清灰裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于單晶制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種清灰裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅廣泛應用于太陽能電池與半導體的制作，是光伏與電子工業(yè)發(fā)展的基石。切克勞斯法(直拉法)是一種常用的單晶硅制造方法，在制造過程中，爐內(nèi)會出現(xiàn)大量的氧化硅等揮發(fā)物，現(xiàn)有單晶爐中設置有排氣管道，并借助真空栗將揮發(fā)物抽出。然而，一方面，由于拉晶的過程中爐內(nèi)本身保持負壓，氣流帶走的揮發(fā)物有限；另一方面，揮發(fā)物從高溫的爐中進入較低溫的排氣管道，會發(fā)生快速冷凝，揮發(fā)物容易大量沉積于排氣管道內(nèi)壁。目前，多數(shù)單晶硅生產(chǎn)廠家采用人工對排氣管道中的沉積物進行清理和清掃，不僅費時費力，而且揮發(fā)物遇空氣容易燃燒，存在較大的事故風險。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種清灰裝置，解決了現(xiàn)有的清灰方式存在的清掃難度大以及危險程度高的問題。
[0004]本實用新型所采用的技術(shù)方案是:清灰裝置，用于對單晶爐進行清灰，包括氣體壓縮機、供氣機構(gòu)和超聲波發(fā)生器，供氣機構(gòu)將氣體壓縮機與單晶爐連接，超聲波發(fā)生器設置于供氣機構(gòu)上。
[0005]本實用新型的特點還在于，
[0006]單晶爐具有多個通道，供氣機構(gòu)包括與所述多個通道一一對應并相連的多個供氣路，氣體壓縮機通過多個相連的供氣路和通道與單晶爐連接。
[0007]供氣機構(gòu)還包括與多個供氣路共同連接的主管道，超聲波發(fā)生器設置于所述主管道。
[0008]還包括移載車，氣體壓縮機、供氣機構(gòu)和超聲波發(fā)生器設置于移載車上。
[0009]本實用新型的有益效果是:本實用新型的清灰裝置解決了現(xiàn)有的清灰方式存在的清掃難度大以及危險程度高的問題。本實用新型的清灰裝置利用氣體壓縮機提供壓縮氣體，結(jié)合超聲波發(fā)生器，實現(xiàn)了單晶爐的自動清灰，省時省力，減少事故風險，并且清灰效果好，有利于尚品質(zhì)拉晶。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的清灰裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011 ]圖2是本實用新型的清灰裝置的使用狀態(tài)圖。
[0012]圖中，10.清灰裝置，1.氣體壓縮機，2.供氣機構(gòu)，3超聲波發(fā)生器.，4.移載車，21.主管道，22.供氣路，100.單晶爐，101.通道。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型進行詳細說明。
[0014]本實用新型提供的清灰裝置10的結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括氣體壓縮機1、供氣機構(gòu)2、超聲波發(fā)生器3和移載車4，氣體壓縮機1、供氣機構(gòu)2和超聲波發(fā)生器3均設置于移載車4上。
[0015]氣體壓縮機I為常用的把機械能轉(zhuǎn)換為氣體壓力能的一種動力裝置，本實施例中，氣體壓縮機I為空氣壓縮機。
[0016]如圖1和圖2所示，供氣機構(gòu)2將氣體壓縮機I與單晶爐100相連。單晶爐100通常具有多個通道101，供氣機構(gòu)2包括相連接的一個主管道21及多個供氣路22，多個供氣路22與單晶爐100的多個通道1I——對應，并且每個供氣路22與單晶爐100的一個通道1I連接。本實施例中，供氣路22與通道101均為兩個。當然，并不限于為兩個，還可以為一個、三個、四個或者更多。
[0017]超聲波發(fā)生器3設置于供氣機構(gòu)2，具體地，設置于供氣機構(gòu)2的主管道21。
[0018]使用本實施例的清灰裝置10對單晶爐100進行清灰時，可包括以下步驟:首先，利用移載車4將清灰裝置10移至單晶爐100旁，從移載車4上取出供氣機構(gòu)2，將多個供氣路22與單晶爐100的多個通道101—一對應連接;然后，調(diào)節(jié)氣體壓縮機I及超聲波發(fā)生器3的參數(shù)，開啟氣體壓縮機I及超聲波發(fā)生器3，進行清灰。
[0019]本實用新型的清灰裝置利用氣體壓縮機提供壓縮氣體，結(jié)合超聲波發(fā)生器，實現(xiàn)了單晶爐自動清灰，省時省力，減少事故風險。并且清灰效果好，有利于高品質(zhì)拉晶。
【主權(quán)項】
1.清灰裝置，其特征在于，用于對單晶爐(100)進行清灰，包括氣體壓縮機(I)、供氣機構(gòu)(2)和超聲波發(fā)生器(3)，所述供氣機構(gòu)(2)將所述氣體壓縮機(I)與所述單晶爐(100)連接，所述超聲波發(fā)生器(3)設置于所述供氣機構(gòu)(2)上。2.如權(quán)利要求1所述的清灰裝置，其特征在于，所述單晶爐(100)具有多個通道(101)，所述供氣機構(gòu)(2)包括與所述多個通道(101)—一對應并相連的多個供氣路(22)，所述氣體壓縮機(I)通過所述多個相連的供氣路(22)和通道(101)與所述單晶爐(100)連接。3.如權(quán)利要求2所述的清灰裝置，其特征在于，所述供氣機構(gòu)(2)還包括與所述多個供氣路(22)共同連接的主管道(21)，所述超聲波發(fā)生器(3)設置于所述主管道(21)。4.如權(quán)利要求1-3任一項所述的清灰裝置，其特征在于，還包括移載車(4)，所述氣體壓縮機(I)、供氣機構(gòu)(2)和超聲波發(fā)生器(3)設置于所述移載車(4)上。
【專利摘要】本實用新型公開的清灰裝置，用于對單晶爐進行清灰，包括氣體壓縮機、供氣機構(gòu)和超聲波發(fā)生器，供氣機構(gòu)將氣體壓縮機與單晶爐連接，超聲波發(fā)生器設置于供氣機構(gòu)上。本實用新型的清灰裝置解決了現(xiàn)有的清灰方式存在的清掃難度大以及危險程度高的問題。本實用新型的清灰裝置利用氣體壓縮機提供壓縮氣體，結(jié)合超聲波發(fā)生器，實現(xiàn)了單晶爐的自動清灰，省時省力，減少事故風險，并且清灰效果好，有利于高品質(zhì)拉晶。
【IPC分類】C30B15/00, B08B9/093, B08B7/00, C30B29/06
【公開號】CN205188474
【申請?zhí)枴緾N201520896480
【發(fā)明人】周銳, 李僑, 付澤華, 文勇, 王福敏
【申請人】西安隆基硅材料股份有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年11月11日