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      薄膜型轉(zhuǎn)印材料的制作方法

      文檔序號(hào):3696684閱讀:334來(lái)源:國(guó)知局

      專(zhuān)利名稱(chēng)::薄膜型轉(zhuǎn)印材料的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      :本發(fā)明涉及一種薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料。
      背景技術(shù)
      :一般而言,薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料是以干膜(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為干膜光阻)的形式提供的。干膜光阻用于印刷線(xiàn)路板、印刷電路板、IC封裝、金屬浮雕等,且通常都包括有基膜、感光樹(shù)脂層與覆蓋膜?;な瞧鹬胃泄鈽?shù)脂層的作用,且可使具有黏性的感光樹(shù)脂層在曝光過(guò)程中較容易被處理。感光樹(shù)脂層由光聚合性單體、光起始劑及黏結(jié)劑聚合物制備成以適于終端使用。覆蓋膜形成在感光樹(shù)脂層的與形成有基膜的表面相對(duì)的表面上,從而防止感光樹(shù)脂層損壞。使用此干膜光阻來(lái)形成圖案的過(guò)程范例包括印刷電路板的制造過(guò)程,該過(guò)程包含自干膜光阻處移除覆蓋膜、將干膜光阻層壓于銅箔基板(CCL)上、將具有所需圖案的掩膜(mask)置于干膜光阻上、使用紫外光(UV)進(jìn)行曝光過(guò)程(Exposureprocess)、以及使用適當(dāng)溶劑將未固化部分洗去的顯影過(guò)程(Developmentprocess)0一般而言,如圖3所示,曝光過(guò)程是在基膜40附著于感光樹(shù)脂層20的狀態(tài)下進(jìn)行。在此例中,由于掩膜60與感光樹(shù)脂層20藉由有厚度的基膜40予以間隔,所以可能會(huì)降低分辨率。因此,可以在移除基膜后才進(jìn)行曝光過(guò)程。然而,如果這樣,卻會(huì)由于沒(méi)有基膜,使掩膜黏附于具有黏性的感光樹(shù)脂層,而不當(dāng)?shù)負(fù)p壞感光樹(shù)脂層,進(jìn)而造成分辨率降低。因此,實(shí)際上很難在移除基膜后才進(jìn)行曝光過(guò)程,也因此,分辨率低的問(wèn)題依然存在。此外,隨著提高印刷電路板密度與裝載半導(dǎo)體封裝技術(shù)的發(fā)展,電路之間的間隔縮小,因而迫切地需要一種具有高分辨率且可應(yīng)用于精細(xì)電路基板的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料。
      發(fā)明內(nèi)容技術(shù)問(wèn)題因此,本發(fā)明提供一種薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料,其在沒(méi)有基膜的條件下仍能進(jìn)行曝光過(guò)程。此外,本發(fā)明提供一種薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料,其可在曝光過(guò)程進(jìn)行中使掩膜與感光樹(shù)脂層之間的距離減至最小,進(jìn)而提高分辨率,且本發(fā)明還提供一種具有使用該薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料來(lái)形成圖案的顯示器基板。技術(shù)方案根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料,包括基膜、樹(shù)脂保護(hù)層、感光樹(shù)脂層以及覆蓋膜,其中,所述樹(shù)脂保護(hù)層的黏著力等于或小于0.005kgf/cm2,其中黏著力被定義為將層壓于因移除基膜而暴露的樹(shù)脂保護(hù)層上的額外的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(polyethyleneterephthalate,PET)膜,自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。在根據(jù)本發(fā)明該實(shí)施例的轉(zhuǎn)印材料中,樹(shù)脂保護(hù)層可為堿性顯影聚合物層。在根據(jù)本發(fā)明該實(shí)施例的轉(zhuǎn)印材料中,樹(shù)脂保護(hù)層在25°C時(shí)在甲基乙基酮內(nèi)的溶解度可等于或小于5克,其中該溶解度被定義為將50克的樹(shù)脂保護(hù)層加入100克的甲基乙基酮內(nèi),在25°C下攪拌1小時(shí)并以濾紙過(guò)濾,且測(cè)量殘留在濾紙上的樹(shù)脂保護(hù)層的重量而得到的樹(shù)脂保護(hù)層的重量減少量。在根據(jù)本發(fā)明該實(shí)施例的轉(zhuǎn)印材料中,樹(shù)脂保護(hù)層可由包含有重量平均分子量為5,000至300,000的水溶性聚合物的涂覆溶液形成。在根據(jù)本發(fā)明該實(shí)施例的轉(zhuǎn)印材料中,覆蓋膜與感光樹(shù)脂層之間的黏著力可小于基膜與樹(shù)脂保護(hù)層之間的黏著力。并且,樹(shù)脂保護(hù)層的厚度可為0.001至ΙΟμπι。在根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的轉(zhuǎn)印材料中,如下列方程式1表示的,樹(shù)脂保護(hù)層可具有等于或小于5000%黏著力變化。方程式1黏著力變化(%)=Β二點(diǎn)f力力XlOO第一黏著力其中,第一黏著力被定義為將基膜移除不久之后層壓于樹(shù)脂保護(hù)層上的額外的PET膜片,自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力;而第二黏著力被定義為將層壓于樹(shù)脂保護(hù)層上的額外的PET膜片,自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力,其中該樹(shù)脂保護(hù)層是在移除其上的基膜,并將樹(shù)脂保護(hù)層置于溫度為25°C及濕度為50%的條件下240小時(shí)所制得。在根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的轉(zhuǎn)印材料中,樹(shù)脂保護(hù)層可為聚乙烯醇基樹(shù)脂層。如此,樹(shù)脂保護(hù)層可包含有選自潤(rùn)濕劑(wettingagent)、勻染劑(levelingagent)、消泡劑、黏著劑及膠合劑中至少一種添加劑。在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的轉(zhuǎn)印材料中,覆蓋膜可為具有剝離層或不具有剝離層的聚酯膜片。在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的轉(zhuǎn)印材料中,基膜可為具有剝離層或不具有剝離層的聚酯膜片。在本發(fā)明的示例性實(shí)施例中,提供一種具有使用前述薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料所形成的圖案的顯示器基板。有益效果本發(fā)明可提供一種薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料以及一種顯示器基板。當(dāng)使用根據(jù)本發(fā)明的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料時(shí),可在移除基膜后進(jìn)行曝光過(guò)程,因而在曝光過(guò)程中可縮小掩膜與感光樹(shù)脂層之間的間隔,從而進(jìn)一步提高圖案的分辨率。此外,根據(jù)本發(fā)明的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料允許基膜在曝光過(guò)程前被移除,且其可被加工成薄片或是可應(yīng)用于卷壓(rolltoroll)過(guò)程而不致?lián)p壞感光樹(shù)脂層。再者,由于本發(fā)明是在移除基膜后直接進(jìn)行曝光過(guò)程,因此相較于包括有進(jìn)行曝光過(guò)程、去除不純物與移除基膜等步驟的常規(guī)過(guò)程而言,本發(fā)明的過(guò)程較為簡(jiǎn)便,并且本發(fā)明可降低顯示器基板的制造成本。圖1為示出根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的層狀結(jié)構(gòu)的剖視圖;圖2為示出在曝光過(guò)程中,包括根據(jù)本發(fā)明的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的顯示器基板的剖視圖;圖3為示出在曝光過(guò)程中,包括常規(guī)的具有三層結(jié)構(gòu)的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的顯示器基板的剖視圖;圖4為示出在本發(fā)明范例中所制得的印刷電路板在顯影過(guò)程后,其表面放大800倍的電子顯微鏡影像;圖5為示出在本發(fā)明比較范例中所制得的印刷電路板在顯影過(guò)程后,其表面放大600倍的電子顯微鏡影像;以及圖6至圖8分別為示出在本發(fā)明范例5至7中制得的印刷電路板在顯影過(guò)程后,其表面的電子顯微鏡影像(分別為放大1500倍、2000倍及2500倍)。女附圖中所使用的附圖標(biāo)記說(shuō)明10覆蓋膜20感光樹(shù)脂層30樹(shù)脂保護(hù)層40基膜50軟性銅箔基板(FCCL)60掩膜具體實(shí)施例以下將詳細(xì)描述本發(fā)明。圖1圖示了根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料。根據(jù)本發(fā)明的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料具有一種包括覆蓋膜10、感光樹(shù)脂層20、樹(shù)脂保護(hù)層30以及基膜40的結(jié)構(gòu)。雖然在圖中未示出,但是在各覆蓋膜10和/或基膜40的至少一個(gè)表面上可具有剝離層。圖2為圖示在曝光過(guò)程中,包括根據(jù)本發(fā)明的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的顯示器基板層狀結(jié)構(gòu)的剖視圖。如此,當(dāng)根據(jù)本發(fā)明的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料應(yīng)用于諸如印刷線(xiàn)路板、印刷電路板等的顯示器基板時(shí),將覆蓋膜10自薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料上移除,薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料層壓于軟性銅箔基板50上,使轉(zhuǎn)印材料的感光樹(shù)脂層與軟性銅箔基板互相面對(duì),將基膜40移除,然后將掩膜置于樹(shù)脂保護(hù)層上,之后進(jìn)行曝光過(guò)程與顯影過(guò)程。以下詳細(xì)敘述各層狀結(jié)構(gòu)。<基膜>本發(fā)明的基膜用于支撐樹(shù)脂保護(hù)層與感光樹(shù)脂層,因此基膜應(yīng)該具有適當(dāng)?shù)臋C(jī)械性能?;に玫牟牧戏独ň蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二酯等的聚酯、聚乙烯、聚丙烯、聚亞酰胺、聚酰胺、纖維素三醋酸酯、纖維素二醋酸酯、烷基聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸酯共聚物、聚氯乙烯與醋酸乙烯酯共聚物、聚四氟乙烯以及聚三氟乙烯。尤其適用的是聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯。基膜的厚度設(shè)定為10至100μm,且優(yōu)選為15至30μm,但并不限于此。根據(jù)稍后會(huì)描述的樹(shù)脂保護(hù)層的組成,基膜可具有用于控制剝離性的剝離層。這樣,剝離層的組成及其形成過(guò)程并無(wú)特殊限制,只要當(dāng)基膜與樹(shù)脂保護(hù)層之間的黏著力大于覆蓋膜與感光樹(shù)脂層之間的黏著力時(shí),剝離層可達(dá)到避免樹(shù)脂保護(hù)層損壞的表面性質(zhì)即可。<樹(shù)脂保護(hù)層>樹(shù)脂保護(hù)層被設(shè)置于基膜與感光樹(shù)脂層之間。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的具有此種樹(shù)脂保護(hù)層的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料可在移除基膜且接著將掩膜置放在該樹(shù)脂保護(hù)層上之后,才開(kāi)始接受曝光過(guò)程。因此,樹(shù)脂保護(hù)層應(yīng)可輕易地脫離基膜且不應(yīng)黏附于掩膜。并且,樹(shù)脂保護(hù)層必須具有可達(dá)到即使在曝光過(guò)程后的薄片加工過(guò)程中或卷壓過(guò)程中,樹(shù)脂保護(hù)層成為堆疊狀或是軟性銅箔基板與樹(shù)脂保護(hù)層相互接觸時(shí),仍然不會(huì)發(fā)生缺陷的小黏著力。具體而言,當(dāng)曝光過(guò)程是在樹(shù)脂保護(hù)層因移除基膜而暴露在外的狀態(tài)下進(jìn)行時(shí),重要的是樹(shù)脂保護(hù)層不會(huì)黏附于掩膜。掩膜的范例包括聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、玻璃等。因此,PET膜片層壓于本發(fā)明的因移除基膜而暴露在外的樹(shù)脂保護(hù)層上,且之后PET膜片也必須容易自該樹(shù)脂保護(hù)層分離。由此觀(guān)點(diǎn)來(lái)看,本發(fā)明的樹(shù)脂保護(hù)層可具有等于或小于0.005kgf/cm2的黏著力,黏著力被定義為將層壓于因移除基膜而暴露在外的樹(shù)脂保護(hù)層上的額外的PET膜片,自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。具體而言,黏著力是以如下方式定義的使覆蓋膜脫離寬度為3cm、長(zhǎng)度為20cm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料樣本,該轉(zhuǎn)印材料樣本以2m/min的速率,在110°C及4kgf/cm2的條件下層壓于軟性銅箔基板上,然后移除基膜,其后寬度為4cm、長(zhǎng)度為25cm及厚度19μm的PET膜片以2m/min的速率,在110°C及4kgf/cm2的條件下層壓于因移除基膜而暴露在外的層狀結(jié)構(gòu)上,之后以萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)測(cè)量將PET膜片自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的方。當(dāng)樹(shù)脂保護(hù)層的黏著力大于0.005kgf/cm2時(shí),就難以將設(shè)置于樹(shù)脂保護(hù)層上的掩膜再次移除,因而可能會(huì)損壞樹(shù)脂保護(hù)層的表面,使基膜移除后的曝光過(guò)程難以獲得良好的效果。此外,樹(shù)脂保護(hù)層應(yīng)防止在曝光過(guò)程中會(huì)阻礙感光樹(shù)脂層聚合反應(yīng)的氧氣進(jìn)入,而且,在曝光過(guò)程之后的顯影過(guò)程中必須移除樹(shù)脂保護(hù)層。所以,樹(shù)脂保護(hù)層可為一種堿性顯影聚合物層。就這一點(diǎn)而論,術(shù)語(yǔ)“堿性顯影聚合物”是指一種藉由稀釋的堿性溶液例如Na2C03、NaOH或KOH來(lái)顯影的聚合物。因此,樹(shù)脂保護(hù)層可由包含水溶性聚合物的組成物制備,所述水溶性聚合物選自聚乙烯基乙醚馬來(lái)酸酐的水溶性鹽、纖維素醚的水溶性鹽、羧甲基纖維素的水溶性鹽、羧甲基淀粉的水溶性鹽、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、各種類(lèi)型的聚丙烯酰胺、聚酰胺的水溶性鹽、聚丙烯酸的水溶性鹽、聚乙二醇、聚丙二醇、明膠、聚環(huán)氧乙烷及淀粉。由于用以形成樹(shù)脂保護(hù)層的組成物的黏度會(huì)影響涂覆層的性質(zhì),且會(huì)受到聚合物的聚合度的影響,因此組成物的聚合物的重量平均分子量可為5,000至300,000的范圍。倘若重量平均分子量低于5,000,則難以將組成物涂覆成膜片的形式,且保護(hù)感光樹(shù)脂層的功能也會(huì)由于低強(qiáng)度而惡化。相反地,若是重量平均分子量高于300,000,則顯影時(shí)間會(huì)增力口,且在層壓于軟性銅箔基板上之后移除基膜的情況下需擔(dān)憂(yōu)損壞樹(shù)脂保護(hù)層。在根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料中,樹(shù)脂保護(hù)層在25°C時(shí)在甲基乙基酮內(nèi)的溶解度可等于或小于5克,以防止在產(chǎn)品銷(xiāo)售期間感光樹(shù)脂層與樹(shù)脂保護(hù)層之間發(fā)生成分?jǐn)U散(diffusion)及延長(zhǎng)產(chǎn)品的保存期限。在甲基乙基酮內(nèi)的溶解度被定義為將50克的樹(shù)脂保護(hù)層加入100克的甲基乙基酮內(nèi),在25°C下攪拌1小時(shí),然后以濾紙過(guò)濾,再測(cè)量殘留在濾紙上的樹(shù)脂保護(hù)層的重量而得到的樹(shù)脂保護(hù)層的重量減少量。在根據(jù)本發(fā)明該實(shí)施例的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料中,可在后處理中移除基膜后才進(jìn)行曝光過(guò)程。在這種情況下,當(dāng)需要預(yù)定的時(shí)間來(lái)進(jìn)行曝光過(guò)程時(shí),暴露于外部環(huán)境中的樹(shù)脂保護(hù)層的性質(zhì)可能會(huì)由于吸收水分而改變。因此,在根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料中,如下列方程式1所示,樹(shù)脂保護(hù)層可具有等于或小于5000%的黏著力變化。方程式1點(diǎn)著力變化飯)二第二黏m,著力遍第一黏著力其中,第一黏著力被定義為將基膜移除后立即層壓于樹(shù)脂保護(hù)層上的額外的PET膜片,自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力;而第二黏著力被定義為將層壓于樹(shù)脂保護(hù)層上的額外的PET膜片,自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力,其中,該樹(shù)脂保護(hù)層是藉由移除其上的基膜,并使樹(shù)脂保護(hù)層在溫度為25°C及濕度為50%的條件下放置10天而制得。據(jù)此,樹(shù)脂保護(hù)層可為聚乙烯醇基樹(shù)脂層。該聚乙烯醇基樹(shù)脂層為一種包含有至少10重量百分比(wt%)的聚乙烯醇樹(shù)脂的樹(shù)脂層。當(dāng)樹(shù)脂保護(hù)層為聚乙烯醇基樹(shù)脂層時(shí),其應(yīng)用性隨基膜的種類(lèi)而變。因此,可進(jìn)一步包含潤(rùn)濕劑。在基膜及稍后會(huì)描述的覆蓋膜的選擇上,存在需要控制剝離性的情況。在此情況下,可使用一種用以控制剝離性的添加劑,例如潤(rùn)濕劑、勻染劑、消泡劑、黏著劑及膠合劑。添加劑并沒(méi)有特定限制,只要是可將覆蓋膜與感光樹(shù)脂層之間黏著力調(diào)整為小于基膜與樹(shù)脂保護(hù)層之間黏著力的任何一種添加劑皆可使用。樹(shù)脂保護(hù)層的形成過(guò)程并沒(méi)有特定限制,且樹(shù)脂保護(hù)層的形成過(guò)程包括將用以形成樹(shù)脂保護(hù)層的組成物溶解于有機(jī)溶劑或水中,優(yōu)選為溶解于水中,由此制備組成物溶液,將該組成物溶液涂覆于基膜上,然后將其干燥。曝光過(guò)程是在形成有樹(shù)脂保護(hù)層的狀態(tài)下進(jìn)行的,因此,為提高分辨率,優(yōu)選地,樹(shù)脂保護(hù)層更薄。樹(shù)脂保護(hù)層的厚度可設(shè)定為0.001至10μm。<感光樹(shù)脂層>感光樹(shù)脂層的組成物包括有黏結(jié)劑聚合物、光聚合性單體、光起始劑及其它添加齊U,且可根據(jù)印刷電路板的性質(zhì)與種類(lèi)而變化。形成被設(shè)置為與上方樹(shù)脂保護(hù)層接觸的感光樹(shù)脂層的過(guò)程并沒(méi)有特定限制,形成所述感光樹(shù)脂層的過(guò)程包括將感光樹(shù)脂層涂覆于覆蓋膜上,然后將其黏附至形成在基膜上的樹(shù)脂保護(hù)層上。根據(jù)印刷電路板的種類(lèi),感光樹(shù)脂層的厚度可設(shè)定為10至ΙΟΟμπι。<覆蓋膜>覆蓋膜必須具有足夠的剝離性,使其在薄膜型轉(zhuǎn)印材料應(yīng)用于后處理過(guò)程時(shí)能夠容易地分離,并能防止銷(xiāo)售與儲(chǔ)存過(guò)程中覆蓋膜分離。感光樹(shù)脂層涂覆在覆蓋膜上,然后層壓在形成于基膜上的樹(shù)脂保護(hù)層上,從而制造出薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料。如此,考慮到感光樹(shù)脂層應(yīng)用性,覆蓋膜可為聚酯膜片。考慮到剝離性,特別適用的是具有剝離層的聚酯膜片。形成剝離層過(guò)程的一種范例包括涂覆或印刷聚硅氧烷,但并不受限于此。剝離層的形成過(guò)程與組成并無(wú)特定限制,只要能使覆蓋膜與感光樹(shù)脂層之間的黏著力小于基膜與樹(shù)脂保護(hù)層之間的黏著力,且感光樹(shù)脂層的表面性質(zhì)未退化即可。當(dāng)進(jìn)行在基膜上形成樹(shù)脂保護(hù)層、將感光樹(shù)脂層設(shè)置于樹(shù)脂保護(hù)層上并層壓覆蓋膜的情況下,可使用厚度為15至25μm的聚烯烴膜片作為覆蓋膜。通過(guò)下述范例可更好地解本發(fā)明,所述范例僅用于闡明本發(fā)明,而不得被解釋為限制本發(fā)明。<范例1>(a)甲基丙烯酸(Methacrylicacid)、丙烯酸(Acrylicacid)及甲基丙烯酸甲酯(Methylmethacrylate,MMA)以201070的重量比,在甲基乙基酮溶劑、1%AIBN的聚合反應(yīng)起始劑、反應(yīng)溫度為80°C、反應(yīng)時(shí)間為4小時(shí)及3%AIBN的后起始劑的條件下聚合,從而制得一種丙烯酸聚合物(重量平均分子量為70,000,固體含量為50%)。(b)用甲基乙基酮將丙烯酸聚合物稀釋為200cps,從而獲得樹(shù)脂保護(hù)層的組成物,其后使用涂覆棒將依此所獲得的組成物涂覆于20μπι厚的基膜(OPP)上,然后在80°C的對(duì)流烘箱中干燥10分鐘,以形成2μm厚的樹(shù)脂保護(hù)層。(c)以用于UH-9200系列(Kolon公司供售)的成分與用量來(lái)形成感光樹(shù)脂組成物。具體而言,光起始劑溶解于甲基乙基酮與甲醇溶劑中,并與光聚合性低聚物(photopolymerizableoligomer)及黏結(jié)劑聚合物混合,然后使用機(jī)械攪拌器(MechanicalStirrer)攪拌1小時(shí),從而制得一種感光樹(shù)脂組成物。(d)使用涂覆棒將感光樹(shù)脂組成物涂覆于20μm厚的覆蓋膜(OPP)上,然后在80°C的對(duì)流烘箱中干燥6分鐘,以形成15μπι厚的感光樹(shù)脂層。(e)完成干燥過(guò)程后,在50°C的溫度及4kgf/cm2的壓力下,以互相接觸的方式將(d)的感光樹(shù)脂層層壓于(b)的樹(shù)脂保護(hù)層上,以完成如圖1所示、厚度為57μm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料。<范例2>除使用以二次蒸餾水稀釋為200cps的聚乙二醇(重量平均分子量20,000,Sigma-Aldrich供售)作為樹(shù)脂保護(hù)層用的組成物外,其余均以與范例1相同的方式來(lái)制得厚度為57μm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料。<范例3>除樹(shù)脂保護(hù)層的組成物的涂覆厚度為0.5μπι外,其余均以與范例1相同的方式來(lái)制得厚度為55.5μm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料。<范例4>除使用具有聚硅氧烷剝離層(厚度19μm,CY201-19μm,Kolon公司供售)的PET膜片替代OPP作為覆蓋膜外,其余均以與范例1相同的方式來(lái)制得厚度為56μm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料。<比較范例1>以用于UH-9200系列(Kolon公司供售)的成分與用量來(lái)制備感光樹(shù)脂組成物,使用涂覆棒將其涂覆于19μm厚的PET膜片(FDFR,Kolon公司供售)上,然后在80°C的對(duì)流烘箱中干燥6分鐘,以形成15μm厚的感光樹(shù)脂層。其后,在25°C的溫度及4kgf/cm2的壓力下將干燥的膜片層壓于聚酯膜片(23μm)上,以制得厚度為57μm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料。由以上范例與比較范例所制得的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的剝離性、黏著力與黏著力變化是通過(guò)以下過(guò)程進(jìn)行測(cè)量的。測(cè)量結(jié)果在下表1中示出。(1)剝離性<覆蓋膜>使用萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)(UTM,4303系列,Instron公司供售)測(cè)量將寬度3cm且長(zhǎng)度20cm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料樣本的覆蓋膜,自距離覆蓋膜剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。<基膜>將寬度3cm且長(zhǎng)度20cm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料樣本的覆蓋膜移除,然后將轉(zhuǎn)印材料樣本以2m/min的速率在110°C及壓方4kgf/cm2的條件下層壓于銅箔基板上。其后,使用萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)(UTM,4303系列,Instron公司供售)測(cè)量將基膜自距離基膜剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。(2)黏著力將寬度3cm且長(zhǎng)度20cm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料樣本的覆蓋膜移除,轉(zhuǎn)印材料樣本以2m/min的速率在110°C及壓力4kgf/cm2的條件下層壓于銅箔基板上,然后移除基膜。接著,以2m/min的速率在110°C及壓力4kgf/cm2的條件下,將寬度4cm、長(zhǎng)度25cm及厚度19μπι的PET膜片(FDFR,Kolon公司供售)層壓于因移除基膜而暴露在外的層狀結(jié)構(gòu)上,然后使用萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)(UTM,4303系列,Instron公司供售)測(cè)量將PET膜片自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。如此,PET膜片在與傳統(tǒng)曝光過(guò)程中黏附掩膜相同的條件下進(jìn)行層壓。依此所測(cè)得的黏著力對(duì)應(yīng)于在各范例中樹(shù)脂保護(hù)層與PET膜片間的黏著力,以及在比較范例1中感光樹(shù)脂層與PET膜片間的黏著力。(3)樹(shù)脂保護(hù)層的黏著力變化范例1至4的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的第一黏著力與第二黏著力是以如下方式確定的,且黏著力變化是由下列所示方程式1計(jì)算得來(lái)。方程式1黏著力變化(%)=.二點(diǎn)f力;;^;1$占1力X100第一黏看力將寬度3cm且長(zhǎng)度20cm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料樣本的覆蓋膜移除,轉(zhuǎn)印材料樣本以2m/min的速率在110°C及壓力4kgf/cm2的條件下層壓于銅箔基板上,然后移除基膜。在移除基膜后緊接著以2m/min的速率在110°C及壓力4kgf/cm2的條件下,將寬度4cm、長(zhǎng)度25cm及厚度19μπι的PET膜片(FDFR,Kolon公司供售)層壓于因移除基膜而暴露在外的層狀結(jié)構(gòu)上,然后使用萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)(UTM,4303系列,Instron公司供售)測(cè)量將PET膜片自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。依此所測(cè)得的黏著力被定義為第一黏著力。并且,以同樣的方式,移除轉(zhuǎn)印材料樣本的基膜,轉(zhuǎn)印材料樣本可置于溫度25°C及濕度50%的條件下240小時(shí),經(jīng)由上述程序?qū)㈩~外的PET膜片層壓于轉(zhuǎn)印材料樣本的樹(shù)脂保護(hù)層上,然后使用萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)(UTM,4303系列,Instron公司供售)測(cè)量將PET膜片自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置遠(yuǎn)離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。依此所測(cè)得的黏著力被定義為第二黏著力。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>由以上結(jié)果可清楚得知,感光樹(shù)脂層與覆蓋膜之間的黏著力以及樹(shù)脂保護(hù)層與基膜之間的黏著力都在不會(huì)降低可加工性的范圍內(nèi)。這些范例的黏著力可被視為遠(yuǎn)低于比較范例的黏著力。從而,這些范例的樹(shù)脂保護(hù)層與傳統(tǒng)用于曝光條件過(guò)程下的掩膜材料之間的黏著力非常低,因此本發(fā)明的轉(zhuǎn)印材料在曝光過(guò)程中可被容易地處理。此外,通過(guò)下列步驟將上述范例與比較范例的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料應(yīng)用于印刷電路板,并測(cè)量所述薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的特性。以刷子預(yù)處理銅箔基板(CCL)的表面,以形成具有適當(dāng)粗糙度的新的銅表面,之后以5%的硫酸溶液對(duì)銅箔基板進(jìn)行酸處理,再以水清洗、干燥,然后將其裝載入HakutoMach610的層壓機(jī)中。范例與比較范例的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料以2m/min的速率在110°C及壓力4kgf/cm2的條件下層壓于銅箔基板上。在此不進(jìn)行預(yù)熱。其后使用紫外光光源(PerkinElmer0B-7120,5KW平行光)進(jìn)行曝光過(guò)程。完成曝光過(guò)程后,將印刷電路板通過(guò)顯影機(jī),由此使其顯影。在形成有樹(shù)脂保護(hù)層的范例1至4中,基膜在曝光過(guò)程前就已經(jīng)被剝除。在未形成有樹(shù)脂保護(hù)層的比較范例1中,基膜在顯影過(guò)程前的曝光過(guò)程之后被剝除。(4)靈敏度與曝光劑量將Stouffer21階能量表(Stouffer21-steptablet)置放于范例1至4的樹(shù)脂保護(hù)層與比較范例1的基膜上,其后使用光幅照度儀(UV-351,ORC公司供售)測(cè)量為獲得5階、6階及7階靈敏度時(shí)的曝光劑量。結(jié)果顯示于下表2中。如此,藉由顯影過(guò)程后殘留在基板上的光阻的最高階數(shù)來(lái)評(píng)估靈敏度。(5)顯影時(shí)間通過(guò)顯影機(jī)用顯影劑完全洗去印刷電路板中的已經(jīng)層壓于銅箔基板上的層壓部分所需的時(shí)間,被確定為最短顯影時(shí)間。而實(shí)際的顯影時(shí)間通過(guò)將最短顯影時(shí)間加倍來(lái)估算。當(dāng)存在有樹(shù)脂保護(hù)層時(shí),通過(guò)將樹(shù)脂保護(hù)層顯影所需時(shí)間加上最短顯影時(shí)間來(lái)計(jì)算出其實(shí)際的顯影時(shí)間。(6)電路特性分辨率、細(xì)線(xiàn)黏著力、1/1(線(xiàn)/空間)分辨率使用Kolon測(cè)試布線(xiàn)圖(KolonTestArtwork)測(cè)量分辨率、細(xì)線(xiàn)黏著力與1/1(線(xiàn)/空間)(Line/Space)分辨率,以評(píng)估其電路特性。通過(guò)測(cè)量將基板未暴露部分顯影所得的電路圖案的最小間隔來(lái)確定分辨率。當(dāng)依此所測(cè)得的間隔較小時(shí),分辨率評(píng)估為優(yōu)異。用于分辨率測(cè)量的掩膜形成有0.5μm至420μm間隔的圖案。理想的分辨率是使用具有400μm間隔的圖案的掩膜來(lái)確定的。此外,通過(guò)測(cè)量將基板暴露部分顯影所得且未腐蝕的線(xiàn)性電路圖案的最小間隔來(lái)確定細(xì)線(xiàn)黏著力。當(dāng)依此所測(cè)得的間隔較小時(shí),細(xì)線(xiàn)黏著力評(píng)估為優(yōu)異。用于細(xì)線(xiàn)黏著力測(cè)量的掩膜形成有0.5μm至4-20μm間隔的圖案。理想的細(xì)線(xiàn)黏著力是使用具有400μm間隔的圖案的掩膜來(lái)確定的。除此之外,在二相鄰電路線(xiàn)之間的間隔設(shè)定為11的條件下,通過(guò)測(cè)量清晰顯影的最小間隔來(lái)確定1/1分辨率。(7)表面分析應(yīng)用范例1與比較范例1的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的印刷電路板是如上述地曝光與顯影的,之后使用電子顯微鏡觀(guān)察其表面。結(jié)果顯示于圖4與圖5中。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>由以上結(jié)果可清楚得知,在范例與比較范例之間,實(shí)現(xiàn)相同階數(shù)所需的曝光劑量有些微差異。如電路特性的測(cè)量結(jié)果所示,范例所展現(xiàn)出包括分辨率等的特性都較為優(yōu)異。就包含有根據(jù)本發(fā)明的樹(shù)脂保護(hù)層的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料而言,每1μm厚的樹(shù)脂保護(hù)層的顯影時(shí)間約為0.5至3秒。通過(guò)圖4與圖5的電子顯微鏡影像的表面觀(guān)察結(jié)果可明顯得知,圖4顯示范例1的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料所應(yīng)用的印刷電路板的表面影像,即使其放大倍率較圖5的使用比較范例1的轉(zhuǎn)印材料高,但是其邊緣與表面的粗糙度看起來(lái)都較小。因此,當(dāng)應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料時(shí),曝光過(guò)程的處理變得較容易且分辨率也可提高?!捶独?>(a)將20克的PVA205(日本Kuraray公司供售)加入100克的蒸餾水中,然后于80°C下攪拌6小時(shí)使其完全溶解,從而獲得樹(shù)脂保護(hù)層的組成物。(b)然后使用涂覆棒將依此所得的組成物涂覆于19μm厚的基膜(具有聚硅氧烷剝離層的PET膜片,CY201-19ym,Kolon公司供售)上,然后在80°C的對(duì)流烘箱中干燥10分鐘,以形成2μm厚的樹(shù)脂保護(hù)層。(c)以用于UH-9200系列(Kolon公司供售)的成分與用量來(lái)制備感光樹(shù)脂組成物。具體而言,光起始劑溶解于甲基乙基酮與甲醇溶劑中,并與光聚合性低聚物及黏結(jié)劑聚合物混合,然后使用機(jī)械攪拌器攪拌1小時(shí),從而制得感光樹(shù)脂組成物。(d)使用涂覆棒將感光樹(shù)脂組成物涂覆于19μm厚的覆蓋膜(具有聚硅氧烷剝離層的PET膜片,CY201-19μm,Kolon公司供售)上,然后在80°C的對(duì)流烘箱中干燥6分鐘,以形成15μm厚的感光樹(shù)脂層。(e)完成干燥過(guò)程后,在50°C的溫度及4kgf/cm2的壓力下,以互相接觸的方式將(d)的感光樹(shù)脂層層壓于(b)的樹(shù)脂保護(hù)層上,以完成如圖1所示的厚度為55μm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料?!捶独?>(a)將20克的PVA205(日本Kuraray公司供售)及0.5克的BYK-349(潤(rùn)濕劑,BYKchemie公司供售)加入100克的蒸餾水中,然后于80°C下攪拌6小時(shí)使其完全溶解,從而獲得樹(shù)脂保護(hù)層的組成物。(b)然后使用涂覆棒將依此所得的組成物涂覆于19μπι厚的基膜(PET膜片,F(xiàn)DFR-19,Kolon公司供售)上,然后在80°C的對(duì)流烘箱中干燥10分鐘,以形成2μm厚的樹(shù)脂保護(hù)層。(c)以用于UH-9200系列(Kolon公司供售)的成分與用量來(lái)制備感光樹(shù)脂組成物。具體而言,光起始劑溶解于甲基乙基酮與甲醇溶劑中,并與光聚合性低聚物及黏結(jié)劑聚合物混合,然后使用機(jī)械攪拌器攪拌1小時(shí),從而制得感光樹(shù)脂組成物。(d)使用涂覆棒將感光樹(shù)脂組成物涂覆于19μm厚的覆蓋膜(具有聚硅氧烷剝離層的PET膜片,CY201-19μm,Kolon公司供售)上,然后在80°C的對(duì)流烘箱中干燥6分鐘,以形成15μm厚的感光樹(shù)脂層。(e)完成干燥過(guò)程后,在50°C的溫度及4kgf/cm2的壓力下,以互相接觸的方式將(d)的感光樹(shù)脂層層壓于(b)的樹(shù)脂保護(hù)層上,以完成如圖1所示的厚度為55μm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料?!捶独?>(a)將20克的PVA205(日本Kuraray公司供售)加入100克的蒸餾水中,然后于80°C下攪拌6小時(shí)使其完全溶解,從而獲得樹(shù)脂保護(hù)層的組成物。(b)然后使用涂覆棒將此組成物涂覆于19μm厚的基膜(具有聚硅氧烷剝離層的PET膜片,CY201-19μm,Kolon公司供售)上且于80°C的對(duì)流烘箱中干燥10分鐘,以形成10μm厚的樹(shù)脂保護(hù)層。(c)以用于UH-9200系列(Kolon公司供售)的成分與用量來(lái)制備感光樹(shù)脂組成物。具體而言,光起始劑溶解于甲基乙基酮與甲醇溶劑中,并與光聚合性低聚物及黏結(jié)劑聚合物混合,然后使用機(jī)械攪拌器攪拌1小時(shí),從而制得感光樹(shù)脂組成物。(d)使用涂覆棒將感光樹(shù)脂組成物涂覆于19μm厚的覆蓋膜(具有聚硅氧烷剝離層的PET膜片,CY201-19μm,Kolon公司供售)上,然后在80°C的對(duì)流烘箱中干燥6分鐘,以形成15μm厚的感光樹(shù)脂層。(e)完成干燥過(guò)程后,在50°C的溫度及4kgf/cm2的壓力下,以互相接觸的方式將(d)的感光樹(shù)脂層層壓于(b)的樹(shù)脂保護(hù)層上,以完成如圖1所示的厚度為63μm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料。范例5至7的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的剝離性、黏著力、在甲基乙基酮內(nèi)的溶解度與黏著力變化是通過(guò)以下過(guò)程來(lái)進(jìn)行測(cè)量的。測(cè)量結(jié)果顯示于下表3。(1)剝離性〈覆蓋膜〉使用萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)(UTM,4303系列,Instron公司供售)測(cè)量將寬度3cm且長(zhǎng)度20cm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料樣本的覆蓋膜,自距離覆蓋膜剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。〈基膜〉將寬度3em且長(zhǎng)度20cm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料樣本的覆蓋膜移除,然后將轉(zhuǎn)印材料樣本以2m/min的速率在110°C及壓力4kgf/cm2的條件下層壓于銅箔基板上。其后,使用萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)(UTM,4303系列,Instron公司供售)測(cè)量將基膜自距離基膜剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。(2)黏著力將寬度3cm且長(zhǎng)度20cm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料樣本的覆蓋膜移除,轉(zhuǎn)印材料樣本以2m/min的速率在110°C及壓力4kgf/cm2的條件下層壓于銅箔基板上,然后移除基膜。接著,以2m/min的速率在110°C及壓力4kgf/cm2的條件下,將寬度4cm、長(zhǎng)度25cm及厚度19μm的PET膜片(FDFR,Kolon公司供售)層壓于因移除基膜而暴露在外的層狀結(jié)構(gòu)上,然后使用萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)(UTM,4303系列,Instron公司供售)測(cè)量將PET膜片自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。如此,PET膜片在與傳統(tǒng)曝光過(guò)程中黏附掩膜相同的條件下層壓。依此所測(cè)得的黏著力對(duì)應(yīng)于樹(shù)脂保護(hù)層與PET膜片間的黏著力。(3)樹(shù)脂保護(hù)層的黏著力變化范例5至7的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的第一黏著力與第二黏著力以如下方式來(lái)確定,且黏著力變化是由下列所示的方程式1計(jì)算得來(lái)。方程式1黏著力變化(%)=MElp^lMxloo第一黏著力將寬度3cm且長(zhǎng)度20cm的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料樣本的覆蓋膜移除,轉(zhuǎn)印材料樣本以2m/min的速率在110°C及壓力4kgf/cm2的條件下層壓于銅箔基板上,然后移除基膜。在移除基膜后緊接著以2m/min的速率在110°C及壓力4kgf/cm2的條件下,將寬度4cm、長(zhǎng)度25cm及厚度19μπι的PET膜片(FDFR,Kolon公司供售)層壓于因移除基膜而暴露在外的層狀結(jié)構(gòu)上,然后使用萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)(UTM,4303系列,Instron公司供售)測(cè)量將PET膜片自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。依此所測(cè)得的黏著力被定義為第一黏著力。并且,以同樣的方式,移除轉(zhuǎn)印材料樣本的基膜,轉(zhuǎn)印材料樣本可置于溫度25°C及濕度50%的條件下240小時(shí),經(jīng)由上述程序?qū)㈩~外的PET膜片層壓于轉(zhuǎn)印材料樣本的樹(shù)脂保護(hù)層上,然后使用萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)(UTM,4303系列,Instron公司供售)測(cè)量將PET膜片自距離PET膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。依此所測(cè)得的黏著力被定義為第二黏著力。(4)樹(shù)脂保護(hù)層在甲基乙基酮內(nèi)的溶解度通過(guò)將50克的樹(shù)脂保護(hù)層加入100克的甲基乙基酮內(nèi),在25°C下攪拌1小時(shí)然后以濾紙過(guò)濾,然后測(cè)量殘留在濾紙上的樹(shù)脂保護(hù)層的重量來(lái)確定樹(shù)脂保護(hù)層在甲基乙基酮內(nèi)的溶解度。溶解度被定義為樹(shù)脂保護(hù)層重量的減少量。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>由以上結(jié)果可清楚得知,感光樹(shù)脂層與覆蓋膜之間的黏著力以及樹(shù)脂保護(hù)層與基膜之間的黏著力都在不會(huì)降低可加工性的范圍內(nèi)。樹(shù)脂保護(hù)層與作為掩膜的PET膜片間的黏著力低。因此,范例樹(shù)脂保護(hù)層與傳統(tǒng)用于曝光過(guò)程中的掩膜材料之間的黏著力非常低,因此根據(jù)本發(fā)明的轉(zhuǎn)印材料在曝光過(guò)程中可被容易地處理。此外,樹(shù)脂保護(hù)層在甲基乙基酮內(nèi)的溶解度低,為等于或小于5克。為防止薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料在長(zhǎng)時(shí)間儲(chǔ)存與銷(xiāo)售過(guò)程中感光樹(shù)脂層與樹(shù)脂保護(hù)層之間的成分?jǐn)U散,優(yōu)選地,使用聚乙烯醇樹(shù)脂層作為樹(shù)脂保護(hù)層。除此之外,樹(shù)脂保護(hù)層的小的黏著力變化,為等于或小于5000%。即使在使用薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料在后處理過(guò)程中移除基膜一段預(yù)定的時(shí)間之后,仍可防止樹(shù)脂保護(hù)層由于吸濕而黏附于掩模上的問(wèn)題。此外,通過(guò)下列步驟將上述范例與比較范例的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料應(yīng)用于印刷電路板,并測(cè)量其特性。結(jié)果在表4中示出。以刷子預(yù)處理銅箔基板(CCL)的表面,以形成具有適當(dāng)粗糙度的新的銅表面,之后以5%的硫酸溶液對(duì)銅箔基板進(jìn)行酸處理,再以水清洗、干燥,然后將其裝載入HakutoMach610的層壓機(jī)中。范例與比較范例的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料以2m/min的速率在110°C及壓力4kgf/cm2的條件下層壓于銅箔基板上。在此不進(jìn)行預(yù)熱。其后使用紫外光光源(PerkinElmer0B-7120,5KW平行光,)進(jìn)行曝光過(guò)程。完成曝光過(guò)程后,將印刷電路板通過(guò)顯影機(jī),并使其顯影。如此,基膜在曝光過(guò)程前被剝除。(5)靈敏度與曝光劑量在曝光過(guò)程中,將StoufTer21階能量表置放于樹(shù)脂保護(hù)層上,其后使用光幅照度儀(UV-351,ORC公司供售)測(cè)量為獲得5階、6階及7階靈敏度時(shí)的曝光劑量。結(jié)果顯示于表4中。通過(guò)顯影過(guò)程后殘留在基板上的光阻的最高階數(shù)來(lái)評(píng)估靈敏度。(6)顯影時(shí)間通過(guò)顯影機(jī)用顯影劑完全洗去印刷電路板中的已經(jīng)層壓于銅箔基板上的層壓部分所需的時(shí)間,被確定為最短顯影時(shí)間。而實(shí)際的顯影時(shí)間是通過(guò)將最短顯影時(shí)間加倍來(lái)估算的。當(dāng)存在有樹(shù)脂保護(hù)層時(shí),通過(guò)將樹(shù)脂保護(hù)層顯影所需時(shí)間加上最短顯影時(shí)間來(lái)計(jì)算出其實(shí)際的顯影時(shí)間。(7)電路特性分辨率、細(xì)線(xiàn)黏著力、1/1(線(xiàn)/空間)分辨率使用Kolon測(cè)試布線(xiàn)圖測(cè)量分辨率、細(xì)線(xiàn)黏著力與1/1(線(xiàn)/空間)分辨率,以評(píng)估其電路特性。通過(guò)測(cè)量將基板未暴露部分顯影所得的電路圖案的最小間隔來(lái)確定分辨率。當(dāng)依此所測(cè)得的間隔較小時(shí),分辨率評(píng)估為優(yōu)異。用于分辨率測(cè)量的掩膜形成有0.5μm至420μm間隔的圖案。理想的分辨率是使用具有400μm間隔的圖案的掩膜來(lái)確定的。此外,通過(guò)測(cè)量將基板暴露部分顯影所得且未腐蝕的線(xiàn)性電路圖案的最小間隔來(lái)確定細(xì)線(xiàn)黏著力。當(dāng)依此所測(cè)得的間隔較小時(shí),細(xì)線(xiàn)黏著力評(píng)估為優(yōu)異。用于細(xì)線(xiàn)黏著力測(cè)量的掩膜形成有0.5μm至420μm間隔的圖案。理想的細(xì)線(xiàn)黏著力是使用具有400μm間隔的圖案的掩膜來(lái)確定的。除此之外,在兩相鄰電路線(xiàn)之間的間隔被設(shè)定為11的條件下,通過(guò)測(cè)量清晰顯影的最小間隔來(lái)確定1/1分辨率。(8)表面分析應(yīng)用范例5至7的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的印刷電路板是如上曝光與顯影的,之后使用電子顯微鏡觀(guān)察其表面。結(jié)果顯示于圖6至圖8。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>由以上結(jié)果可清楚得知,在范例與比較范例之間,實(shí)現(xiàn)相同階數(shù)所需的曝光劑量有些微差異。如電路特性的測(cè)量結(jié)果所示,范例所展現(xiàn)出包括分辨率等的特性都較為優(yōu)異。就包含有根據(jù)本發(fā)明的樹(shù)脂保護(hù)層的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料而言,每1μm厚的樹(shù)脂保護(hù)層的顯影時(shí)間約為0.5至3秒。透過(guò)圖6至圖8的電子顯微鏡影像的表面觀(guān)察結(jié)果可明顯得知,圖6至圖8顯示包含有范例5至7的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料的印刷電路板的表面影像,盡管其放大倍率較使用比較范例1的轉(zhuǎn)印材料的圖5高,但是其邊緣與表面的粗糙度看起來(lái)都較小。因此,當(dāng)應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料時(shí),曝光過(guò)程的處理變得較容易且分辨率也可提高。權(quán)利要求種薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料,包括基膜、樹(shù)脂保護(hù)層、感光樹(shù)脂層以及覆蓋膜,其中,所述樹(shù)脂保護(hù)層的黏著力等于或小于0.005kgf/cm2,其中,所述黏著力被定義為將層壓于因移除所述基膜而暴露在外的所述樹(shù)脂保護(hù)層上的額外的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜片,自距離所述聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力。2.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)印材料,其中,所述樹(shù)脂保護(hù)層為堿性顯影聚合物層。3.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)印材料,其中,所述樹(shù)脂保護(hù)層在25°C時(shí)在甲基乙基酮內(nèi)的溶解度等于或小于5克,其中所述溶解度的定義為將50克的所述樹(shù)脂保護(hù)層加入100克的甲基乙基酮內(nèi),在25°C下攪拌1小時(shí)并以濾紙過(guò)濾,然后測(cè)量殘留在所述濾紙上的所述樹(shù)脂保護(hù)層的重量而得到的所述樹(shù)脂保護(hù)層的重量減少量。4.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)印材料,其中,所述樹(shù)脂保護(hù)層由包含有重量平均分子量為5,000至300,000的水溶性聚合物的涂覆溶液形成。5.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)印材料,其中,所述覆蓋膜與所述感光樹(shù)脂層之間的黏著力小于所述基膜與所述樹(shù)脂保護(hù)層之間的黏著力。6.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)印材料,其中,所述樹(shù)脂保護(hù)層的厚度為0.001至lOym。7.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)印材料,其中,如下列方程式1所示,所述樹(shù)脂保護(hù)層具有等于或小于5000%的黏著力變化方程式1黏著力變化(%)=第二點(diǎn),力點(diǎn)著力x100弟一新看力其中,所述第一黏著力被定義為將在所述基膜被移除后立即層壓于所述樹(shù)脂保護(hù)層上的額外的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜片,自距離所述聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力;所述第二黏著力被定義為將層壓于所述樹(shù)脂保護(hù)層上的額外的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜片,自距離所述聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜片剝離起點(diǎn)5cm的位置分離至8cm的位置時(shí),每單位面積需要的力,其中所述樹(shù)脂保護(hù)層是在移除其上的所述基膜并將所述樹(shù)脂保護(hù)層置于溫度為25°C及濕度為50%的條件下240小時(shí)所制得的。8.如權(quán)利要求1或7所述的轉(zhuǎn)印材料,其中,所述樹(shù)脂保護(hù)層為聚乙烯醇基樹(shù)脂層。9.如權(quán)利要求8所述的轉(zhuǎn)印材料,其中,所述樹(shù)脂保護(hù)層包含選自潤(rùn)濕劑、勻染劑、消泡劑、黏著劑及膠合劑的至少一種添加劑。10.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)印材料,其中,所述覆蓋膜為具有剝離層或不具有剝離層的聚酯膜片。11.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)印材料,其中,所述基膜為具有剝離層或不具有剝離層的聚酯膜片。12.—種顯示器基板,其具有使用權(quán)利要求1所述的薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料形成的圖案。全文摘要本發(fā)明公開(kāi)一種薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料,其包括基膜、樹(shù)脂保護(hù)層、感光樹(shù)脂層以及覆蓋膜,其中樹(shù)脂保護(hù)層的黏著力等于或小于0.005kgf/cm2。當(dāng)薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料設(shè)置于印刷電路板上時(shí),其能在移除基膜的狀態(tài)下進(jìn)行曝光過(guò)程,因而可在曝光過(guò)程中縮小掩膜與感光樹(shù)脂層之間的距離,進(jìn)而提高圖案的分辨率。所述薄膜型感光轉(zhuǎn)印材料允許基膜在曝光過(guò)程前被移除,且其可被加工成薄片或是可應(yīng)用于卷壓(rolltoroll)過(guò)程。文檔編號(hào)C08J5/18GK101836162SQ200880112608公開(kāi)日2010年9月15日申請(qǐng)日期2008年10月24日優(yōu)先權(quán)日2007年10月25日發(fā)明者文熙岏,李炳逸,趙承濟(jì)申請(qǐng)人:可隆工業(yè)株式會(huì)社
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