一種石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種晶體硅片生產(chǎn)用擴(kuò)散爐的石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在光伏行業(yè)中，高溫?cái)U(kuò)散爐主要用于對單晶硅片和多晶硅片進(jìn)行表面摻雜處理，形成P-N結(jié)。隨著擴(kuò)散工藝的發(fā)展，高溫低壓擴(kuò)散爐應(yīng)運(yùn)而生，其中，石英管是進(jìn)行擴(kuò)散工藝反應(yīng)的腔室，根據(jù)工藝需要，石英管上要接入各種工藝插管，例如噴淋進(jìn)氣管、爐內(nèi)排廢管和爐內(nèi)熱偶管等?，F(xiàn)有技術(shù)中，工藝接頭與各種插管接頭的連接方式通常采用由球腕和球磨口墊片所構(gòu)成的連接結(jié)構(gòu)。但是，使用上述連接結(jié)構(gòu)卻無法達(dá)到理想的密封效果，很容易造成反應(yīng)氣體泄漏，不能滿足高溫低壓擴(kuò)散爐所要求的底壓值與保壓值；同時(shí)，由于高溫低壓擴(kuò)散爐在抽真空時(shí)，是從石英管底部進(jìn)行，這就會使熱量集中在石英管底部，而球腕和球磨口墊片是無法承受爐內(nèi)高溫的，容易導(dǎo)致其碎裂，造成反應(yīng)氣體泄漏。而泄漏問題會導(dǎo)致硅片的擴(kuò)散氣體氛圍發(fā)生改變，將直接影響產(chǎn)品合格率，增加生產(chǎn)成本。
[0003]因此，如何設(shè)計(jì)一種密封效果好且隔熱耐高溫的石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)，是業(yè)界亟待解決的問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，提供一種石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)，即能夠達(dá)到較好的密封效果，又具有隔熱耐高溫的優(yōu)點(diǎn)。
[0005]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是:一種石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)，包括石英管體和工藝插管，所述石英管體頂端凸出設(shè)有用于接入工藝插管的工藝接頭，所述工藝插管外管壁上設(shè)有對接工藝接頭的插管接頭，所述工藝接頭和插管接頭是由間隔開的接頭內(nèi)、外管體所構(gòu)成，且所述外管體外側(cè)密封套接有耐高溫的卡套接頭。
[0006]所述卡套接頭包括本體，所述本體兩端外圓上設(shè)有外螺紋、內(nèi)圓中設(shè)有卡套，使用一壓蓋螺母壓緊卡套并固定于本體兩端。
[0007]所述石英管體頂端還設(shè)有與工藝接頭結(jié)構(gòu)相同的預(yù)留接頭，所述預(yù)留接頭上通過卡套接頭密封插接有石英堵頭。
[0008]所述卡套接頭采用聚四氟乙烯材料。
[0009]所述工藝插管為爐內(nèi)排廢管、噴淋進(jìn)氣管或爐內(nèi)熱偶管。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果:通過預(yù)先設(shè)定好的標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)方案對本實(shí)用新型進(jìn)行檢測，可得出:
[0011]1.采用聚四氟卡套接頭，將工藝接頭分別與爐內(nèi)排廢管、噴淋進(jìn)氣管、爐內(nèi)熱偶管等工藝插管進(jìn)行連接，能夠達(dá)到良好的密封效果，滿足了低壓擴(kuò)散爐所要求的底壓值與保壓值；
[0012]2.工藝接頭和與其連接的插管接頭均設(shè)計(jì)為雙層管體結(jié)構(gòu)，達(dá)到耐高溫隔熱效果，有效降低聚四氟卡套接頭的受熱溫度，能夠保證聚四氟卡套接頭的使用壽命。
[0013]由此可知，石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)使得擴(kuò)散工藝控制變得穩(wěn)定、可靠，完全能夠滿足高溫低壓擴(kuò)散爐的要求，保證產(chǎn)品合格率、控制生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0015]圖2為圖1中A部分的結(jié)構(gòu)放大示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面將結(jié)合附圖以及【具體實(shí)施方式】，對本實(shí)用新型做進(jìn)一步描述。
[0017]請參見圖1，本實(shí)用新型較佳實(shí)施例設(shè)計(jì)的一種石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)，包括石英管體10和工藝插管20，石英管體10的頂端凸出設(shè)置有多個(gè)石英管接頭，石英管接頭分為設(shè)于中間的預(yù)留接頭12及位于預(yù)留接頭12周圍用于插接工藝插管20的工藝接頭11 ;工藝插管20從上方凸出伸入到石英管體10的內(nèi)部，在工藝插管20的外管壁上設(shè)置有用于對接工藝接頭11的插管接頭21。
[0018]請參見圖2，本實(shí)用新型的重點(diǎn)在于:工藝接頭11和插管接頭21的連接結(jié)構(gòu)。具體地，工藝接頭11是由工藝接頭內(nèi)管體111及間隔設(shè)于工藝接頭內(nèi)管體111外管壁上端的筒狀工藝接頭外管體112構(gòu)成，工藝接頭外管體112的底端與工藝接頭內(nèi)管體111 一體連接、頂端則不凸出于工藝接頭內(nèi)管體111的頂端。同理，插管接頭21包括依次套設(shè)在工藝插管20外壁上且間隔開的筒狀插管接頭內(nèi)管體211和插管接頭外管體212，插管接頭內(nèi)管體211的頂端與工藝插管20 —體連接，插管接頭外管體212的頂端與插管接頭內(nèi)管體211一體連接、底端則不凸出于插管接頭內(nèi)管體211的底端。工藝插管20從上方插入工藝接頭內(nèi)管體111內(nèi)，插管接頭內(nèi)管體211的底端與工藝接頭內(nèi)管體111的頂端相抵接，插管接頭外管體212與工藝接頭外管體112相抵接或者之間留有空隙。在工藝接頭11和插管接頭21的連接端外側(cè)密封套接有卡套接頭30，卡套接頭30包括圓筒狀的本體31，在本體31的兩端外圓上設(shè)置有外螺紋、內(nèi)圓中設(shè)置有截面呈楔形的圓環(huán)狀卡套32，使用壓蓋螺母33壓緊卡套32螺紋固定在本體31的兩端?？ㄌ捉宇^30優(yōu)選采用耐高溫的高分子材料制造，包括但不限于聚四氟乙烯材料，聚四氟乙烯材料化學(xué)穩(wěn)定性好，且耐高溫耐腐蝕。
[0019]在預(yù)留接頭12上亦采用上述雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)，具體地，預(yù)留接頭12與工藝接頭11的結(jié)構(gòu)相同，在預(yù)留接頭12上通過卡套接頭30密封插接有石英堵頭40，預(yù)留接頭12用于備用安裝連接工藝插管20或其他裝置等。
[0020]在本實(shí)施例中，工藝插管20分為爐內(nèi)排廢管201、噴淋進(jìn)氣管202和爐內(nèi)熱偶管(圖中未標(biāo)示)，爐內(nèi)排廢管201用于給石英管體10抽真空使用，噴淋進(jìn)氣管202用于提供反應(yīng)所需要的工藝源材料，爐內(nèi)熱偶管用于給石英管體10內(nèi)部加熱。
[0021]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)，包括石英管體(10)和工藝插管(20)，所述石英管體頂端凸出設(shè)有用于接入工藝插管的工藝接頭(11 )，所述工藝插管外管壁上設(shè)有對接工藝接頭的插管接頭(21 )，其特征在于，所述工藝接頭和插管接頭是由間隔開的接頭內(nèi)、外管體所構(gòu)成，且所述外管體外側(cè)密封套接有耐高溫的卡套接頭(30)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述卡套接頭(30)包括本體(31)，所述本體兩端外圓上設(shè)有外螺紋、內(nèi)圓中設(shè)有卡套(32)，使用一壓蓋螺母(33)壓緊卡套并固定于本體兩端。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述石英管體(10)頂端還設(shè)有與工藝接頭(11)結(jié)構(gòu)相同的預(yù)留接頭(12)，所述預(yù)留接頭上通過卡套接頭(30 )密封插接有石英堵頭(40 )。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任意一項(xiàng)所述的石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述卡套接頭(30)米用聚四氣乙如材料。5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任意一項(xiàng)所述的石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述工藝插管(20)為爐內(nèi)排廢管(201)、噴淋進(jìn)氣管(202)或爐內(nèi)熱偶管。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種石英管雙層隔熱連接結(jié)構(gòu)，包括石英管體和工藝插管，所述石英管體頂端凸出設(shè)有用于接入工藝插管的工藝接頭，所述工藝插管外管壁上設(shè)有對接工藝接頭的插管接頭，所述工藝接頭和插管接頭是由間隔開的接頭內(nèi)、外管體所構(gòu)成，且所述外管體外側(cè)密封套接有耐高溫的卡套接頭。工藝接頭和與其連接的插管接頭均設(shè)計(jì)為雙層管體結(jié)構(gòu)，達(dá)到隔熱耐高溫效果，同時(shí)卡套接頭能夠達(dá)到良好的密封效果，滿足了高溫低壓擴(kuò)散爐所要求的底壓值與保壓值。
【IPC分類】C30B31/06
【公開號】CN204874828
【申請?zhí)枴緾N201520576550
【發(fā)明人】楊寶立, 李致文, 肖四哲
【申請人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請日】2015年8月4日