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      一種石墨三瓣堝瓣體的制作方法

      文檔序號:10152157閱讀:308來源:國知局
      一種石墨三瓣堝瓣體的制作方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實用新型涉及石墨三瓣禍領(lǐng)域,特別是涉及一種石墨三瓣禍瓣體。
      【背景技術(shù)】
      [0002]石墨三瓣禍?zhǔn)菃尉t內(nèi)十分重要的熱場部件,多晶硅原料放在高純石英坩禍內(nèi),高純石英坩禍放在石墨三瓣禍內(nèi),加熱器在石墨三瓣禍外通過熱輻射和熱傳遞的方式加熱多晶硅料。石英坩禍的熔點為1750°C,但當(dāng)溫度達(dá)到1200°C時,石英坩禍就軟化,完全貼合在石墨三瓣禍上。所以石墨三瓣禍要承受石英坩禍及硅料的重力及硅料自轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力。這兩個力的作用下會使石墨三瓣禍每瓣間產(chǎn)生一定的縫隙,在單晶爐內(nèi)高溫下,這個縫隙的石墨容易與硅蒸汽發(fā)生反應(yīng),生成SiC。由于SiC與石墨的熱膨脹系數(shù)不一樣,在反復(fù)使用熱脹冷縮的情況下,SiC容易脫落,導(dǎo)致石墨三瓣禍每瓣的連接處厚度減薄,甚至出現(xiàn)斷裂。拉晶時出現(xiàn)石墨三瓣禍斷裂是很嚴(yán)重的事故,輕則產(chǎn)生墩禍,浪費石英坩禍、重新酸性多晶硅料和拉晶時間等成本,重則造成加熱器打火、漏硅等損壞單晶熱場石墨件的事故。
      [0003]因此,需要一種能防止三瓣禍斷裂而掉落的三瓣禍瓣體。
      【實用新型內(nèi)容】
      [0004]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種石墨三瓣禍瓣體,能提高石墨三瓣禍?zhǔn)褂脡勖头乐谷甑湐嗔讯袈洹?br>[0005]本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的:一種石墨三瓣禍瓣體,該石墨三瓣禍瓣體的上沿兩端分別開設(shè)有盲孔。
      [0006]進(jìn)一步的,所述盲孔直徑為3?10mm,深度為8?25mm。
      [0007]進(jìn)一步的,所述盲孔直徑為Φ6ι?πι,深度為15mm。
      [0008]進(jìn)一步的,所述盲孔內(nèi)設(shè)螺紋。
      [0009]本實用新型的有益效果是:本實用新型中的石墨三瓣禍瓣體的上沿兩端分別開設(shè)有一盲孔,該盲孔可用于通過螺栓和連接板連接兩個相鄰的石墨三瓣禍瓣體,用于防止石墨三瓣禍在外力作用下張開,并能有在一定程度上避免斷裂的三瓣禍與加熱器接觸而出現(xiàn)打火及漏硅事故,并能有效延長三瓣禍的使用壽命。
      【附圖說明】
      [0010]圖1為本實用新型中石墨三瓣禍的剖視圖;
      [0011]圖2為本實用新型中石墨三瓣禍的俯視圖;
      [0012]圖中,1-石墨三瓣禍瓣體,2-盲孔。
      【具體實施方式】
      [0013]下面結(jié)合附圖進(jìn)一步詳細(xì)描述本實用新型的技術(shù)方案,但本實用新型的保護(hù)范圍不局限于以下所述。
      [0014]如圖1所示,一種石墨三瓣禍瓣體,該石墨三瓣禍瓣體1的上沿兩端分別開設(shè)有盲孔2。
      [0015]進(jìn)一步的,所述盲孔2的直徑為3?10mm,深度為8?25mm。
      [0016]進(jìn)一步的,所述盲孔2的直徑為6mm,深度為15mm。
      [0017]進(jìn)一步的,所述盲孔2內(nèi)設(shè)螺紋。
      [0018]如圖2所示,本實用新型在石墨三瓣禍每瓣瓣體1的上沿連接處打一個直徑C>6mm、深度15mm的盲孔2,再用外徑C>6mm,長度Φ30mm的石墨螺栓插入盲孔內(nèi),每兩個三瓣禍的連接處用石墨模套即連接板套住石墨螺栓,防止石墨三瓣禍在外力作用下張開,并能有在一定程度上避免斷裂的三瓣禍與加熱器接觸而出現(xiàn)打火及漏硅事故。
      【主權(quán)項】
      1.一種石墨三瓣禍瓣體,其特征在于:該石墨三瓣禍瓣體(1)的上沿兩端分別開設(shè)有盲孔(2),所述盲孔(2)內(nèi)設(shè)螺紋,將石墨螺栓插入盲孔(2)內(nèi),每兩個三瓣禍的連接處用連接板套住石墨螺栓,所述連接件為石墨模套。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨三瓣禍瓣體,其特征在于:所述盲孔(2)的直徑為3?10mm,深度為8?25mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石墨三瓣禍瓣體,其特征在于:所述盲孔(2)的直徑為6mm,深度為 15πιπ^
      【專利摘要】本實用新型公開了一種石墨三瓣堝瓣體,該石墨三瓣堝瓣體(1)的上沿兩端分別開設(shè)有盲孔(2)。本實用新型中的石墨三瓣堝瓣體的上沿兩端分別開設(shè)有一盲孔,該盲孔可用于通過螺栓和連接板連接兩個相鄰的石墨三瓣堝瓣體,用于防止石墨三瓣堝在外力作用下張開,并能有在一定程度上避免斷裂的三瓣堝與加熱器接觸而出現(xiàn)打火及漏硅事故,并能有效延長三瓣堝的使用壽命。
      【IPC分類】C30B29/06, C30B35/00
      【公開號】CN205062234
      【申請?zhí)枴緾N201520735357
      【發(fā)明人】朱剛, 蘇啟暉
      【申請人】成都炭素有限責(zé)任公司
      【公開日】2016年3月2日
      【申請日】2015年9月22日
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