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      具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜的制作方法

      文檔序號:10101774閱讀:551來源:國知局
      具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜的制作方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實用新型屬于節(jié)能和太陽能發(fā)電技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜。
      【背景技術(shù)】
      [0002]節(jié)能窗技術(shù)是建筑和車用玻璃節(jié)能的重要方式,但現(xiàn)有的節(jié)能窗一般只具有調(diào)節(jié)太陽光熱透過的功能,無法和發(fā)電系統(tǒng),尤其是太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng)聯(lián)用,功能單一,綜合能效較低。
      [0003]常見的窗戶玻璃節(jié)能技術(shù)通常依賴玻璃表面膜層,該膜層可吸收、反射或者部分吸收部分反射太陽光,從而調(diào)節(jié)太陽光尤其是紅外區(qū)段的透過率,達到節(jié)能的目的。比較理想的節(jié)能窗包括采用電致、熱致和氣致等技術(shù)的智能窗。這些節(jié)能窗可分別通過外加電場、外界溫度或通入氣體改變光譜曲線,改變紅外區(qū)段的透過率。這些節(jié)能窗實現(xiàn)節(jié)能效果的材質(zhì)主要包括高分子(有機)、金屬和金屬氧化物及其混合物。金紅石相(R相)二氧化釩是一種具有熱致相變性質(zhì)的金屬氧化物。在68°C發(fā)生由低溫單斜相(M相)到高溫金紅石相(R相)的可逆相轉(zhuǎn)變。伴隨著這種結(jié)構(gòu)變化,其電導(dǎo)率、磁化率、光透過率等物理性質(zhì)都發(fā)生劇烈變化,使其在智能窗、熱敏電阻材料、紅外探測材料方面具有很好的應(yīng)用前景。
      [0004]申請?zhí)枮镃N201110027223.3的中國發(fā)明專利公開了一種二氧化釩薄膜的制備方法,其包括如下步驟:1)將帶羥基的羧酸溶解于雙氧水中,并用氨水調(diào)節(jié)溶液的pH值大于7 ;然后加入硫酸氧釩,獲得反應(yīng)溶液,反應(yīng)完成后,加入有機溶劑,靜置,生成沉淀,分離沉淀,得到釩的過氧配合物;2)將步驟1)所得釩的過氧配合物和和添加劑溶解于水中形成水溶液,將所述水溶液鍍膜于襯底上,然后在惰性氣氛中經(jīng)熱處理后得到二氧化釩薄膜。但其采用的方法只能獲得連續(xù)、致密薄膜,與此結(jié)構(gòu)相關(guān),薄膜的可見光透過率峰值通常低于70%,一般在40-60%,難以滿足其車前擋等對可見光透過率的高要求。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0005]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題,本實用新型的目的是提供一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜。通過對薄膜的晶粒結(jié)構(gòu)調(diào)控和改變晶粒結(jié)構(gòu),使呈非晶狀態(tài)的前驅(qū)物薄膜高度結(jié)晶,并在基板上形成單層排列的環(huán)狀結(jié)構(gòu),讓環(huán)狀結(jié)構(gòu)的結(jié)晶狀態(tài)保證薄膜具有優(yōu)異的溫控相變特性(金屬-絕緣體相變);環(huán)狀結(jié)構(gòu)使薄膜具有規(guī)則多孔特征,大幅提高了可見光透過率。此外,單層排列以及多孔特征還使該薄膜具有自增透效應(yīng),既減少了可見光反射率,還進一步增加了可見光透過率。
      [0006]為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案為:一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜包括基板和覆蓋在基板上的氧化物結(jié)晶晶粒;所述氧化物結(jié)晶晶粒具有金屬-絕緣體相變的結(jié)晶結(jié)構(gòu),該氧化物結(jié)晶晶粒呈規(guī)則的環(huán)狀結(jié)構(gòu),且環(huán)狀結(jié)構(gòu)的氧化物結(jié)晶晶粒覆蓋在所述基板上形成連續(xù)的氧化物薄膜,其中氧化物結(jié)晶晶粒的環(huán)狀結(jié)構(gòu)的內(nèi)徑為30-3000 納米。
      [0007]優(yōu)選的技術(shù)方案,所述氧化物結(jié)晶晶粒為二氧化釩結(jié)晶晶粒。
      [0008]進一步優(yōu)選的技術(shù)方案,所述形成的連續(xù)的氧化物薄膜厚度小于400納米。
      [0009]更進一步優(yōu)選的技術(shù)方案,所述形成的連續(xù)的氧化物薄膜厚度小于100納米。
      [0010]本實用新型的再一目的是提供一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜的制備方法,其包括以下步驟:
      [0011]步驟A、基板預(yù)處理
      [0012]A1,首先將基板洗凈后烘干;
      [0013]A2,再配置含有娃燒的表面活性劑的甲苯溶液,其中娃燒含量為0.5-5% ;
      [0014]A3,將基板浸泡在上述甲苯溶液中靜置一段時間后取出洗凈,在120攝氏度的溫度條件下烘干1-30分鐘,將鏤空掩模放置在基板上,經(jīng)紫外線照射一定時間后形成圖案化結(jié)構(gòu)后備用;
      [0015]步驟B、涂布液制作
      [0016]B1,將二氧化釩晶粒分散成水性或有機性的懸浮溶液;
      [0017]B2,向上述懸浮溶液中加入具有粘結(jié)作用的高分子分散劑或者無機溶膠,即制得涂布液;
      [0018]步驟C、制膜
      [0019]采用旋涂、刮涂、噴涂或印刷工藝在基板上涂覆上一層上述涂布液,烘干后,即制得薄膜。
      [0020]所述步驟A中靜置的時間小于2小時。
      [0021 ] 所述步驟A3中的烘干時間小于10分鐘。
      [0022]所述步驟A3中的紫外線照射時間小于1小時,且紫外線波長小于254納米。
      [0023]所述基板采用建筑玻璃;所述二氧化釩晶粒為摻雜性二氧化釩晶粒,摻雜離子為W、Mo、T1、Mg、F中的一種或多種;所述含有硅烷的表面活性劑為十八烷基三氯硅烷。
      [0024]本實用新型的還一目的是提供一種上述具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜的應(yīng)用,該應(yīng)用為將該多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜用于制作建筑節(jié)能窗、移動運輸工具的窗戶、遮陽頂棚等太陽能節(jié)能產(chǎn)品。
      [0025]采用以上技術(shù)方案,本實用新型的具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜解決了現(xiàn)有節(jié)能發(fā)電薄膜的光電轉(zhuǎn)化效率低,節(jié)能效果不好等問題。
      [0026]本實用新型的具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜與現(xiàn)有技術(shù)中的致密薄膜相比具有超高可見光透過率,峰值超過90%,最高達到97% ;同時,該薄膜具有溫度控制的太陽紅外光調(diào)節(jié)特性。高低溫透過太陽能變化率大于4%。
      [0027]本實用新型的薄膜與現(xiàn)有的智能窗相比,還具有以下優(yōu)點:
      [0028]1.可見光透過率高,甚至比現(xiàn)有智能窗的基板透明性更好;
      [0029]2.其結(jié)構(gòu)簡單,易于制造和產(chǎn)業(yè)化。
      【附圖說明】
      [0030]圖1是本實用新型實施例1中制得的具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜的結(jié)構(gòu)原理示意圖。
      [0031]圖2是實施例1中本實用新型具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜的制備方法所用的掩模的表面結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0032]圖3是本實用新型實施例1中具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜的紫外-可見-近紅外光譜。
      【具體實施方式】
      [0033]為使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明了,下面結(jié)合具體實例,對本實用新型進一步詳細說明。應(yīng)該理解,這些描述只是示例性的,而并非要限制本實用新型的范圍。此外,在以下說明中,省略了對公知結(jié)構(gòu)和技術(shù)的描述,以避免不必要地混淆本實用新型的概念。
      [0034]實施例1:
      [0035]如圖1至圖3所示,一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜的制備方法,其包括以下步驟:
      [0036]步驟A、基板預(yù)處理
      [0037]A1,首先將基板(基板采用建筑玻璃)洗凈后烘干;
      [0038]A2,再配置含有硅烷的表面活性劑(本實施例的表面活性劑為十八烷基三氯硅烷)的甲苯溶液,其中硅烷含量為0.5-5% ;
      [0039]A3,將基板浸泡在上述甲苯溶液中靜置一段時間(靜置的時間小于2小時)后取出洗凈,在120攝氏度的溫度條件下烘干1-30分鐘(優(yōu)選烘干時間小于10分鐘),將如圖2所示的鏤空掩模放置在基板上,經(jīng)紫外線(紫外線波長小于254納米)照射一定時間(照射時間小于1小時)后形成圖案化結(jié)構(gòu)后備用;
      [0040]步驟B、涂布液制作
      [0041 ] B1,將二氧化釩晶粒分散成水性或有機性的懸浮溶液;
      [0042]B2,向上述懸浮溶液中加入具有粘結(jié)作用的高分子分散劑或者無機溶膠,即制得涂布液;
      [0043]步驟C、制膜
      [0044]采用旋涂、刮涂、噴涂或印刷工藝在基板上涂覆上一層上述涂布液,烘干后,即制得薄膜。
      [0045]上述制得的具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜的結(jié)構(gòu)如圖1所示,其包括基板1和覆蓋在基板1上的二氧化釩結(jié)晶晶粒2 ;所述二氧化釩結(jié)晶晶粒2具有金屬-絕緣體相變的結(jié)晶結(jié)構(gòu),該二氧化釩結(jié)晶晶粒2呈規(guī)則的環(huán)狀結(jié)構(gòu),且環(huán)狀結(jié)構(gòu)的二氧化釩結(jié)晶晶粒2覆蓋在所述基板1上形成連續(xù)的氧化物薄膜3,其中二氧化釩結(jié)晶晶粒2的環(huán)狀結(jié)構(gòu)的內(nèi)徑為30-3000納米,氧化物薄膜3厚度小于400納米(在本實施例中氧化物薄膜3厚度小于100納米)。所述氧化物薄膜3的截面結(jié)構(gòu)和圖2所示的掩膜結(jié)構(gòu)相同。
      [0046]如圖3所示的具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜的紫外-可見-近紅外光譜可知道,該氧化物薄I旲具有超尚可見光透過率,峰值超過90%,最尚達到97%。
      [0047]實施例2,實施例2與實施例1基本相同,不同之處為所述基板1采用藍寶石;所述二氧化釩晶粒2為摻雜性二氧化釩晶粒,摻雜離子為W、Mo、T1、Mg、F中的一種或多種。
      [0048]應(yīng)當理解的是,本實用新型的上述【具體實施方式】僅僅用于示例性說明或解釋本實用新型的原理,而不構(gòu)成對本實用新型的限制。因此,在不偏離本實用新型的思想和范圍的情況下所做的任何修改、等同替換、改進等,均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。此外,本實用新型所附權(quán)利要求旨在涵蓋落入所附權(quán)利要求范圍和邊界、或者這種范圍和邊界的等同形式內(nèi)的全部變化和修改。
      【主權(quán)項】
      1.一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜,其特征在于:其包括基板和覆蓋在基板上的氧化物結(jié)晶晶粒;所述氧化物結(jié)晶晶粒具有金屬-絕緣體相變的結(jié)晶結(jié)構(gòu),該氧化物結(jié)晶晶粒呈規(guī)則的環(huán)狀結(jié)構(gòu),且環(huán)狀結(jié)構(gòu)的氧化物結(jié)晶晶粒覆蓋在所述基板上形成連續(xù)的氧化物薄膜,其中氧化物結(jié)晶晶粒的環(huán)狀結(jié)構(gòu)的內(nèi)徑為30-3000納米。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜,其特征在于:所述氧化物結(jié)晶晶粒為一■氧化I凡結(jié)晶晶粒。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜,其特征在于:所述形成的連續(xù)的氧化物薄膜厚度小于400納米。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜,其特征在于:所述形成的連續(xù)的氧化物薄膜厚度小于100納米。
      【專利摘要】本實用新型公開了一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜,其包括基板和覆蓋在基板上的氧化物結(jié)晶晶粒;所述氧化物結(jié)晶晶粒具有金屬-絕緣體相變的結(jié)晶結(jié)構(gòu),該氧化物結(jié)晶晶粒呈規(guī)則的環(huán)狀結(jié)構(gòu),且環(huán)狀結(jié)構(gòu)的氧化物結(jié)晶晶粒覆蓋在所述基板上形成連續(xù)的氧化物薄膜,其中氧化物結(jié)晶晶粒的環(huán)狀結(jié)構(gòu)的內(nèi)徑為30-3000納米。該多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜可以用于制作建筑節(jié)能窗、移動運輸工具的窗戶、遮陽頂棚等方面。該氧化物薄膜具有超高可見光透過率,峰值超過90%,最高達到97%。同時,多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜具有溫度控制的太陽紅外光調(diào)節(jié)特性,其高低溫透過太陽能變化率大于4%。
      【IPC分類】C03C17/25
      【公開號】CN205011641
      【申請?zhí)枴緾N201520593779
      【發(fā)明人】高彥峰
      【申請人】瀛石(上海)實業(yè)有限公司, 南京協(xié)合新材料科技有限公司
      【公開日】2016年2月3日
      【申請日】2015年8月7日
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