全氟彈性體組合物、以及密封材料和其制造方法
【專利摘要】提供全氟彈性體組合物、以及由該全氟彈性體組合物的交聯(lián)物形成的密封材料和其制造方法，所述全氟彈性體組合物包含：全氟彈性體100重量份，其含有源自四氟乙烯的構(gòu)成單元、源自全氟(烷基乙烯基醚)或全氟(烷氧基烷基乙烯基醚)的構(gòu)成單元和源自含腈基全氟乙烯基醚的構(gòu)成單元；氟樹(shù)脂1重量份以上且小于25重量份；和，規(guī)定的交聯(lián)劑。
【專利說(shuō)明】
全氟彈性體組合物、以及密封材料和其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明涉及全氟彈性體組合物、以及使用其的密封材料和其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 作為各種用途中使用的密封材料(墊片、密封件等），已知有由氟橡膠形成的密封 材料，構(gòu)成半導(dǎo)體制造裝置的等離子體蝕刻裝置、等離子體CVD裝置中，例如作為用于將對(duì) 晶片進(jìn)行處理的工藝腔室保持為真空的密封材料，氟橡膠中，使用了由耐熱性和耐等離子 體性(基于等離子體的耐分解性)特別優(yōu)異的全氟彈性體形成的密封材料。另外，例如對(duì)于 將半導(dǎo)體制造裝置中的腔室和輸送部分隔的閘部中使用的密封材料，為了重復(fù)壓縮和開(kāi) 放，還要求合適的機(jī)械強(qiáng)度。
[0003] 由氟橡膠形成的密封材料的機(jī)械強(qiáng)度可以通過(guò)配混無(wú)機(jī)填充劑來(lái)改善。然而，將 配混有無(wú)機(jī)填充劑的密封材料用于上述那樣的半導(dǎo)體制造裝置用途時(shí)，即使使用耐等離子 體性優(yōu)異的全氟彈性體的情況下，在嚴(yán)格的等離子體環(huán)境下密封材料的全氟彈性體成分有 時(shí)也被等離子體蝕刻，上述情況下，配混的無(wú)機(jī)填充劑在腔室內(nèi)飛散，有導(dǎo)致腔室污染、半 導(dǎo)體的制品不良的問(wèn)題的擔(dān)心。
[0004] 日本專利第2937302號(hào)說(shuō)明書(shū)（專利文獻(xiàn)1)中記載了一種等離子體蝕刻裝置的密 封材料用組合物，其包含全氟彈性體和聚四氟乙烯樹(shù)脂粉末，且硫化后的溶出金屬量為規(guī) 定值以下。
[0005] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)1:日本專利第2937302號(hào)說(shuō)明書(shū)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0009] 本發(fā)明的目的在于，提供即使不配混可能導(dǎo)致上述那樣問(wèn)題的無(wú)機(jī)填充劑也可以 形成維持良好的耐熱性(壓縮永久變形特性）、且機(jī)械強(qiáng)度(硬度、彈性模量)也優(yōu)異的密封 材料的全氟彈性體組合物、以及使用其的密封材料和其制造方法。
[ ο]用于解決問(wèn)題的方案
[0011] 本發(fā)明提供以下所示的全氟彈性體組合物、以及密封材料和其制造方法。
[0012] [1]一種全氟彈性體組合物，其包含：
[0013] 全氟彈性體100重量份，其含有源自四氟乙烯的構(gòu)成單元、源自全氟(烷基乙烯基 醚)或全氟(烷氧基烷基乙烯基醚)的構(gòu)成單元和源自含腈基全氟乙烯基醚的構(gòu)成單元；
[0014] 氟樹(shù)脂1重量份以上且小于25重量份;和，
[0015] 交聯(lián)劑，其選自由下述通式(1)所示的雙(氨基苯酚)化合物、
[0017]下述通式(2)所示的雙(氨基苯硫酚)化合物
[0019]和下述通式(3)所示的四胺化合物組成的組中的至少1種。
[0021][式（1)~（3)中，A為S02、0、C = 0、碳數(shù)1~6的亞烷基、碳數(shù)1~10的全氟亞烷基或2 個(gè)苯環(huán)直接連接的碳-碳鍵。式（1)和⑵中，位于同一苯環(huán)上的NH2基與0H基或SH基彼此相 鄰，并且NH 2基和0H基或SH基相對(duì)于A基處于間位或?qū)ξ?。]
[0022] [2]根據(jù)[1]所述的全氟彈性體組合物，其中，前述交聯(lián)劑的含量相對(duì)于前述全氟 彈性體100重量份為0.05~5重量份。
[0023] [3]根據(jù)[1]或[2]所述的全氟彈性體組合物，其中，前述氟樹(shù)脂的含量相對(duì)于前述 全氟彈性體100重量份為3~20重量份。
[0024] [4]根據(jù)[1]~[3]中任一項(xiàng)所述的全氟彈性體組合物，其中，不含無(wú)機(jī)填充劑。
[0025] [5]-種密封材料，其是由[1]~[4]中任一項(xiàng)所述的全氟彈性體組合物的交聯(lián)物 形成的。
[0026] [6]根據(jù)[5]所述的密封材料，其用于半導(dǎo)體制造裝置。
[0027] [7]-種密封材料的制造方法，其包括將[1]~[4]中任一項(xiàng)所述的全氟彈性體組 合物進(jìn)行交聯(lián)成型的工序。
[0028] [8]根據(jù)[7]所述的制造方法，其中，前述進(jìn)行交聯(lián)成型的工序包括通過(guò)電離性輻 射線使其交聯(lián)的工序。
[0029] 發(fā)明的效果
[0030] 根據(jù)本發(fā)明，可以提供即使在不配混無(wú)機(jī)填充劑的情況下，交聯(lián)后也具有良好的 耐熱性(壓縮永久變形特性)且機(jī)械強(qiáng)度也優(yōu)異的全氟彈性體組合物。不配混無(wú)機(jī)填充劑的 情況下，可以抑制無(wú)機(jī)填充劑的飛散(顆粒的產(chǎn)生)所導(dǎo)致的腔室污染、半導(dǎo)體的制品不良。 本發(fā)明的全氟彈性體組合物可以作為密封材料用、尤其半導(dǎo)體制造裝置用途的密封材料用 適合地應(yīng)用。
【具體實(shí)施方式】
[0031] <全氟彈性體組合物>
[0032] 〔a〕全氟彈性體
[0033] 本發(fā)明中使用的全氟彈性體為含有源自四氟乙烯的構(gòu)成單元I、源自全氟(烷基乙 烯基醚)或全氟(烷氧基烷基乙烯基醚)的構(gòu)成單元II和源自含腈基全氟乙烯基醚的構(gòu)成單 元III的三元共聚物。利用以該全氟彈性體為主要成分的全氟彈性體組合物，可以提供耐等 離子體性優(yōu)異的交聯(lián)成型物(密封材料等）。
[0034] 全氟（烷基乙烯基醚）的烷基的碳數(shù)可以為1~5,例如可以為：全氟（甲基乙烯基 醚）、全氟(乙基乙烯基醚）、全氟(丙基乙烯基醚)等。優(yōu)選為全氟（甲基乙烯基醚）。
[0035]全氟(烷氧基烷基乙烯基醚）的與乙烯基醚基(CF2 = CF0-)鍵合的基團(tuán)的碳數(shù)可以 為3~11，例如可以為：
[0036] CF2 = CFOCF2CF (CF3) 0CnF2n+i、
[0037] CF2 = CFO(CF2)3〇CnF2n+i、
[0038] CF2 = CFOCF2CF (CF3) 0 (CF20 )mCnF2n+i、或
[0039] CF2 = CFO(CF2)2〇CnF2n+i〇
[0040] 上述式中，n例如為1~5，m例如為1~3。
[0041] 含腈基全氟乙烯基醚為交聯(lián)部位單體，例如可以為：
[0042] CF2 = CFO(CF2)nOCF(CF3)CN(n 例如為 2 ~4)、
[0043] CF2 = CFO(CF2)nCN(n例如為2~12)、
[0044] CF2 = CF0[CF2CF(CF3)0]m(CF2)nCN(n 例如為 2，m例如為 1 ~5)、
[0045] CF2 = CF0[CF2CF(CF3)0]m(CF2)nCN(n 例如為 1 ~4，m例如為 1 ~2)、或
[0046] CF2 = CF0[CF2CF(CF3)0]nCF2CF(CF3)CN(n例如為0~4)。
[0047] 全氟彈性體中的各構(gòu)成單元的比率即構(gòu)成單元1/構(gòu)成單元II/構(gòu)成單元III之比 以摩爾比計(jì)通常為50~74.8%/25~49.8%/0.2~5%，優(yōu)選為60~74.8%/25~39.5%/ 0.5~2%。本發(fā)明的全氟彈性體組合物也可以包含構(gòu)成單元1/構(gòu)成單元II/構(gòu)成單元III之 比不同的2種以上的全氟彈性體。
[0048] 全氟彈性體也可以使用市售品，其一例為Dyneon株式會(huì)社制造的商品名"PFE 131TZ，，。
[0049] 〔b〕氟樹(shù)脂
[0050] 氟樹(shù)脂為分子內(nèi)具有氟原子的樹(shù)脂，例如可以為:聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯_ 全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯-乙烯共聚物 (ETFE)、聚氯三氟乙烯(PCTFE)、氯三氟乙烯-乙烯共聚物(ECTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚 氟乙烯(PVF)、偏二氟乙烯六氟丙烯共聚物(VDF-HFP共聚物）、偏二氟乙烯六氟丙烯-四氟乙 烯共聚物(VDF-HFP-TFE共聚物)等。氟樹(shù)脂可以僅單獨(dú)使用1種，也可以組合使用2種以上。
[0051] 上述中，高溫下使用成型品時(shí)，從防止樹(shù)脂熔融而破壞壓縮永久變形等特性的觀 點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用熔點(diǎn)高的PFA、PTFE。
[0052] 氟樹(shù)脂可以含有官能團(tuán)。官能團(tuán)例如可以通過(guò)使具有該官能團(tuán)的單體共聚而導(dǎo) 入。作為具有官能團(tuán)的單體，使交聯(lián)部位單體共聚時(shí)，在進(jìn)一步提高全氟彈性體組合物的交 聯(lián)成型物的機(jī)械強(qiáng)度等的方面是有利的。交聯(lián)部位單體與上述含腈基全氟乙烯基醚同樣地 可以為含腈基單體。作為含有官能團(tuán)的氟樹(shù)脂的例子，可以舉出：日本特開(kāi)2013-177631號(hào) 公報(bào)所述的含腈基聚四氟乙烯。
[0053] 另外，氟樹(shù)脂例如也可以為"TFM改性PTFE"（Dyneon株式會(huì)社制造)那樣的、經(jīng)過(guò)改 性的氟樹(shù)脂。
[0054] 全氟彈性體組合物中的氟樹(shù)脂的含量(使用2種以上的氟樹(shù)脂時(shí)為其總量)相對(duì)于 全氟彈性體1〇〇重量份設(shè)為1重量份以上且小于25重量份，優(yōu)選為3~24重量份，更優(yōu)選為3 ~20重量份。設(shè)為1重量份以上時(shí)，在提高所得交聯(lián)成型物(密封材料等）的機(jī)械強(qiáng)度的方面 變得有利。另外，通過(guò)設(shè)為小于25重量份，可以兼顧良好的機(jī)械強(qiáng)度和良好的耐熱性(壓縮 永久變形特性）。氟樹(shù)脂的含量變?yōu)?5重量份以上時(shí)，顯示彈性的全氟彈性體的含量相對(duì)減 少，壓縮永久變形特性惡化。
[0055]需要說(shuō)明的是，1重量份以上且小于25重量份這樣的氟樹(shù)脂含量為較少的含量，但 根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)基于后述規(guī)定交聯(lián)劑的交聯(lián)體系的應(yīng)用，可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度。 [0056] 〔c〕交聯(lián)劑
[0057]本發(fā)明的全氟彈性體組合物包含選自由上述通式（1)所示的雙（氨基苯酚）化合 物、上述通式(2)所示的雙(氨基苯硫酚)化合物和上述通式(3)所示的四胺化合物組成的組 中的至少1種交聯(lián)劑。利用基于該交聯(lián)劑的交聯(lián)體系，使以腈基作為交聯(lián)部位的全氟彈性體 交聯(lián)，從而雖然氟樹(shù)脂含量較少，但是可以對(duì)交聯(lián)成型物賦予優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度。
[0058] 氟樹(shù)脂具有腈基那樣的交聯(lián)部位的情況下，通過(guò)上述交聯(lián)劑氟樹(shù)脂的交聯(lián)也進(jìn) 行，可以有助于機(jī)械強(qiáng)度進(jìn)一步提高。
[0059] 優(yōu)選使用的交聯(lián)劑的具體例例如包含：2,2_雙（3-氨基-4-羥基苯基）六氟丙烷 (Β0ΑΡ) ;4,4'_橫?；p(2-氨基苯酸）〔雙(3-氨基_4_羥基苯基)諷〕、3,3'_二氨基聯(lián)苯胺、 3,3'，4,4'_四氨基二苯甲酮。優(yōu)選使用Β0ΑΡ。
[0060] 對(duì)于全氟彈性體組合物中的交聯(lián)劑的含量(使用2種以上的交聯(lián)劑時(shí)為其總量）， 優(yōu)選為使全氟彈性體的交聯(lián)部位(進(jìn)而根據(jù)需要氟樹(shù)脂所具有的交聯(lián)部位)全部交聯(lián)所需 的充分量，典型地，相對(duì)于全氟彈性體100重量份，優(yōu)選為〇. 05~5重量份，更優(yōu)選為0.1~3 重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1~1.5重量份。
[0061] 全氟彈性體組合物可以含有除了上述通式（1)~（3)以外的其他交聯(lián)劑或交聯(lián)催 化劑，例如可以包含:三嗪交聯(lián)體系的交聯(lián)催化劑即錫化合物、磷化合物、氮化合物。其中， 其他交聯(lián)劑或交聯(lián)催化劑的含量從交聯(lián)成型物的機(jī)械強(qiáng)度的觀點(diǎn)出發(fā)，相對(duì)于上述通式 (1)~（3)的交聯(lián)劑100重量％，優(yōu)選為50重量％以下，更優(yōu)選為20重量％以下，進(jìn)一步優(yōu)選 為10重量％以下，特別優(yōu)選為0重量％。
[0062] 〔d〕其他配混劑
[0063] 本發(fā)明的全氟彈性體組合物以改善加工性、調(diào)整物性等為目的，可以根據(jù)需要包 含防老劑、抗氧化劑、硫化促進(jìn)劑、加工助劑(硬脂酸等）、穩(wěn)定劑、增粘劑、硅烷偶聯(lián)劑、增塑 劑、阻燃劑、脫模劑、蠟類、潤(rùn)滑劑等添加劑。添加劑可以僅使用1種也可以組合使用2種以 上。
[0064]但是，將密封材料用于半導(dǎo)體制造裝置用途時(shí)，由于揮發(fā)、溶出或析出而有產(chǎn)生制 造工序污染、半導(dǎo)體制造効率降低的擔(dān)心，從而優(yōu)選添加劑的量盡量少(例如，相對(duì)于全氟 彈性體100重量份為10重量份以下，優(yōu)選為5重量份以下，更優(yōu)選為2重量份以下，進(jìn)一步優(yōu) 選為1重量份以下），期望不含有添加劑。
[0065]另外，本發(fā)明的全氟彈性體組合物也可以根據(jù)需要包含:炭黑、二氧化硅、氧化鋁、 氧化鋅、氧化鈦、粘土、滑石、硅藻土、硫酸鋇、碳酸鈣、碳酸鎂、氧化鈣、云母、石墨、氫氧化 鋁、硅酸鋁、水滑石、金屬粉、玻璃粉、陶瓷粉那樣的填充劑。
[0066]但是，填充劑中，特別是無(wú)機(jī)填充劑如上述那樣成為顆粒的原因，因此，將密封材 料用于半導(dǎo)體制造裝置用途時(shí)，無(wú)機(jī)填充劑的量?jī)?yōu)選盡量少(例如，相對(duì)于全氟彈性體100 重量份為10重量份以下，優(yōu)選為5重量份以下，更優(yōu)選為2重量份以下，進(jìn)一步優(yōu)選為1重量 份以下），期望不配混無(wú)機(jī)填充劑。需要說(shuō)明的是，無(wú)機(jī)填充劑是指，含有金屬元素(Ba、Ti、 Zn、Al、Mg、Ca、Si 等）的填充劑。
[0067] 〔e〕全氟彈性體組合物的制備
[0068] 本發(fā)明的全氟彈性體組合物可以通過(guò)將全氟彈性體、氟樹(shù)脂、交聯(lián)劑和根據(jù)需要 添加的其他配混劑均勻地混煉來(lái)制備。作為混煉機(jī)，例如可以使用開(kāi)煉機(jī)那樣的混煉機(jī);捏 合機(jī)、班伯里密煉機(jī)那樣的混合機(jī)等以往公知的混煉機(jī)。這些配混劑可以一次性混合并混 煉，或者也可以如將一部分配混劑混煉后、將剩余的配混劑混煉那樣分成多階段來(lái)將全部 配混劑進(jìn)行混煉。
[0069] 如果提及全氟彈性體與氟樹(shù)脂的混煉，則例如可以使用：1)使用混煉機(jī)將全氟彈 性體粉末和氟樹(shù)脂粉末進(jìn)行混煉的方法;2)使用混合機(jī)將全氟彈性體粉末或粒料和氟樹(shù)脂 粉末或粒料進(jìn)行熔融混煉的方法；以及，3)在全氟彈性體的制備階段添加氟樹(shù)脂的方法。
[0070] 作為上述3)的方法，可以舉出如下方法:將均由乳液聚合法得到的全氟彈性體的 水性分散液和氟樹(shù)脂的水性分散液混合，然后通過(guò)共凝固得到全氟彈性體和氟樹(shù)脂的混合 物。
[0071] <密封材料>
[0072] 通過(guò)將上述全氟彈性體組合物進(jìn)行交聯(lián)成型(硫化成型），從而可以得到密封材料 那樣的交聯(lián)成型物。交聯(lián)成型可以根據(jù)需要將全氟彈性體組合物進(jìn)行預(yù)成型后、使用模具 進(jìn)行壓制成型來(lái)進(jìn)行。成型溫度例如為150~220°C左右。也可以通過(guò)送進(jìn)壓制成型、注射成 型、擠出成型等進(jìn)行成型。也可以根據(jù)需要，在150~280°C左右的溫度下進(jìn)行二次交聯(lián)。 [0073] 全氟彈性體組合物例如包含ETFE、PVDF、PCTFE、ECTFE、偏二氟乙烯六氟丙烯共聚 物(VDF-HFP共聚物）、偏二氟乙烯-六氟丙烯-四氟乙烯共聚物(VDF-HFP-TFE共聚物)那樣熔 點(diǎn)較低的氟樹(shù)脂的情況下，為了可以使用其熔點(diǎn)以上的密封材料，優(yōu)選在進(jìn)行上述那樣的 交聯(lián)成型（壓制成型等）后設(shè)置進(jìn)一步照射電離性輻射線使其交聯(lián)的工序。由此，可以維持 能夠耐于實(shí)用的程度的密封材料的壓縮永久變形特性。作為電離性輻射線，可以優(yōu)選使用 電子束、y射線。
[0074] 密封材料可以為密封件、墊片等。密封材料的形狀可以根據(jù)其用途而適當(dāng)選擇，其 代表例是截面形狀為〇型的〇環(huán)。本發(fā)明的密封材料不含有無(wú)機(jī)填充劑且可以具有良好的耐 熱性(壓縮永久變形特性)和機(jī)械強(qiáng)度，因此特別適合作為半導(dǎo)體制造裝置用途的密封材料 使用。
[0075] 實(shí)施例
[0076] 以下，列舉實(shí)施例和比較例更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明，但本發(fā)明不限定于此。
[0077] <實(shí)施例1~6、比較例1~9>
[0078]按照如下步驟，制備全氟彈性體組合物，接著制作密封材料。首先，按照表1所示的 配方組成(表1中的配混量的單位為重量份），通過(guò)開(kāi)煉機(jī)將各配混劑的規(guī)定量進(jìn)行混煉。接 著，將所得全氟彈性體組合物在180°C、25分鐘（比較例3~8為170°C、20分鐘）的條件下進(jìn)行 壓制成型，然后在280°C、6小時(shí)（比較例3~5、7~8為300°C、5小時(shí)，比較例6為200°C、4小時(shí)） 的條件下進(jìn)行2次交聯(lián)得到密封材料(0環(huán)）。
[0079][表1]
[0081 ]實(shí)施例和比較例中使用的各配混劑的詳細(xì)情況如下所述。
[0082] 〔 1〕FFKM1:四氟乙烯/全氟(烷基乙烯基醚)/含腈基全氟(烷基乙烯基醚)共聚物即 含腈基全氟彈性體〔Dyneon株式會(huì)社制造的"PFE-131TZ"〕。
[0083] 〔 2〕FFKM2 :全氟彈性體和氟樹(shù)脂的混合物〔D y n e ο η株式會(huì)社制造的"PFE - 133ΤΒΖ"〕。全氟彈性體為四氟乙烯/全氟(烷基乙烯基醚)/含腈基全氟(烷基乙烯基醚)共聚 物即含腈基全氟彈性體。表1中，"FFKM2"的欄中示出FFKM2中所含的全氟彈性體的含量(重 量份），"氟樹(shù)脂Γ的欄中示出FFKM2中所含的氟樹(shù)脂的含量(重量份）。
[0084] 〔3〕FFKM3:Solvay Specialty Polymers Κ·Κ·制造的 "PFR94"。
[0085] 〔4〕氟樹(shù)脂2:聚四氟乙烯的微粉〔Dyneon株式會(huì)社制造的"TF9207Z"。
[0086] 〔5〕B0AP: 2,2-雙(3-氨基-4-羥基苯基)六氟丙烷〔東京化成工業(yè)株式會(huì)社制造的 "2，2_Bis(3-amin〇-4-hydroxyphenyl)hexafluorop;ropane(CAS編號(hào)：83558_87_6)''〕。 [0087] 〔6〕三嗪交聯(lián)體系催化劑:Dyneon株式會(huì)社制造的"PFE300C"。
[0088] 〔7〕TAIC:三烯丙基異氰脲酸酯〔日本化成株式會(huì)社制造的"TAIC"〕。
[0089] 〔8〕Perhexa 25B:2,5-二甲基-2,5_二(過(guò)氧化叔丁基）己烷〔日油株式會(huì)社制造的 "Perhexa 25B"〕。
[0090] (密封材料的評(píng)價(jià)）
[0091] 對(duì)于所得交聯(lián)成型品(密封材料），測(cè)定下述項(xiàng)目并評(píng)價(jià)。將結(jié)果示于表1。
[0092] 〔a〕密封材料的常態(tài)物性
[0093]依據(jù)JIS K6250,由制作成2mm厚度的片依據(jù)JIS K6251脫模為啞鈴狀3號(hào)型試驗(yàn) 片。將該試驗(yàn)片以500mm/分鐘進(jìn)行拉伸，測(cè)定拉伸強(qiáng)度、斷裂伸長(zhǎng)率、100%彈性模量。另外， 依據(jù)JIS K6253,利用A型硬度計(jì)硬度試驗(yàn)機(jī)測(cè)定片的硬度。這些試驗(yàn)均在25°C的溫度下進(jìn) 行。
[0094] 〔b〕密封材料的壓縮永久變形
[0095] 依據(jù)JIS K6262,在260ΓΧ72小時(shí)、壓縮率25%的條件下，使用線徑φ3 53〇環(huán)測(cè)定 壓縮永久變形。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種全氟彈性體組合物，其包含： 全氟彈性體100重量份，其含有源自四氟乙烯的構(gòu)成單元、源自全氟(烷基乙烯基醚)或 全氟(烷氧基烷基乙烯基醚)的構(gòu)成單元和源自含腈基全氟乙烯基醚的構(gòu)成單元； 氟樹(shù)脂1重量份以上且小于25重量份;和， 交聯(lián)劑，其選自由下述通式（1)所示的雙(氨基苯酚)化合物、下述通式(2)所示的雙(氨 基苯硫酚)化合物和下述通式(3)所示的四胺化合物組成的組中的至少1種，式（1)~（3)中，A為S02、0、C = 0、碳數(shù)1~6的業(yè)烷基、碳數(shù)1~10的全m業(yè)烷基或2個(gè)苯環(huán) 直接連接的碳-碳鍵，式（1)和(2)中，位于同一苯環(huán)上的NH2基與OH基或SH基彼此相鄰，并且 NH2基和OH基或SH基相對(duì)于A基處于間位或?qū)ξ弧?. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全氟彈性體組合物，其中，所述交聯(lián)劑的含量相對(duì)于所述全氟 彈性體100重量份為0.05~5重量份。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全氟彈性體組合物，其中，所述氟樹(shù)脂的含量相對(duì)于所述全氟 彈性體100重量份為3~20重量份。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全氟彈性體組合物，其中，不含無(wú)機(jī)填充劑。5. -種密封材料，其是由權(quán)利要求1所述的全氟彈性體組合物的交聯(lián)物形成的。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的密封材料，其用于半導(dǎo)體制造裝置。7. -種密封材料的制造方法，其包括將權(quán)利要求1所述的全氟彈性體組合物進(jìn)行交聯(lián) 成型的工序。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造方法，其中，所述進(jìn)行交聯(lián)成型的工序包括通過(guò)電離性輻 射線使其交聯(lián)的工序。
【文檔編號(hào)】F16J15/10GK105899600SQ201480070928
【公開(kāi)日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2014年11月13日
【發(fā)明人】大住直樹(shù), 戶田清華
【申請(qǐng)人】日本華爾卡工業(yè)株式會(huì)社