一種新型蝕刻機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及玻璃減薄設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種新型蝕刻機。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，液晶屏玻璃基板減薄通常采用化學(xué)蝕刻的方式實現(xiàn)，現(xiàn)有的蝕刻機采用雙蝕刻槽的設(shè)計，這樣的設(shè)計初衷是希望形成雙循環(huán)蝕刻的目的，而在實際生產(chǎn)過程中由于工藝需求需要重復(fù)蝕刻的情況就不好通過機械手進行調(diào)配，不能完成工藝需求。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的就是針對目前，液晶屏玻璃基板減薄通常采用化學(xué)蝕刻的方式實現(xiàn)，現(xiàn)有的蝕刻機采用雙蝕刻槽的設(shè)計，這樣的設(shè)計初衷是希望形成雙循環(huán)蝕刻的目的，而在實際生產(chǎn)過程中由于工藝需求需要重復(fù)蝕刻的情況就不好通過機械手進行調(diào)配，不能完成工藝需求之不足，而提供一種新型蝕刻機。
[0004]本實用新型包括機架、一號蝕刻槽、二號鼓泡初洗槽、三號鼓泡漂洗槽、四號鼓泡精洗槽、加熱器、水冷盤管、三個鼓泡器、龍門式機械手、溫度傳感器和PLC控制器,一號蝕刻槽、二號鼓泡初洗槽、三號鼓泡漂洗槽和四號鼓泡精洗槽依次排列，且分別通過支架安裝在機架上，且一號蝕刻槽上分別設(shè)有進酸管、進水管和排水管，二號鼓泡初洗槽、三號鼓泡漂洗槽和四號鼓泡精洗槽上分別設(shè)有進水管和排水管，加熱器和水冷盤管分別安裝在一號蝕刻槽內(nèi)部，三個鼓泡器分別安裝在二號鼓泡初洗槽、三號鼓泡漂洗槽和四號鼓泡精洗槽底部，且三個鼓泡器的出氣管位于槽內(nèi)部，龍門式機械手通過支架安裝在機架上，且龍門式機械手的機械臂可通過軌道在四個槽上方移動，溫度傳感器的探頭位于一號蝕刻槽內(nèi)部，且溫度傳感器通過模擬量輸入模塊與PLC控制器通訊連接，PLC控制器分別通過電磁閥控制進酸管、進水管、排水管和水冷盤管的通斷，且PLC控制器分別控制加熱器和三個鼓泡器的啟停和工作時間。
[0005]本實用新型優(yōu)點是:將原有的雙蝕刻槽設(shè)計改為單蝕刻，使得循環(huán)更加清晰，能滿足復(fù)雜蝕刻工藝需求，且單循環(huán)蝕刻運行更加穩(wěn)定。
[0006]
【附圖說明】
[0007]圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0008]如圖1所不,本實用新型包括機架1、一號蝕刻槽2、二號鼓泡初洗槽3、三號鼓泡漂洗槽4、四號鼓泡精洗槽5、加熱器6、水冷盤管7、三個鼓泡器8、龍門式機械手9、溫度傳感器10和PLC控制器11, 一號蝕刻槽2、二號鼓泡初洗槽3、三號鼓泡漂洗槽4和四號鼓泡精洗槽5依次排列，且分別通過支架安裝在機架上，且一號蝕刻槽2上分別設(shè)有進酸管、進水管和排水管，二號鼓泡初洗槽3、三號鼓泡漂洗槽4和四號鼓泡精洗槽5上分別設(shè)有進水管和排水管，加熱器6和水冷盤管7分別安裝在一號蝕刻槽2內(nèi)部，三個鼓泡器8分別安裝在二號鼓泡初洗槽3、三號鼓泡漂洗槽4和四號鼓泡精洗槽5底部,且三個鼓泡器8的出氣管位于槽內(nèi)部，龍門式機械手9通過支架安裝在機架I上，且龍門式機械手9的機械臂可通過軌道在四個槽上方移動，溫度傳感器10的探頭位于一號蝕刻槽2內(nèi)部,且溫度傳感器10通過模擬量輸入模塊與PLC控制器11通訊連接，PLC控制器11分別通過電磁閥控制進酸管、進水管、排水管和水冷盤管7的通斷，且PLC控制器11分別控制加熱器6和三個鼓泡器8的啟停和工作時間。
[0009]工作原理:一號蝕刻槽2內(nèi)加氫氟酸溶液，PLC控制器11通過加熱器6和水冷盤管7控制氫氟酸溶液的溫度符合工藝要求，玻璃基板在一號蝕刻槽2內(nèi)蝕刻完成后，PLC控制器11控制龍門式機械手9將玻璃基板移動到二號鼓泡初洗槽3中初洗，初洗完成后，PLC控制器11控制龍門式機械手9將玻璃基板移動到三號鼓泡漂洗槽4中進行漂洗，同時PLC控制器11控制龍門式機械手9往一號蝕刻槽2內(nèi)加裝玻璃基板，漂洗完成后，PLC控制器11控制龍門式機械手9將玻璃基板移動到四號鼓泡精洗槽5中精細，即完成了玻璃基板的減薄蝕刻操作。
【主權(quán)項】
1.一種新型蝕刻機，其特征在于它包括機架(I)、一號蝕刻槽(2)、二號鼓泡初洗槽(3)、三號鼓泡漂洗槽(4)、四號鼓泡精洗槽(5)、加熱器(6)、水冷盤管(7)、三個鼓泡器(8、龍門式機械手(9)、溫度傳感器(10)和PLC控制器(11), 一號蝕刻槽(2)、二號鼓泡初洗槽(3)、三號鼓泡漂洗槽(4)和四號鼓泡精洗槽(5)依次排列，且分別通過支架安裝在機架上，且一號蝕刻槽(2)上分別設(shè)有進酸管、進水管和排水管，二號鼓泡初洗槽(3)、三號鼓泡漂洗槽(4)和四號鼓泡精洗槽(5)上分別設(shè)有進水管和排水管，加熱器(6)和水冷盤管(7)分別安裝在一號蝕刻槽(2)內(nèi)部，三個鼓泡器(8)分別安裝在二號鼓泡初洗槽(3)、三號鼓泡漂洗槽(4)和四號鼓泡精洗槽(5)底部，且三個鼓泡器(8)的出氣管位于槽內(nèi)部，龍門式機械手(9)通過支架安裝在機架(I)上，且龍門式機械手(9)的機械臂可通過軌道在四個槽上方移動，溫度傳感器(10)的探頭位于一號蝕刻槽(2)內(nèi)部，且溫度傳感器(10)通過模擬量輸入模塊與PLC控制器(11)通訊連接，PLC控制器(11)分別通過電磁閥控制進酸管、進水管、排水管和水冷盤管(7)的通斷，且PLC控制器(11)分別控制加熱器(6)和三個鼓泡器(8)的啟停和工作時間。
【專利摘要】一種新型蝕刻機，其特征在于它包括機架（1）、一號蝕刻槽（2）、二號鼓泡初洗槽（3）、三號鼓泡漂洗槽（4）、四號鼓泡精洗槽（5）、加熱器（6）、水冷盤管（7）、三個鼓泡器（8、龍門式機械手(9)、溫度傳感器(10)和PLC控制器(11) 。優(yōu)點是：將原有的雙蝕刻槽設(shè)計改為單蝕刻，使得循環(huán)更加清晰，能滿足復(fù)雜蝕刻工藝需求，且單循環(huán)蝕刻運行更加穩(wěn)定。
【IPC分類】C03C15-00
【公開號】CN204400829
【申請?zhí)枴緾N201520038539
【發(fā)明人】張秀喜, 戴鳳輝, 張治國
【申請人】湖北鴻創(chuàng)科技有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請日】2015年1月21日