密封爐腔的拉晶爐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體致冷件生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，特別是涉及拉晶爐。
【背景技術(shù)】
[0002]晶粒是制造半導(dǎo)體致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二鉍，作為制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齊，晶粒里面的分子排列越整齊，致冷件的效率就越高。
[0003]晶粒是由晶棒切割而成的，這就要求晶棒里面的分子排列是整齊的。
[0004]制造晶棒時，對其里面的分子進(jìn)行排列的過程就是拉晶，拉晶是在拉晶爐中進(jìn)行的，原料盛裝在拉晶管中進(jìn)行拉晶，拉晶爐包括爐體和爐門，現(xiàn)有技術(shù)中，爐體和爐門之間不是密封連接的，這就要求拉晶時拉晶管密封著原料，否則就會使材料的成分發(fā)生變化，產(chǎn)生廢品，用這樣的拉晶爐因?yàn)樾枰獙Ч苊芊?，具有加工過程復(fù)雜、使用不便的缺點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型的目的就是針對上述缺點(diǎn)，提供一種不用對拉晶管密封、使用方便、節(jié)省工藝步驟的拉晶爐一一密封爐腔的拉晶爐。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:密封爐腔的拉晶爐，包括爐體和爐門，爐體具有爐腔，在爐腔內(nèi)具有安裝拉晶管的卡座，所述的爐腔內(nèi)還有拉晶套，拉晶套是對產(chǎn)品進(jìn)行拉晶的部件，其特征是:所述的爐體和爐門可密閉連接，所述的爐體還連接有抽真空裝置。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:這樣的拉晶爐具有不用對拉晶管密封、使用方便、節(jié)省工藝步驟的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實(shí)用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]其中:1、爐體 2、爐門 3、爐腔 4、卡座5、拉晶套 6、抽真空裝置 7、
拉晶管。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0011]如圖1所示，密封爐腔的拉晶爐，包括爐體I和爐門2，爐體具有爐腔3，在爐腔內(nèi)具有安裝拉晶管的卡座4，所述的爐腔內(nèi)還有拉晶套5，拉晶套是對產(chǎn)品進(jìn)行拉晶的部件，其特征是:所述的爐體和爐門可密閉連接，所述的爐體還連接有抽真空裝置6。
[0012]所述的可密封連接是指爐門蓋上后，爐體和爐門形成一個密閉的、不通氣的空間。
[0013]圖中7是拉晶管。
[0014]本實(shí)用新型使用時，將原料放置在拉晶管中，關(guān)閉爐門，然后可以對爐腔抽真空，由于爐體內(nèi)沒有空氣或氧氣，在拉晶過程中，不會對原料破壞，也就沒有將拉晶管密封的必要，這樣就會簡化工藝，具有本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。
[0015]以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，但本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征并不限于此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型的領(lǐng)域內(nèi)，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實(shí)用新型的專利范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.密封爐腔的拉晶爐，包括爐體和爐門，爐體具有爐腔，在爐腔內(nèi)具有安裝拉晶管的卡座，所述的爐腔內(nèi)還有拉晶套，拉晶套是對產(chǎn)品進(jìn)行拉晶的部件，其特征是:所述的爐體和爐門可密閉連接，所述的爐體還連接有抽真空裝置。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體致冷件生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備，名稱是密封爐腔的拉晶爐，包括爐體和爐門，爐體具有爐腔，在爐腔內(nèi)具有安裝拉晶管的卡座，所述的爐腔內(nèi)還有拉晶套，拉晶套是對產(chǎn)品進(jìn)行拉晶的部件，所述的爐體和爐門可密閉連接，所述的爐體還連接有抽真空裝置，這樣的拉晶爐具有不用對拉晶管密封、使用方便、節(jié)省工藝步驟的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】C30B15/00
【公開號】CN204825117
【申請?zhí)枴緾N201520578114
【發(fā)明人】陳磊, 劉栓紅, 趙麗萍, 張文濤, 蔡水占, 郭晶晶, 張會超, 陳永平, 王東勝, 惠小青, 辛世明, 田紅麗
【申請人】河南鴻昌電子有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年8月5日