本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工業(yè)用清洗劑領(lǐng)域，具體涉及一種有機(jī)硅壓敏膠去膠液及其應(yīng)用工藝。

背景技術(shù)：

1、隨著高性能計(jì)算、數(shù)據(jù)中心、車(chē)載顯示、商務(wù)會(huì)議等應(yīng)用的推動(dòng)，用于各種行業(yè)領(lǐng)域顯示大量信息的顯示器需求越來(lái)越高，半導(dǎo)體顯示領(lǐng)域急速發(fā)展，受到社會(huì)關(guān)注。其中，微型發(fā)光二極管(micro-led)是將傳統(tǒng)的led微縮后形成微米級(jí)間距的陣列以達(dá)到超高的分辨率，從而可用于顯示領(lǐng)域。micro-led顯示相對(duì)于傳統(tǒng)的液晶顯示(lcd)及有機(jī)發(fā)光顯示(oled)，具備發(fā)光壽命長(zhǎng)、亮度高、體積輕薄、功耗低、像素密度高等優(yōu)勢(shì)，成為以高真實(shí)度、互動(dòng)與個(gè)性化顯示為主要特點(diǎn)的第三代顯示的代表。

2、現(xiàn)micro-led受燈珠巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)限制，大部分顯示尺寸較小，玻璃正反走線(xiàn)屏幕拼接技術(shù)是解決方法之一，玻璃正反面走線(xiàn)會(huì)運(yùn)用到有機(jī)硅壓敏膠保護(hù)膜，有機(jī)硅壓敏膠保護(hù)膜因其粘附性較強(qiáng)，基材經(jīng)多次高溫烘烤和真空工藝后，撕開(kāi)保護(hù)膜后會(huì)有大量有機(jī)硅壓敏膠殘留，且頑固難以去除，影響基板電學(xué)性能和后續(xù)工藝。

3、現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)有機(jī)硅壓敏膠的制備和性能的研究已相當(dāng)廣泛和深入，但對(duì)有機(jī)硅壓敏膠殘留物去除方法的研究較少。因此，提供一種有效去除基材表面有機(jī)硅壓敏膠殘留且對(duì)基材性能沒(méi)有影響的去膠液是十分有必要的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種不易揮發(fā)，去膠速率快和去膠效果好的有機(jī)硅壓敏膠去膠液。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

3、一種有機(jī)硅壓敏膠去膠液，按重量百分比計(jì)，包括多元醇8-15%、脂肪胺3-7%、助溶劑4-20%、余量為溶劑。

4、其中，所述的多元醇為乙二醇、1,2-丙二醇、1,4-丁二醇、1,6-己二醇、新戊二醇、丙三醇中的一種或幾種，所述多元醇降低溶液的表面張力，提高藥液的浸潤(rùn)性。

5、所述的脂肪胺為乙二胺、異丙胺、1，4-丁二胺、叔丁胺、2-乙基己胺的至少。所述脂肪胺類(lèi)物質(zhì)可提供去除有機(jī)硅壓敏膠的堿性條件，促進(jìn)基材上有機(jī)硅壓敏膠的溶解，加快有機(jī)硅壓敏膠剝離速率。

6、所述的助溶劑為磷酸酯和酮的復(fù)配物，磷酸酯和酮的重量比為1:2-1:5；優(yōu)選地，所述磷酸酯和酮的重量比為1:3。通過(guò)磷酸酯和酮復(fù)配物的協(xié)同作用，提高了基材的表面活性，加快了有機(jī)硅壓敏膠的去除速度。

7、進(jìn)一步地，所述磷酸酯為磷酸三甲酯、磷酸三乙酯、磷酸三丙酯、磷酸三丁酯、磷酸三(2-乙基己基)酯、磷酸三甲苯酯、磷酸二甲酯、磷酸二乙酯、磷酸二丁酯、磷酸二(2-乙基己基)酯、四乙基亞甲基二磷酸酯中的至少一種。

8、進(jìn)一步地，所述酮為雙環(huán)丙基酮、環(huán)戊基乙酮、二環(huán)己基甲酮中的至少一種。

9、進(jìn)一步地，所述溶劑為二甲基亞砜、環(huán)丁砜、二甲基砜、n,n-二甲基甲酰胺、n-甲基哌嗪、n-乙基哌嗪、二乙基砜和四亞甲基砜中的至少一種；更優(yōu)選為二甲基亞砜。所述的有機(jī)溶劑在有較好的水溶性的同時(shí)，能有效溶解有機(jī)硅壓敏膠，促進(jìn)有機(jī)硅壓敏膠的去除。

10、本發(fā)明的去膠液可在基材表面充分鋪展?jié)B透；脂肪胺可提供去除有機(jī)硅壓敏膠的堿性條件，促進(jìn)基材上有機(jī)硅壓敏膠的溶解，加快有機(jī)硅壓敏膠剝離速率；采用磷酸酯和酮的復(fù)配物的助溶劑，其中磷酸酯基(o=p-orx)和酮基(o=c-ry)相互協(xié)同，與有機(jī)硅壓敏膠中硅氧烷黏劑兩端活性端基結(jié)合，促進(jìn)有機(jī)硅壓敏膠的去除，脂肪胺與助溶劑對(duì)有機(jī)硅壓敏膠形成“一剝一拉”效果，使頑固殘膠脫落溶解到溶劑中；多元醇有機(jī)物，可提高藥液的浸潤(rùn)性，能夠清洗表面顆粒和殘留物，保持去膠后的樣品表面無(wú)殘留，并具有良好的粗糙度；水溶性有機(jī)溶劑，促進(jìn)殘膜的溶解和去除。本發(fā)明所有組分的協(xié)同作用，加快了去膠速度，增強(qiáng)了去膠效果。

11、本發(fā)明還提供了上述去膠液在去除高溫固化殘留在半導(dǎo)體樣片上的有機(jī)硅壓敏膠的應(yīng)用。

12、進(jìn)一步地，所述去膠液在去除高溫固化殘留在半導(dǎo)體樣片上的有機(jī)硅壓敏膠的應(yīng)用工藝，具體包括以下步驟：

13、s1：將有機(jī)硅壓敏膠去膠液倒入去膠槽中，升溫后將待去除有機(jī)硅壓敏膠的樣片垂直放入去膠槽中浸泡；

14、s2：浸泡一定時(shí)間后，先將樣片垂直放入裝有n-甲基吡咯烷酮的清洗槽中室溫靜置浸泡5-10分鐘，再將樣片垂直放入去離子水中清洗并烘干；

15、s3：顯微鏡下觀察去膠后的樣片，確認(rèn)有機(jī)硅壓敏膠是否殘留以及樣片表面的粗糙度。

16、進(jìn)一步地，s1中，所述浸泡為提拉或超聲浸泡，以獲得更好的去除效果。

17、進(jìn)一步地，s1中，所述去膠液浸泡溫度為50-80℃，浸泡時(shí)間5-10min。

18、進(jìn)一步優(yōu)選地，所述去膠液浸泡溫度為60-70℃。

19、進(jìn)一步地，s2中，首先使用n-甲基吡咯烷酮清洗樣片表面殘留的去膠液，再使用去離子水清洗，從而實(shí)現(xiàn)徹底清洗的效果。

20、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果為：

21、1.本發(fā)明的去膠液通過(guò)脂肪胺和磷酸酯基(o=p-orx)和酮基(o=c-ry)相互協(xié)同作用，增強(qiáng)了去膠液的滲透性和溶解性，從而能夠剝離高溫固化殘留在樣片上的有機(jī)硅壓敏膠層，使頑固殘膠脫落溶解到其中；多元醇的加入，去除表面顆粒和殘留物，使去膠后樣片表面干凈和具有良好的粗糙度。

22、2.本發(fā)明通過(guò)對(duì)去膠液中各組分含量的調(diào)整，制得的去膠液可以對(duì)有機(jī)硅壓敏膠進(jìn)行高效快速的剝離，大幅縮短除膠時(shí)間，且剝離后的基材表面光滑無(wú)殘留；本發(fā)明的去膠液尤其能夠去除經(jīng)多次高溫烘烤和真空工藝后殘留在樣片上的有機(jī)硅壓敏膠。

技術(shù)特征：

1.一種有機(jī)硅壓敏膠去膠液，其特征在于，包括按重量百分比的以下組分：多元醇8-15%、脂肪胺3-7%、助溶劑4-20%、余量為溶劑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)硅壓敏膠去膠液，其特征在于，所述的多元醇為乙二醇、1,2-丙二醇、1,4-丁二醇、1,6-己二醇、新戊二醇、丙三醇中的一種或幾種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)硅壓敏膠去膠液，其特征在于，所述的脂肪胺為乙二胺、異丙胺、1，4-丁二胺、叔丁胺、2-乙基己胺的至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)硅壓敏膠去膠液，其特征在于，所述的助溶劑為磷酸酯和酮的復(fù)配物，所述磷酸酯和酮的重量比為1:2-1:5。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)硅壓敏膠去膠液，其特征在于，所述磷酸酯為磷酸三甲酯、磷酸三乙酯、磷酸三丙酯、磷酸三丁酯、磷酸三（2-乙基己基）酯、磷酸三甲苯酯、磷酸二甲酯、磷酸二乙酯、磷酸二丁酯、磷酸二（2-乙基己基）酯或四乙基亞甲基二磷酸酯中的至少一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)硅壓敏膠去膠液，其特征在于，所述酮為雙環(huán)丙基酮、環(huán)戊基乙酮或二環(huán)己基甲酮中的至少一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)硅壓敏膠去膠液，其特征在于，所述溶劑為二甲基亞砜、環(huán)丁砜、二甲基砜、n,n-二甲基甲酰胺、n-甲基哌嗪、n-乙基哌嗪中、二乙基砜或四亞甲基砜中的至少一種。

8.權(quán)利要求1所述的有機(jī)硅壓敏膠去膠液在去除高溫固化殘留在半導(dǎo)體樣片上的有機(jī)硅壓敏膠的應(yīng)用。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的應(yīng)用，其特征在于，所述應(yīng)用的工藝，包括以下步驟：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的應(yīng)用，其特征在于，s1中，所述去膠液浸泡溫度為50-80℃，浸泡時(shí)間5-10min。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種有機(jī)硅壓敏膠去膠液及其應(yīng)用工藝，該去膠液包括按重量百分比的多元醇8?15%、脂肪胺3?7%、助溶劑4?20%、余量為溶劑，其中助溶劑為磷酸酯和酮的復(fù)配物；本發(fā)明通過(guò)在去膠液中加入脂肪胺，有助于加快有機(jī)硅壓敏膠的剝離速率；助溶劑中磷酸酯基和酮基相互協(xié)同，與有機(jī)硅壓敏膠中硅氧烷黏劑兩端活性端基結(jié)合，促進(jìn)有機(jī)硅壓敏膠的去除，脂肪胺與助溶劑對(duì)有機(jī)硅壓敏膠形成“一剝一拉”效果，使頑固殘膠脫落溶解到溶劑中，多元醇降低溶液的表面張力，使樣片表面保持平整光滑。本發(fā)明的去膠液配方合理，不宜揮發(fā)，能完全去除有機(jī)硅壓敏殘膠，使去膠后的樣片具有良好的粗糙度。

技術(shù)研發(fā)人員：李少平,黃鑼鑼,賀兆波,葉瑞,張庭,歐陽(yáng)克銀,鐘昌東,張演哲,黎鵬飛,鄭秋曈,高楒羽,張宗萍,雷康樂(lè),張玥,尉鵬,李文飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：湖北興福電子材料股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10