芳香族酰亞胺化合物及其制造方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種芳香族酰亞胺化合物及其制造方法。
【背景技術】
[0002] 人們期待，光致抗蝕材料用的酸產(chǎn)生劑一并具有可吸收紫外線或者其以下的能量 的光的分子結構、以及在通過光吸收而激發(fā)之后可產(chǎn)生酸的鍵。作為這樣的酸產(chǎn)生劑，已知 有鑰鹽化合物、肟化合物、酰胺化合物、酰亞胺化合物等。例如，作為酰亞胺化合物，已知有 芳香族部位是未取代的磺酸酯（例如參照專利文獻1)。
[0003] 現(xiàn)有技術文獻
[0004] 專利文獻
[0005] 專利文獻1 :美國第4371605號專利
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006] 發(fā)明想要解決的問題
[0007] 但是，在專利文獻1等中記載的以往的酸產(chǎn)生劑中，依然存在有無法高效地吸收 長波長的光的問題。
[0008] 因此，本發(fā)明為了解決上述問題而完成，其目的在于提供一種通過吸收長波長側 的光而產(chǎn)生酸的芳香族酰亞胺化合物。另外，本發(fā)明的目的在于提供一種簡便并且高收率 的芳香族酰亞胺化合物的制造方法。
[0009] 用于解決問題的方案
[0010] 即，本發(fā)明涉及根據(jù)下述[1]或[2]所述的芳香族酰亞胺化合物以及根據(jù)下述[3] 以及[4]所述的芳香族酰亞胺化合物的制造方法。
[0011] [1] 一種芳香族酰亞胺化合物，其由下述式（1)表示。
【主權項】
1. 一種芳香族酷亞胺化合物，其由下述式（1)表示，
式中，Ri表示碳原子數(shù)1~7的面代烷基或面代芳基，R2表示取代或未取代的、具有也 可含有雜原子的脂肪族基團或芳香族基團的基團，R3表示面素原子或姪基，另外，關于R2， 相鄰的基團也可相互鍵合而形成酷亞胺基，m是0或1W上的整數(shù)，n是0或1W上的整數(shù)， m與n的合計為1W上6W下。
2. 根據(jù)權利要求1所述的芳香族酷亞胺化合物，其能吸收g線（436nm)和/或h線 (405nm)的光。
3. -種芳香族酷亞胺化合物的制造方法，其為制造由式（1)表示的芳香族酷亞胺化合 物的方法，
式中，Ri表示碳原子數(shù)1~7的面代烷基或面代芳基，R2表示取代或未取代的、具有也 可含有雜原子的脂肪族基團或芳香族基團的基團，R3表示面素原子或姪基，另外，關于R2， 相鄰的基團也可相互鍵合而形成酷亞胺基，m是0或1W上的整數(shù)，n是0或1W上的整數(shù)， m與n的合計為6W下， 該芳香族酷亞胺化合物的制造方法包含如下工序： 第1工序（A)，通過使由下述式（3-1)和/或（3-2)表示的化合物與取代或未取代的、 具有也可含有雜原子的脂肪族基團或芳香族基團的姪進行反應，從而制造由下述式（4-1) 和/或（4-2)表示的化合物，
式中，Ziw及z2各自獨立地表示哲基或烷氧基，X表示面素原子，m、n、R3表示與上述相 同的意義，
式中，R2、R3、Z\Z2、m、n表示與上述相同的意義； 第2工序炬），通過使由上述式（4-1)和/或（4-2)表示的化合物與哲錠化合物進行反 應，從而制造由下述式（5)表示的化合物，
式中，R2、R3、m、n表示與上述相同的意義； 第3工序（C)，通過使由上述式（5)表示的化合物與由下述式（6)表示的化合物進行反 應，從而制造由上述式（1)表示的芳香族酷亞胺化合物， R'SOJ(6) 式中，Ri表示與上述相同的意義，Y表示面素原子或甲苯橫酷基。
4.根據(jù)權利要求3所述的芳香族酷亞胺化合物的制造方法，其特征在于由式（1)表示 的芳香族酷亞胺化合物是能吸收g線（436nm)和/或h線（405nm)的光的化合物。
【專利摘要】提高了對g線以及h線等可見光的靈敏度并且也改善了溶解性的芳香族酰亞胺化合物由式(1)表示(式中，R1表示碳原子數(shù)1～7的鹵代烷基或鹵代芳基，R2表示取代或未取代的、具有也可含有雜原子的脂肪族基團或芳香族基團的基團，R3表示鹵素原子或烴基，m是0或1以上的整數(shù)，n是0或1以上的整數(shù)，m與n的合計為1以上6以下)。該化合物例如通過如下方式獲得：通過使鹵代萘二甲酸酐與含有乙炔基苯等芳香族基團的烴進行反應，從而制造由含芳香族基團的基團取代了的萘二甲酸酐，將其與鹽酸羥胺進行反應而進行N-羥基酰亞胺化，接著與三氟磺酰氯等磺酰鹵進行反應。
【IPC分類】G03F7-004, C07D409-06, C07D221-14
【公開號】CN104797560
【申請?zhí)枴緾N201380058490
【發(fā)明人】平原衣梨, R·達默爾, G·帕夫洛夫斯基
【申請人】Az電子材料（盧森堡）有限公司
【公開日】2015年7月22日
【申請日】2013年10月28日
【公告號】DE112013005388T5, WO2014073409A1