一種新型晶體爐熱場的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及晶體制作加工技術領域,尤其涉及一種新型晶體爐熱場。
【背景技術】
[0002]在晶體生長技術領域,熱場分布、均勻性等指標決定著晶體生長的質量。而熱場主要由晶體加熱器和保溫層組成。目前晶體加熱器一般分為以下幾種:鳥籠式一由鎢棒組成鳥籠形狀;瓦片式一由鎢絲網(wǎng)或鎢片組成的加熱器;籠裝加熱器一有鎢片或者石墨制成;繞線式感應加熱利用感應磁場產(chǎn)生感應電流加熱。
[0003]針對籠裝加熱器,其加熱一般是從側面加熱,這樣就非常有可能在頂部的中心形成一個冷點,對于從底部生長的晶體會產(chǎn)生過高的生長界面,降低晶體的品質。雖然能夠通過增加上加熱器解決這個問題,但這樣會極大的增加成本,并且由于大部分晶體需要從上部取出,增加上加熱器,會帶來很多電氣和操作問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型主要是解決現(xiàn)有技術中所存在的技術問題,從而提供一種增加頂部熱輻射、減小了晶體生長的固液界面且能提高頂部良率的新型晶體爐熱場。
[0005]本實用新型的上述技術問題主要是通過下述技術方案得以解決的:
[0006]本實用新型提供的新型晶體爐熱場,包括籠式加熱器,所述籠式加熱器的上部圓周方向上設有多個電極,所述籠式加熱器的頂部設有一蓋板,所述蓋板由相互獨立的多個連接擋板組成,多個所述連接擋板與多個所述電極一一對應,每個所述連接擋板包括連接體和扇形擋板體,所述連接體套設在對應的所述電極上,且與所述電極固定連接,多個所述扇形擋板體處于同一平面內(nèi),且相鄰的所述扇形擋板體之間還設有一間隙。
[0007]進一步地,所述連接體的內(nèi)側面為弧面,其外側面為平面,所述內(nèi)側面與所述籠式加熱器的外表面相配合。
[0008]進一步地,所述連接體和扇形擋板體一體式成型,且其采用與所述籠式加熱器相同的材料制作而成。
[0009]進一步地,所述電極的數(shù)量為三個,且沿所述籠式加熱器的圓周方向上平均分布。
[0010]進一步地,相鄰的所述扇形擋板體之間的間隙大小為5-10mm。
[0011]進一步地,每個所述扇形擋板體的頂端還設有一圓弧形缺口。
[0012]本實用新型的有益效果在于:當通電加熱時,籠式加熱器上的熱量會部分的從連接體傳導至扇形擋板體,通過扇形擋板體增加晶體頂部的熱輻射,其減小了晶體生長的固液界面,增加頂部平整度,提高頂部良率。
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1是本實用新型的新型晶體爐熱場的使用狀態(tài)圖;
[0015]圖2是本實用新型的新型晶體爐熱場的連接擋板的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結合附圖對本實用新型的優(yōu)選實施例進行詳細闡述,以使本實用新型的優(yōu)點和特征能更易于被本領域技術人員理解,從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。
[0017]參閱圖1-2所示,本實用新型的新型晶體爐熱場,包括籠式加熱器1,籠式加熱器1的上部圓周方向上設有多個電極2,本實用新型中,籠式加熱器1采用的是三相電,所以電極2的數(shù)量可設為三個,且沿籠式加熱器1的圓周方向上平均分布?;\式加熱器1的頂部設有一蓋板,蓋板由相互獨立的多個連接擋板3組成,多個連接擋板3與多個電極2 —一對應,每個連接擋板3包括連接體4和扇形擋板體5,連接體4套設在對應的電極2上,且與電極2固定連接,多個扇形擋板體5處于同一平面內(nèi),且相鄰的扇形擋板體5之間還設有一間隙8。本實用新型中,設置的間隙8主要為了防止多個扇形擋板體5之間相互導電,優(yōu)選的,該間隙8大小為5-10mm。并且為了進一步防止導電,每個扇形擋板體5的頂端還設有一圓弧形缺口 9。其中,扇形擋板體5的厚度以實際需要的跨度進行合理設定,確保其堅固性即可。
[0018]具體的,為了提高連接體4與籠式加熱器1的貼合度,提高熱傳導效率,連接體4的內(nèi)側面6為弧面,內(nèi)側面6與籠式加熱器1的外表面相配合。連接體4的外側面7為平面,主要為了方便螺栓的緊固和鎖緊。
[0019]為了減少工序,方便加工,連接體4和扇形擋板體5—體式成型,且其采用與籠式加熱器1相同的材料制作而成,避免改變籠式加熱器1的電阻率。
[0020]綜上,本實用新型的優(yōu)點在于:
[0021]1)、增加了晶體頂部的熱輻射,減小了晶體生長的固液界面(降低5%左右),增加頂部平整度,提高了頂部良率(增加15%以上)。
[0022]2)、不需要新增電路控制系統(tǒng),只使用和籠式加熱器1接觸的連接擋板3,電流不產(chǎn)生回路,不會因電阻變化,影響功率。
[0023]3)、在密閉的環(huán)境中增加不和外界接觸的連接擋板3,因此并不引入冷源,不會增加功率的消耗。
[0024]以上,僅為本實用新型的【具體實施方式】,但本實用新型的保護范圍并不局限于此,任何不經(jīng)過創(chuàng)造性勞動想到的變化或替換,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此,本實用新型的保護范圍應該以權利要求書所限定的保護范圍為準。
【主權項】
1.一種新型晶體爐熱場,包括籠式加熱器(1),所述籠式加熱器(1)的上部圓周方向上設有多個電極(2),其特征在于:所述籠式加熱器(1)的頂部設有一蓋板,所述蓋板由相互獨立的多個連接擋板(3)組成,多個所述連接擋板(3)與多個所述電極(2) —一對應,每個所述連接擋板(3)包括連接體(4)和扇形擋板體(5),所述連接體(4)套設在對應的所述電極(2)上,且與所述電極(2)固定連接,多個所述扇形擋板體(5)處于同一平面內(nèi),且相鄰的所述扇形擋板體(5)之間還設有一間隙(8)。2.如權利要求1所述的新型晶體爐熱場,其特征在于:所述連接體⑷的內(nèi)側面(6)為弧面,其外側面(7)為平面,所述內(nèi)側面(6)與所述籠式加熱器(1)的外表面相配合。3.如權利要求2所述的新型晶體爐熱場,其特征在于:所述連接體(4)和扇形擋板體(5) 一體式成型,且其采用與所述籠式加熱器(1)相同的材料制作而成。4.如權利要求3所述的新型晶體爐熱場,其特征在于:所述電極(2)的數(shù)量為三個,且沿所述籠式加熱器(1)的圓周方向上平均分布。5.如權利要求4所述的新型晶體爐熱場,其特征在于:相鄰的所述扇形擋板體(4)之間的間隙(8)大小為5-10_。6.如權利要求1所述的新型晶體爐熱場,其特征在于:每個所述扇形擋板體(5)的頂端還設有一圓弧形缺口(9)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型晶體爐熱場,包括籠式加熱器,所述籠式加熱器的上部圓周方向上設有多個電極,所述籠式加熱器的頂部設有一蓋板,所述蓋板由相互獨立的多個連接擋板組成,多個所述連接擋板與多個所述電極一一對應,每個所述連接擋板包括連接體和扇形擋板體,所述連接體套設在對應的所述電極上,且與所述電極固定連接,多個所述扇形擋板體處于同一平面內(nèi),且相鄰的所述扇形擋板體之間還設有一間隙。本實用新型中,當通電加熱時,籠式加熱器上的熱量會部分的從連接體傳導至扇形擋板體,通過扇形擋板體增加晶體頂部的熱輻射,其減小了晶體生長的固液界面,增加頂部平整度,提高頂部良率。
【IPC分類】C30B35/00
【公開號】CN205062236
【申請?zhí)枴緾N201520781384
【發(fā)明人】季泳, 張龔磊
【申請人】貴陽嘉瑜光電科技咨詢中心
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年10月10日