一種單晶爐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及硅材料生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種單晶爐。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶爐拉制單晶硅棒時，盛裝多晶硅塊等原料的石英坩禍放入位于禍托之上的石墨坩禍托內(nèi)，在保護性氣氛中加熱融化，調(diào)控到工藝溫度后，籽晶經(jīng)導(dǎo)流筒插入溶融多晶硅液中，與坩禍作逆向旋轉(zhuǎn)并向上提升，使多晶硅液按籽晶的硅原子排列順序結(jié)晶凝固成單晶娃棒。
[0003]在連續(xù)向上提拉的硅單晶生長工藝過程中，工藝氣體(高純氬氣)從硅單晶生長爐頂部充入，為了保證硅單晶的穩(wěn)定快速生長和揮發(fā)物的及時排除，在坩禍上面安裝有導(dǎo)流筒，氬氣經(jīng)過導(dǎo)流筒和保溫罩的內(nèi)壁，再通過真空泵從硅單晶生長爐下部抽氣口排出。
[0004]現(xiàn)有的單晶爐由于受導(dǎo)流筒直徑的限制，對生產(chǎn)的硅晶棒的尺寸也會有限制，如果要生產(chǎn)大尺寸的硅晶棒的話，就需要加大導(dǎo)流筒的直徑，但這樣容易導(dǎo)致導(dǎo)流筒不容易固定在單晶爐內(nèi)的護板上，不穩(wěn)定。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實用新型旨在解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種能實現(xiàn)生產(chǎn)大尺寸硅晶棒的單晶爐。
[0006]本實用新型為實現(xiàn)上述目的，采用以下技術(shù)方案:一種單晶爐，包括爐塔、爐本體，所述爐塔位于所述爐本體上方，所述爐本體內(nèi)部下方設(shè)有坩禍，所述坩禍上方設(shè)有導(dǎo)流筒，所述導(dǎo)流筒由掛臺和導(dǎo)流筒本體組成，所述導(dǎo)流筒本體為至上而下直徑逐漸縮小的筒體，所述掛臺位于所述導(dǎo)流筒本體頂部兩側(cè)，所述掛臺下方設(shè)有護板，所述掛臺固定在所述護板上，其特征在于，所述掛臺上設(shè)有凹槽，所述護板上設(shè)有與所述凹槽配合的凸臺，所述凸臺嵌入所述凹槽內(nèi)。
[0007]本實用新型的有益效果是:本實用新型在導(dǎo)流筒的掛臺上設(shè)計凹槽，在支撐掛臺的護板上設(shè)計與凹槽配合的凸臺，當(dāng)生產(chǎn)大尺寸晶硅棒，需要將導(dǎo)流筒的直徑變大時，凹槽和凸臺可以起到固定導(dǎo)流板的作用，不會造成導(dǎo)流板松動、不穩(wěn)固。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖中:1-爐塔；2-掛臺；3-護板；4-坩禍；5_爐本體；6_導(dǎo)流筒本體；7_凹槽；8-凸臺；
[0010]以下將結(jié)合本實用新型的實施例參照附圖進行詳細(xì)敘述。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明:
[0012]如圖1所示，一種單晶爐，包括爐塔1、爐本體5，所述爐塔I位于所述爐本體5上方，所述爐本體5內(nèi)部下方設(shè)有坩禍4，所述坩禍4上方設(shè)有導(dǎo)流筒，所述導(dǎo)流筒由掛臺2和導(dǎo)流筒本體6組成，所述導(dǎo)流筒本體6為至上而下直徑逐漸縮小的筒體，所述掛臺2位于所述導(dǎo)流筒本體6頂部兩側(cè)，所述掛臺2下方設(shè)有護板3，所述掛臺2固定在所述護板3上，其特征在于，所述掛臺2上設(shè)有凹槽7，所述護板3上設(shè)有與所述凹槽7配合的凸臺8，所述凸臺8嵌入所述凹槽7內(nèi)。
[0013]上面結(jié)合附圖對本實用新型進行了示例性描述，顯然本實用新型具體實現(xiàn)并不受上述方式的限制，只要采用了本實用新型的方法構(gòu)思和技術(shù)方案進行的各種改進，或未經(jīng)改進直接應(yīng)用于其它場合的，均在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種單晶爐，包括爐塔(I)、爐本體(5)，所述爐塔(I)位于所述爐本體(5)上方，所述爐本體(5)內(nèi)部下方設(shè)有坩禍(4)，所述坩禍(4)上方設(shè)有導(dǎo)流筒，所述導(dǎo)流筒由掛臺(2)和導(dǎo)流筒本體(6)組成，所述導(dǎo)流筒本體(6)為至上而下直徑逐漸縮小的筒體，所述掛臺(2)位于所述導(dǎo)流筒本體(6)頂部兩側(cè)，所述掛臺(2)下方設(shè)有護板(3)，所述掛臺(2)固定在所述護板(3)上，其特征在于，所述掛臺(2)上設(shè)有凹槽(7)，所述護板(3)上設(shè)有與所述凹槽(7)配合的凸臺(8)，所述凸臺(8)嵌入所述凹槽(7)內(nèi)。
【專利摘要】本實用新型是一種單晶爐，包括爐塔、爐本體，所述爐塔位于所述爐本體上方，所述爐本體內(nèi)部下方設(shè)有坩堝，所述坩堝上方設(shè)有導(dǎo)流筒，所述導(dǎo)流筒由掛臺和導(dǎo)流筒本體組成，所述導(dǎo)流筒本體為至上而下直徑逐漸縮小的筒體，所述掛臺位于所述導(dǎo)流筒本體頂部兩側(cè)，所述掛臺下方設(shè)有護板，所述掛臺固定在所述護板上，其特征在于，所述掛臺上設(shè)有凹槽，所述護板上設(shè)有與所述凹槽配合的凸臺，所述凸臺嵌入所述凹槽內(nèi)，本實用新型在導(dǎo)流筒的掛臺上設(shè)計凹槽，在支撐掛臺的護板上設(shè)計與凹槽配合的凸臺，當(dāng)生產(chǎn)大尺寸晶硅棒，需要將導(dǎo)流筒的直徑變大時，凹槽和凸臺可以起到固定導(dǎo)流板的作用，不會造成導(dǎo)流板松動、不穩(wěn)固。
【IPC分類】C30B29-06, C30B15-00
【公開號】CN204530016
【申請?zhí)枴緾N201520179346
【發(fā)明人】張步曉, 張寧, 李政
【申請人】天津市兆益金科科技有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年3月27日