專利名稱：用于形成有機絕緣膜的光敏樹脂組合物和使用該組合物的設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于形成液晶顯示器(LCD)中的有機絕緣膜的光敏樹脂組合物。

背景技術：
夾層絕緣膜用于使TFT-LCDs(薄膜晶體管-液晶顯示器)和集成電路裝置中的各層之間絕緣。這種夾層絕緣膜是采用特殊類型的光敏材料形成的。仍需要既能簡化工藝又具有高透射性的材料。
典型的夾層絕緣膜由粘合劑、光活性化合物(photoactive compound，PAC)、添加劑和溶劑等組成。常規(guī)的環(huán)氧丙烯酸酯已經(jīng)被用作形成有機絕緣膜的粘合劑的可固化單體。然而，常規(guī)的環(huán)氧丙烯酸酯的儲存穩(wěn)定性差、UV(紫外線)透射性低并且可顯影性(developability)差，所有這些會導致在LCD制備過程中出現(xiàn)大量的缺陷。因此，需要開發(fā)UV透射性高、可顯影性好和儲存穩(wěn)定性好并且易于合成和獲得的用于制備LCDs的粘合劑。


發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是關于一種光敏樹脂組合物，該組合物能解決現(xiàn)有技術中用于制備夾層絕緣膜的光敏樹脂組合物所存在的問題。與其它組合物相比，本發(fā)明的光敏樹脂組合物具有優(yōu)異的耐化學性、優(yōu)異的絕緣性和高敏感性。本發(fā)明的光敏樹脂組合物還具有顯著改善的物理性能(如，高殘留膜比、高UV透射性、優(yōu)異的可顯影性和很好的儲存穩(wěn)定性)。因此，本發(fā)明的光敏樹脂組合物可適于在LCD制備工藝中形成夾層絕緣膜。
本發(fā)明的光敏樹脂組合物含有丙烯酸共聚物并能獲得優(yōu)異的透射性、絕緣性、儲存穩(wěn)定性、可顯影性和耐熱性等。因此，本發(fā)明的光敏樹脂組合物適于在LCD制備工藝中形成夾層絕緣膜。
本發(fā)明一方面是提供一種光敏樹脂組合物，該光敏樹脂組合物含有[A]堿溶性樹脂、[B]光活性化合物和[C]溶劑，其中，所述堿溶性樹脂[A]為含有至少一個具有氮丙啶基團的結構單元的共聚物。
本發(fā)明另一方面是提供一種有機絕緣膜，該有機絕緣膜是由本發(fā)明的光敏樹脂組合物形成的。
本發(fā)明另一方面是提供一種顯示設備，該顯示設備包括本發(fā)明的有機絕緣膜。

具體實施例方式 將在下文中更充分地描述本發(fā)明，其中只描述本發(fā)明的部分而不是全部的實施方案。事實上，本發(fā)明能夠以許多不同的形式來實施，不應解釋為僅限于在此列出的實施方案。提供這些實施方案是為了滿足可適用的法律要求。
[A]堿溶性樹脂 堿溶性樹脂易于形成特定的圖案并且在顯影后不留下任何浮渣(scum)。堿溶性樹脂可以是(a)至少一種含有氮丙啶基團的不飽和化合物，(b)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或它們的混合物，和(c)不飽和烯屬化合物的共聚物。該共聚物可以是任何形式的共聚物，如無規(guī)共聚物、交替共聚物、嵌段共聚物或接枝共聚物。
含有氮丙啶基團的不飽和化合物(a)所起的作用是改善欲形成的圖案的各種特性(如耐熱性、儲存穩(wěn)定性、UV透射性和殘留膜比)，它可以選自式1至式6所表示的化合物
(其中，R1、R2和R3獨立地為氫原子、C1-C10的烷基、C1-C10的烷氧基、苯基或芐基)；
(其中，R1、R2和R3獨立地為氫原子、C1-C15的烷基、C1-C15的烷氧基、苯基或芐基)；
(其中R1、R2、R3、R4、R5和R6獨立地為氫原子、C1-C15的烷基、C1-C15的烷氧基、苯基或芐基)；
(其中R1、R2、R3、R4、R5、R6和R7獨立地為氫原子、C1-C15的烷基、C1-C15的烷氧基、苯基或芐基)；
(其中R1、R2、R3、R4、R5、R6和R7獨立地為氫原子、C1-C15的烷基、C1-C15的烷氧基、苯基或芐基)；和
(其中R1、R2、R3、R4、R5和R6獨立地為氫原子、C1-C10的烷基、C1-C10的烷氧基、苯基或芐基)。
式1至式6的這些不飽和化合物可以單獨使用或以它們的混合物使用。
以共聚物的重量為基準，所述共聚物可含有約5-70重量％，例如約10-50重量％的衍生自含有氮丙啶基團的不飽和化合物(a)的結構單元。當衍生自含有氮丙啶基團的不飽和化合物(a)的結構單元在共聚物中的含量低于約5重量％時，所述組合物不能形成圖案，并且在隨后的加工過程中可能會損害所述組合物的可靠性。然而，當衍生自含有氮丙啶基團的不飽和化合物(a)的結構單元在共聚物中的含量高于約70重量％時，共聚物的儲存穩(wěn)定性降低。
合適的不飽和羧酸和不飽和羧酸酐的實例包括但不限于不飽和一元羧酸，如丙烯酸和甲基丙烯酸；不飽和二元羧酸，如馬來酸、富馬酸(furmaricacid)、檸康酸、甲基富馬酸和衣康酸；和所述不飽和二元羧酸的酸酐。這些羧酸可以單獨使用、或以其中兩種或多種的混合物使用。丙烯酸或甲基丙烯酸可提供有利的共聚反應活性和在堿性水溶液中有利的溶解性。
以共聚物的重量為基準，所述共聚物可含有約30-80重量％，例如約45-70重量％的衍生自不飽和羧酸、不飽和酸酐、或它們的混合物(b)的結構單元。當衍生自不飽和羧酸、不飽和酸酐、或它們的混合物(b)的結構單元在共聚物中的含量低于約30重量％時，所述共聚物難以溶解于堿性水溶液中。然而，當衍生自不飽和羧酸、不飽和酸酐、或它們的混合物(b)的結構單元在共聚物中的含量高于約80重量％時，所述共聚物過多地溶解于堿性水溶液中。
所述的烯屬化合物(c)可包括不同于化合物(a)和(b)的化合物。烯屬化合物(c)的實例可包括丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯，例如但不限于選自由以下化合物所組成的組中的化合物甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、丙烯酸二環(huán)戊烯酯、丙烯酸二環(huán)戊酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊烯酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊基氧基乙酯、甲基丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸2-羥乙酯、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲基苯乙烯、1，3-丁二烯、異戊二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯、及它們的混合物。
以共聚物的重量為基準，所述共聚物可含有約10-60重量％的衍生自烯屬化合物(c)的結構單元。當衍生自烯屬化合物(c)的結構單元在共聚物中的含量低于約10重量％時，所述共聚物難以形成圖案。然而，當衍生自烯屬化合物(c)的結構單元在共聚物中的含量高于約60重量％時，所述共聚物極易溶解于堿性水溶液中，從而難以使用該共聚物形成圖案。
本發(fā)明的堿溶性樹脂可通過共聚合作用簡便地制備，而不需要另外的改性步驟。例如，本發(fā)明的堿溶性樹脂可在聚合引發(fā)劑作為催化劑存在下通過化合物(a)、(b)和(c)在溶劑中進行自由基聚合而制得。
用于本發(fā)明的溶劑的實例包括但不限于醇，如甲醇和乙醇；醚，如四氫呋喃；溶纖劑酯，如甲基溶纖劑乙酸酯；丙二醇烷基醚乙酸酯，如丙二醇甲基醚乙酸酯和丙二醇丙基醚乙酸酯；芳香烴；酮；和酯等，及它們的組合。所述溶劑可以與本發(fā)明組合物中所用的溶劑相同。
作為自由基聚合反應的催化劑，可使用任何已知的自由基聚合反應引發(fā)劑。適用于本發(fā)明的合適的自由基聚合反應催化劑的實例包括但不限于偶氮化合物，如2，2-偶氮二異丁腈、2，2-偶氮二-(2，4-二甲基戊腈)和2，2-偶氮二-(4-甲氧基-2，4-二甲基戊腈)；有機過氧化物，如過氧化苯甲酰、過氧化十二酰、過氧三甲基乙酸叔丁酯和1，1’-二-(叔丁基過氧)環(huán)己烷和過氧化氫等，及它們的組合。過氧化物可以與還原劑結合用作自由基聚合反應引發(fā)劑，這樣產(chǎn)生氧化還原引發(fā)劑。
以聚苯乙烯為基準，堿溶性樹脂的重均分子量(Mw)可以是約3000至約25000，例如，約5000至約15000。如果堿溶性樹脂的重均分子量(Mw)低于約3000，則最終的組合物表現(xiàn)出的膜可顯影性差、殘留膜比低、耐熱性差和膠粘性降低，因此，形成的圖案形狀差。然而，如果堿溶性樹脂的重均分子量(Mw)高于約25000，則最終的組合物表現(xiàn)出的敏感性和透射性低，因此，圖案的質(zhì)量差。
光活性化合物[B] 用于本發(fā)明的實例性的光活性化合物[B]可以包括但不限于1，2-醌二疊氮化合物、1，2-醌二疊氮-4-磺酸酯、1，2-醌二疊氮-5-磺酸酯或1，2-醌二疊氮-6-磺酸酯等，及它們的混合物。
本發(fā)明的1，2-醌二疊氮化合物可以通過在弱堿存在下對萘醌二疊氮磺酸鹵化物(naphthoquinonediazide sulfonic acid halide)和酚化合物進行酯化而制得。
用于本發(fā)明實施方案的實例性酚化合物可以包括但不限于2，3，4-三羥基苯甲酮、2，4，6-三羥基苯甲酮、2，2’，4，4’-四羥基苯甲酮、2，3，4，3’-四羥基苯甲酮、2，3，4，4’-四羥基苯甲酮、2，3，4，2’-四羥基-4’-甲基苯甲酮、2，3，4，4’-四羥基-3’-甲氧基苯甲酮、2，2’，3，4，6’-五羥基苯甲酮、2，3，4，4’，5，6-六羥基苯甲酮、3，3’，4，4’，5，5’-六羥基苯甲酮、二(2，4-二羥苯基)甲烷、二(對-羥苯基)甲烷、三(對-羥苯基)甲烷、1，1，1-三(對-羥苯基)乙烷、二(2，3，4-三羥苯基)甲烷、2，2-二(2，3，4-三羥苯基)丙烷、1，1，3-三(2，5-二甲基-4-羥苯基)-3-苯基丙烷、4，4’-[1-[4-[1-[4-羥苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]二苯酚、二(2，5-二甲基-4-羥苯基)-2-羥苯基甲烷等。這些酚化合物可以單獨使用或以其兩種或多種的混合物使用。
所述1，2-醌二疊氮化合物的酯化度可以為約45-85％。如果1，2-醌二疊氮化合物的酯化度低于約45％，則最終的組合物的殘留膜比非常低且敏感度低；然而，如果1，2-醌二疊氮化合物的酯化度高于約85％，則最終的組合物的儲存穩(wěn)定性差。
以100重量份的堿溶性樹脂[A]為基準，光活性化合物[B]在共聚物中的含量可以為約5-80重量份，如約10-35重量份。如果光活性化合物[B]的用量低于約5重量份，曝光(exposed)區(qū)域和未曝光(unexposed)區(qū)域的溶解性差異可能不足以形成圖案；然而，如果光活性化合物[B]的用量高于約80重量份，則在光照很短時間的情況下，大量的光活性化合物可能保持未反應狀態(tài)，這將極大降低光活性化合物在堿溶性水溶液的溶解度，結果導致本發(fā)明的組合物難以顯影。
溶劑[C] 用于本發(fā)明的溶劑的實例包括但不限于甲醇、四氫呋喃、乙二醇一甲基醚、乙二醇一乙基醚、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二乙二醇一甲基醚、二乙二醇一乙基醚、乙二醇二甲基醚、乙二醇二乙基醚、乙二醇甲基乙基醚、丙二醇一乙基醚、丙二醇丙基醚、丙二醇丁基醚、丙二醇甲基乙基乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、丙二醇丁基醚乙酸酯、丙二醇甲基乙基丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯、丙二醇丁基醚丙酸酯、甲苯、二甲苯、甲乙酮、環(huán)己酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等。這些溶劑可單獨使用，也可以其中的兩種或多種的混合物使用。
這些溶劑的量使本發(fā)明的光敏樹脂組合物的固體含量為約15-60重量％，如約20-45重量％。當本發(fā)明組合物的固體含量低于約15重量％，組合物涂布均一性降低，且涂層厚；然而，當本發(fā)明組合物的固體含量高于約60重量％，可能損害涂布機。
如果必要的話，本發(fā)明的光敏樹脂組合物還可以含有選自粘合劑、丙烯酸化合物、表面活性劑、其它的添加劑、和它們的混合物中的至少一種添加劑。
可以使用粘合劑以改善基底和用本發(fā)明組合物形成的有機絕緣膜中的圖案之間的黏著力。以100重量份堿溶性樹脂為基準，所述粘合劑的用量為約0.1-30重量份。用于本發(fā)明的實例性粘合劑包括但不限于被至少一個活性基團取代的硅烷化合物，所述的活性基團選自羧基、甲基丙烯?；?methacryl)、異氰酸酯基和環(huán)氧基等。粘合劑的具體實例包括γ-甲基丙烯酸酯基氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酸基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、γ-異氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷(γ-isocyanatopropyltriethoxysilane)、γ-環(huán)氧丙基氧基丙基三甲氧基硅烷(γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane)和β-3，4-環(huán)氧環(huán)己基乙基三甲氧基硅烷。這些硅烷化合物可單獨使用，也可以使用其中兩種或多種的混合物。
可加入表面活性劑以有效改善本發(fā)明的光敏樹脂組合物的可涂布性，并防止出現(xiàn)缺陷。
在下文中，參考下述的實施例和對比例更詳細解釋本發(fā)明。然而，給出這些實施例是為了解釋的目的而不是為了限制本發(fā)明的范圍。
實施例 合成實施例1到7(制備堿溶性樹脂) 合成實施例1 將10重量份的2，2’-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、200重量份的丙二醇一甲基醚乙酸酯、25重量份的甲基丙烯酸、25重量份的式7的甲基丙烯酸吖丙啶酯、15重量份的苯乙烯和35重量份的甲基丙烯酸二環(huán)戊烯酯放入裝有冷凝器和攪拌器的燒瓶中，然后通入氮氣。

在緩慢攪拌下將溶液加熱到55℃并在該溫度下保持4小時，獲得含有共聚物的聚合物。測得聚合物混合物中的固體含量是33重量％。將100重量份的聚合物混合物在1000重量份的乙醚中沉淀，過濾，在不高于30℃的溫度下真空干燥，完全除去溶劑，未反應的單體留在溶劑中，獲得重均分子量為13500的丙烯酸共聚物。
合成實施例2 按照合成實施例1制備，不同的是，用式8的甲基丙烯酸吖丙啶酯代替式7的甲基丙烯酸吖丙啶酯，獲得重均分子量為15500的丙烯酸共聚物。

合成實施例3 按照合成實施例1制備，不同的是，用式9的甲基丙烯酸吖丙啶酯代替式7的甲基丙烯酸吖丙啶酯，獲得重均分子量為12000的丙烯酸共聚物。

合成實施例4 按照合成實施例1制備，不同的是，用式10的甲基丙烯酸吖丙啶酯代替式7的甲基丙烯酸吖丙啶酯，獲得重均分子量為12800的丙烯酸共聚物。

合成實施例5 按照合成實施例1制備，不同的是，用式11的甲基丙烯酸吖丙啶酯代替式7的甲基丙烯酸吖丙啶酯，獲得重均分子量為13000的丙烯酸共聚物。

合成實施例6 按照合成實施例1制備，不同的是，用式12的甲基丙烯酸吖丙啶酯代替式7的甲基丙烯酸吖丙啶酯，獲得重均分子量為11000的丙烯酸共聚物。

合成實施例7 按照合成實施例1制備，不同的是，用式13的甲基丙烯酸吖丙啶酯代替式7的甲基丙烯酸吖丙啶酯，獲得重均分子量為10800的丙烯酸共聚物。

合成實施例8 按照合成實施例1制備，不同的是，用式14的甲基丙烯酸吖丙啶酯代替式7的甲基丙烯酸吖丙啶酯，獲得重均分子量為12300的丙烯酸共聚物。

合成實施例9制備1，2-醌二疊氮化合物 1摩爾的4，4’-[1-[4-[1-[4-羥苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]二苯酚和2摩爾的1，2-萘醌二疊氮-5-磺酸氯化物進行縮合反應，得到4，4’-[1-[4-[1-[4-羥苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]二苯酚1，2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯。
實施例1-6 20重量份的合成實施例9制得的4，4’-[1-[4-[1-[4-羥苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]二苯酚1，2-萘醌二疊氮-5-磺酸酯分別與各100重量份的合成實施例1-6制得的共聚物混合，溶解在二乙二醇二甲基醚中，直到固體含量為30重量％，用0.2μm微孔濾器過濾，制得溶液態(tài)的光敏樹脂組合物。
實施例7 按照與實施例1相同的方式制備溶液態(tài)的光敏樹脂組合物，不同的是，還加入γ-環(huán)氧丙基氧基丙基三甲氧基硅烷(S-510，Chisso)。以100重量份的合成實施例1制得的共聚物為基準，γ-環(huán)氧丙基氧基丙基三甲氧基硅烷的加入量為5重量份。
對比例1和2 按照與實施例1-6相同的方式制備溶液態(tài)的光敏樹脂組合物，不同的是，分別使用合成實施例7和8制得的共聚物。
實施例1-7和對比例1和2制得的光敏樹脂組合物的物理性能按照下述各步驟進行評價。結果列在表1中。
1)敏感性 用旋轉涂布機將各組合物施用在玻璃基底上，在100℃下，在熱盤上預烤3分鐘形成膜。用強度為20.0mW/cm3的光通過圖案化的掩光板(patternedmask)照射該膜15秒鐘。然后，在25℃下，用氫氧化四甲基銨(0.4重量％)水溶液顯影130秒鐘，用超純水清洗90秒鐘，并用壓縮空氣吹，直到干燥形成圖案。
用強度為25.0mW/cm3的UV照射圖案32秒鐘并在220℃下于烤箱中固化60分鐘形成圖案膜。
2)殘留膜比 用旋轉涂布機將各組合物涂布在玻璃基底上，預烤形成膜。測量膜厚。然后將膜進行后期烘烤以除去溶劑并測量膜厚。計算得出后期烘烤后測得的膜厚與預烤后測得的膜厚之比即為殘留膜比。
3)UV透射性 用分光光度計在400nm下檢測圖案膜的透射性，以評價透明度。
4)儲存穩(wěn)定性 將圖案膜在溫度為23℃和濕度為40％的清潔房間放置3個星期。每天檢測膜的敏感性(mJ/sqcm)變化。如果敏感性變化低于10％，則膜的儲存穩(wěn)定性被評為好(“○”)。如果敏感性變化處于10％和20％之間，則膜的儲存穩(wěn)定性被評為一般(“△”)。如果敏感性變化高于20％，則膜的儲存穩(wěn)定性被評為差(“×”)。
表1 從表1的結果可看出，實施例1-7制得的光敏樹脂組合物在透射性、儲存穩(wěn)定性和敏感性都優(yōu)于對比例1和2制得的組合物。
從上面的描述可明顯看出本發(fā)明的光敏樹脂組合物在絕緣性和敏感性等方面表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。本發(fā)明的光敏樹脂組合物尤其具有顯著改善的物理性能(如，高殘留膜比、高UV透射性、優(yōu)異的可顯影性和優(yōu)異的儲存穩(wěn)定性)。因此，本發(fā)明的光敏樹脂組合物適于在液晶顯示器(LCD)制備過程中形成夾層絕緣膜。
在本文前面的描述的教導作用下，本領域的技術人員可以想到本發(fā)明的許多改進和其它實施方案。因此，應當理解為本發(fā)明不限于公開的具體實施方案，所述改進和其它的實施方案都包括在隨附的權利要求的范圍內(nèi)。盡管在本文中采用了特定的術語，但僅以它們的普通意義和描述性意義使用，本發(fā)明的范圍由權利要求限定。
權利要求
1.一種光敏樹脂組合物，該光敏樹脂組合物含有
[A]堿溶性樹脂；
[B]光活性化合物；和
[C]溶劑，
其中，所述堿溶性樹脂[A]為含有至少一個具有氮丙啶基團的結構單元的共聚物。
2.根據(jù)權利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，所述堿溶性樹脂為含有由選自式1至6表示的含有氮丙啶基團的不飽和化合物中的至少一種化合物所衍生的結構單元的共聚物
其中R1、R2和R3獨立地為氫原子、C1-C10的烷基、C1-C10的烷氧基、苯基或芐基；
其中R1、R2和R3獨立地為氫原子、C1-C15的烷基、C1-C15的烷氧基、苯基或芐基；
其中R1、R2、R3、R4、R5和R6獨立地為氫原子、C1-C15的烷基、C1-C15的烷氧基、苯基或芐基；
其中R1、R2、R3、R4、R5、R6和R7獨立地為氫原子、C1-C15的烷基、C1-C15的烷氧基、苯基或芐基；
其中R1、R2、R3、R4、R5、R6和R7獨立地為氫原子、C1-C15的烷基、C1-C15的烷氧基、苯基或芐基；和
其中R1、R2、R3、R4、R5和R6獨立地為氫原子、C1-C10的烷基、C1-C10的烷氧基、苯基或芐基。
3.根據(jù)權利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，所述堿溶性樹脂為含有由選自式7至12表示的含有氮丙啶基團的不飽和化合物中的至少一種化合物所衍生的結構單元的共聚物
4.根據(jù)權利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，所述堿溶性樹脂為(a)至少一個含有氮丙啶基團的不飽和化合物，(b)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或它們的混合物，與(c)不飽和烯屬化合物的共聚物。
5.根據(jù)權利要求4所述的光敏樹脂組合物，其中，所述(b)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或它們的混合物包括丙烯酸、甲基丙烯酸、或它們的混合物。
6.根據(jù)權利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，以聚苯乙烯為基準，所述堿溶性樹脂的重均分子量Mw為約3000-25000。
7.根據(jù)權利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，所述堿溶性樹脂含有約5-70重量％的衍生自(a)含有氮丙啶基團的不飽和化合物的結構單元，約30-80重量％的衍生自(b)不飽和羧酸、不飽和羧酸酐、或它們的混合物的結構單元，以及約10-60重量％的衍生自(c)不飽和烯屬化合物的結構單元。
8.根據(jù)權利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，以100重量份的堿溶性樹脂[A]為基準，所述光活性化合物[B]的含量為約5-80重量份。
9.根據(jù)權利要求1所述的光敏樹脂組合物，該光敏樹脂組合物的固體含量為約15-60重量％。
10.根據(jù)權利要求1所述的光敏樹脂組合物，其中，所述光活性化合物[B]為1，2-醌二疊氮化合物。
11.根據(jù)權利要求10所述的光敏樹脂組合物，其中，所述1，2-醌二疊氮化合物選自由1，2-醌二疊氮化合物、1，2-醌二疊氮-4-磺酸酯、1，2-醌二疊氮-5-磺酸酯、1，2-醌二疊氮-6-磺酸酯、及它們的混合物所組成的組中。
12.根據(jù)權利要求10所述的光敏樹脂組合物，其中，所述1，2-醌二疊氮化合物是通過將萘醌二疊氮磺酸鹵化物和酚化合物進行酯化而制備的，所述1，2-醌二氮化合物的酯化度為約45-85％。
13.根據(jù)權利要求1所述的光敏樹脂組合物，該光敏樹脂組合物還含有至少一種由作為活性基團的羧基、甲基丙烯?；惽杷狨セ颦h(huán)氧基取代的硅烷化合物。
14.根據(jù)權利要求13所述的光敏樹脂組合物，其中，以100重量份的堿溶性樹脂為基準，所述硅烷化合物的含量為約0.1-30重量份。
15.一種有機絕緣膜，該有機絕緣膜是通過使用光敏樹脂組合物而形成的，該光敏樹脂組合物含有
[A]堿溶性樹脂；
[B]光活性化合物；和
[C]溶劑，
其中，所述堿溶性樹脂[A]為含有至少一個具有氮丙啶基團的結構單元的共聚物。
16.一種顯示設備，該顯示設備包括通過使用光敏樹脂組合物而形成的有機絕緣膜，該光敏樹脂組合物含有
[A]堿溶性樹脂；
[B]光活性化合物；和
[C]溶劑，
其中，所述堿溶性樹脂[A]為含有至少一個具有氮丙啶基團的結構單元的共聚物。
全文摘要
公開了一種光敏樹脂組合物。該組合物含有[A]堿溶性樹脂、[B]光活性化合物和[C]溶劑。所述的堿溶性樹脂為含有至少一個具有氮丙啶基團的結構單元的共聚物。所述組合物具有優(yōu)異的儲存穩(wěn)定性、高敏感性、高UV透射性、高殘留膜比、改善的涂布均一性和優(yōu)異的圖案形成性能。還公開了用所述組合物形成的有機絕緣膜。該有機絕緣膜對溶劑和化學物質(zhì)具有優(yōu)異的耐受性。
文檔編號C08L33/00GK101200566SQ20071016656
公開日2008年6月18日 申請日期2007年11月6日 優(yōu)先權日2006年12月13日
發(fā)明者金旻成, 趙相元, 申東珠, 李吉成 申請人:第一毛織株式會社