互參見(jiàn)即可。
      [0035]盡管這里參照本發(fā)明的多個(gè)解釋性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述,但是,應(yīng)該理解,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出很多其他的修改和實(shí)施方式,這些修改和實(shí)施方式將落在本申請(qǐng)公開(kāi)的原則范圍和精神之內(nèi)。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種晶硅片切割刃料的制備方法,其特征在于它包括以下步驟: (1)選取碳化硅塊料,通過(guò)立軸沖擊式破碎機(jī)破碎并過(guò)篩,收集粒度<4.5mm的碳化硅粒度砂;其包括1#分級(jí)機(jī)和2#分級(jí)機(jī),物料研磨后的細(xì)粉隨風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的氣流被帶入1#分級(jí)機(jī)進(jìn)行分選,在1#分級(jí)輪的離心作用下粒度過(guò)粗的物料落回重磨,合格細(xì)粉則隨氣流進(jìn)入2#分級(jí)機(jī),在2#分級(jí)輪的離心作用下經(jīng)出粉管排出,即得到所需粒度,未經(jīng)排出的細(xì)粉隨氣流經(jīng)微粉旋風(fēng)收集器粉管排出; (2)在真空條件下,干法球磨分級(jí)采用干式球磨分級(jí)設(shè)備對(duì)上述碳化硅粒度砂進(jìn)行磨粉、分級(jí)得粒度為3?8um的碳化娃粉體; (3)在真空條件下,將所述碳化硅粉體加入水中,并在頻率為25?60KHz超聲波下震蕩處理15?19分鐘,然后通入沉淀裝置沉淀10分鐘,再將沉淀裝置上部渾濁水抽出; (4)在真空條件下,引入溢流分級(jí)裝置,向溢流缸引入向上流動(dòng)的水流,水流速度等于顆粒沉降速度時(shí),該顆粒滯留不動(dòng)。粒徑大于該顆粒的就下沉,粒徑小于該顆粒的就隨水流溢出。將料漿投入溢流缸,先用小流量沖出細(xì)粒,隨后略調(diào)大流量,并改動(dòng)溢流管位置,即可獲得一種規(guī)格微粉。當(dāng)溢流出來(lái)的料漿濃度很稀時(shí),再次調(diào)大流量并改換溢流管位置,又可獲得一種較粗規(guī)格的微粉。如此重復(fù)操作,可分出各個(gè)粒度的微粉,根據(jù)不同的粒度分級(jí)要求,調(diào)節(jié)料漿濃度,進(jìn)行溢流分級(jí);再根據(jù)不同粒徑分別通入酸洗裝置; (5)在真空條件下,酸洗裝置在攪拌的情況下同時(shí)加入鹽酸,攪拌反應(yīng)12小時(shí)后脫酸以去除金屬離子;然后再通入裝有濃硫酸的離心機(jī)中,所述濃硫酸與所述碳化硅粉體的質(zhì)量比為1:30,然后再攪拌反應(yīng)2小時(shí),以進(jìn)一步去除金屬離子,并脫去水分; (6)濃縮脫水采用刮刀離心機(jī)對(duì)分級(jí)后的料漿進(jìn)行濃縮脫水處理,使所得粉料的含水率 <6%; (7)烘干將濃縮脫水后的粉料送入隧道干燥窯進(jìn)行干燥,烘干溫度為75度,使其含水率<0.04% ; (8)混配將烘干后的同一粒度段的不同批次的粉料送入干混機(jī)干混2.1小時(shí); (9)精篩以超聲波振動(dòng)篩精篩上步所得粉料,去除結(jié)團(tuán)和大顆粒雜質(zhì)后即得晶硅片切割刃料,然后將所述晶硅片切割刃料按照質(zhì)量比是25:1與石英砂進(jìn)行混合; (10)將上述得到的產(chǎn)品裝于具有硅膠、活性碳和沸石的箱體內(nèi),所述硅膠、活性碳和沸石的比例為5:3:2。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶硅片切割刃料的制備方法,其特征在于所述碳化硅塊料采用綠碳化硅。
      【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種晶硅片切割刃料的制備方法,選取碳化硅塊料,通過(guò)立軸沖擊式破碎機(jī)破碎并過(guò)篩,收集粒度≤4.5mm的碳化硅粒度砂;其包括1#分級(jí)機(jī)和2#分級(jí)機(jī),物料研磨后的細(xì)粉隨風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的氣流被帶入1#分級(jí)機(jī)進(jìn)行分選,在1#分級(jí)輪的離心作用下粒度過(guò)粗的物料落回重磨,合格細(xì)粉則隨氣流進(jìn)入2#分級(jí)機(jī),在2#分級(jí)輪的離心作用下經(jīng)出粉管排出,即得到所需粒度,未經(jīng)排出的細(xì)粉隨氣流經(jīng)微粉旋風(fēng)收集器粉管排出。本發(fā)明易于操作,能夠提高碳化硅切割刃料粉體產(chǎn)品的成品率和質(zhì)量,以及提高生產(chǎn)效率、節(jié)約生產(chǎn)成本。
      【IPC分類(lèi)】C01B31/36, B28D5/04, B28D5/00
      【公開(kāi)號(hào)】CN105668570
      【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610023966
      【發(fā)明人】呂軍超
      【申請(qǐng)人】寶興易達(dá)光伏刃料有限公司
      【公開(kāi)日】2016年6月15日
      【申請(qǐng)日】2016年1月14日
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