一種卷狀生長石墨烯承載裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及石墨烯制備裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種卷狀生長石墨烯承載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化中，石墨烯生長多采用半導體產(chǎn)業(yè)的爐管設備，硅片有一定硬度，但銅箔片因厚度薄導致柔軟無硬度，半導體產(chǎn)業(yè)爐管設備的承載載具無法承載，而且高溫下，銅箔片會軟化容易導致銅箔片與片的粘連。
[0003]半導體產(chǎn)業(yè)爐管的載具都是采用托舉方式設計，依賴于硅片自身的硬度和厚度，娃片厚度為2mm到6_，整個娃片質(zhì)地堅硬，不能卷曲。石墨稀生長用的銅箔片大部分是以卷狀形態(tài)存在，爐管載具無法支撐住銅箔片。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種能有效防止銅箔生長基底粘連的狀生長石墨烯承載裝置。
[0005]本實用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:一種卷狀生長石墨烯承載裝置，包括若干個并排設置成鏈狀的骨架，所述骨架的一面上設有固定柱，相鄰的兩個所述骨架活動連接。
[0006]本實用新型的有益效果是:本實用新型采用骨架活動連接組成的鏈狀結(jié)構(gòu)來對銅箔生長基底固定，在銅箔片上鉆取與固定柱一一對應的孔，將銅箔片鋪設鏈狀結(jié)構(gòu)上，使得固定柱插在對應的孔中，從而對銅箔生長基底起到承載作用，整個承載裝置能有效防止銅箔的粘連，重量輕，節(jié)省空間。
[0007]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實用新型還可以做如下改進。
[0008]進一步，所述骨架包括一根長梁和兩根短梁，所述長梁的兩端分別與兩根所述短梁的中部垂直固定形成工字型結(jié)構(gòu)，所述短梁的兩端均設有連接孔，所述連接孔的軸線與所述長梁的長度方向平行，且位于所述長梁同一邊的兩個所述連接孔的軸線相同，所述骨架上位于所述長梁同一邊的兩個所述連接孔和與其相連的所述骨架上位于所述長梁同一邊上的兩個所述連接孔分別通過連接銷一一對應固定。
[0009]采用上述進一步方案的有益效果是:骨架采用一根長梁和兩根短梁組成的工字型結(jié)構(gòu)，在滿足對銅箔起到支撐作用的前提下，節(jié)省空間，減輕整個承載裝置的重量，相鄰骨架通過固定銷固定連接，能方便整個承載裝置的安裝與拆卸。
[0010]進一步，每個所述骨架上的所述固定柱的數(shù)量為兩個。
[0011]采用上述進一步方案的有益效果是:固定柱的數(shù)量為兩個，能很好地固定銅箔片，又能減輕制作骨架的勞動量。
[0012]進一步，兩個所述固定柱分別設在所述長梁同一面的兩端。
[0013]采用上述進一步方案的有益效果是:兩個所述固定柱設在長梁的兩端，在對固定銅箔的前提下，能避免需要對銅箔片的中部鉆孔從而影響整塊制備的石墨烯的完整性。
[0014]進一步，所述骨架采用碳碳復合材料(碳碳復合材料，是指以是以炭纖維及其織物為增強材料，以碳為基體，通過加工處理和碳化處理制成的全碳質(zhì)復合材料，具有質(zhì)量輕、耐燒蝕性好、抗熱沖擊好、損傷容限高、高溫強度高、可設計性強等突出特點。)制作而成。
[0015]采用上述進一步方案的有益效果是:碳碳復合材料重量輕、耐高溫。
[0016]進一步，所述短梁的長度為20mm至30mm。
[0017]進一步，所述短梁的的寬度為1mm至15mm。
[0018]進一步，所述固定柱的高度為3mm至4mm。
[0019]采用上述進一步方案的有益效果是:適當?shù)某叽绲墓羌苣軡M足石墨烯生長基底的合適尺寸。
【附圖說明】
[0020]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2為本實用新型的相鄰的兩個骨架的連接結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]附圖中，各標號所代表的部件列表如下:
[0023]1、骨架，2、固定柱，3、長梁，4、短梁，5、連接孔，6、連接銷。
【具體實施方式】
[0024]以下結(jié)合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0025]如圖1所示，本實用新型包括若干個并排設置成鏈狀的骨架I，所述骨架I的一面上設有固定柱2，相鄰的兩個所述骨架I活動連接。如圖2所示，所述骨架I包括一根長梁3和兩根短梁4，所述長梁3的兩端分別與兩根所述短梁4的中部垂直固定形成工字型結(jié)構(gòu)，所述短梁4的兩端均設有連接孔5，所述連接孔5的軸線與所述長梁3的長度方向平行，且位于所述長梁3同一邊的兩個所述連接孔5的軸線相同，所述骨架I上位于所述長梁3同一邊的兩個所述連接孔5和與其相連的所述骨架I上位于所述長梁3同一邊上的兩個所述連接孔5分別通過連接銷6 —一對應固定。每個所述骨架I上的所述固定柱2的數(shù)量為兩個。兩個所述固定柱2分別設在所述長梁3同一面的兩端。所述骨架I采用碳碳復合材料制作而成。所述短梁4的長度為20mm至30mm。所述短梁4的的寬度為1mm至15mm。所述固定柱2的高度為3mm至4mm。
[0026]工作原理:如圖1所示，在銅箔片的兩側(cè)邊上鉆取與所述承載裝置上的固定住一一對應的孔，將鉆好孔的銅箔片鋪設在所述承載裝置上，使得固定柱2插在對應的孔中，從而對銅箔生長基底起到承載作用，如圖2所示。將承載有銅箔生長基底的承載裝置置于石墨烯生長裝置中進行石墨烯的生長，待生長完成后，將整個承載裝置取出，將銅箔從承載裝置上取下即得表面上生長有石墨烯的銅箔。
[0027]本實用新型能有效防止銅箔的粘連，重量輕，節(jié)省空間。骨架I采用一根長梁3和兩根短梁4組成的工字型結(jié)構(gòu)，在滿足對銅箔起到支撐作用的前提下，節(jié)省空間，減輕整個承載裝置的重量，相鄰骨架I通過固定銷固定連接，能方便整個承載裝置的安裝與拆卸。固定柱2的數(shù)量為兩個，能很好地固定銅箔片，又能減輕制作骨架I的勞動量。兩個所述固定柱2設在長梁3的兩端，在對固定銅箔的前提下，能避免需要對銅箔片的中部鉆孔從而影響整塊制備的石墨烯的完整性。碳碳復合材料重量輕、耐高溫。
[0028]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種卷狀生長石墨烯承載裝置，其特征在于，包括多個并排設置成鏈狀的骨架(I)，所述骨架(I)的一面上設有固定柱(2)，相鄰的兩個所述骨架(I)活動連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種卷狀生長石墨烯承載裝置，其特征在于，所述骨架(I)包括一根長梁(3)和兩根短梁(4)，所述長梁(3)的兩端分別與兩根所述短梁(4)的中部垂直固定形成工字型結(jié)構(gòu)，所述短梁(4)的兩端均設有連接孔(5)，所述連接孔(5)的軸線與所述長梁(3)的長度方向平行，且位于所述長梁(3)同一邊的兩個所述連接孔(5)的軸線相同，所述骨架(I)上位于所述長梁(3)同一邊的兩個所述連接孔(5)和與其相連的所述骨架(I)上位于所述長梁(3)同一邊上的兩個所述連接孔(5)分別通過連接銷(6) —一對應固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種卷狀生長石墨烯承載裝置，其特征在于，每個所述骨架(I)上的所述固定柱(2)的數(shù)量為兩個。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種卷狀生長石墨烯承載裝置，其特征在于，兩個所述固定柱(2)分別設在所述長梁(3)同一面的兩端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的一種卷狀生長石墨烯承載裝置，其特征在于，所述骨架(I)采用碳碳復合材料制作而成。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至4任一項所述的一種卷狀生長石墨烯承載裝置，其特征在于，所述短梁⑷的長度為20mm至30mmo
7.根據(jù)權(quán)利要求2至4任一項所述的一種卷狀生長石墨烯承載裝置，其特征在于，所述短梁⑷的的寬度為1mm至15mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求2至4任一項所述的一種卷狀生長石墨烯承載裝置，其特征在于，所述固定柱(2)的高度為3mm至4mm。
【專利摘要】本實用新型涉及石墨烯制備裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種卷狀生長石墨烯承載裝置，包括多個并排設置成鏈狀的骨架，所述骨架的一面上設有固定柱，相鄰的兩個所述骨架活動連接。本實用新型的有益效果是：本實用新型采用骨架活動連接組成的鏈狀結(jié)構(gòu)來對銅箔生長基底固定，在銅箔片上鉆取與固定柱一一對應的孔，將銅箔片鋪設鏈狀結(jié)構(gòu)上，使得固定柱插在對應的孔中，從而對銅箔生長基底起到承載作用，整個承載裝置能有效防止銅箔的粘連，重量輕，節(jié)省空間。
【IPC分類】C01B31-04
【公開號】CN204454598
【申請?zhí)枴緾N201520111937
【發(fā)明人】于本文, 史浩飛, 徐鑫, 李占成, 鐘達
【申請人】重慶墨?？萍加邢薰? 中國科學院重慶綠色智能技術(shù)研究院
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2015年2月15日