專利名稱：半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，特別是涉及一種具有熱交換器以提高蒸餾純化效率的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，許多制作過程因?yàn)椴襟E較為繁雜而使得制造成本提高。例如硅穿導(dǎo)孔(TSV，Through-Silicon Via)及半導(dǎo)體立體封裝(3D IC)的制作過程，都因?yàn)榫哂休^為復(fù)雜的制作過程而使成本一直居高不下。然而，這些半導(dǎo)體制作過程除了制作過程冗長(zhǎng)之外，于制作過程中所耗用的材料也占據(jù)了部分的成本，其中剝離溶劑(de-bondingagent)就是其中之一。當(dāng)一晶圓完成TSV制作過程后，要以剝離溶劑讓膠層先失去黏性(如照射紫外線或使用有機(jī)溶劑)以便將晶圓從承載片中取下。而目前剝離溶劑是一次用完即丟棄，亦即使用后的剝離溶劑先以廢液瓶回收，待廠商取回后以廢棄物處理；或者是將使用后的剝離溶劑直接排放至廢水處理設(shè)施中。然而，這樣的處理方式既不符合環(huán)保概念也會(huì)增加耗材成本。故，有必要提供一種半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其包含一剝離器、一蒸餾器、一熱交換器及一混合器，所述半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)主要將所述剝離器使用過的剝離溶劑通過所述蒸餾器、熱交換器及混合器純化后回收使用，除了可節(jié)省剝離溶劑的材料成本外，也符合環(huán)保概念。為達(dá)成本發(fā)明的前述目的，本發(fā)明一實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其包含一剝離器、一蒸餾器及一熱交換器。所述剝離器產(chǎn)出一使用過的一種剝離溶劑；所述熱交換器輸入所述使用過的剝離溶劑并將其預(yù)熱；及所述蒸餾器輸入所述預(yù)熱過的剝離溶劑，并蒸餾純化出一剝離溶劑蒸氣，其中所述剝離溶劑蒸氣系輸入熱交換器而與所述使用過的剝離溶劑進(jìn)行熱交換，以預(yù)熱所述使用過的剝離溶劑，并使所述剝離溶劑蒸氣冷凝為一純化回收液。為達(dá)成本發(fā)明的前述目的，本發(fā)明另一實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其包含一蒸餾器及一熱交換器。所述蒸餾器輸入一回收液，蒸餾純化出一回收液蒸氣；所述熱交換器將進(jìn)入所述蒸餾器的(低溫)回收液與剛離開所述蒸餾器的(高溫)回收液蒸氣進(jìn)行熱交換，以預(yù)熱所述回收液，并使所述回收液蒸氣冷凝為一純化回收液。


圖I是本發(fā)明一實(shí)施例的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)的流程示意圖。圖2是本發(fā)明一實(shí)施例的剝離器的側(cè)剖視圖。
圖3是本發(fā)明一實(shí)施例的熱交換器的側(cè)剖視圖。圖4是本發(fā)明一實(shí)施例的蒸餾器的側(cè)剖視圖。圖5是本發(fā)明另一實(shí)施例的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)的流程示意圖。
具體實(shí)施例方式為讓本發(fā)明上述目的、特征及優(yōu)點(diǎn)更明顯易懂，下文特舉本發(fā)明較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下請(qǐng)參照?qǐng)DI所示，圖I是本發(fā)明一實(shí)施例的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)的流程示意圖。一種半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)100包含一剝離器10、一蒸餾器20、一熱交換器30及一混合器40，所述半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)100主要將使用過的一種剝離溶劑通過純化后回收使用，以達(dá)到環(huán)保及節(jié)省耗材成本的雙重目的，詳述如下本實(shí)施例所述的剝離溶劑，可以為烯類的有機(jī)溶劑，例如是十二碳烯類的有機(jī)溶齊U，其沸點(diǎn)約在230°C左右。如圖I所示，所述剝離器10是用于分離出使用過的剝離溶劑的回收液，以產(chǎn)出一使用過的一種剝離溶劑；所述蒸餾器20是用于輸入所述預(yù)熱過的剝離溶劑，并蒸餾純化出一剝離溶劑蒸氣；所述熱交換器30是設(shè)于所述剝離器10與所述蒸餾器20之間，所述熱交換器30輸入所述使用過的剝離溶劑并將其預(yù)熱，其中所述剝離溶劑蒸氣系輸入熱交換器30而與所述使用過的剝離溶劑進(jìn)行熱交換，以預(yù)熱所述使用過的剝離溶齊U，并使所述剝離溶劑蒸氣冷凝為一純化回收液(此步驟約造成O. 2%的溶劑體積損失)；而所述混合器40是用于混合已純化的回收液及額外加入新鮮的剝離溶劑(補(bǔ)充純化過程中O. 2%的溶劑體積損失)，以供應(yīng)至所述剝離器10中再次重復(fù)使用。因此，本發(fā)明的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)100可回收剝離溶劑并重復(fù)使用，因此除了可節(jié)省剝離溶劑的材料成本外，也符合環(huán)保概念。在本實(shí)施例中，所述剝離器10與所述熱交換器30之間還設(shè)有一回收液儲(chǔ)存容器IOa ;所述回收液儲(chǔ)存容器IOa與所述熱交換器之間還設(shè)有一加壓幫浦10b。在本實(shí)施例中，所述熱交換器30與所述混合器40之間還設(shè)有一純化回收液儲(chǔ)存容器30a ;所述純化回收液儲(chǔ)存容器30a與所述混合器40之間還設(shè)有一加壓幫浦30b。在本實(shí)施例中，所述半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)100還設(shè)有一新鮮液儲(chǔ)存容器40a,所述新鮮液儲(chǔ)存容器40a連通至所述混合器40 ;所述新鮮液儲(chǔ)存容器40a與所述混合器40之間還設(shè)有一加壓幫浦40b。請(qǐng)參照?qǐng)D2所示，圖2是本發(fā)明一實(shí)施例的剝離器(de-bonding machine)的側(cè)剖視圖。所述剝離器10具有一殼體11，所述殼體上方設(shè)有一噴嘴12,所述殼體下方設(shè)有一旋轉(zhuǎn)臺(tái)13，旋轉(zhuǎn)臺(tái)13放置有待處理的晶圓50。所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)13內(nèi)設(shè)有真空吸嘴131以真空力固定所述晶圓50。此時(shí)，所述噴嘴12噴出新的剝離溶劑至所述晶圓50表面，同時(shí)旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)13，帶有雜質(zhì)的剝離溶劑向下流出成為低溫的待回收液。請(qǐng)參照?qǐng)D3所示，圖3是本發(fā)明一實(shí)施例的熱交換器的側(cè)剖視圖。所述熱交換器30設(shè)有一殼部31及一管部32，所述殼部31包含一回收液蒸氣入口 311及一純化回收液出口 312，所述管部32包含一回收液入口 321及一回收液出口 322。也就是說，所述熱交換器30的殼部31由所述回收液蒸氣入口 311輸入所述蒸餾器20輸出的高溫的回收液蒸氣為熱源，所述熱交換器30的管部32由所述回收液入口 321輸入所述剝離器10所供應(yīng)的回收`液為冷源，熱源與冷源進(jìn)行熱交換。因此，所述熱交換器30的管部32可由所述回收液出口322輸出被預(yù)熱的回收液至所述蒸餾器20，以提高回收液的蒸餾純化效率；而所述熱交換器30的殼部31可使蒸氣態(tài)的回收液蒸氣冷卻為液態(tài)的純化回收液，并由所述純化回收液出口 312輸出至所述混合器(如圖I所示)再與新鮮的剝離溶劑混合。請(qǐng)參照?qǐng)D4所示，圖4是本發(fā)明一實(shí)施例的蒸餾器的側(cè)剖視圖。所述蒸餾器20是一密閉的容器21,所述容器21內(nèi)部包含一加熱器22、一噴霧器23、多個(gè)托盤24、多個(gè)填充物25及一蒸氣出口 26。所述加熱器22設(shè)于容器21的內(nèi)底部；所述噴霧器23設(shè)于容器21的內(nèi)頂部，以噴霧方式輸入回收液；所述多個(gè)托盤24設(shè)于所述加熱器22與所述噴霧器23之間；所述多個(gè)填充物25設(shè)于所述多個(gè)托盤24上，可吸收回收液以增加回收液蒸發(fā)的表面積；所述蒸器出口 26設(shè)于容器21內(nèi)最高點(diǎn)，以向外輸出被純化的回收液蒸氣。在本實(shí)施例中，填充物25可為多孔性的陶瓷材質(zhì)的拉西環(huán)，其有利于吸附回收液，使回收液易于在被加熱器22后受熱蒸發(fā)，以提高回收液的蒸發(fā)純化效率。再者，請(qǐng)參照?qǐng)D5所示，圖5是本發(fā)明另一實(shí)施例的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)的流程示意圖。本實(shí)施例揭示的是一種簡(jiǎn)化的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)100a，所述剝離溶劑的回收系統(tǒng)IOOa僅包含一蒸餾器20及一熱交換器30，所述熱交換器30具有一回收液蒸氣入口 311、一純化回收液出口 312、一回收液入口 321及一回收液出口 322。所述熱交換器30的回收液出口 322可輸出被預(yù)熱的回收液至所述蒸餾器20，以提高回收液的蒸餾純化效率；而所述熱交換器30的純化回收液出口 312可輸出被冷卻的純化回收液。因此，相較于現(xiàn)有半導(dǎo)體的剝離溶劑使用一次即丟棄，并以廢棄液體處理，這樣既不符合環(huán)保概念也會(huì)增加制造成本。本發(fā)明的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)100，IOOa可回收使用過的剝離溶劑并重復(fù)使用，因此除了可節(jié)省剝離溶劑的材料成本外，也符合環(huán)保概念。并且，所述剝離溶劑的回收系統(tǒng)100，IOOa的所述熱交換器30也可提高剝離溶劑的純化效率。本發(fā)明已由上述相關(guān)實(shí)施例加以描述，然而上述實(shí)施例僅為實(shí)施本發(fā)明的范例。必需指出的是，已公開的實(shí)施例并未限制本發(fā)明的范圍。相反的，包含于權(quán)利要求書的精神及范圍的修改及均等設(shè)置均包括于本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其特征在于所述半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)包含一剝離器，產(chǎn)出一使用過的一種剝離溶劑；一熱交換器，輸入所述使用過的剝離溶劑并將其預(yù)熱 '及一蒸餾器，輸入所述預(yù)熱過的剝離溶劑，并蒸餾純化出一剝離溶劑蒸氣；其中所述剝離溶劑蒸氣系輸入熱交換器而與所述使用過的剝離溶劑進(jìn)行熱交換，以預(yù)熱所述使用過的剝離溶劑，并使所述剝離溶劑蒸氣冷凝為一純化回收液。
2.如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其特征在于所述半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)還設(shè)有一混合器，混合所述純化回收液及一新鮮剝離溶劑，并供應(yīng)至所述剝離器重復(fù)使用。
3.如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其特征在于所述蒸餾器是一密閉的容器，其內(nèi)部包含一加熱器，設(shè)于所述容器的一內(nèi)底部；一噴霧器，設(shè)于所述容器的一內(nèi)頂部，以噴霧方式輸入所述回收液；多個(gè)托盤，設(shè)于所述加熱器與所述噴霧器之間；多個(gè)填充物，設(shè)于所述多個(gè)托盤上，吸收所述回收液以增加所述回收液蒸發(fā)的表面積；及一蒸氣出口，設(shè)于所述容器內(nèi)的最高點(diǎn)，以向外輸出所述回收液蒸氣。
4.如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其特征在于所述熱交換器設(shè)有一殼部及一管部，所述殼部包含一回收液蒸氣入口及一純化回收液出口，所述管部包含一回收液入口及一回收液出口。
5.如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其特征在于所述剝離器與所述熱交換器之間還設(shè)有一回收液儲(chǔ)存容器；所述回收液儲(chǔ)存容器與所述熱交換器之間還設(shè)有一加壓幫浦。
6.如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其特征在于所述熱交換器與所述混合器之間還設(shè)有一純化回收液儲(chǔ)存容器；所述純化回收液儲(chǔ)存容器與所述混合器之間還設(shè)有一加壓幫浦。
7.如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其特征在于所述半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)還設(shè)有一新鮮液儲(chǔ)存容器，所述新鮮液儲(chǔ)存容器連通至所述混合器；所述新鮮液儲(chǔ)存容器與所述混合器之間還設(shè)有一加壓幫浦。
8.一種半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其特征在于所述半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)包含一蒸餾器，輸入一回收液，蒸餾純化出一回收液蒸氣 '及一熱交換器，將進(jìn)入所述蒸餾器的回收液與剛離開所述蒸餾器的回收液蒸氣進(jìn)行熱交換，以預(yù)熱所述回收液，并使所述回收液蒸氣冷凝為一純化回收液。
9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其特征在于所述蒸餾器是一密閉的容器，其內(nèi)部包含一加熱器，設(shè)于所述容器的一內(nèi)底部；一噴霧器，設(shè)于所述容器的一內(nèi)頂部，以噴霧方式輸入所述回收液；多個(gè)托盤，設(shè)于所述加熱器與所述噴霧器之間； 多個(gè)填充物，設(shè)于所述多個(gè)托盤上，吸收所述回收液以增加所述回收液蒸發(fā)的表面積；及 一蒸器出口，設(shè)于所述容器內(nèi)的最高點(diǎn)，以向外輸出被純化的所述回收液蒸氣。
10.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其特征在于所述熱交換器設(shè)有一殼部及一管部，所述殼部包含一回收液蒸氣入口及一純化回收液出口，所述管部包含一回收液入口及一回收液出口。
全文摘要
本發(fā)明公開一種半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)，其包含一剝離器、一蒸餾器、一熱交換器及一混合器，所述半導(dǎo)體剝離溶劑的回收系統(tǒng)主要將所述剝離器使用過的剝離溶劑通過所述蒸餾器、熱交換器及混合器純化后回收使用，除了可節(jié)省剝離溶劑的材料成本外，也符合環(huán)保概念。
文檔編號(hào)C07C7/04GK102908792SQ20121039743
公開日2013年2月6日 申請(qǐng)日期2012年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月18日
發(fā)明者黃文宏, 黃敏龍, 周澤川, 王秀枝, 楊秉豐 申請(qǐng)人:日月光半導(dǎo)體制造股份有限公司