劃線設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種劃線設(shè)備，包括：基板供給部件，其接收基板并且沿傳送路線傳送所述基板；基板傳送部件，其設(shè)置為與基板供給部件間隔開，接收從基板供給部件提供的基板，并且沿傳送路線連續(xù)地傳送基板，以便將基板定位在用于后續(xù)過程的區(qū)域中；基板傳送單元，其設(shè)置有用于夾緊基板的多個夾緊單元，并且沿傳送路線移動以傳送基板；以及第一傳送帶和第二傳送帶，其分別設(shè)置在基板供給部件和基板傳送部件中，其中，第一傳送帶和第二傳送帶容納用于夾緊基板的多個夾緊單元，以便將基板的底表面放置在第一傳送帶和第二傳送帶的上表面上。
【專利說明】
劃線設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種劃線設(shè)備，其用于減少夾緊并傳送基板的基板傳送單元和傳送帶之間的干擾，并且用于防止在傳送帶上傳送的基板的損壞。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，使用單元玻璃面板(下文稱為“單元基板”)來制造用作平板顯示器的LCD面板、有機電致發(fā)光面板、無機電致發(fā)光面板、透射式投影儀基板、反射式投影儀基板等，單元玻璃面板通過將例如玻璃等易碎的玻璃母板(下文稱為“基板”)切割成預(yù)定尺寸而獲得。
[0003]切割基板的過程包括劃線過程和裂片過程，所述劃線過程為通過由鉆石等制成的刀輪沿著形成在基板的表面上的預(yù)定切割線按壓并移動來形成刻線，而所述裂片過程為沿刻線切割基板以獲得單元基板。
[0004]通常，通過帶式劃線設(shè)備進行切割基板的過程。
[0005]—般的帶式劃線設(shè)備設(shè)置有用于各自的過程的單獨的帶。
[0006]例如，通過傳送單元將基板提供到帶中的任何一個，然后在傳送方向上傳送，將傳送的基板遞送到另一個帶以執(zhí)行劃線過程，然后將劃線的基板遞送到另一個帶以執(zhí)行裂片過程和拾取過程。
[0007]在這種情況下，可以在各自的帶之間進行例如劃線過程或裂片過程的過程，因此，所述帶不可避免地設(shè)置為在帶之間形成具有預(yù)定間距的分離空間。
[0008]在如上所述將帶設(shè)置為以預(yù)定間距彼此間隔開的情況下，存在的問題在于，當(dāng)劃線的基板或者裂片的單元基板經(jīng)過分離空間時，單元基板周圍的不工作部分通過帶之間的分離空間掉落，或者因帶之間的平坦度或高度的不同造成傳送的基板發(fā)生偏移。
[0009]此外，當(dāng)通過切割基板獲得單元基板，然后在帶上傳送時，經(jīng)常存在的問題在于，前面的單元基板和后面的單元基板通過彼此碰撞而損壞。
[0010]原因在于，在基板和帶之間存在預(yù)定的摩擦力，并且由于帶通常是由能夠延伸和能夠收縮的材料制成的，實際上操作帶的時間點和移動基板的時間點之間存在時間差。
[0011]為了解決上述問題，曾經(jīng)嘗試使前面的帶和到后面的帶同步，并且同時以相同的速度操作前面的帶和后面的帶，但是在將上述方法應(yīng)用于實際過程中的情況下，不能夠防止帶通過基板的重量延伸并收縮的問題，因此，上述問題仍然有待解決。
[0012]此外，為了保持多個單元過程的精確性，重要的是允許基板的整個底表面穩(wěn)定地放置在傳送帶的上表面上。
[0013]然而，在基板的一個端部被夾緊單元等夾緊的狀態(tài)下傳送基板的情況下，在將被加緊單元夾緊的基板的一個端部完全放置在傳送帶上之前，從加緊單元中釋放基板，因此，常常發(fā)生的問題在于，基板的整個底表面不能穩(wěn)定地放置在傳送帶的上表面上。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]本發(fā)明致力于提供一種劃線設(shè)備，其能夠減少夾緊并傳送基板的基板傳送單元和傳送帶之間的干擾。
[0015]本發(fā)明還致力于提供一種劃線設(shè)備，為了執(zhí)行后續(xù)過程，其能夠在基板的整個底表面穩(wěn)定地放置在后續(xù)基板傳送帶的上表面上的狀態(tài)下，遞送被夾緊單元等夾緊、然后在設(shè)置為與彼此間隔開的傳送帶之間傳送的基板。
[0016]本發(fā)明還致力于提供一種劃線設(shè)備，其用于當(dāng)由劃線過程或裂片過程將基板切割成單元基板、然后用帶傳送單元基板時，通過防止單元基板之間的碰撞減少缺陷率。
[0017]本發(fā)明的一個示例性實施方式提供了一種劃線設(shè)備，包括:基板供給部件，其接收基板并且沿傳送路線傳送基板；基板傳送部件，其設(shè)置為與基板供給部件間隔開，接收從基板供給部件提供的基板，并且沿傳送路線連續(xù)地傳送基板，以便將基板定位在用于后續(xù)過程的區(qū)域中；基板傳送單元，其設(shè)置有用于夾緊基板的多個夾緊單元，并且沿傳送路線移動以傳送基板；以及第一傳送帶和第二傳送帶，其分別設(shè)置在基板供給部件和基板傳送部件中，其中，第一傳送帶和第二傳送帶容納用于夾緊基板的多個夾緊單元，以便將基板的底表面放置在第一傳送帶和第二傳送帶的上表面上。
[0018]可以將基板在豎直方向或者水平方向上提供到基板供給部件的第一傳送帶。
[0019]第一傳送帶和第二傳送帶可以具有用于容納多個夾緊單元的容納部分，以便將基板的底表面放置在傳送帶的主體上。
[0020]容納部分可以具有用于容納多個夾緊單元的多個凹槽，并且容納部分以彼此間隔開預(yù)定間距的方式設(shè)置在傳送帶的主體中，以便將基板傳送單元連續(xù)地容納在容納部分中。
[0021]所述預(yù)定間距可以設(shè)定為與基板傳送部件的驅(qū)動距離成比例。
[0022]第一傳送帶和第二傳送帶可以是平帶。
[0023]劃線設(shè)備還可以包括:劃線單元，其以在與傳送方向正交的方向上切割基板的方式設(shè)置在基板供給部件和基板傳送部件之間；以及過程控制單元，其定位在第二傳送帶中的至少一個位置處，并且通過按壓或者釋放第二傳送帶，控制第二傳送帶的驅(qū)動速度，其中，通過劃線單元切割基板，生產(chǎn)放置在第一傳送帶上的第一單元基板和放置在第二傳送帶上的第二單元基板。
[0024]可以通過過程控制單元以異步方式控制第一傳送帶和第二傳送帶，以便連續(xù)地傳送第一單元基板和第二單元基板，從而在第一單元基板和第二單元基板彼此接觸的狀態(tài)下，定位在用于后續(xù)過程的區(qū)域中。
[0025]可以通過過程控制單元以異步方式控制第一傳送帶和第二傳送帶，以便連續(xù)地傳送第一單元基板和第二單元基板，從而在第一單元基板和第二單元基板彼此間隔開的狀態(tài)下，定位在用于后續(xù)過程的區(qū)域中。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式，能夠減少夾緊并傳送基板的基板傳送單元和傳送帶之間的干擾，由此，穩(wěn)定地傳送基板。
[0027]此外，為了執(zhí)行后續(xù)過程，根據(jù)本發(fā)明的劃線設(shè)備可以在將基板的整個底表面穩(wěn)定地放置在后續(xù)的傳送帶的上表面上的狀態(tài)下，遞送由夾緊單元等夾緊然后在設(shè)置為彼此間隔開的傳送帶之間傳送的基板。
[0028]此外，根據(jù)本發(fā)明的劃線設(shè)備可以通過防止當(dāng)通過劃線過程和裂片過程將基板切割成單元基板、然后用帶傳送單元基板時，單元基板之間的碰撞，防止單元基板不希望的損壞。
[0029]此外，根據(jù)本發(fā)明的劃線設(shè)備使用重量輥控制傳送帶的運動方向，并且當(dāng)傳送基板時，保持傳送帶的恒定的張力，以便能夠解決由帶的延伸和收縮造成的問題，并且能夠保持傳送帶的恒定張力。
[0030]此外，根據(jù)本發(fā)明的劃線設(shè)備可以通過使用重量輥，有效地防止在移動傳送帶時打滑。
【附圖說明】
[0031]圖1是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施方式的劃線設(shè)備的俯視圖。
[0032]圖2A和圖2B是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的第一傳送帶和第二傳送帶的立體圖。
[0033]圖3A至圖3C是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的傳送基板的過程的視圖。
[0034]圖4是示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的導(dǎo)引件的視圖。
[0035]圖5是示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的導(dǎo)引件的視圖。
[0036]圖6是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的傳送基板的過程的視圖。
[0037]圖7是示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的重量輥的視圖。
[0038]圖8和圖9是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的又一個示例性實施方式的傳送基板的過程的視圖。
[0039]圖1OA至圖1OD是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的傳送并切割基板的過程的視圖。
[0040]圖1lA至圖1lE是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的傳送并切割基板的過程的視圖。
【具體實施方式】
[0041]為了幫助容易地理解本發(fā)明，方便起見，這里定義了具體的術(shù)語。除非本文另有定義，本發(fā)明中使用的所有術(shù)語，包括技術(shù)或者科學(xué)術(shù)語，具有本領(lǐng)域技術(shù)人員通常理解的含義。此外，應(yīng)當(dāng)理解的是，除非上下文中另有明確規(guī)定，本文使用的單數(shù)表達包括其復(fù)數(shù)表達，并且復(fù)數(shù)表達也包括其單數(shù)表達。
[0042]包括例如“第一”、“第二”等的序數(shù)詞的術(shù)語可以用于描述各種組成元件，但是所述組成元件不局限于這些術(shù)語。這些術(shù)語僅用于區(qū)別一個組成元件和另一個組成元件。
[0043]下文將參考附圖更加詳細地描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的劃線設(shè)備的配置，以及使用所述劃線設(shè)備傳送并切割基板的過程原理。
[0044]圖1是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的一個示例性實施方式的劃線設(shè)備的俯視圖。
[0045]參考圖1，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的劃線設(shè)備主要包括:基板供應(yīng)部件100，其提供基板P并且沿傳送路線傳送基板P ;以及基板傳送部件200，其設(shè)置為與基板供應(yīng)部件100間隔開，從基板供應(yīng)部件100接收基板P，并且連續(xù)地沿傳送路線傳送基板P，從而將基板P放置在用于后續(xù)過程的區(qū)域中。
[0046]基板供應(yīng)部件100和基板傳送部件200分別設(shè)置有第一傳送帶110和第二傳送帶210，其能夠像履帶一樣旋轉(zhuǎn)。這里，第一傳送帶110和第二傳送帶210是水平的，并且以彼此平行的方式設(shè)置。
[0047]S卩，第一傳送帶110和第二傳送帶210之間沒有高度水平差。在第一傳送帶110和第二傳送帶210之間存在高度水平差的情況下，水平差作為對被傳送的基板P造成影響的因素，其可能在傳送基板的過程中產(chǎn)生缺陷。
[0048]此外，提供了一種基板傳送單元120，其移動從而沿傳送路線在基板供應(yīng)部件100和基板傳送部件200上傳送基板P。
[0049]通過承載單元等提供到基板供應(yīng)部件100的基板P被基板傳送單元120保持，然后以預(yù)定速度在傳送方向上傳送。在這種情況下，基板傳送單元120具有用于夾緊基板P的一個端部的多個夾緊單元121。
[0050]在被基板傳送單元120夾緊一個端部的狀態(tài)下，將基板P遞送到基板傳送部件200。為了后續(xù)過程的目的，再次在傳送方向上傳送通過基板傳送單元120遞送到基板傳送部件200的基板P。
[0051]圖2A和圖2B分別是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的設(shè)置在基板供應(yīng)部件100和基板傳送部件200中的第一傳送帶110和第二傳送帶210的立體圖。
[0052]參考圖2A和圖2B，分別以能夠像履帶一樣旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在基板供應(yīng)部件100和基板傳送部件200中的傳送帶110和210包括:容納部分130和290，其用于容納基板傳送單元120的多個夾緊單元121 ;以及導(dǎo)引輥140和240，其用于支撐傳送帶110和210的旋轉(zhuǎn)。
[0053]這里，導(dǎo)引輥可以至少設(shè)置為在各自的傳送帶110和210的兩個端部處，彼此在豎直方向上間隔開，并且可以在傳送帶110和210的左端部和右端部處支撐旋轉(zhuǎn)。
[0054]容納部分130和290具有多個凹槽131和291，其用于容納多個夾緊單元121，并且多個凹槽131和291設(shè)置為在傳送帶110和210的寬度方向上，以與夾緊單元121彼此間隔開的間距相同的間距彼此間隔開。為了防止傳送帶110和210以及基板傳送單元120之間的干擾，凹槽131和291可以至少具有比夾緊單元121更寬的寬度。
[0055]此外，容納部分130和290設(shè)置為以預(yù)定間距d在傳送帶110和210的長度方向上彼此間隔開，從而連續(xù)地容納基板傳送單元120。
[0056]這里，可以將間距d設(shè)定為與根據(jù)基板供應(yīng)部件100的旋轉(zhuǎn)的基板P的傳送速度、基板傳送單元120的傳送速度和驅(qū)動距離等成比例。
[0057]傳送帶110和210可以配置為平帶。
[0058]通常，使用在長度方向上延伸并且以平行方式設(shè)置的多個帶，但是在這種情況下，多個帶的平坦度(高度)需要保持為彼此相等。
[0059]如果多個帶設(shè)置在不同高度處，則在傳送基板時，基板不能穩(wěn)定地放置在帶上，這可能造成基板的安裝誤差，并且增加后續(xù)過程的不精確性。
[0060]因此，在本發(fā)明中，基板P放置在其上的帶配置為平帶，由此允許在各自的傳送帶上傳送的基板P的整個底表面放置在傳送帶上。
[0061]此外，構(gòu)成傳送帶110和210的平帶以能夠旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置為履帶的形式，并且在這種情況下，平帶的兩個端部通過粘合劑彼此接附，從而使平帶配置為履帶的形式。
[0062]然而，當(dāng)平帶的兩個端部彼此接附時，通過粘合劑形成的接附表面需要設(shè)置在平帶的下側(cè)處(即，在不與基板P接觸的區(qū)域中)。如果接附表面形成在基板P放置在其上的平帶的上表面上，則施加到基板P的摩擦力的量在接附表面形成在其中的區(qū)域和其中沒有形成接附表面的區(qū)域必然不同，因此，平帶的張力可以根據(jù)放置基板P的位置而不同。
[0063]在基板P的一個端部被基板傳送單元120保持的狀態(tài)下，將基板P從承載單元提供到基板供應(yīng)部件100，并且在這種情況下，基板傳送單元120可以在豎直或者水平方向上提供基板P。
[0064]即，當(dāng)容納部分130定位在基板供應(yīng)部件100的起點處時，基板傳送單元120可以以平行于基板供應(yīng)部件100的方式在傳送方向上移動，以便將多個夾緊單元121容納在設(shè)置在傳送帶110的容納部分130的多個凹槽131中。
[0065]在另一個改進的實施方式中，當(dāng)容納部分130定位在基板供應(yīng)部件100的起點處時，基板傳送單元120可以從基板供應(yīng)部件100的頂側(cè)豎直地移動，以便將多個夾緊單元121容納在設(shè)置在傳送帶110的容納部分130的多個凹槽131中。
[0066]通過這種方式，基板傳送單元120可以在豎直和水平方向上將基板P提供到基板供應(yīng)部件100，因此，可以將基板傳送單元120應(yīng)用于各種類型的裝置。此外，在一些情況下，基板傳送單元120配置為在垂直于基板供應(yīng)部件100的方向上提供基板P，由此減少設(shè)備的整體尺寸。
[0067]如上所述，基板傳送單元120允許多個夾緊單元121容納在設(shè)置在傳送帶110的容納部分130中的多個凹槽131中，因此，通過夾緊單元121夾緊的基板P的整個底表面可以穩(wěn)定地放置在傳送帶110上。
[0068]此外，由于將多個夾緊單元m容納在多個凹槽131中，所以能夠防止夾緊單元121和傳送帶110之間的干擾。
[0069]接下來，將通過第一傳送帶110的旋轉(zhuǎn)和基板傳送單元120的運動在傳送方向上移動的基板P遞送到基板傳送部件200。
[0070]在這種情況下，基板供應(yīng)部件100和基板傳送部件200可以具有相同的高度，即，第一傳送帶100和第二傳送帶210具有相同的高度。
[0071]由于兩個傳送帶110和210形成在相同高度處，所以不用擔(dān)心由兩個傳送帶110和210之間的水平差造成的沖擊施加到從基板供應(yīng)部件100遞送到基板傳送部件200的基板，由此防止改變基板P的對準狀態(tài)的問題。
[0072]基板傳送單元120以當(dāng)多個凹槽131通過基板供應(yīng)部件100的旋轉(zhuǎn)，定位在基板供應(yīng)部件100的重點處時，基板傳送單元120的多個夾緊單元121可以從多個凹槽131中移動出來的方式移動，并且當(dāng)多個凹槽291定位在基板傳送部件200的起點處時，多個夾緊單元121可以容納在多個凹槽291中，由此將基板P遞送到基板傳送部件200。
[0073]接下來，在多個夾緊單元121容納在多個凹槽291中的狀態(tài)下，基板傳送單元120釋放基板P，因此，將基板P的整個底表面放置在基板傳送部件200之上的第二傳送帶210上。
[0074]在這種情況下，在基板P被基板傳送單元120夾緊的狀態(tài)下遞送到基板傳送部件200的基板P與地面間隔開的距離被持續(xù)的保持，由此防止如下問題:由水平差造成的沖擊被施加到基板P，或者在將基板P遞送到基板傳送部件200的過程中改變基板P的對準狀
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[0075]可以以異步方式控制第一傳送帶110和第二傳送帶210旋轉(zhuǎn)的時間點或者第一傳送帶110和第二傳送帶的旋轉(zhuǎn)速度，但是遠離基板供給部件100移動的基板傳送單元120到達基板傳送部件200的起點的時間可以與多個凹槽291定位在基板傳送部件200的起點處的時間同步。
[0076]因此，能夠顯著地減少將基板P從基板供給部件100遞送到基板傳送部件200的過程所需的總時間，并且即使縮短了過程時間，也能夠進一步將傳送基板P的過程的穩(wěn)定性保持在高水平。
[0077]接下來，將參考圖3Α至圖3C描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的傳送基板的過程。
[0078]首先，能夠劃線或切割通過第一傳送帶110傳送的基板P的劃線單元150設(shè)置在基板傳送部件200的前端部處。
[0079]劃線單元150設(shè)置有用于在基板P上形成刻線的刀輪，并且刀輪在基板P的傳送方向(通常，Y軸方向)上、并且在與傳送方向相交的方向(通常，X軸方向)上，在基板P上形成刻線。在這種情況下，也可以在與形成刻線的過程中的相同位置處進行將基板P切割成單元基板的過程。
[0080]此外，進行后續(xù)過程的區(qū)域可以設(shè)置在基板傳送部件200的上方。此外，用于執(zhí)行相應(yīng)的后續(xù)過程的單元可以設(shè)置在進行后續(xù)過程的區(qū)域中。
[0081]例如，后續(xù)過程包括裂片過程和拾取過程，所述裂片過程將具有形成在其上的刻線的基板裂片成單元基板，而所述拾取過程拾取各單元基板。這里，可以順序地進行裂片過程和拾取過程，并且在這種情況下，裂片單元250可以在基板傳送部件200的上方設(shè)置在劃線單元150的后面，并且拾取單元260可以設(shè)置在裂片單元250的后面。
[0082]參考圖3Α，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的劃線設(shè)備還包括過程控制單元300。
[0083]過程控制單元300配置為通過在第二傳送帶210的一個或多個位置處按壓或者釋放第二傳送帶210，來控制第二傳送帶210的運動。
[0084]過程控制單元300主要包括第一重量輥310、第二重量輥320、驅(qū)動輥330和帶夾340。
[0085]第一重量輥310設(shè)置在第二傳送帶210的上側(cè)處，并且配置為通過用第一壓力按壓第二傳送帶210來控制第二傳送帶210的運動方向，同時通過其自身重量向下移動或者釋放第二傳送帶210。
[0086]第一重量輥310可以設(shè)置在第二傳送帶210的前端部和進行后續(xù)過程的區(qū)域之間，并且在這種情況下，第一重量輥310設(shè)置為能夠在與第二傳送帶210的上表面正交的豎直軸方向上上下移動。
[0087]可以通過導(dǎo)引件引導(dǎo)第一重量輥310的上下運動，并且將在下面描述引導(dǎo)件的配置。
[0088]第二重量輥320以能夠沿與第二傳送帶210平行的水平軸移動的方式，設(shè)置在第二傳送帶210的前端部和進行后續(xù)過程的區(qū)域的后端部之間。
[0089]具體地，第二重量輥320設(shè)置在第二傳送帶210中，并且配置為能夠沿水平軸移動。因此，能夠通過減少第二傳送帶210的豎直尺寸，減少設(shè)備的總體尺寸。
[0090]第二重量輥320可以通過用第二壓力按壓第二傳送帶210，控制第二傳送帶210的運動方向，同時沿水平軸移動。通過第二重量輥320施加到第二傳送帶210的第二壓力可以高于通過第一重量輥310施加的第一壓力。在這種情況下，第二重量輥320可以配置為通過外部驅(qū)動力強制地移動。
[0091]此外，用于產(chǎn)生外部驅(qū)動力的裝置可以通過這樣的裝置實現(xiàn)，其為具有設(shè)置有能夠沿水平軸伸縮并且產(chǎn)生直線驅(qū)動力的軸510的氣缸500的裝置，或者為具有彈性彈簧并且產(chǎn)生彈力的裝置。
[0092]例如，在使用氣缸500作為用于產(chǎn)生外部驅(qū)動力的裝置的情況下，第二重量輥320以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝在能夠伸縮的軸510的一個端部處。
[0093]驅(qū)動輥330設(shè)置在第二傳送帶210的前端部和第二重量輥320之間，并且強制地轉(zhuǎn)動或者驅(qū)動第二傳送帶210。
[0094]帶夾340是安裝在基于傳送方向的第一重量輥310的前面和/或后面的裝置，并且在夾緊位置處夾緊第二傳送帶210，以便在相應(yīng)的夾緊位置處限制第二傳送帶的運動。
[0095]帶夾340包括第一帶夾341和第二帶夾342，其分別設(shè)置在基于傳送方向的第一重量輥310的前面和后面，并且第一帶夾341和第二帶夾342可以設(shè)置為能夠上下移動。
[0096]雖然未在附圖中示出，帶夾340是這樣一種裝置，其強制地停止或者允許第二傳送帶210運動，同時通過升降裝置上下移動，以便在相應(yīng)的夾緊位置處夾緊或釋放第二傳送帶210。
[0097]接下來，參考圖3B和圖3C，通過驅(qū)動輥330的操作，第二傳送帶210像履帶一樣旋轉(zhuǎn)。
[0098]可以在第二傳送帶210的前端部處通過劃線單元150給基板P劃線，并且在傳送方向上移動基板P。
[0099]在這種狀態(tài)下，第一重量輥310沒有處于按壓第二傳送帶210的狀態(tài)，第二帶夾342處于釋放第二傳送帶210的狀態(tài)，并且第一重量輥310處于向上移動的狀態(tài)。S卩，第一重量輥310沒有用第一壓力按壓第二傳送帶210。
[0100]與此同時，第二重量輥320以能夠旋轉(zhuǎn)的方式安裝在軸510的一個端部處，并且當(dāng)氣缸500的軸510收縮時，直接在水平軸上移動。
[0101]因此，第二重量輥320被移動而處于用第二壓力按壓第二傳送帶210的狀態(tài)。SP，在第二重量輥320設(shè)置在第二傳送帶210中的狀態(tài)下，為了用第二壓力按壓第二傳送帶210，第二重量輥320用于拉動第二傳送帶210預(yù)定長度。
[0102]這里，通過由外部驅(qū)動力操作的第二重量輥320施加到第二傳送帶210的第二壓力大于第一壓力，由此保持第二傳送帶210的恒定張力。
[0103]在如上所述保持用于傳送基板P的第二傳送帶210的恒定張力的情況下，第二傳送帶開始旋轉(zhuǎn)的時間點可以與傳送放置在第二傳送帶210上的基板P的時間點一致，由此防止當(dāng)將多個單元基板一個接一個地放置在第二傳送帶210上時，多個單元基板彼此碰撞。
[0104]在上述示例性實施方式中，可以通過導(dǎo)引件400引導(dǎo)第一重量輥310的直接向上和向下運動。
[0105]參考圖4，其示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的導(dǎo)引件，導(dǎo)引件400是引導(dǎo)第一重量輥310沿豎直軸的上下運動的裝置。
[0106]這里，第一重量輥310設(shè)置有中空的第一重量輥主體311和第一旋轉(zhuǎn)軸312，所述第一旋轉(zhuǎn)軸312以能夠旋轉(zhuǎn)的方式插入并安裝到第一重量輥主體311的中空部分中，并且其兩個端部從第一重量輥主體311的兩個端部突出。
[0107]導(dǎo)引件400設(shè)置有定位在第一重量輥主體311的兩個端部側(cè)處的一對導(dǎo)引主體410，并且導(dǎo)引主體410設(shè)置在基板傳送部件200上。
[0108]具有預(yù)定長度的導(dǎo)引孔420在豎直方向上形成在導(dǎo)引主體410中，并且在第一旋轉(zhuǎn)軸312的兩個端部插入到導(dǎo)引孔420中的狀態(tài)下，導(dǎo)引孔420引導(dǎo)第一重量輥310沿豎直軸的上下運動。
[0109]此外，雖然沒有單獨示出，用于引導(dǎo)第二重量輥320沿水平軸運動的導(dǎo)引件也可以具有相似的配置。
[0110]參考圖5，其示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的導(dǎo)引件，可以應(yīng)用具有安裝在第一旋轉(zhuǎn)軸312的兩個端部處的一對小齒輪430的引導(dǎo)件400’。以齒輪連接方式連接到一對小齒輪430的一對齒條440安裝在導(dǎo)引主體410上。
[0111]因此，由于小齒輪430以齒輪連接方式連接有齒條440，所以當(dāng)?shù)谝恢亓枯?10上下移動時，能夠防止第一旋轉(zhuǎn)軸312的兩個端部變形。
[0112]圖6是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的傳送基板的過程的視圖。
[0113]在圖6中示出的示例性實施方式中，第一重量輥310和第二重量輥320兩者都可以通過外部驅(qū)動力移動。
[0114]在第一重量輥310和第二重量輥320兩者都通過氣缸550和500的軸551和510的伸縮強制移動的情況下，第一重量輥310和第二重量輥320配置為獨立地運動，以便在第二傳送帶210的相應(yīng)的位置處分別施加第一壓力和第二壓力。
[0115]這里，沿豎直軸上下移動第一重量輥310的氣缸550可以設(shè)置在第二傳送帶210的上方或者在第二傳送帶210中。
[0116]參考圖7，氣缸550的軸551連接到第一重量輥310的旋轉(zhuǎn)軸的兩個端部，以便上下移動第一重量輥310，因此，在氣缸550的軸551和第二傳送帶210之間不會發(fā)生干擾。
[0117]在這種情況下，可以施加彼此不同的第一壓力和第二壓力，并且通過對其施加相對低的壓力的重量輥，可以保持第二傳送帶210的張力的恒定水平。
[0118]圖8是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的又一個示例性實施方式的傳送基板的過程的視圖。
[0119]參考圖8，第一重量輥310設(shè)置在第二傳送帶210中，S卩，第一重量輥310在上游側(cè)處設(shè)置在第二傳送帶210的下側(cè)處，并且配置為能夠沿豎直軸上下移動。
[0120]第一重量輥310以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接到氣缸600的軸610的一個端部，并且當(dāng)氣缸600伸縮軸610時，第一重量輥310可以沿豎直軸上下移動，從而第一重量輥310用第一壓力按壓第二傳送帶210。
[0121]在圖8中示出的狀態(tài)下，第一重量輥310沒有處于按壓第二傳送帶210的狀態(tài)，并且第一帶夾341和第二帶夾342處于釋放第二傳送帶210的狀態(tài)。
[0122]因此，可以通過由驅(qū)動輥330的操作移動的第二傳送帶，將基板P傳送到進行后續(xù)過程的區(qū)域。
[0123]與此同時，參考圖9，其示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的又一個示例性實施方式的傳送基板的過程，通過由單獨的氣缸700產(chǎn)生的外部驅(qū)動力，第二重量輥320可以沿豎直軸上下移動，因此，能夠?qū)⒌诙毫κ┘拥降诙魉蛶?10。軸710從氣缸700中延伸并收縮到氣缸700，并且第二重量輥320連接到軸710的一個端部。
[0124]接下來，將描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的傳送并切割基板的過程，當(dāng)由劃線過程和裂片過程將基板切割成單元基板，然后通過傳送帶傳送單元基板時，通過防止各單元基板彼此碰撞，用來防止單元基板產(chǎn)生不希望有的損害。
[0125]首先，旋轉(zhuǎn)第一傳送帶110和第二傳送帶210，以便在傳送方向上傳送放置在其上的基板P，所述第一傳送帶110和第二傳送帶210設(shè)置在構(gòu)成根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的劃線設(shè)備的基板供應(yīng)部件100和基板傳送部件200中。
[0126]在這種情況下，以異步方式控制第一傳送帶110的旋轉(zhuǎn)和第二傳送帶210的旋轉(zhuǎn)。
[0127]這里，異步控制可以表示第一傳送帶110的旋轉(zhuǎn)和第二傳送帶210的旋轉(zhuǎn)不是同時開始的，即，第一傳送帶開始旋轉(zhuǎn)的時間點和第二傳送帶210開始旋轉(zhuǎn)的時間點彼此不同。此外，異步控制還可以表示第一傳送帶110的旋轉(zhuǎn)速度和第二傳送帶210的旋轉(zhuǎn)速度彼此不同。
[0128]可以通過過程控制單元330控制第一傳送帶110和第二傳送帶210開始旋轉(zhuǎn)的時間點或者第一傳送帶110和第二傳送帶210的旋轉(zhuǎn)速度，所述過程控制單元300設(shè)置在基板供應(yīng)部件100和基板傳送部件200中的每一個中，或者整體地設(shè)置在基板供給部件100和基板傳送部件200中。作為過程控制單元300，可以應(yīng)用上述各種示例性實施方式中的任何一個。
[0129]圖1OA至圖1OD是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的傳送并切割基板的過程的視圖。
[0130]參考圖10A，提供到基板供給部件100的基板P放置在其上的第一傳送帶110像履帶一樣旋轉(zhuǎn)。
[0131]參考圖10B，通過第一傳送帶110的旋轉(zhuǎn)在一個方向上傳送基板P，然后同時放置在第一傳送帶110和第二傳送帶210兩個上。
[0132]這里，第一傳送帶110和第二傳送帶210彼此間隔開的間距限定劃線單元150與基板接觸的空間，并且劃線單元150在于基板P的傳送方向正交的方向上切割基板P的上表面和/或下表面。
[0133]因此，生產(chǎn)放置在第一傳送帶110上的第一單元基板Pl和放置在第二傳送帶210上的第二單元基板P2。
[0134]參考圖10C，在完成了使用劃線單元150切割基板P之后，同時通過第一傳送帶110的履帶旋轉(zhuǎn)①傳送第一單元基板Pl和第二單元基板P2，以便在第一單元基板Pl和第二單元基板P2彼此接觸的狀態(tài)下，放置在基板傳送部件200的第二傳送帶210上。
[0135]在這種情況下，以異步方式控制第一傳送帶110和第二傳送帶210，以便第一傳送帶I1像履帶一樣旋轉(zhuǎn)，但是第二傳送帶210保持在停止狀態(tài)。
[0136]此外，可以以同步方式或者以異步方式控制基板傳送單元120和第一傳送帶110。例如，第一傳送帶110可以首先開始像履帶一樣旋轉(zhuǎn)，然后可以移動基板傳送單元120。
[0137]由于第一傳送帶110的履帶旋轉(zhuǎn)和基板傳送單元120的運動，在第一單元基板Pl和第二單元基板P2彼此接觸的狀態(tài)下，將第一單元基板Pl和第二單元基板P2兩個都放置在基板傳送部件200的第二傳送帶210上。
[0138]在這種情況下，如上所述，移動基板傳送單元120，以便當(dāng)多個凹槽131定位在基板供給部件100的終點處時，基板傳送單元120的多個夾緊單元121可以從多個凹槽131中移動出來，并且當(dāng)多個凹槽291定位在基板傳送部件200的起點處時，將多個夾緊單元121容納在多個凹槽291中，由此將第一單元基板Pl和第二單元基板P2遞送到基板傳送部件200。
[0139]接下來，參考圖10D，在第一單元基板Pl和第二單元基板P2彼此接觸的狀態(tài)下，通過第二傳送帶210的履帶旋轉(zhuǎn)②，在傳送方向上傳送第一單元基板Pl和第二單元基板P2，以便經(jīng)歷后續(xù)過程。
[0140]圖1OA至圖1OD中示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的傳送并切割基板的過程，其特征在于，考慮到由于第一和第二傳送帶110和210與放置在第一和第二傳送帶110和210上的基板P之間的摩擦力，具體地，由于第二傳送帶210和放置在第二傳送帶210上的第二單元基板P2之間的摩擦力，產(chǎn)生了操作第二傳送帶210的時間點與實際上移動放置在第二傳送帶210上的第二單元基板P2的時間點之間的時間差，為了防止因第二傳送帶210的伸展和收縮造成的第一單元基板Pl和第二單元基板P2反復(fù)地彼此碰撞并彼此分離，以異步方式控制第一傳送帶110的旋轉(zhuǎn)和第二傳送帶210的旋轉(zhuǎn)。
[0141]S卩，在將同時放置在第一傳送帶110和第二傳送帶210上的基板P切割成第一單元基板Pl和第二單元基板P2的狀態(tài)下，在第二傳送帶210的旋轉(zhuǎn)之前，旋轉(zhuǎn)第一傳送帶110，從而可以在第一單元基板Pl和第二單元基板P2在第二傳送帶210上彼此接觸的狀態(tài)下，傳送第一單元基板Pl和第二單元基板P2兩者。
[0142]圖1lA至圖1lE是示意性示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的傳送并切割基板的過程的視圖。
[0143]參考圖11A，將提供到基板供給部件100的基板P放置在其上的第一傳送帶110像履帶一樣旋轉(zhuǎn)。
[0144]參考圖11B，通過第一傳送帶110的旋轉(zhuǎn)在一個方向上傳送基板P，然后同時放置在第一傳送帶110和第二傳送帶210兩個上。
[0145]這里，第一傳送帶110和第二傳送帶210彼此間隔開的間距限定劃線單元150與基板接觸的空間，并且劃線單元150在于基板P的傳送方向正交的方向上切割基板P的上表面和/或下表面。
[0146]因此，生產(chǎn)放置在第一傳送帶110上的第一單元基板Pl和放置在第二傳送帶210上的第二單元基板P2。
[0147]參考圖11C，在完成了使用劃線單元150切割基板P之后，第一傳送帶110停止的狀態(tài)下，通過第二傳送帶210的履帶旋轉(zhuǎn)②，第一單元基板Pl和第二單元基板P2彼此分開，并且僅將第二單元基板P2放置并傳送到第二傳送帶210上。
[0148]在這種情況下，以異步方式控制第一傳送帶110和第二傳送帶210，以便第二傳送帶210像履帶一樣旋轉(zhuǎn)，但是第一傳送帶110保持為停止狀態(tài)。同樣地，也以異步方式控制基板傳送單元120和第二傳送帶210，以便基板傳送單元120像第一傳送帶110—樣保持為停止狀態(tài)。
[0149]在沒有移動基板傳送單元120的情況下，第二單元基板P2可以與第一單元基板Pl分離，然后在將第二單元基板P2放置在基板傳送部件200的第二傳送帶210上的狀態(tài)下，通過第二傳送帶210的履帶旋轉(zhuǎn)在傳送方向上傳送。
[0150]接下來，參考圖11D，第一單元基板Pl和第二單元基板P2可以通過第一傳送帶110的旋轉(zhuǎn)①和第二傳送帶210的旋轉(zhuǎn)②，在傳送方向上傳送，并且在這種情況下，可以將第一單元基板Pl放置在第二傳送帶210上。在第一單元基板Pl的一個端部被基板傳送單元120保持的狀態(tài)下，將第一單元基板Pl放置在第二傳送帶210上的過程與上述過程相同。
[0151]這里，第一傳送帶110和第二傳送帶210在相同的時間點并以相同的速度旋轉(zhuǎn)，因此，可以在第一單元基板Pl和第二單元基板P2彼此間隔開預(yù)定間距的狀態(tài)下，將第一單元基板Pl和第二單元基板P2放置在第二傳送帶210上。
[0152]接下來，參考圖11E，在第一單元基板Pl和第二單元基板P2彼此間隔開的狀態(tài)下，通過第二傳送帶210的旋轉(zhuǎn)②在傳送方向上傳送第一單元基板Pl和第二單元基板P2兩個。
[0153]圖1lA至圖1lE中示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個示例性實施方式的傳送并切割基板的過程，其特征在于，考慮到產(chǎn)生了操作第二傳送帶210的時間點和實際上移動放置在第二傳送帶210上的第二單元基板P2的時間點之間的時間差，在第一單元基板Pl和第二單元基板P2彼此間隔開的狀態(tài)下，通過以異步方式控制第一傳送帶110的旋轉(zhuǎn)和第二傳送帶210的旋轉(zhuǎn)，傳送第一單元基板Pl和第二單元基板P2。
[0154]S卩，在將同時放置在第一傳送帶110和第二傳送帶210上的基板P切割成第一單元基板Pl和第二單元基板P2的狀態(tài)下，在旋轉(zhuǎn)第一傳送帶110之前，旋轉(zhuǎn)第二傳送帶，以便可以在第一單元基板Pl和第二單元基板P2在第二傳送帶210上彼此間隔開的狀態(tài)下，傳送第一單元基板Pl和第二單元基板P2兩者。
[0155]根據(jù)本發(fā)明的上述各種示例性實施方式，當(dāng)通過劃線過程或者裂片過程將基板切割成單元基板，然后通過傳送帶傳送時，能夠保持各單元基板彼此接觸或彼此間隔開的狀態(tài)，由此防止因各單元基板之間的碰撞造成缺陷的產(chǎn)生。
[0156]雖然已經(jīng)在上面描述了本發(fā)明的示例性實施方式，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不背離權(quán)利要求中公開的本發(fā)明的主旨的情況下，通過增加、改變、刪除或修改組成元件，對本發(fā)明做出各種修改和改變，并且所述修改和改變也屬于本發(fā)明的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種劃線設(shè)備，包括: 基板供給部件，其接收基板并且沿傳送路線傳送所述基板； 基板傳送部件，其設(shè)置為與基板供給部件間隔開，接收從基板供給部件提供的基板，并且沿傳送路線連續(xù)地傳送基板，以便將基板定位在用于后續(xù)過程的區(qū)域中； 基板傳送單元，其設(shè)置有用于夾緊基板的多個夾緊單元，并且沿傳送路線移動以傳送基板；以及 第一傳送帶和第二傳送帶，其分別設(shè)置在基板供給部件和基板傳送部件中， 其中，第一傳送帶和第二傳送帶容納用于夾緊基板的多個夾緊單元，以便將基板的底表面放置在第一傳送帶和第二傳送帶的上表面上。2.如權(quán)利要求1所述的劃線設(shè)備，其中，將基板在豎直方向或者水平方向上提供到基板供給部件的第一傳送帶。3.如權(quán)利要求1所述的劃線設(shè)備，其中，第一傳送帶和第二傳送帶具有用于容納多個夾緊單元的容納部分，以便將基板的底表面放置在傳送帶的主體上。4.如權(quán)利要求3所述的劃線設(shè)備，其中，所述容納部分具有用于容納多個夾緊單元的多個凹槽，并且所述容納部分以彼此間隔開預(yù)定間距的方式設(shè)置在傳送帶的主體中，以便將基板傳送單元連續(xù)地容納在容納部分中。5.如權(quán)利要求4所述的劃線設(shè)備，其中，所述預(yù)定間距設(shè)定為與基板傳送部件的驅(qū)動距離成比例。6.如權(quán)利要求1所述的劃線設(shè)備，其中，所述第一傳送帶和所述第二傳送帶是平帶。7.如權(quán)利要求1所述的劃線設(shè)備，還包括: 劃線單元，其以在與傳送方向正交的方向上切割基板的方式，設(shè)置在基板供給部件和基板傳送部件之間；以及 過程控制單元，其定位在第二傳送帶中的至少一個位置處，并且通過按壓或者釋放第二傳送帶，控制第二傳送帶的驅(qū)動速度， 其中，通過劃線單元切割基板，以生產(chǎn)放置在第一傳送帶上的第一單元基板和放置在第二傳送帶上的第二單元基板。8.如權(quán)利要求7所述的劃線設(shè)備，其中，通過過程控制單元以異步方式控制第一傳送帶和第二傳送帶，以便連續(xù)地傳送第一單元基板和第二單元基板，從而在第一單元基板和第二單元基板彼此接觸的狀態(tài)下，定位在用于后續(xù)過程的區(qū)域中。9.如權(quán)利要求7所述的劃線設(shè)備，其中，通過過程控制單元以異步方式控制第一傳送帶和第二傳送帶，以便連續(xù)地傳送第一單元基板和第二單元基板，從而在第一單元基板和第二單元基板彼此間隔開的狀態(tài)下，定位在用于后續(xù)過程的區(qū)域中。
【文檔編號】C03B33/10GK105985012SQ201510711456
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2015年10月28日
【發(fā)明人】崔漢鉉, 麴今鎬, 李峻碩, 鄭下震, 崔鍾喆
【申請人】塔工程有限公司