自由基固化性化合物、自由基固化性化合物的制造方法、自由基固化性組合物、其固化物 ...的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供耐熱性優(yōu)異的正型光致抗蝕劑組合物。一種自由基固化性化合物，其特征在于，由下述通式(1)表示。式(1)中，R1、R2以及R3各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)1～8的烷基，m和n各自獨(dú)立地為1～4的整數(shù)，p為0～4的整數(shù)。此外，X、Y以及Z各自獨(dú)立地為丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基或者羥基中的任一種，X、Y、Z之中的至少一者為丙烯酰氧基或者甲基丙烯酰氧基，t為1或者2。
【專利說明】自由基固化性化合物、自由基固化性化合物的制造方法、自 由基固化性組合物、其固化物、以及抗蝕材料用組合物

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及能夠得到耐熱性優(yōu)異的固化物的自由基固化性化合物。

【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，電子設(shè)備中的技術(shù)進(jìn)步顯著，集成電路的高密度化、高性能化迅速推進(jìn)。 印刷電路基板也與之相應(yīng)地推進(jìn)高密度化、高布線化、部件的表面安裝化，要求比以往高的 高精度、高性能。為了適于該集成電路的高密度化、高性能化，而對作為集成電路的主要材 料的阻焊劑研宄了高性能化，但對于內(nèi)部具有細(xì)密布線的積層基板等，在阻焊劑與密封樹 脂的界面存在被稱為爆米花現(xiàn)象的產(chǎn)生裂紋的問題，要求更加高耐熱性的阻焊劑。
[0003] 此外，伴隨集成電路的高集成化，作為線寬20nm以下的超微細(xì)圖案化的方法，納 米壓印法受到關(guān)注。該納米壓印法大致分為熱納米壓印法和光納米壓印法。熱納米壓印法 將模具按壓到加熱至玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上而軟化了的高分子樹脂上，冷卻后將模具脫模， 從而將微細(xì)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到基板上的樹脂上，因此可以較廉價地形成納米圖案，在各個領(lǐng)域中 的應(yīng)用受到期待。然而，熱納米壓印法中，由于需要通過加熱該高分子樹脂從而使其軟化， 因此難以使用具有高玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的高分子樹脂，納米壓印法近年來在需要更高耐熱性 的電氣/電子領(lǐng)域中的應(yīng)用是困難的。
[0004] 另一方面，在利用光照射使組合物光固化的光納米壓印法中，按壓時不需要加熱 用于圖案轉(zhuǎn)印的模具材料，可以在室溫下壓印。用于光納米壓印的光固化性樹脂有自由基 聚合型和離子聚合型，還有它們的混合型，任意類型的固化性組合物均可用于納米壓印用 途，材料的選擇范圍廣，因此通常自由基聚合型的光固化性組合物受到廣泛研宄。
[0005] 將納米壓印用材料用于液晶顯示器的薄膜晶體管、液晶濾色器的保護(hù)膜、間隔膜、 其它液晶顯示裝置用構(gòu)件的微細(xì)加工用途的永久膜時，納米壓印用材料的固化物需要高機(jī) 械特性、透明性、耐光性、耐熱性等，其中，特別需要高耐熱性。作為可得到具有高耐熱性的 固化物的材料，例如已知具有聯(lián)苯骨架的環(huán)氧（甲基）丙烯酸酯樹脂（例如參見專利文獻(xiàn) 1)，但其并不具有近年來所需要的高耐熱性。
[0006] 現(xiàn)有專利文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)
[0008] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開平9-157340號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 發(fā)明要解決的問題
[0010] 本發(fā)明要解決的問題是提供能夠得到耐熱性優(yōu)異的固化物的自由基固化性化合 物，進(jìn)而提供該化合物的制造方法。
[0011] 用于解決問題的方案
[0012] 本發(fā)明人等反復(fù)進(jìn)行了深入的研宄，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，將具備使具有特定結(jié)構(gòu)的3官能 酚與（甲基）丙烯酰鹵反應(yīng)而得到的結(jié)構(gòu)的化合物固化而成的固化物具有非常高的耐熱 性，通過這樣的方法可以容易地制造前述化合物等，從而完成了本發(fā)明。
[0013] S卩，本發(fā)明提供一種自由基固化性化合物，其特征在于，由下述通式（1)表示。
[0014]

【權(quán)利要求】
1. 一種自由基固化性化合物，其特征在于，由下述通式（1)表示，
式（1)中，R1、R2以及R3各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)1?8的烷基，m和n各自獨(dú)立為1? 4的整數(shù)，p為0?4的整數(shù)，此外，X、Y以及Z各自獨(dú)立地為丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基 或者羥基中的任一種，X、Y、Z之中的至少一者為丙烯酰氧基或者甲基丙烯酰氧基，t為1或 者2。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的自由基固化性化合物，其中，所述通式（1)所示的自由基固化 性化合物為下述通式（2)所示的化合物，
式⑵中，R1、R2以及R3各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)1?8的烷基，m和n各自獨(dú)立為1? 4的整數(shù)，p為0?4的整數(shù)，此外，X、Y以及Z各自獨(dú)立地為丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基 或者羥基中的任一種，X、Y、Z之中的至少一者為丙烯酰氧基或者甲基丙烯?；?。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的自由基固化性化合物，其中，所述R\R2以及R3均為甲基。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的自由基固化性化合物，其中，所述m、n以及p各自獨(dú)立地為 1?3的整數(shù)。
5. -種自由基固化性化合物的制造方法，其特征在于，通過將烷基取代苯酚（al)與在 苯環(huán)上具有羥基的芳香族醛（a2)縮聚，從而得到下述通式（3)所示的縮聚物（A)，然后使該 縮聚物與（甲基）丙烯酰鹵⑶反應(yīng)，
式（3)中，R1、R2以及R3各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)1?8的烷基，m和n各自獨(dú)立地為1? 4的整數(shù)，p為0?4的整數(shù)，s為1或者2。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的自由基固化性化合物的制造方法，其中，所述烷基取代苯酚 (al)為2, 5-二甲苯酚或者2, 6-二甲苯酚。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的自由基固化性化合物的制造方法，其中，所述在苯環(huán)上具有 羥基的芳香族醛（a2)為4-羥基苯甲醛。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的自由基固化性化合物的制造方法，其包括以下的工序：工序 1，通過在酸催化劑存在下將烷基取代苯酚（al)與在苯環(huán)上具有羥基的芳香族醛（a2)縮 聚，從而得到在反應(yīng)溶液中包含縮聚物（A)的粗產(chǎn)物；工序2,自反應(yīng)溶液中回收由工序1 得到的縮聚物（A);以及，工序3,在堿存在下使工序2中分離出的縮聚物（A)與（甲基）丙 烯酰鹵⑶反應(yīng)。
9. 一種自由基固化性化合物，其利用權(quán)利要求5?8中任一項(xiàng)所述的制造方法而得到。
10. -種自由基固化性組合物，其含有權(quán)利要求1?4或權(quán)利要求9中任一項(xiàng)所述的自 由基固化性化合物。
11. 一種固化物，其是利用活性能量射線或者熱使權(quán)利要求10所述的自由基固化性組 合物固化而得到的。
12. -種抗蝕材料用組合物，其包含權(quán)利要求10所述的自由基固化性組合物。
【文檔編號】C07C67/14GK104487412SQ201380039314
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2013年6月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月25日
【發(fā)明者】今田知之, 鹿毛孝和, 申東美 申請人:Dic株式會社