一種硅烷類合成尾氣回收裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種尾氣回收裝置，具體涉及一種硅烷類合成尾氣回收裝置，屬于環(huán)保設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在一些合成項目類中，一般都會出現(xiàn)大量的尾氣，且其中大部分為未完全參加反應(yīng)的原料氣體。如何對這些氣體進(jìn)行有效的綜合利用，是提高工藝性能和減輕環(huán)保壓力的重中之重。
[0003]傳統(tǒng)的對硅烷類合成氣體的綜合利用，主要是有加壓冷凝回收，變壓吸附回收，活性炭吸收，或者兼而有之。雖然在一定程度上解決了環(huán)保上的壓力，也能夠回收部分的原料或者中間產(chǎn)品，但存在效率低下、能耗高、環(huán)保投入大以及不能徹底解決環(huán)保污染等等問題的存在。
[0004]因此，為解決上述技術(shù)問題，確有必要提供一種創(chuàng)新的硅烷類合成尾氣回收裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的所述缺陷。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]為解決上述問題，本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、成本低、穩(wěn)定可靠且不會產(chǎn)生新的廢水的硅烷類合成尾氣回收裝置。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取的技術(shù)方案為:一種硅烷類合成尾氣回收裝置，其包括進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、第二冷凝器以及進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐;其中，所述進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、第二冷凝器、進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐和合成爐依次通過管道連接;所述進(jìn)氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設(shè)有一自動調(diào)節(jié)閥。
[0007]本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置進(jìn)一步設(shè)置為:所述進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設(shè)有一單向截止閥。
[0008]本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置還設(shè)置為:所述第一冷凝器和尾氣緩沖罐之間的管道與進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐之間連接有一支管，于支管上也設(shè)有一自動調(diào)節(jié)閥。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如下有益效果:
[0010]1.裝置結(jié)構(gòu)簡單，處理工藝簡單且成本低廉，且穩(wěn)定性好；
[0011]2.原料氣體循環(huán)利用，沒有額外污染物。傳統(tǒng)工藝只能盡量回收，最終還是要依靠尾氣中和吸收裝置來完成回收。在解決尾氣問題的同時又帶來廢水的問題，更有甚者在中間利用活性炭吸附，雖然進(jìn)一步提高了吸附效果，也帶來了新的固廢污染物；
[0012]3.實用推廣性強(qiáng)。該工藝可推廣至很多項目中，因為大多數(shù)合成項目尾氣中的主要成分就是原料和少量物料，在滿足一定條件下均可才用此工藝進(jìn)行尾氣處理。
[0013]4.效果顯著，治理徹底。本項目最終的的目標(biāo)能夠達(dá)到對尾氣的綜合利用超過99%，不會產(chǎn)生新的工業(yè)廢水。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0015]請參閱說明書附圖1所示，本實用新型為一種硅烷類合成尾氣回收裝置，其由進(jìn)氣緩沖罐1、合成爐3、第一冷凝器5、尾氣緩沖罐7、隔膜壓縮機(jī)8、第二冷凝器9以及進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐10等幾部分組成。
[0016]其中，所述進(jìn)氣緩沖罐1、合成爐3、第一冷凝器5、尾氣緩沖罐7、隔膜壓縮機(jī)8、第二冷凝器9、進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐10和合成爐3依次通過管道連接。
[0017]所述進(jìn)氣緩沖罐I和合成爐之3間的管道上設(shè)有一自動調(diào)節(jié)閥2。
[0018]所述進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐10和合成爐3之間的管道上設(shè)有一單向截止閥4。
[0019]所述第一冷凝器5和尾氣緩沖罐7之間的管道與進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐10之間連接有一支管11，于支管11上也設(shè)有一自動調(diào)節(jié)閥6。
[0020]本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置的工作原理如下:當(dāng)合成所需要的氯氣(設(shè)定流量為60m3/h)通過進(jìn)氣緩沖罐I緩沖，經(jīng)過自動調(diào)節(jié)閥2控制，從而使氯氣進(jìn)合成爐3的壓力為恒定值(設(shè)定0.15MPa)。合成完的尾氣經(jīng)過第一冷凝器5后的液體即為產(chǎn)品，經(jīng)底部管道流向儲罐。該反應(yīng)為一減壓反應(yīng)，合成效率為96%。合成的尾氣未冷凝尾氣主要包含未反應(yīng)氯氣和未完全冷凝四氯化硅氣體，尾氣中組分主要為80 %四氯化硅氣體，20 %氯氣。此時尾氣壓力為不超過0.05MPa，流量為6m3/h，尾氣通過第一冷凝器5頂部管道輸送至尾尾氣緩沖罐7。尾氣再經(jīng)過隔膜壓縮機(jī)8壓縮后，壓力提升為氯氣的輸入壓力0.15MPa。該尾氣經(jīng)過第二冷凝器9的進(jìn)一步冷凝，其中70 %的四氯化硅將再度被冷凝為液體，并經(jīng)過第二冷凝器9底部的管道排送至儲罐。未冷凝的氣體輸送至進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐10，此時氣體的壓力為組分為55%四氯化硅氣體，45%氯氣，流量為2.64m3/h。尾氣經(jīng)過單向截止閥4輸送至合成爐3進(jìn)氣口，單向截止閥4開啟壓力設(shè)置為0.15MPa，保證其壓力不會干擾到合成爐的進(jìn)氯氣。經(jīng)過壓縮的尾氣，氯氣可以繼續(xù)參與合成爐的反應(yīng)，四氯化硅則可以對抑制四氯化硅的合成，保證合成爐的反應(yīng)平穩(wěn)。由于尾氣總量偏小，壓縮機(jī)的壓縮量較大，工藝設(shè)置了自動調(diào)節(jié)補(bǔ)氣裝置。當(dāng)壓縮量過大時，進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐10壓力低于0.0lMPa時，支管11上的自動調(diào)節(jié)閥6開啟，將壓縮過的尾氣直接補(bǔ)充至壓縮機(jī)前，防止出現(xiàn)負(fù)壓。
[0021 ]以上整個工藝能夠保證在正常生產(chǎn)情況下，完全無尾氣排放，在三氯氫硅合成項目中同樣適用本工藝。從根本上徹底解決了，硅烷合成系統(tǒng)中尾氣對環(huán)境造成的污染問題。
[0022]以上的【具體實施方式】僅為本創(chuàng)作的較佳實施例，并不用以限制本創(chuàng)作，凡在本創(chuàng)作的精神及原則之內(nèi)所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本創(chuàng)作的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種硅烷類合成尾氣回收裝置，其特征在于:包括進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、第二冷凝器以及進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐;其中，所述進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、第二冷凝器、進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐和合成爐依次通過管道連接;所述進(jìn)氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設(shè)有一自動調(diào)節(jié)閥。2.如權(quán)利要求1所述的硅烷類合成尾氣回收裝置，其特征在于:所述進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設(shè)有一單向截止閥。3.如權(quán)利要求1所述的硅烷類合成尾氣回收裝置，其特征在于:所述第一冷凝器和尾氣緩沖罐之間的管道與進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐之間連接有一支管，于支管上也設(shè)有一自動調(diào)節(jié)閥。
【專利摘要】本實用新型涉及一種硅烷類合成尾氣回收裝置，其包括進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、第二冷凝器以及進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐；其中，所述進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機(jī)、第二冷凝器、進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐和合成爐依次通過管道連接；所述進(jìn)氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設(shè)有一自動調(diào)節(jié)閥。本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低、穩(wěn)定可靠且不會產(chǎn)生新的廢水等諸多優(yōu)點。
【IPC分類】C01B33/107
【公開號】CN205367746
【申請?zhí)枴緾N201521107083
【發(fā)明人】羅全安, 何壽林
【申請人】武漢新硅科技潛江有限公司
【公開日】2016年7月6日
【申請日】2015年12月26日