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      硅棒周轉(zhuǎn)車的制作方法

      文檔序號:8859926閱讀:545來源:國知局
      硅棒周轉(zhuǎn)車的制作方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型涉及一種硅棒周轉(zhuǎn)車,屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。
      【背景技術(shù)】
      [0002]目前,目前國內(nèi)生產(chǎn)多晶硅的工藝大部分都是常規(guī)三氯氫硅氫還原法,即改良西門子法,改良西門子法或其他類似方法生產(chǎn)大直徑多晶硅的主要設(shè)備是多晶硅還原爐,多晶硅還原爐在細(xì)長的硅芯上通上電源,使硅芯加熱發(fā)紅,直至表面溫度達(dá)到1100攝氏度,通入高純的三氯氫硅和氫氣,使其在高溫下發(fā)生氫還原反應(yīng),使三氯氫硅中的硅分子堆積在硅芯上,使其的直徑不斷地增大,通常,硅芯的直徑在7-10毫米,可以是圓形也可以是方型,或是其他形狀,最終通過氫還原反應(yīng)使直徑不斷地增大到120-200毫米,生產(chǎn)出高純太陽能級6N或電子級IlN的多晶硅。
      [0003]現(xiàn)硅芯的制備方法有二種,傳統(tǒng)的方法是用CZ法(區(qū)熔提拉法),即把直徑在20-50毫米的硅棒在充滿惰性氣體的真空爐膛內(nèi)用高頻感應(yīng)加熱,使其頂部局部熔化,從上部放入I根直徑在5-10毫米的籽晶,然后慢慢向上提拉,使其成為直徑在7-10毫米,長度在1900-3000毫米之間的細(xì)長硅芯,其缺點(diǎn)是提拉速度慢,一般為8-12毫米/分鐘,拉制I根2米的硅芯需要4小時(shí),生產(chǎn)效率低,電力消耗大,設(shè)備投資大。
      [0004]另一種是用金剛石工具切割法,美國Diamond Wire Technology公司研制出采用金剛石線的數(shù)控多晶硅細(xì)長硅芯多線切割機(jī)床,用于硅芯的制備。通過利用電鍍上金剛石微粒的細(xì)鋼絲線在被加工工件上高速地往復(fù)運(yùn)動或單向移動,將硅棒壓在該機(jī)床用金剛石線交叉組成的方形線網(wǎng)上,從而將該硅棒切割成細(xì)長的硅芯。其優(yōu)點(diǎn)十分明顯,10-12小時(shí)可以切割出200根左右2米長的7X7或8X8毫米的方形硅芯,電力消耗小,加工效率高。
      [0005]但是由于硅棒重量較重,因此在生產(chǎn)過程中轉(zhuǎn)運(yùn)十分不便,制約了生產(chǎn)效率的提尚O

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0006]本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足,提供一種硅棒周轉(zhuǎn)車,它方便了硅棒的周轉(zhuǎn),提高了硅芯切割的生產(chǎn)效率。
      [0007]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種硅棒周轉(zhuǎn)車,它包括下邊框和上邊框,所述下邊框與上邊框之間通過多個(gè)豎支撐和斜支撐相連接,所述下邊框底部設(shè)置有四個(gè)移動滾輪,所述上邊框頂部平行設(shè)置有多個(gè)支撐板,所述支撐板上開設(shè)有多個(gè)弧形卡槽,所述多個(gè)支撐板上的弧形卡槽位置相對應(yīng)。
      [0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型具有以下有益效果:
      [0009]本實(shí)用新型一種硅棒周轉(zhuǎn)車,它方便了硅棒的周轉(zhuǎn),提高了硅芯切割的生產(chǎn)效率。
      【附圖說明】
      [0010]圖1為本實(shí)用新型一種硅棒周轉(zhuǎn)車的結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0011]其中:
      [0012]下邊框I
      [0013]上邊框2
      [0014]豎支撐3
      [0015]斜支撐4
      [0016]移動滾輪5
      [0017]支撐板6
      [0018]弧形卡槽7。
      【具體實(shí)施方式】
      [0019]參見圖1,本實(shí)用新型一種硅棒周轉(zhuǎn)車,它包括下邊框I和上邊框2,所述下邊框I與上邊框2之間通過多個(gè)豎支撐3和斜支撐4相連接,所述下邊框I底部設(shè)置有四個(gè)移動滾輪5,所述上邊框2頂部平行設(shè)置有多個(gè)支撐板6,所述支撐板6上開設(shè)有多個(gè)弧形卡槽7,所述多個(gè)支撐板6上的弧形卡槽7位置相對應(yīng)。
      [0020]生產(chǎn)時(shí)將硅棒吊裝至支撐板上的弧形卡槽上,通過硅棒周轉(zhuǎn)車對硅棒進(jìn)行周轉(zhuǎn),大大提高了生產(chǎn)效率。
      【主權(quán)項(xiàng)】
      1.一種硅棒周轉(zhuǎn)車,其特征在于:它包括下邊框(I)和上邊框(2),所述下邊框(I)與上邊框(2 )之間通過多個(gè)豎支撐(3 )和斜支撐(4 )相連接,所述下邊框(I)底部設(shè)置有四個(gè)移動滾輪(5 ),所述上邊框(2 )頂部平行設(shè)置有多個(gè)支撐板(6 ),所述支撐板(6 )上開設(shè)有多個(gè)弧形卡槽(7),所述多個(gè)支撐板(6)上的弧形卡槽(7)位置相對應(yīng)。
      【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種硅棒周轉(zhuǎn)車,屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。它包括下邊框(1)和上邊框(2),所述下邊框(1)與上邊框(2)之間通過多個(gè)豎支撐(3)和斜支撐(4)相連接,所述下邊框(1)底部設(shè)置有四個(gè)移動滾輪(5),所述上邊框(2)頂部平行設(shè)置有多個(gè)支撐板(6),所述支撐板(6)上開設(shè)有多個(gè)弧形卡槽(7),所述多個(gè)支撐板(6)上的弧形卡槽(7)位置相對應(yīng)。本實(shí)用新型一種硅棒周轉(zhuǎn)車,它方便了硅棒的周轉(zhuǎn),提高了硅芯切割的生產(chǎn)效率。
      【IPC分類】C01B33-035
      【公開號】CN204569439
      【申請?zhí)枴緾N201520242685
      【發(fā)明人】陳大春, 袁鄭堂, 薛榮國, 孫勇
      【申請人】江陰東升新能源有限公司
      【公開日】2015年8月19日
      【申請日】2015年4月21日
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