專利名稱：：用于穩(wěn)定不飽和烴基前體的穩(wěn)定劑的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明一般地涉及穩(wěn)定劑，更具體地涉及用于穩(wěn)定不飽和烴基前體的穩(wěn)定劑。
背景技術(shù)：
：未來的介電薄膜采用與有機(jī)硅酸鹽前體結(jié)合的致孔劑(porogens)產(chǎn)生多孔低k薄膜。為此，使飽和或不飽和烴基致孔劑與有機(jī)硅酸鹽共沉積以產(chǎn)生包含有機(jī)硅酸鹽前體與有機(jī)致孔劑的混合物的初始復(fù)合薄膜。隨后對(duì)該薄膜施以各種處理法以分解致孔劑。在此固化法過程中，致孔劑副產(chǎn)物作為氣態(tài)物釋放出來，留下在致孔劑空出的空間中含有空隙的有機(jī)硅酸鹽基質(zhì)。所得空隙或氣穴具有為1的固有介電常數(shù)，其影響是使得多孔固體的總介電常數(shù)降至低于致密基質(zhì)材料。在微電子工業(yè)中使用有機(jī)前體的其它領(lǐng)域是碳硬掩模的沉積和抗反射涂層的沉積。這些薄膜通過使用烴前體，尤其是不飽和有機(jī)烴的等離子體增強(qiáng)的化學(xué)氣相沉積(PECVD)法沉積。不飽和烴基材料已經(jīng)作為與適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)硅酸鹽前體一起用于沉積多孔低k薄膜的致孔劑前體進(jìn)行了評(píng)測(cè)。但是，容易聚合的許多不飽和烴在環(huán)境溫度下或在特定化學(xué)品的正常加工、提純或應(yīng)用過程中常遇到的中等溫度下逐漸降解或聚合?，F(xiàn)有物，如酚、胺、羥胺、硝基化合物、奎寧化合物和某些無機(jī)鹽)聚合的各種化學(xué)品。其實(shí)例是公知在儲(chǔ)罐中或在環(huán)境溫度下運(yùn)輸?shù)倪^程中發(fā)生逐漸聚合的單體，如丁二烯和異戊二烯。在共同轉(zhuǎn)讓給本發(fā)明受讓人的美國(guó)專利No.6,846,515中描迷了一些不飽和烴基前體材料，該專利全文在此引用作為參考。2,5-降冰片二烯(NBDE)是作為使用化學(xué)氣相沉積(CVD)法制造低介7電常數(shù)薄膜用的致孔劑、碳硬掩模和抗反射涂層的前體評(píng)測(cè)的主要材料之一。異戊二烯是用于沉積碳硬掩模和抗反射涂層的一種有前景的前體。但是，NBDE和異戊二烯在低聚/聚合方面是熱不穩(wěn)定的。NBDE和異戊二烯在環(huán)境溫度下以顯著速率降解以形成可溶的NBDE和異戊二烯低聚降解產(chǎn)物。異戊二烯也已知發(fā)生相對(duì)迅速的二聚反應(yīng)。因此，NBDE和異戊二烯中溶解的低聚物的濃度預(yù)計(jì)在其用作介電材料前體之前的運(yùn)輸和儲(chǔ)存過程中隨時(shí)間逐漸升高。此外，可溶低聚物在與更極性的液體如二乙氧基甲基硅烷(DEMS)接觸時(shí)立即沉淀。這種不穩(wěn)定性預(yù)計(jì)造成前體輸送問題和薄膜品質(zhì)問題?；瘜W(xué)品賣主通常供應(yīng)含有百萬分之100-1000份(ppm)2力-二叔丁基-4-曱基苯酚(也稱作丁基化羥基甲苯或以首字母縮寫詞BHT表示)的NBDE。BHT目前被用作為運(yùn)輸和儲(chǔ)存用途而減緩NBDE降解速率的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)品。但是，BHT具有有限的抑制NBDE降解的效力。最近公開的Teff等人的美國(guó)專利申請(qǐng)20070057235教導(dǎo)了使用酚式抗氧化劑使NBDE穩(wěn)定化。為使NBDE或異戊二烯在制造環(huán)境中耐久，關(guān)鍵的是，使低聚物(即非揮發(fā)性殘留物)含量最小化以避免加工問題和使制造商能夠達(dá)到半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)定的苛刻的薄膜品質(zhì)規(guī)格。本發(fā)明公開了可用于減緩不飽和烴前體的降解速率的有效穩(wěn)定劑，由此減輕可能由前體不穩(wěn)定性引起的潛在工藝問題和薄膜品質(zhì)問題，由此提高這類材料用作制造高品質(zhì)低介電常數(shù)薄膜用的致孔劑、碳硬掩模材料和抗反射涂層的前體的耐久性。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案是基本由不飽和烴基前體材料和選自羥基二苯曱酮基穩(wěn)定劑和硝酰游離基型穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑構(gòu)成的穩(wěn)定化組合物。本發(fā)明的另一實(shí)施方案是基本由不飽和烴基材料、至少一種極性液體和選自羥基二苯曱酮基穩(wěn)定劑、硝酰游離基型穩(wěn)定劑和氫醌基穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑構(gòu)成的穩(wěn)定化組合物。本發(fā)明的另一實(shí)施方案是基本由2,5-降冰片二烯(NBDE)和選自羥基二笨甲酮基穩(wěn)定劑和硝酰游離基型穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑構(gòu)成的穩(wěn)定化組合物。8本發(fā)明的再一實(shí)施方案是使不飽和烴基前體材料穩(wěn)定以防聚合的方法。該方法包括提供選自羥基二苯甲酮基穩(wěn)定劑和硝酰游離基型穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑。本發(fā)明的又一實(shí)施方案是使2，5-降水片二烯(NBDE)穩(wěn)定以防其聚合的方法，包括提供選自羥基二笨甲酮基穩(wěn)定劑和硝酰游離基型穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑。本發(fā)明的又一實(shí)施方案是使不飽和烴基前體穩(wěn)定以免在該不飽和烴與至少一種極性液體接觸時(shí)固體沉淀的方法，包括(a)向不飽和烴基前體中加入選自羥基二苯曱酮基穩(wěn)定劑、硝酰游離基型穩(wěn)定劑和氫醌基穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑；和(b)使(a)中的混合物與至少一種極性液體接觸。本發(fā)明的再一實(shí)施方案是使不飽和烴基前體穩(wěn)定以免在DLI(直接液體注射)期間在經(jīng)由加熱孔流入沉積室的過程中原位形成固體的方法。對(duì)于上述實(shí)施方案，不飽和烴基前體材料可以具有環(huán)狀或無環(huán)結(jié)構(gòu)，其中環(huán)狀結(jié)構(gòu)選自(a)至少一種具有式CnHh-2x的羊或多不飽和環(huán)烴，其中x是不飽和位點(diǎn)數(shù)，n是4至14,該環(huán)狀結(jié)構(gòu)中的碳數(shù)為4至10;和(b)至少一種具有式CnH2n_(2+2x^多不飽和雙環(huán)烴，其中x是不飽和位點(diǎn)數(shù)，n是4至14，該雙環(huán)結(jié)構(gòu)中的碳數(shù)為4至12;羥基二苯甲酮基穩(wěn)定劑由下列結(jié)構(gòu)所示其中基團(tuán)R1至R^至少之一是羥基，其余R1至R"獨(dú)立地選自氫、羥基、d-C!8直鏈、支鏈或環(huán)狀烷基、d-ds直鏈、支鏈或環(huán)狀鏈烯基、d-C18直鏈、支鏈或環(huán)狀烷氧基、取代或未取代的CrC8芳基及其組合；硝酰游離基型穩(wěn)定劑由具有至少一個(gè)NO基團(tuán)的結(jié)構(gòu)所示9其中凸點(diǎn)"，"表示一個(gè)未成對(duì)電子；R1至R"蟲立地選自直鏈或支鏈的、取代或未取代的烷基或鏈烯基，其鏈長(zhǎng)足以為NO基團(tuán)提供位阻；其中被取代的基團(tuán)包含選自羥基、羰基、醇鹽和羧基的含氧基團(tuán)；且115和116獨(dú)立地選自直鏈或支鏈的、取代或未取代的烷基或鏈彿基。對(duì)于上文的一些實(shí)施方案，不飽和烴基前體材料選自2，5-降水片二彿(NBDE)和異戊二烯；硝酰游離基型穩(wěn)定劑選自2，2，6,6-四甲基-1-哌咬氧基(TEMPO)、4-羥基-2,2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)及其組合；羥基二苯甲酮基穩(wěn)定劑選自2-羥基-4-甲氧基-二苯甲酮(2H4MB)、2,4-二羥基二苯曱酮(24DHB)、2,2，-二羥基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)及其組合；氫醌基穩(wěn)定劑選自甲基氫醌(MHQ)、氫醌單甲醚(HQMME)及其組合；且至少一種極性液體選自二乙氧基曱基硅烷(DEMS)、異丙醇(IPA)及其混合物。圖1.從NBDE老化樣品的蒸發(fā)中收集的非揮發(fā)性殘留物的固體探針質(zhì)譜。圖2.本發(fā)明的不同穩(wěn)定劑對(duì)NBDE在80。C下的降解速率的影響。圖3.不同穩(wěn)定劑對(duì)NBDE在8(TC下的降解速率的影響；本發(fā)明的穩(wěn)定劑顯示在右邊，現(xiàn)有技術(shù)中所用的穩(wěn)定劑顯示在左邊。圖4.由于儲(chǔ)存和運(yùn)輸之前期間NBDE的降解，DLI注射器上的殘留物沉淀才幾制的示意圖。圖5.經(jīng)由DLI過程中的NBDE原位反應(yīng)形成殘留物的機(jī)制的示意圖。圖6.使用二乙氧基甲基硅烷和BCHD沉積的多孔薄膜的動(dòng)態(tài)二次o離子質(zhì)譜(dSIMS)圖，其中BCHD含有400和1000ppm的TEMPO。具體實(shí)施例方式不飽和烴基前體材料可以是環(huán)狀不飽和烴基的。環(huán)狀不飽和烴基前體材料可以是具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)和式CnH2n.2x的單或多不飽和環(huán)烴，其中x是不飽和位點(diǎn)數(shù)，n是4至14,該環(huán)狀結(jié)構(gòu)中的碳數(shù)為4至0,且至少一種單或多不飽和環(huán)烴任選含有多個(gè)取代到環(huán)狀結(jié)構(gòu)上的簡(jiǎn)單或支鏈烴取代基，并且在內(nèi)環(huán)內(nèi)或在烴取代基之一上含有不飽和。實(shí)例包括環(huán)己烯、乙烯基環(huán)己烷、二甲基環(huán)己烯、叔丁基環(huán)己烯、(x-薛品烯、蒗烯、1,5-二曱基-1，5-環(huán)辛二烯和乙烯基-環(huán)己烯。環(huán)狀不飽和烴基前體材料也可以是通式CnH2n.(2+2x>々；不飽和雙環(huán)烴，其中x是分子中的不飽和位點(diǎn)數(shù)，n-4-14，其中該雙環(huán)結(jié)構(gòu)中的碳數(shù)為4至12，且其中可以存在多個(gè)取代到環(huán)狀結(jié)構(gòu)上的簡(jiǎn)單或支鏈烴。不飽和可以位于內(nèi)環(huán)內(nèi)或位于環(huán)狀結(jié)構(gòu)的烴取代基之一上。實(shí)例包括莰烯、降水片烯、降冰片二烯等。不飽和的烴基前體材料也可以是無環(huán)的，如直鏈烴基的。無環(huán)不飽和烴基前體材料的實(shí)例是異戊二烯。優(yōu)選地，選擇NBDE和異戊二烯作為制造低k介電材料的前體。NBDE(2，5-降水片二烯)由于其高的化學(xué)不飽和程度(這被認(rèn)為產(chǎn)生有利的沉積性能，如高沉積速率和高利用效率)，是特別有吸引力的前體備選物。利用效率涉及相對(duì)于有機(jī)硅酸鹽前體，為沉積具有給定介電常數(shù)的多孔低k薄膜所需的烴致孔劑前體的量。不幸地，NBDE的高不飽和程度也可能造成其在低聚方面的固有熱不穩(wěn)定性。實(shí)驗(yàn)室評(píng)測(cè)已經(jīng)表明，NBDE在環(huán)境溫度下降解形成可溶低聚物。已經(jīng)通過固體探針質(zhì)譜法確定降解產(chǎn)物是NBDE低聚物的混合物，包括圖1中所示的各種二聚物、三聚物、四聚物、五聚物、六聚物等。NBDE的降解引起其用作制造低k薄膜用的前體的許多問題。高降解速率意味著前體的化學(xué)組成和物理性質(zhì)會(huì)隨時(shí)間改變。這類變化可能對(duì)所得薄膜的性質(zhì)具有顯著影響，造成最終用戶難以制造符合薄膜制造商的嚴(yán)格生產(chǎn)規(guī)格的品質(zhì)一致的薄膜。NBDE和異戊二烯降解引起的笫二個(gè)問題涉及常用于這類液體前體的化學(xué)輸送法。揮發(fā)性液體，如NBDE和異戊二烯，通常通過在工業(yè)中被稱作DLI或直接液體注射的技術(shù)輸送。對(duì)于DLI系統(tǒng)，將前體以精確ii計(jì)量速率送入設(shè)備，其作為液體通過注射口進(jìn)入加熱的注射歧管。該歧管在升高的溫度和減壓下運(yùn)行以使前體迅速汽化。一旦汽化，就將氣態(tài)前體輸送到沉積室。DLI輸送法將NBDE或異戊二烯液體與任何溶解的低聚降解產(chǎn)物一起無區(qū)別地轉(zhuǎn)移到設(shè)備中。該低聚物在加熱的注射歧管的溫度和壓力條件下預(yù)計(jì)較不揮發(fā)或不揮發(fā)。低揮發(fā)性低聚組分的輸送會(huì)造成所述物質(zhì)逐漸積聚在設(shè)備管道系統(tǒng)中，這預(yù)計(jì)對(duì)設(shè)備運(yùn)行和/或薄膜品質(zhì)具有有害影響。注射法可能賦予足以加速降解或引發(fā)自聚合的能量，從而在輸送系統(tǒng)中留下非揮發(fā)性固體殘留物，這會(huì)不利地影響加工。貯存壽命(靜態(tài)穩(wěn)定性)的延長(zhǎng)所必需的穩(wěn)定劑和濃度可能不足以實(shí)現(xiàn)通過加熱的蒸氣注射器成功輸送(動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性)。此外，通過加熱的蒸氣注射器成功輸送(動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性)所必需的穩(wěn)定劑和濃度可能取決于注射器溫度。本發(fā)明公開了在工業(yè)相關(guān)條件下通過加熱的流體動(dòng)態(tài)蒸氣注射器成功輸送的優(yōu)選穩(wěn)定劑實(shí)施方案。使用降解的NBDE的第三種可能的不利后果涉及可能由部分降解的NBDE與更極性的化學(xué)品如DEMS(二乙氧基甲基硅烷)的接觸引起的可能的設(shè)備上沉積問題。如果含有明顯濃度的溶解的低聚降解產(chǎn)物的NBDE與顯著量的更極性液體，如醇或烷氧基硅烷如DEMS接觸，預(yù)計(jì)會(huì)發(fā)生低聚物的立即沉淀。這種效應(yīng)顯示在實(shí)施例24、25和30中。該沉淀被認(rèn)為由液體摻合物的總極性的升高引起，這在將顯著量的DEMS添加到NBDE中時(shí)發(fā)生。在致孔劑和二氧化硅源材料的共沉積過程中，在含有低聚降解產(chǎn)物的NBDE與更極性的組分如DEMS接觸的情況下預(yù)計(jì)會(huì)發(fā)生設(shè)備上沉淀。這種設(shè)備上的沉淀會(huì)造成增加的設(shè)備停工時(shí)間和/或?qū)е滦枰l繁的設(shè)備預(yù)防性維護(hù)以避免前體阻塞或流動(dòng)問題。低聚物沉淀也可能通過不利地影響薄膜品質(zhì)和/或增加晶片上的粒子數(shù)等造成間接問題。在DL1過程中使用未穩(wěn)定化NBDE的第四種不利后果源自其用于自聚合的低活化能量。在DLI過程中，跨過大的壓降強(qiáng)制液體前體通過加熱的孔口。條件使得超聲流可行。注射器設(shè)計(jì)使得可能存在接近90度的彎角和多個(gè)沖擊位置。在高于室溫的溫度下，分子與分子或分子與注射器表面的碰撞賦予足以自聚合的能量。即使使用純NBDE單體，輸送條件使得在DLI和不利影響的加工中原位形成更高分子量的非揮發(fā)性材料。為使前體材料在制造環(huán)境中耐久，它們需要符合產(chǎn)品貯存壽命方面的實(shí)際要求。產(chǎn)品貯存壽命為最終用戶或制造商提供了保證，即該化學(xué)品如果在貯存壽命規(guī)格規(guī)定的時(shí)間內(nèi)使用就符合某些最低性能標(biāo)準(zhǔn)。實(shí)踐中，產(chǎn)品貯存壽命通常由化學(xué)品就關(guān)鍵化學(xué)組分而言符合預(yù)定純度要求的時(shí)長(zhǎng)確定。必須將NBDE和異戊二烯降解速率降至可接受的水平以確保它們符合最低貯存壽命標(biāo)準(zhǔn)，并因此在制造環(huán)境中可作為用于制造低k薄膜的前體。我們的實(shí)驗(yàn)室試驗(yàn)已經(jīng)表明，NBDE在環(huán)境溫度下以之前所迷的方式以~1.4重量°/。/年的速率降解，這相當(dāng)于1.6ppm/小時(shí)。在80。C下，降解速率提高160倍至258ppm/小時(shí)。用200ppmBHT摻雜NBDE(通常由化學(xué)賣主提供)將其降解速率僅降低31%，以使其在80。C下以179ppm/小時(shí)降解。因此，盡管BHT確實(shí)減緩NBDE的降解速率，但其沒有將其減緩到足以使其可用于目前的用途。這些實(shí)驗(yàn)描迷在實(shí)施例2-4中并概括在表1及圖2和3中。對(duì)Teff等人的美國(guó)專利申請(qǐng)20070057235中所指定的穩(wěn)定劑MHQ和HQMME，我們實(shí)驗(yàn)室的試驗(yàn)表明，它們?cè)谝种芅BDE聚合方面確實(shí)比BHT更有效。例如，200ppmMHQ將NBDE在80'C下的降解速率降至53ppm/小時(shí)；200ppmHQMME略微更有效，將在80'C下的降解速率降至47ppm/小時(shí)。這些代表降解速率與未穩(wěn)定化NBDE相比分別降低了79%和82%。因此證實(shí)MHQ和HQMME在穩(wěn)定NBDE方面比BHT更有效，相同含量的后一抑制劑在相當(dāng)?shù)脑囼?yàn)條件下僅將NBDE降解速率降低31%。因此，盡管MHQ和HQMME比BHT更有效，但它們也具有有限的抑制NBDE低聚的能力，并因此具有有限的用于目前應(yīng)用的NBDE穩(wěn)定化的用途。這些實(shí)驗(yàn)描迷在實(shí)施例4、7和9中并概括在表1和圖3中。除了靜態(tài)結(jié)果外，我們的實(shí)驗(yàn)室試驗(yàn)還表明，NBDE單體在85'C下通過注射器DLI的過程中以大于0.5重量％的速率降解。如Teff等人的美國(guó)專利申請(qǐng)20070057235中所公開的200ppm4-曱基苯酚("4MP，，)不足以實(shí)現(xiàn)在85。C的注射器溫度下的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性。在本發(fā)明中，公開了非常有效地穩(wěn)定NBDE的兩類材料。這兩類材料是羥基二苯甲酮和硝酰游離基。這兩類抑制劑，與醌或酚類抗氧化劑不同，不要求存在氧以最有效。第一類穩(wěn)定劑被稱作羥基二苯甲酮。羥基二苯甲酮已知是光穩(wěn)定劑，其是活性u(píng)v吸收劑。它們的抑制熱不穩(wěn)定不飽和烴的低聚反應(yīng)的能力不是已知的。這類穩(wěn)定劑由下列結(jié)構(gòu)所示其中基團(tuán)R^至R"至少之一是OH,其余R'至R"可以各自是氫、羥基、d-ds直鏈、支鏈或環(huán)狀烷基、C,-ds直鏈、支鏈或環(huán)狀鏈烯基、C廣ds直鏈、支鏈或環(huán)狀烷氧基、或取代或未取代的CrCs芳基。W至RW的合適的實(shí)例可以包括但不限于氫、羥基、甲基、乙基、正丙基、正丁基、異丙基、異丁基、叔丁基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、丁氧基、異丁氧基或叔丁氧基。羥基二苯甲酮基穩(wěn)定劑的合適的實(shí)例可以包括但不限于2-羥基-4-(正辛氧基)二苯甲酮、2-羥基-4-甲氧基二苯曱酮(2H4MB)、2,4-二羥基二苯甲酮(24DHB)、2-羥基-4-(正十二烷氧基)二苯曱酮、2,2'-二羥基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)、2,2，-二羥基-4,4，-二甲氧基二苯甲酮、2,2，,4，4，-四羥基二笨甲酮、4-羥基二苯甲酮及其任何組合。優(yōu)選羥基二苯曱酮的實(shí)例是2-羥基-4-甲氧基-二苯曱酮(2H4MB)、2，4-二羥基二苯曱酮(24DHB)和2，2，-二羥基-4-曱氧基二苯曱酮(22DH4MB)。對(duì)于靜態(tài)穩(wěn)定性，穩(wěn)定劑的量?jī)?yōu)選為百萬分之1至5000份(ppm)，更優(yōu)選5至1000ppm,最優(yōu)選20至200ppm。對(duì)于在工業(yè)相關(guān)DLI條件下的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性，穩(wěn)定劑的量?jī)?yōu)選為百萬分之至10,000份(ppm),更優(yōu)選200至10,000ppm，最優(yōu)選1000至5000ppm。在優(yōu)選實(shí)施方案中，選擇NBDE或異戊二烯作為用于制造低k介電材料的不飽和烴基前體；選擇2-羥基-4-甲氧基-二苯甲酮、2,4-二羥基二14苯甲酮或2,2，-二輕基-4-甲氧基二苯甲酮作為羥基二苯甲酮基穩(wěn)定劑。穩(wěn)定劑的量為20至200ppm。在本文所述的優(yōu)選實(shí)施方案中，穩(wěn)定劑據(jù)顯示比現(xiàn)有技術(shù)中公開的那些明顯更有效地抑制降解速率，并因此提高該前體用于制造低k介電材料的成功工業(yè)實(shí)施的可能性。被稱作硝酰游離基的第二類穩(wěn)定劑由下列結(jié)構(gòu)所示凸點(diǎn)""，表示一個(gè)未成對(duì)電子，氮原子將進(jìn)一步鍵合到兩個(gè)碳原子上，RJ至W是相同或不同的直鏈或支鏈的、取代或未取代的烷基或鏈烯基，其鏈長(zhǎng)足以為NO基團(tuán)提供位阻，其中被取代的成分可以包含含氧基團(tuán)，如羥基、羰基、醇鹽、羧基，包括其被取代的基團(tuán)；115和W是相同或不同的直鏈或支鏈的、取代或未取代的烷基或鏈烯基，其可以通過各種橋連基團(tuán)進(jìn)一步連接形成環(huán)狀結(jié)構(gòu)，例如其可以在其上稠合另一飽和的、部分不飽和的或芳族環(huán)，其中任何前述環(huán)狀或環(huán)結(jié)構(gòu)可以具有環(huán)取代基，如直鏈或支鏈烷基或含氧基團(tuán)，如羥基、羰基、醇鹽、羧基，包括其被取代的基團(tuán)。W至W的合適的實(shí)例包括但不限于甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、異丙基、異丁基、異戊基、叔丁基、新戊基、十八烷基、丙烯基、丁烯基、戊烯基和類似物。115和116的合適的實(shí)例包括但不限于甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、異丙基、異丁基、異戊基、叔丁基、新戊基、十八烷基、乙烯基、丙烯基、丁烯基、戊烯基，或115和116可以構(gòu)成環(huán)狀結(jié)構(gòu)如6-元哌啶、5-元吡咯烷6同和類似物的一部分，下面提供其實(shí)例。這些環(huán)結(jié)構(gòu)可這類硝酰游離基化合物具有至少一個(gè)NO，15以被取代。硝酰游離基型穩(wěn)定劑的合適的實(shí)例包括但不限于2，2，6,6-四曱基-1-哌啶氧基(TEMPO)和4-羥基-2，2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)、二叔丁基硝?；?、l-氧基-2,2,6，6-四曱基哌啶-4-酮、乙酸l-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基酯、2-乙基己酸l-氧基-2,2,6，6-四甲基哌啶-4-基酯、硬脂酸l-氧基-2,2，6,6-四甲基哌啶-4-基酯、苯甲酸l-氧基-2,2,6,6-四曱基哌啶_4-基酯、4-叔丁基苯曱酸l-氧基-2，2,6,6-四甲基哌啶-4-基酯、雙(l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)琥珀酸酯、雙(l-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基)己二酸酯、雙(l-氧基-2，2,6,6-四曱基哌啶-4-基)癸二酸酯、雙(l-氧基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-基)正丁基丙二酸酯、雙(1-氧基-2，2,6，6-四曱基哌啶-4-基)鄰笨二曱酸酯、雙(l-氧基-2,2,6，6-四甲基哌啶-4-基)間苯二甲酸酯、雙(l-氧基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-基)對(duì)苯二甲酸酯、雙(1-氧基-2，2,6,6-四甲基哌啶-4-基)六氫對(duì)苯二甲酸酯、N，N，-雙(l-氧基-2,2,6,6-四曱基哌啶-4-基)己二酰胺、N-(l-氧基-2,2，6,6-四甲基哌啶-4-基)己內(nèi)酰胺、N-(l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)-十二烷基琥珀酰亞胺、2,4，6-三(1-氧基-2,2,6,6-四曱基哌啶-4-基)異氰脲酸酯、2，4，6-三-[N-丁基-N-(1-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)-s-三嗪和4,4，-亞乙基雙(卜氧基-2，2,6，6-四曱基"泉漆_3-酮)。優(yōu)選硝酰游離基的實(shí)例是TEMPO和4H-TEMPO。這兩種化合物的結(jié)構(gòu)如下所示。TEMPO4H-TEMPO穩(wěn)定劑的量?jī)?yōu)選為百萬分之1至5000份(ppm),更優(yōu)選5至1000ppm,最優(yōu)選20至200ppm。在優(yōu)選實(shí)施方案中，選擇NBDE或異戊二烯作為制造低k介電材料用的不飽和烴基前體，并選擇TEMPO或4H-TEMPO作為硝酰游離基型穩(wěn)定劑。穩(wěn)定劑的量為20至200ppm。本文所迷的優(yōu)選實(shí)施方案中的穩(wěn)定劑據(jù)顯示比現(xiàn)有技術(shù)中公開的那些明顯更有效地抑制NBDE降解速率，并因此提高其用于制造多孔低k介電材料的工業(yè)實(shí)施的可能性。實(shí)施例為了更充分描述本發(fā)明，提供下列實(shí)施例，它們僅是示例性的且無論如何不是對(duì)本發(fā)明的限制。NBDE在環(huán)境溫度下以顯著速率降解，形成可溶的低聚副產(chǎn)物。該降解可能造成或不造成NBDE液體變色。通過測(cè)定NBDE液體中低聚物的濃度來評(píng)估降解程度。但是，氣相色譜法，即最常用于有機(jī)液體的化學(xué)分析法，不是量化NBDE溶液中低聚物的量的有效方法。通過GC不能精確量化低聚物，因?yàn)樗鼈兪欠磻?yīng)性的，因此它們?nèi)菀走M(jìn)一步低聚。由于它們的高分子量，它們也通常是非揮發(fā)性的，這使它們僅在極長(zhǎng)停留時(shí)間后才從GC柱中洗脫出來或可能完全不洗脫。已經(jīng)開發(fā)出可靠地測(cè)量NBDE溶液中低聚物的量的非揮發(fā)性殘留物試驗(yàn)。為了進(jìn)行該評(píng)測(cè)，通過用高純惰性氣體，如氦氣吹掃NBDE容器來使NBDE蒸發(fā)，留下非揮發(fā)性殘留組分。該容器可以在蒸發(fā)步驟中略微加熱以獲得穩(wěn)定的最終重量。使用由此測(cè)得的非揮發(fā)性殘留物的重量作為溶液中低聚物的量的量度，并因此指示NBDE的降解程度。這種通用方法進(jìn)一步詳細(xì)描述在實(shí)施例1中。未穂定化NBDE在環(huán)境溫度下以大約1.4%/年的速率降解。這相當(dāng)于大約270ppm/周或大約1.6ppm/小時(shí)。為了評(píng)估在實(shí)際時(shí)間段內(nèi)的相對(duì)降解，對(duì)各種未穩(wěn)定和穩(wěn)定化的NBDE樣品施以標(biāo)準(zhǔn)化加速老化試驗(yàn)條件。這種試驗(yàn)由蒸餾NBDE以除去任何非揮發(fā)性降解產(chǎn)物構(gòu)成。在24小時(shí)內(nèi)，將餾出的NBDE裝入如下所述的石英容器中，并加熱至60-8(TC6-7天。在此時(shí)間后，將容器冷卻至室溫并測(cè)定降解量。以這種方式根椐其抑制NBDE降解的相對(duì)能力來評(píng)估各種穩(wěn)定劑。實(shí)施例2-23例示了純的和穩(wěn)定化的NBDE的各種樣品的非揮發(fā)性殘留物的測(cè)量(即降解程度)。實(shí)施例2中所用的NBDE在室溫下老化。實(shí)施例3-23中評(píng)測(cè)的NBDE經(jīng)受如本文所述的加速老化條件。實(shí)施例1剛餾出的NBDE的殘留物評(píng)測(cè)使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器將NBDE樣品閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。通過GC分析餾出的材料具有99.4%的標(biāo)稱純度。在評(píng)測(cè)后記錄空的干凈的1.2升石英鼓泡器的皮重。該鼓泡器預(yù)先配備氣體入口和出口，各自帶有特氟隆閥。鼓泡器入口具有延伸到容器基座的1/8"內(nèi)的浸漬管(diptube)。在含氮?dú)獾那г锵鋬?nèi)向石英鼓泡器中加入大約600克NBDE。將該鼓泡器再稱重以測(cè)定NBDE的重量。將研究級(jí)He的氣筒連接到鼓泡器入口管上。將鼓泡器溫度升至35。C以提高NBDE的蒸氣壓。He以30SLPM(標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘)的流速吹掃通過鼓泡器4小時(shí)以使NBDE蒸發(fā)。此時(shí)，將鼓泡器溫度升至80'C并將鼓泡器排空2.0小時(shí)以獲得穩(wěn)定重量。該實(shí)驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的非揮發(fā)性殘留物重量為0.59克和<0.01克，相當(dāng)于0.05重量％的平均殘留物。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表l中實(shí)施例2儲(chǔ)存在環(huán)境溫度下的NBDE的降解速率的評(píng)測(cè)通過常壓蒸餾提純13.0升NBDE樣品。通過GC分析餾出的樣品具有99.4%的標(biāo)稱純度。將樣品在室內(nèi)化學(xué)箱中儲(chǔ)存總共287天。此時(shí)，將大約200克NBDE裝入如實(shí)施例1中所述的預(yù)清潔的預(yù)稱皮重的鼓泡器。該鼓泡器在35。C下經(jīng)受3.0SLPM4.0小時(shí)以蒸發(fā)NBDE。將鼓泡器溫度升至80。C并將鼓泡器排空2.0小時(shí)以獲得穩(wěn)定重量。在排空步驟后記錄鼓泡器的最終重量以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的重量。該實(shí)驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的非揮發(fā)性殘留物重量為2.29克和2.24克，相當(dāng)于1.12重量％的平均殘留物?；跉埩粑锏闹亓亢?87天老化，這相當(dāng)于1.63ppm/小時(shí)的降解速率。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1中。18實(shí)施例3使用加速老化條件評(píng)測(cè)未穩(wěn)定化的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將大約150-200克餾出NBDE裝入如實(shí)施例1中所述的預(yù)清潔的預(yù)稱皮重的鼓泡器。將鼓泡器裝入烘箱中并在8(TC下保持7天。對(duì)于此研究，基于兩種原因選擇80。C的溫度(l)假設(shè)每升溫10°C，降解速率依循筒單Arrhenius型加倍行為，在80。C下7天預(yù)計(jì)模擬樣品在環(huán)境溫度下老化1年會(huì)發(fā)生的降解量；和(2)80。C是在化學(xué)氣相沉積硬件中在混合罐和/或沉積室之前用于汽化前體的加熱歧管的常見溫度。在7天后將石英鼓泡器從80。C烘箱中取出。使鼓泡器在用3SLPMHe吹掃6小時(shí)的同時(shí)保持在35。C下。此時(shí)，將鼓泡器溫度升至80'C并將鼓泡器排空2.0小時(shí)以獲得穩(wěn)定重量。在排空步驟后記錄鼓泡器的最終重量以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的重量。該實(shí)驗(yàn)總共進(jìn)行6次，因?yàn)槠溆米鞲鞣N穩(wěn)定劑評(píng)測(cè)的"對(duì)照物"。這些運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為4.33重量％,相當(dāng)于在80'C下258ppm/小時(shí)的降解速率。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1及圖2和3中。實(shí)施例4使用加速老化條件評(píng)測(cè)用200ppmBHT穩(wěn)定化的NBDE的降解速率商業(yè)NBDE樣品通常用BHT穩(wěn)定化。在此實(shí)施例中，進(jìn)行可比較的實(shí)驗(yàn)評(píng)測(cè)使用BHT作為穩(wěn)定劑時(shí)NBDE的降解速率。將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppmBHT穩(wěn)定劑摻雜。這是化學(xué)供應(yīng)商提供的NBDE中存在的BHT的常見含量。如實(shí)施例3中所迷通過加熱至8(TC7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為2.64重量°/。，相當(dāng)于在80"C下179ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低31Q/。。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1和圖3中。實(shí)施例5使用加速老化條件評(píng)測(cè)用200ppmTBC穩(wěn)定化的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppmTBC(對(duì)叔丁基鄰苯二酚)穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至80°C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為2.64重量％,相當(dāng)于在8(TC下157ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低39.1%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1和圖3中。實(shí)施例6在頂空間中含有8體積°/。氧的用200ppmTBC穩(wěn)定化的NBDE的降解速率的評(píng)測(cè)通常與穩(wěn)定劑聯(lián)合采用氧以增強(qiáng)化學(xué)運(yùn)輸和儲(chǔ)存過程中的穩(wěn)定性。這通過將可聚合化學(xué)品儲(chǔ)存在其中氧構(gòu)成儲(chǔ)存的液體上方頂空間中氣體的5-20%的容器中來實(shí)現(xiàn)。以這種方式，氧溶解在烴液體中并由此可用于促進(jìn)聚合反應(yīng)的抑制。氧可以用惰性氣體如氮?dú)饣蚝庀♂屢援a(chǎn)生頂空間氣體中所需的氧含量。通常這樣做以確保要穩(wěn)定化的材料的不可燃環(huán)境。或者，可以將適當(dāng)量的環(huán)境空氣引入容器以建立所需氣態(tài)氧含量。將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppmTBC穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例1中所述將大約170克(~200毫升)TBC穩(wěn)定化的NBDE添加到在氮?dú)飧稍锵鋬?nèi)的500毫升石英鼓泡器中。將鼓泡器從干燥箱中取出。使用注射器從鼓泡器頂空間中取出25sccm(標(biāo)準(zhǔn)立方厘米)的氮?dú)狻ｋS后通過將氣體再注入鼓泡器，向該頂空間中加入25sccm的研究級(jí)氧氣。由此備好的NBDE鼓泡器在頂空間中具有標(biāo)稱8體積％氧。如實(shí)施例3中所迷通過加熱至8CTC7天然后He吹掃來使樣品經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.97重量％,相當(dāng)于在80。C下57ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低77.7。/o。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表l和圖3中。實(shí)施例7使用加速老化條件評(píng)測(cè)用200ppmMHQ穩(wěn)定化的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppmMHQ(甲基氫醌)穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所20述通過加熱至8(TC7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.79重量％，相當(dāng)于在80。C下47ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低81.70/()。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1和圖3中。實(shí)施例8在頂空間中含有5體積％氧的用200ppmMHQ穩(wěn)定化的NBDE的降解速率的評(píng)觀'J將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppmMHQ穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例1中所述將大約150克(~180毫升)MHQ穩(wěn)定化的NBDE添加到在氮?dú)飧稍锵鋬?nèi)的500毫升石英鼓泡器中。將鼓泡器從干燥箱中取出。使用注射器從鼓泡器頂空間中取出16sccm(標(biāo)準(zhǔn)立方厘米)的氮?dú)?。隨后通過將氣體再注入鼓泡器，向該頂空間中加入16sccm的研究級(jí)氧氣。由此備好的NBDE鼓泡器在頂空間中具有標(biāo)稱5體積°/。氧。如實(shí)施例3中所述通過加熱至8(TC7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.39重量％,相當(dāng)于在80。C下23ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低91.1。/。。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1和圖3中。實(shí)施例9使用加速老化條件評(píng)測(cè)用200ppmHQMME穩(wěn)定化的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppmHQMME(氬醌單甲醚)穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至80'C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.90重量％,相當(dāng)于在8(TC下53ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低79.3°/。。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1和圖3中。實(shí)施例10使用加速老化條件評(píng)測(cè)用50ppmHQMME穩(wěn)定化的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用50重量ppmHQMME穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所迷通過加熱至80°C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行，對(duì)這兩次運(yùn)行使用1U克和130克NBDE。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為1.42重量％，相當(dāng)于在80。C下84ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低67.3%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1和圖3中。實(shí)施例11使用加速老化條件評(píng)測(cè)用500ppmHQMME穩(wěn)定化的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所迷閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用500重量ppmHQMME穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至80°C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE(209克)經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。對(duì)于該試驗(yàn)，測(cè)得非揮發(fā)性殘留物為1.73重量％，相當(dāng)于在8(TC下103ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低60.1%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1和圖3中。實(shí)施例12使用加速老化條件評(píng)測(cè)用200ppm2-羥基-4-甲氧基二苯曱酮(2H4MB)穩(wěn)定化的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所迷閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppm2H4MB穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至80°C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.33重量％,相當(dāng)于在8(TC下20ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低92.3%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1及圖2和3中。22實(shí)施例13使用加速老化條件評(píng)測(cè)用200ppm2,4-二羥基二苯甲酮(24DHB)穩(wěn)定化的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所迷閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppm24DHB穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至80°C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.21重量％，相當(dāng)于在8(TC下12ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低95.2。/。。實(shí)驗(yàn)結(jié)果;f既括在表1及圖2和3中。實(shí)施例14使用加速老化條件評(píng)測(cè)用200ppm2，2，-二羥基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)穩(wěn)定化的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppm22DH4MB穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至80°C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.21重量％，相當(dāng)于在8CTC下13ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低95.1。/。。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1及圖2和3中。實(shí)施例15使用加速老化條件評(píng)測(cè)用200ppmTEMPO穩(wěn)定化的在8(TC下的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppmTEMPO穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至80。C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.02重量％,相當(dāng)于在80。C下1ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低99.4。/q。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1及圖2和3中。實(shí)施例16使用加速老化條件評(píng)測(cè)用50ppmTEMPO穩(wěn)定化的在8(TC下的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用50重量ppmTEMPO穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至80°C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.04重量％,相當(dāng)于在80'C下3ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低99.0。/q。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1及圖2和3中。實(shí)施例17使用加速老化條件評(píng)測(cè)用20ppmTEMPO穩(wěn)定化的在8(TC下的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用20重量ppmTEMPO穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至80。C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.10重量％，相當(dāng)于在80'C下6ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低97.7%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1及圖2和3中。實(shí)施例18使用加速老化條件評(píng)測(cè)用5ppmTEMPO穩(wěn)定化的在80'C下的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用5重量ppmTEMPO穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至80°C6天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)的非揮發(fā)性殘留物為0.13重量％，相當(dāng)于在8(TC下9ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低96.5%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1及圖2和3中。24實(shí)施例19使用加速老化條件評(píng)測(cè)用200ppm4H-TEMPO穩(wěn)定化的在8(TC下的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppm4H-TEMPO穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至80°C6天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.10重量％，相當(dāng)于在80'C下7ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低97.2。/。。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1及圖2和3中。實(shí)施例20使用加速老化條件評(píng)測(cè)用20ppm4H-TEMPO穩(wěn)定化的在80'C下的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用20重量ppm4H-TEMPO穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至8(TC6天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.08重量％，相當(dāng)于在80'C下6ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低97.8。/。。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1及圖2和3中。實(shí)施例21使用加速老化條件評(píng)測(cè)用200ppmTEMPO穩(wěn)定化的在60'C下的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用200重量ppmTEMPO穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至60°C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試^^一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.02重量％，相當(dāng)于在80。C下1ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低99.5。/。。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1及圖2和3中。實(shí)施例22使用加速老化條件評(píng)測(cè)用50ppmTEMPO穩(wěn)定化的在60'C下的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用50重量ppmTEMPO穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至60°C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.06重量％，相當(dāng)于在8(TC下3ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低98.7%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表l及圖2和3中。實(shí)施例23使用加速老化條件評(píng)測(cè)用20ppmTEMPO穩(wěn)定化的在60'C下的NBDE的降解速率將NBDE樣品如實(shí)施例1中所述閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。將餾出的NBDE用20重量ppmTEMPO穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過加熱至60°C7天然后He吹掃來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件以測(cè)定非揮發(fā)性殘留物的量。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行。這兩次運(yùn)行的平均非揮發(fā)性殘留物為0.03重量。/o，相當(dāng)于在80。C下2ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與未穩(wěn)定化的NBDE相比降低99.3Q/。。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表1及圖2和3中。實(shí)施例24老化的未穩(wěn)定化NBDE與作為極性液體的NBDE的混合聚物。2含氮?dú)獾母稍锵渲胁?，將已經(jīng)在環(huán)境溫度下老化287天的102.0克未穩(wěn)定化的NBDE裝入200毫升派熱克斯(Pyrex)瓶。將相同重量的DEMS裝入第二個(gè)類似的派熱克斯瓶。NBDE和DEMS都是沒有表現(xiàn)出沉淀物或殘留物的透明的無色液體。通過將DEMS緩慢添加到NBDE中，合并這兩種液體。在添加大約20克DEMS后，在DEMS-NBDE混合物中出現(xiàn)少量白色永久沉淀物。在將余量DEMS添加到NBDE中時(shí)，該沉淀物更顯著生長(zhǎng)。白色沉淀物逐漸沉降到派熱克斯容器底部。將派熱克斯容器的內(nèi)容物轉(zhuǎn)移到Schlenk燒瓶中。在室溫下對(duì)燒瓶施以動(dòng)態(tài)真空4小時(shí)以除去DEMS和NBDE液體，留下1.20克白色固體。非揮發(fā)性固體殘留物的該重量相當(dāng)于NBDE初始重量的1.18重量％。這相當(dāng)于在環(huán)境溫度下1.71ppm/小時(shí)的降解速率。通過該途徑測(cè)得的殘留26物重量百分比與通過圖2和3中所述的He吹掃非揮發(fā)性殘留物試驗(yàn)測(cè)得的殘留物量?jī)?yōu)異地一致。實(shí)施例25老化的未穩(wěn)定化NBDE與DEMS混合時(shí)沉淀的評(píng)測(cè)如實(shí)施例1中所述使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器將NBDE閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。通過GC分析餾出的材料具有99.4%的標(biāo)稱純度。不向NBDE中添加穩(wěn)定劑。如實(shí)施例3中所述通過在石莢鼓泡器中加熱至80°C7天來使未穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行，對(duì)這兩次運(yùn)行使用87.64克和90.23克NBDE。在從80。C烘箱中取出這兩個(gè)鼓泡器后，沒有出現(xiàn)NBDE液體的可見的沉淀或變色跡象。在使NBDE冷卻至室溫后，將DEMS通過入口管緩慢添加到各鼓泡器中以試圖強(qiáng)制溶解的低聚降解產(chǎn)物沉淀。在未穩(wěn)定化的NBDE中加入35-40克DEMS后，可以看見最初的永久沉淀物。加入另外的DEMS直至各鼓泡器含有1:1重量比的NBDE/DEMS。此時(shí)可以看見大量的白色沉淀物，表明存在顯著量的低聚降解產(chǎn)物。在30。C下對(duì)鼓泡器施以動(dòng)態(tài)真空4小時(shí)，然后在80'C下最終排空1小時(shí)，留下0.73克和1.04克白色固體殘留物。這相當(dāng)于NBDE初始重量的1.00%的平均非揮發(fā)性殘留物，相當(dāng)于在8CTC下59ppm/小時(shí)的降解速率。實(shí)施例26用200ppmHQMME穩(wěn)定化的老化NBDE與DEMS混合時(shí)沉淀減少的評(píng)測(cè)如實(shí)施例1中所述使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器將NBDE閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。通過GC分析餾出的材料具有99.4%的標(biāo)稱純度。將該NBDE用200重量ppmHQMME穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過在石英鼓泡器中加熱至80。C7天來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行，對(duì)這兩次運(yùn)行使用98.77克和71.93克NBDE。在從80°C烘箱中取出這兩個(gè)鼓泡器后，沒有出現(xiàn)NBDE液體的可見的沉淀或變色跡象。在使NBDE冷卻至室溫后，將DEMS通過入口管緩'隄添加到各鼓泡器中以試圖強(qiáng)制溶解的低聚降解產(chǎn)物沉淀。繼續(xù)加入DEMS直至各鼓泡器含有1:1重量比的NBDE/DEMS。這在兩個(gè)鼓泡器各自中產(chǎn)生模糊的混濁溶液，表明從溶液中沉淀出少量低聚物。在30'C下對(duì)鼓泡器施以動(dòng)態(tài)真空4小時(shí)，然后在80。C下最終排空1小時(shí)，留下0.17克和0.14克白色固體殘留物。這相當(dāng)于NBDE初始重量的0.18重量％的平均非揮發(fā)性殘留物，相當(dāng)于在8(TC下11ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與經(jīng)過與實(shí)施例13中所述相同的老化條件的未穩(wěn)定化NBDE的強(qiáng)制沉淀相比降低82%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表2中。實(shí)施例27用200ppmMHQ穩(wěn)定化的老化NBDE與DEMS混合時(shí)沉淀減少的評(píng)測(cè)如實(shí)施例1中所述使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器將NBDE閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。通過GC分析餾出的材料具有99.4%的標(biāo)稱純度。將該NBDE用200重量ppmMHQ穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過在石英鼓泡器中加熱至80°C7天來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行，對(duì)這兩次運(yùn)行使用105.17克和98.53克NBDE。在從8(TC烘箱中取出這兩個(gè)鼓泡器后，沒有出現(xiàn)NBDE液體的可見的沉淀或變色跡象。在使NBDE冷卻至室溫后，將DEMS通過入口管緩慢添加到各鼓泡器中以試圖強(qiáng)制溶解的低聚降解產(chǎn)物沉淀。繼續(xù)加入DEMS直至各鼓泡器含有1:1重量比的NBDE/DEMS。所得NBDE-DEMS混合物保持透明無色，沒有可見的沉淀跡象。在30。C下對(duì)鼓泡器施以動(dòng)態(tài)真空4小時(shí)，然后在8(TC下最終排空1小時(shí)，留下0.10克和0.03克白色固體殘留物。這相當(dāng)于NBDE初始重量的0.06重量°/。的平均非揮發(fā)性殘留物，相當(dāng)于4ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與經(jīng)過與實(shí)施例13中結(jié)果概括在表2中。實(shí)施例28用200ppm22DH4MB穩(wěn)定化的老化NBDE與DEMS混合時(shí)沉淀減少的評(píng)測(cè)如實(shí)施例1中所述使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器將NBDE閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。通過GC分析餾出的材料具有99.4%的標(biāo)稱純度。將該NBDE用200重量ppm22DH4MB穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所迷通過在石英鼓泡器中加熱至80。C7天來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試馬t條件。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行，對(duì)這兩次運(yùn)行使用111.53克和106,22克NBDE。在從80。C烘箱中取出這兩個(gè)鼓泡器后，沒有出現(xiàn)NBDE液體的可見的沉淀或變色跡象。在使NBDE冷卻至室溫后，將DEMS通過入口緩慢28添加到各鼓泡器中以試圖強(qiáng)制溶解的低聚降解產(chǎn)物沉淀。繼續(xù)加入DEMS直至各鼓泡器含有1:1重量比的NBDE/DEMS。這在兩個(gè)鼓泡器各自中產(chǎn)生混濁溶液，表明從溶液中沉淀出一定量低聚物。在30。C下對(duì)鼓泡器施以動(dòng)態(tài)真空4小時(shí)，然后在80。C下最終排空1小時(shí)，留下0.51克和0.65克白色固體殘留物。這相當(dāng)于NBDE初始重量的0.53重量％的平均非揮發(fā)性殘留物，相當(dāng)于在8CTC下32ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與經(jīng)過與實(shí)施例25中所述相同的老化條件的未穩(wěn)定化NBDE的強(qiáng)制沉淀相比降低46。/。。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表2中。實(shí)施例29用200ppmTEMPO穩(wěn)定化的老化NBDE與DEMS混合時(shí)沉淀減少的評(píng)測(cè)如實(shí)施例1中所迷使用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器將NBDE閃蒸以除去非揮發(fā)性雜質(zhì)。通過GC分析餾出的材料具有99.4%的標(biāo)稱純度。將該NBDE用200重量ppmTEMPO穩(wěn)定劑摻雜。如實(shí)施例3中所述通過在石英鼓泡器中加熱至80。C7天來使穩(wěn)定化的NBDE經(jīng)受加速老化試驗(yàn)條件。該試驗(yàn)一式兩份地進(jìn)行，對(duì)這兩次運(yùn)行使用94.77克和110.56克NBDE。在從8(TC烘箱中取出這兩個(gè)鼓泡器后，沒有出現(xiàn)可見的沉淀跡象。在使NBDE冷卻至室溫后，將DEMS通過入口緩慢添加到各鼓泡器中以試圖強(qiáng)制溶解的低聚降解產(chǎn)物沉淀。繼續(xù)加入DEMS直至各鼓泡器含有1:1重量比的NBDE/DEMS。所得NBDE-DEMS混合物保持透明，沒有可見的混濁或沉淀跡象。在30。C下對(duì)鼓泡器施以動(dòng)態(tài)真空4小時(shí)，然后在80'C下最終排空1小時(shí)，留下0.11克和0.10克黃色殘留物。這相當(dāng)于NBDE初始重量的0.10重量％的平均非揮發(fā)性殘留物，相當(dāng)于6ppm/小時(shí)的降解速率。這代表降解速率與經(jīng)過與實(shí)施例25中所述相同的老化條件的未穩(wěn)定化NBDE的強(qiáng)制沉淀相比降低90%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果概括在表2中。實(shí)施例30老化的未穩(wěn)定化NBDE與極性溶劑的混合類似于實(shí)施例24，在氮?dú)飧稍锵渲胁僮鳎瑢?.0毫升(1,6克)異丙醇(IPA)緩慢添加到2.0毫升未穩(wěn)定化NBDE(1.7克)中。將用于此試驗(yàn)的NBDE在環(huán)境溫度下老化287天。用于此實(shí)驗(yàn)的NBDE和IPA都是透明的無色液體，沒有沉淀物或殘留物的跡象。在老化的NBDE中添加最初的幾滴異丙醇后，注意到立即的永久沉淀。在加入剩余的2.0毫升IPA29時(shí)，沉淀量變得更顯著。此實(shí)施例再證實(shí)，通過提高溶劑的凈極性造成基本非極性低聚物的沉淀。實(shí)施例31NBDE降解產(chǎn)物的表征將已經(jīng)在室溫下儲(chǔ)存幾個(gè)月的50克未穩(wěn)定化NBDE樣品裝入配有特氟隆閥的00毫升石英安瓿中。該安瓿在室溫下排空2小時(shí)以產(chǎn)生灰白色非揮發(fā)性殘留物。收集所得固體并通過固體探針質(zhì)譜法分析。分析證實(shí)，存在NBDE的各種低聚物，包括二聚物、三聚物、四聚物、五聚物、六聚物等。來自此分析的固體探針質(zhì)語顯示在圖1中。表1.實(shí)施例卜23中所述的非揮發(fā)性殘留物試驗(yàn)結(jié)果的概述實(shí)施例號(hào)錄定刑老化奈件NBDB重i:(克)HVR(非揮發(fā)性殘貧物)降解速率(ppm/hr)歸一化降解速率降解速率降低OO(g>平均(wt.化)1無tt定刑無619.320.S90.10O,OSNANANA582.700.000.00無穗定刑室溫下287天202.462.291,131,121.63NANA202.152.241."3無穂定刑80TC下7天148,356.254.214.332581細(xì)0.0149.796,064.05103.875,595.38"8,955.94《99148.305.313.S8149.15S.653,79200ppmBHT80t:下7天149.444.63.083.011790.69031.0163.894,B32.955200ppmTBC80C下7天155,433.432.212-641570.60939.1154.634.753.076含02的200ppmTBC80t:下7天174,101.51D.870.97570.22377.71.7S1加^200ppmMHQ80C下7天1S4鄰1."0,740.79470.18381.7146.141.240,858含0^200pptnMHQ80t;下7天152.930.520.340.39230.0B991.1"5.570.630,439200ppmHQMME80C下7天106.261加0.940.90530.20779.3"4.82O.站D.851050ppmHQ剛E80t:下7天110.751.201加1,42840.32767,3130.232.2817511500ppmHQMME8QTC下7天209."3.621731.731030,39960,112200ppm2H4MB80t:下7天"7780.590.400.33200.07792.3154.910.410.2613200ppfD24DHB80t:下7天149.140.320,210.21，20.048訴.2145,250.290.2014200ppm22DH4MBS0TC下7天152加0.310.200,21130,049訴,116S.880.370.2215200ppmT￡MPOsot:下7天140.510.040.03002O.咖的.4148.590.030,021650ppmTEMPO80C下7天143.380.080.060.0430.010的.O139,630.040.031720ppmTEMPOsot:下7天130.450.170.130.1060.02397.7144.580.100.07185ppmTEMPO80t:下6天68.B20.090.130.1390,035訴.519200ppm4H-TEMPOsor下6天137,560,120.090.10^0.02B97.2"6.360.140.122020ppm4H-TEMPO80C下6天130鄰0.150."0.0860,02297.8102.250加0.0521200ppmTEMPO60X:下7天130.380.030,020.021O.鵬狄5172.710.030.022250ppmTEMPO6Dt;下7天147.100.120加0.060.013站.715S.卯0.050.032320ppmTEMPO60C下7天154.920.030.020.0320,007的.3167.670.070,0431表2.來自實(shí)施例25-29中所述的強(qiáng)制沉淀實(shí)驗(yàn)的非揮發(fā)性殘留物試驗(yàn)結(jié)果的概述<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>實(shí)施例32未穩(wěn)定化的老化NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)新鮮蒸餾出100克NBDE。然后將該液體在80。C下加熱1周(加速老化)以模擬在室溫下I年。基于實(shí)施例3的結(jié)果和圖4中所示的機(jī)制，預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為大約4重量％。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown，PAChemguard⑧液體容纟內(nèi)系統(tǒng)中。使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為70°C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外200seem氦氣作為注射器表面上的惰性栽體。下游室壓力設(shè)定為8托。液體流速為1000毫克/分鐘。在流動(dòng)試驗(yàn)完成后，檢查注射器的殘留物。在注射器表面上和在出口內(nèi)部發(fā)現(xiàn)顯著量的固體物質(zhì)。實(shí)施例33未穩(wěn)定化的新鮮餾出的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)新鮮蒸餾出IOO克NBDE。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為0。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals,Inc.，Allentown，PAChemguard⑧液體容納系統(tǒng)中。使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為80°C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外400seem氦氣作為注射器表面上的惰性栽體。下游室壓力設(shè)定為10托。液體流速為1800毫克/分鐘。流動(dòng)以運(yùn)行3分鐘、停止2分鐘循環(huán)以模擬制造條件。由于在汽化前不存在非揮發(fā)性殘留物，所形成的任何殘留物預(yù)計(jì)在注射器中原位發(fā)生，與圖5中所示的機(jī)制一致。在流動(dòng)試馬t完成后，檢查注射器的殘留物。在注射器表面上和在出口內(nèi)部發(fā)現(xiàn)顯著量的固體物質(zhì)。實(shí)施例34在60'C注射器溫度下用100ppmTEMPO穩(wěn)定化的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)新鮮蒸餾出100克NBDE并加入100ppmTEMPO。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為0。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard液體容納系統(tǒng)中。使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為60°C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外200seem氦氣作為注射器表面上的惰性栽體。下游室壓力設(shè)定為8托。液體流速為1000毫克/分鐘。流動(dòng)以運(yùn)行3分鐘、停止2分鐘循環(huán)以模擬制造條件。在流動(dòng)試驗(yàn)完成后，檢查注射器的殘留物。在注射器表面上和在出口內(nèi)部發(fā)現(xiàn)顯著量的固體物質(zhì)。盡管100ppmTEMPO足以延長(zhǎng)室溫穩(wěn)定性，但其不足以在工業(yè)相關(guān)條件下在DLI過程中實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性。實(shí)施例35在70。C注射器溫度下用100ppmTEMPO穩(wěn)定化的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)新鮮蒸餾出100克NBDE并加入100ppmTEMPO。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為0。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals,Inc.,AUentown,PAChemguard液體容納系統(tǒng)中。使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecisionTM5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為70°C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外200seem氦氣作為注射器表面上的惰性載體。下游室壓力設(shè)定為8托。液體流速為1000毫克/分鐘。流動(dòng)以運(yùn)行3分鐘、停止2分鐘循環(huán)以^f莫擬制造條件。在流動(dòng)試驗(yàn)完成后，檢查注射器的殘留物。在注射器表面上和在出口內(nèi)部發(fā)現(xiàn)顯著量的固體物質(zhì)。盡管100ppmTEMPO足以延長(zhǎng)室溫穩(wěn)定性，但其不足以在工業(yè)相關(guān)條件下在DLI過程中實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性。結(jié)果概括在表3中。實(shí)施例36在7(TC注射器溫度下用200ppmTEMPO穩(wěn)定化的NBDE的流動(dòng)試馬全新鮮蒸餾出100克NBDE并加入200ppmTEMPO。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為0。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液體容納系統(tǒng)中。使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為70°C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外200seem氦氣作為注射器表面上的惰性栽體。下游室壓力設(shè)定為8托。液體流速為1000毫克/分鐘。流動(dòng)以運(yùn)行3分鐘、停止2分鐘循環(huán)以模擬制造條件。在流動(dòng)試驗(yàn)完成后，檢查注射器的殘留物。發(fā)現(xiàn)注射器清潔。結(jié)果概括在表3中。實(shí)施例37在80。C注射器溫度下用200ppmTEMPO穩(wěn)定化的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)新鮮蒸餾出100克NBDE并加入200ppmTEMPO。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為0。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液體容納系統(tǒng)中。使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecisionTM5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為80°C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外400seem氦氣作為注射器表面上的惰性栽體。下游室壓力設(shè)定為10托。液體流速為1800毫克/分鐘。流動(dòng)以運(yùn)行3分鐘、停止2分鐘循環(huán)以模擬制造條件。在流動(dòng)試驗(yàn)完成后，檢查注射器的殘留物。發(fā)現(xiàn)注射器含有輕微的殘留物粉塵。結(jié)果概括在表3中。實(shí)施例38在85。C注射器溫度下用200ppmTEMPO穩(wěn)定化的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)新鮮蒸餾出100克NBDE并加入200ppmTEMPO。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為0。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液體容納系統(tǒng)中。使用帶有Horiba34STECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecision"5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為85°C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外400seem氦氣作為注射器表面上的惰性栽體。下游室壓力設(shè)定為10托。液體流速為1800毫克/分鐘。流動(dòng)以運(yùn)行3分鐘、停止2分鐘循環(huán)以模擬制造條件。在流動(dòng)試驗(yàn)完成后，檢查注射器的殘留物。發(fā)現(xiàn)注射器含有顯著殘留物。結(jié)果概括在表3中。實(shí)施例39在8(TC注射器溫度下用400ppmTEMPO穩(wěn)定化的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)新鮮蒸餾出100克NBDE并加入400ppmTEMPO。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為0。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals，Inc.,Chemguard⑧液體容納系統(tǒng)中。使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為80。C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外400sccm氦氣作為注射器表面上的惰性栽體。下游室壓力設(shè)定為10托。液體流速為1800毫克/分鐘。流動(dòng)以運(yùn)行3分鐘、停止2分鐘循環(huán)以模擬制造條件。在流動(dòng)試驗(yàn)完成后，檢查注射器的殘留物。注射器對(duì)肉眼是清潔的，但是在通過放大鏡檢查時(shí)在蒸氣口周圍可以看見輕微微粒。結(jié)果概括在表3中。實(shí)施例40在85。C注射器溫度下用400ppmTEMPO穩(wěn)定化的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)新鮮蒸餾出100克NBDE并加入400ppmTEMPO。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為0。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液體容納系統(tǒng)中。使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecisionTM5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為85°C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外400seem氦氣作為注射器表面上的惰性栽體。下游室壓力設(shè)定為10托。液體流速為1800毫克/分鐘。流動(dòng)以運(yùn)行3分鐘、停止2分鐘循環(huán)以模擬制造條件。在流動(dòng)試驗(yàn)完成后，檢查注射器的殘留物。發(fā)現(xiàn)注射器含有可測(cè)量的粘性殘留物。結(jié)果概括在表3中。35實(shí)施例41在卯。C注射器溫度下用1000ppmTEMPO穩(wěn)定化的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)新鮮蒸餾出100克NBDE并加入1000ppmTEMPO。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為0。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals,Inc.，Allentown,PAChemguard(D液體容納系統(tǒng)中。使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecisionTM5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為90°C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外400seem氦氣作為注射器表面上的惰性載體。下游室壓力設(shè)定為10托。液體流速為1800毫克/分鐘。流動(dòng)以運(yùn)行3分鐘、停止2分鐘循環(huán)以模擬制造條件。在流動(dòng)試驗(yàn)完成后，檢查注射器的殘留物。發(fā)現(xiàn)注射器清潔。結(jié)果概括在表3中。實(shí)施例41在卯'C注射器溫度下用1000ppmTEMPO穩(wěn)定化的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)新鮮蒸餾出100克NBDE并加入1000ppmTEMPO。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為0。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液體容納系統(tǒng)中。使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecisionTM5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為90°C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外400seem氦氣作為注射器表面上的惰性栽體。下游室壓力設(shè)定為10托。液體流速為1800毫克/分鐘。流動(dòng)以運(yùn)行3分鐘、停止2分鐘循環(huán)以模擬制造條件。在流動(dòng)試驗(yàn)完成后，檢查注射器的殘留物。發(fā)現(xiàn)注射器清潔。結(jié)果概括在表3中。實(shí)施例42在90。C注射器溫度下沉積DEMS/NBDE薄膜使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平臺(tái)PECVD系統(tǒng)沉積多孔薄膜，然后進(jìn)行寬帶UV曝光以除去致孔劑物質(zhì)。沉積條件包括90。C的注射器溫度、275。C的腔室溫度、600瓦功率、350密耳電極間距、8托腔室壓力、450毫克/分鐘DEMS和450毫克/分鐘NBDE的流速及400sccm的氦氣流速。UV固化條件包括12分鐘的寬帶曝光時(shí)間。使用含400和1000ppmTEMPO穩(wěn)定劑的配制料沉積薄膜。進(jìn)行動(dòng)態(tài)二次質(zhì)語法(dSIMS)以檢查薄膜的氮摻入情況，因?yàn)門EMPO含有9重量％的氮。結(jié)果顯示在圖6中。盡管液體前體的穩(wěn)定劑濃度存在大于2x差異，但dSIMS圖中的氮濃度沒有可檢出的差異。實(shí)施例43在9(TC注射器溫度下用1800ppmTEMPO穩(wěn)定化的NBDE的流動(dòng)試驗(yàn)-更長(zhǎng)持續(xù)時(shí)間新鮮蒸餾出500克NBDE(之前的流動(dòng)試驗(yàn)的5倍體積)并加入1800ppmTEMPO。預(yù)計(jì)非揮發(fā)性低聚物濃度為0。將液體在惰性氣氛下轉(zhuǎn)移到AirProductsandChemicals,Inc.,Allentown,PAChemguard⑧液體容納系統(tǒng)中。使用帶有HoribaSTECTM2410蒸氣注射器的AppliedMaterialsPrecision5000平臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)流動(dòng)測(cè)試。注射器溫度設(shè)定為90°C。使用在30psi壓力下的氦氣將液體推入蒸氣注射器。使用另外400sccm氦氣作為注射器表面上的惰性栽體。下游室壓力設(shè)定為10托。液體流速為1800毫克/分鐘。流動(dòng)以運(yùn)行3分鐘、停止2分鐘循環(huán)以;漠?dāng)M制造條件。在流動(dòng)試驗(yàn)完成后，檢查注射器的殘留物。發(fā)現(xiàn)注射器清潔。表3.在各種DLI注射器溫度和1000-1800毫克/分鐘的液體流速下使用TEMPO穩(wěn)定BCHD的2小時(shí)流動(dòng)注射器殘留物結(jié)果的概括<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>正好在液體口用放大鏡可見少量2殘留物更像液態(tài)，表明較低分子量低聚物的可能性上文列出的本發(fā)明的實(shí)施方案，包括實(shí)施例，是本發(fā)明的許多實(shí)施方案的實(shí)例。預(yù)計(jì)可以使用該方法的許多其它構(gòu)造，且該方法中所用的材料可選自具體公開的材料以外的許多材料。簡(jiǎn)言之，已經(jīng)參照具體實(shí)施方案闡述了本發(fā)明，但應(yīng)該根據(jù)下列權(quán)利要求確定本發(fā)明的完整范圍。權(quán)利要求1.基本由不飽和烴基前體材料和選自羥基二苯甲酮基穩(wěn)定劑和硝酰游離基型穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑構(gòu)成的穩(wěn)定化組合物。2.權(quán)利要求1的組合物，其中不飽和烴基前體材料是環(huán)狀結(jié)構(gòu)，選白'.(a)至少一種具有式CnH^2x的單或多不飽和環(huán)烴，其中X是不飽和位點(diǎn)數(shù)，n是4至14，該環(huán)狀結(jié)構(gòu)中的碳數(shù)為4至10;和(b)至少一種具有式CnH2n-。+2x)的多不飽和雙環(huán)烴，其中X是不飽和位點(diǎn)數(shù)，n是4至14，該雙環(huán)結(jié)構(gòu)中的碳數(shù)為4至12。3.權(quán)利要求2的組合物，其中不飽和烴基前體材料(a)選自環(huán)己烯、乙烯基環(huán)己烷、二甲基環(huán)己烯、叔丁基環(huán)己烯、a-萜品烯、蒎烯、1,5-二甲基-l,5-環(huán)辛二烯、乙烯基-環(huán)己烯及其組合。4.權(quán)利要求2的組合物，其中不飽和烴基前體材料(b)選自莰烯、降水片烯、降水片二烯及其組合物。5.權(quán)利要求1的組合物，其中不飽和烴基前體材料選自2,5-降冰片二烯(NBDE)和異戊二烯。6.權(quán)利要求5的組合物，其中不飽和烴基前體材料是2，5-降冰片二烯(NBDE)。7.權(quán)利要求1或6的組合物，其中羥基二笨曱酮基穩(wěn)定劑具有以下結(jié)構(gòu)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>其中基團(tuán)W至R"至少之一是羥基，其余W至R^各自獨(dú)立地選自氫、羥基、C-ds直鏈、支鏈或環(huán)狀烷基、d-ds直鏈、支鏈或環(huán)狀鏈烯基、Cpds直鏈、支鏈或環(huán)狀烷氧基、取代或未取代的CrC8芳基及其組合。8.權(quán)利要求7的組合物，其中其余R'至R"各自選自氫、羥基、甲基、乙基、正丙基、正丁基、異丙基、異丁基、叔丁基、曱氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、丁氧基、異丁氧基、叔丁氧基及其組合。9.權(quán)利要求1或6的組合物，其中羥基二苯曱酮基穩(wěn)定劑選自2-羥基-4-(正辛氧基)二苯曱酮、2-羥基-4-曱氧基二苯曱酮(2H4MB)、2,4-二羥基二笨甲酮(24DHB)、2-羥基-4-(正十二烷氧基)二苯甲酮、2,2，-二羥基-4-甲氧基二苯曱酮(22DH4MB)、2，2，-二羥基-4,4，-二甲氧基二苯曱酮、2,2，,4,4，-四羥基二苯甲酮、4-羥基二苯甲酮及其組合。10.權(quán)利要求1或6的組合物，其中硝酰游離基型穩(wěn)定劑具有以下結(jié)構(gòu)凸點(diǎn)""，表示一個(gè)未成對(duì)電子；R1至R"蟲立地選自直鏈或支鏈的、取代或未取代的烷基或鏈烯基，其鏈長(zhǎng)足以為NO基團(tuán)提供位阻；其中被取代的基團(tuán)包含選自輕基、錟基、醇鹽和羧基的含氧基團(tuán)；且115和W獨(dú)立地選自直鏈或支鏈的、取代或未取代的烷基或鏈烯基。11.權(quán)利要求10的組合物，其中115和116中的烷基或鏈烯基通過橋連基團(tuán)連接形成飽和、部分不飽和或芳族環(huán)的環(huán)狀結(jié)構(gòu)。12.權(quán)利要求10的組合物，其中R)至W各自選自曱基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、異丙基、異丁基、異戊基、叔丁基、新戊基、十八烷基、丙烯基、丁烯基、戊烯基及其組合。13.權(quán)利要求10的組合物，其中115和116各自選自曱基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、異丙基、異丁基、異戊基、叔丁基、新戊基、十八烷基、丙烯基、丁烯基、戊烯基，和6-元哌"定或5-元吡咯烷酮的環(huán)狀結(jié)構(gòu)及其取代環(huán)狀結(jié)構(gòu)的一部分。14.權(quán)利要求1或6的組合物，其中硝酰游離基型穩(wěn)定劑選自2，2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基(TEMPO)、4-輕基-2，2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基其中:(4H-TEMPO)、二叔丁基硝酰基、l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌咬-4-酮、乙酸l-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基酯、2-乙基己酸l-氧基-2，2，6，6-四甲基咪啶-4-基酯、硬脂酸l-氧基-2，2,6,6-四甲基哌啶-4-基酯、苯曱酸1-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基酯、4-叔丁基苯甲酸l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基酯、雙(l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)琥珀酸酯、雙(1-氧基-2,2，6,6-四甲基哌啶-4-基)己二酸酯、雙(1-氧基-2,2，6，6-四甲基哌啶-4-基)癸二酸酯、雙(l-氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶-4-基)正丁基丙二酸酯、雙(卜氧基-2,2，6,6-四甲基哌啶-4-基)鄰苯二甲酸酯、雙(1-氧基-2，2,6，6-四曱基哌啶-4-基)間苯二曱酸酯、雙(l-氧基-2，2,6，6-四曱基哌啶-4-基)對(duì)苯二甲酸酯、雙(1-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基)六氫對(duì)苯二甲酸酯、N，N，-雙(1-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基)己二酰胺、N-(l-氧基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-基)己內(nèi)酰胺、N-(l-氧基-2,2，6,6-四甲基哌啶-4-基)-十二烷基琥珀酰亞胺、2,4，6-三(1-氧基-2，2，6,6-四甲基哌啶-4-基)異氰脲酸酯、2,4,6-三-[N-丁基-N-(l-氧基-2，2，6，6-四甲基哌啶-4-基)-s-三嗪、和4,4，-亞乙基雙(1-氧基-2,2，6,6-四甲基哌。秦-3-酮)及其組合。15.權(quán)利要求1或6的組合物，其中硝酰游離基型穩(wěn)定劑選自2,2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基(TEMPO)和4-羥基-2，2,6，6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)。16.權(quán)利要求1或6的組合物，其中穩(wěn)定劑以1至10,000ppm存在。17.權(quán)利要求16的組合物，其中穩(wěn)定劑以200至10,000ppm存在。18.權(quán)利要求17的組合物，其中穩(wěn)定劑以1000至5000ppm存在。19.基本由不飽和烴基材料、至少一種極性液體和選自羥基二苯甲酮基穩(wěn)定劑、硝酰游離基型穩(wěn)定劑和氫醌基穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑構(gòu)成的穩(wěn)定化組合物。20.權(quán)利要求19的組合物，其中穩(wěn)定劑以1至10,000ppm存在。21.權(quán)利要求19的組合物，其中穩(wěn)定劑以200至10,000ppm存在。22.權(quán)利要求19的組合物，其中穩(wěn)定劑以1000至5000ppm存在。23.權(quán)利要求19的組合物，其中不飽和烴基前體材料選自2,5-降水片二烯(NBDE)和異戊二烯；硝酰游離基型穩(wěn)定劑選自2,2,6,6-四曱基-l-咪咬氧基(TEMPO)、4-羥基-2，2，6,6-四曱基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)及其組合；輕基二苯甲酮基穩(wěn)定劑選自2-輕基-4-甲氧基-二苯曱酮(2H4MB)、，2,4-二羥基二苯甲酮(24DHB)、2,2，-二羥基-4-甲氧基二苯曱酮(22DH4MB)及其組合；氬醌基穩(wěn)定劑選自甲基氬醌(MHQ)、氪醞單曱醚(HQMME)及其組合；且至少一種極性液體選自二乙氧基曱基硅烷(DEMS)、異丙醇(IPA)及其混合物。24.權(quán)利要求19的組合物，進(jìn)一步包括與氬醌基穩(wěn)定劑結(jié)合的選自NO、N02、N20、C02、02及其混合物的氧化氣體。25.使不飽和烴基前體材料穩(wěn)定以防止其聚合的方法，包括提供選自輕基二苯曱酮基穩(wěn)定劑和硝酰游離基型穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑。26.權(quán)利要求25的方法，其中穩(wěn)定劑以1至10，000ppm存在。27.權(quán)利要求26的方法，其中穩(wěn)定劑以200至10,000ppm存在。28.權(quán)利要求27的方法，其中穩(wěn)定劑以1000至5000ppm存在。29.權(quán)利要求25的方法，其中不飽和烴基前體材料選自2,5-降水片二烯(NBDE)和異戊二烯；硝酰游離基型穩(wěn)定劑選自2,2，6，6-四甲基-l-哌啶氧基(TEMPO)、4-羥基-2,2,6,6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)及其組合；和輕基二苯甲酮基穩(wěn)定劑選自2-羥基-4-曱氧基-二苯甲酮(2H4MB)、2,4-二羥基二苯甲酮(24DHB)、2,2，-二輕基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)及其組合。30.使2，5-降水片二烯(NBDE)穩(wěn)定以防止其聚合的方法，包括提供選自羥基二苯甲酮基穩(wěn)定劑和硝酰游離基型穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑。31.權(quán)利要求30的方法，其中羥基二苯甲酮基穩(wěn)定劑選自2-羥基-4-甲氧基-二笨甲酮(2H4MB)、2，4-二羥基二苯甲酮(24DHB)、2,2，-二羥基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)及其組合；確酰游離基型穩(wěn)定劑選自2,2,6,6-四曱基-l-哌咬氧基(TEMPO)、4-羥基-2，2，6,6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)及其組合。32.使不飽和烴基前體穩(wěn)定以免在該不飽和烴與至少一種極性液體接觸時(shí)固體沉淀的方法，包括(a)向不飽和烴基前體中加入選自羥基二苯甲酮基穩(wěn)定劑、硝酰游離基型穩(wěn)定劑和氬醌基穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑；和(b)使(a)中的混合物與至少一種極性液體接觸。33.權(quán)利要求32的方法，其中不飽和烴基前體材料選自2,5-降水片二烯(NBDE)和異戊二烯；硝酰游離基型穩(wěn)定劑選自2，2，6，6-四甲基-l-哌啶氧基(TEMPO)、4-羥基-2,2,6，6-四甲基-l-哌啶氧基(4H-TEMPO)及其組合；羥基二苯甲酮基穩(wěn)定劑選自2-羥基-4-甲氣基-二苯曱酮(2H4MB)、2,4-二羥基二苯甲酮(24DHB)、2,2，-二羥基-4-甲氧基二苯甲酮(22DH4MB)及其組合；氫醌基穩(wěn)定劑選自甲基氫醌(MHQ)、氫醌單甲醚(HQMME)及其組合；且至少一種極性液體選自二乙氧基曱基硅烷(DEMS)、異丙醇(IPA)及其混合物。34.權(quán)利要求32的方法，進(jìn)一步包括與氫醌基穩(wěn)定劑一起向不飽和烴基前體材料中加入選自NO、N02、N20、C02、02及其混合物的氣化氣體。全文摘要本發(fā)明涉及用于穩(wěn)定不飽和烴基前體的穩(wěn)定劑。穩(wěn)定化組合物基本由不飽和烴基材料和選自羥基二苯甲酮和硝酰游離基型穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑構(gòu)成。穩(wěn)定化組合物基本由不飽和烴基前體材料、至少一種極性液體和選自羥基二苯甲酮、硝酰游離基型穩(wěn)定劑和氫醌基穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑構(gòu)成。使不飽和烴基前體材料穩(wěn)定以防聚合的方法包括提供選自羥基二苯甲酮和硝酰游離基型穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑。使不飽和烴基前體材料與至少一種極性液體的混合物穩(wěn)定以防聚合的方法包括向該混合物中加入選自羥基二苯甲酮和硝酰游離基型穩(wěn)定劑的穩(wěn)定劑。文檔編號(hào)C07C7/20GK101468937SQ20081017805公開日2009年7月1日申請(qǐng)日期2008年12月19日優(yōu)先權(quán)日2007年12月19日發(fā)明者D·西納托爾,K·A·錢德勒,M·K·哈斯,M·L·奧內(nèi)爾,S·G·梅厄加申請(qǐng)人:氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司