專利名稱：剝離性粘合劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及剝離性粘合劑組合物。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，在對例如晶片等的從外部施加的力容易造成變形和破損的薄板材料的表面實施例如研磨等的加工時，是將薄板材料通過粘合劑固定在支撐用基底材料上進(jìn)行加工，將加工完成后的材料從粘合劑和支撐用基底材料剝離，通過該方法得到加工過的薄板材料。
對用于這種用途的粘合劑，要求其具有粘接性，以在加工作業(yè)中能夠?qū)⒈“宀牧侠喂痰毓潭ㄔ谥斡没撞牧仙?，以及?yōu)異的剝離性，以將加工完成后的材料從粘合劑和支撐用基底材料上容易地剝離。
但是，在現(xiàn)有技術(shù)中沒有發(fā)現(xiàn)在用于這種用途時，粘接性和剝離性都優(yōu)異的粘合劑組合物。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供粘接性和剝離性均優(yōu)異的粘合劑組合物。
本發(fā)明的發(fā)明者為完成上述課題進(jìn)行了專門研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)如果粘合劑組合物含有具有粘著性的樹脂和由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物時，發(fā)現(xiàn)其具有固定作為想要加工的材料的被粘附體所需的粘接性，而加工后通過用活性能量線照射產(chǎn)生氣體，可容易地剝離被粘附體。
本發(fā)明的發(fā)明者基于這種發(fā)現(xiàn)，進(jìn)一步反復(fù)進(jìn)行了各種研究，直至完成了本發(fā)明。
即本發(fā)明提供如下所述的剝離性粘合劑組合物。
1.一種剝離性粘合劑組合物，其特征在于含有具有粘著性的樹脂和由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物。
2.如上述第1項所記載的剝離性粘合劑組合物，其中具有粘著性的樹脂為感光性樹脂。
3.如上述第1項或第2項所記載的剝離性粘合劑組合物，其中由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物為醌重氮磺酸酯(キノンジアジドスルホン酸エステル )。
4.如上述第1項到第3項中任一項所記載的剝離性粘合劑組合物，其中具有粘著性的樹脂和由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物的使用比例為，相對于100重量份該樹脂，該化合物為1到100重量份。
以下對本發(fā)明的剝離性粘合劑組合物進(jìn)行詳細(xì)說明。
剝離性粘合型組合物本發(fā)明的剝離性粘合劑組合物含有具有粘著性的樹脂和由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物。因此，對于采用本組合物粘接的被粘附體，通過用紫外線等的活性能量線對其粘接層進(jìn)行照射產(chǎn)生氣體，由該產(chǎn)生的氣體可以容易地將粘接層和被粘附體剝離。
作為具有粘著性的樹脂，優(yōu)選是在-50～+150℃，特別是-40～+120℃的溫度下具有粘著性的樹脂。另外，該粘著性優(yōu)選的是例如其粘接力(kgf/cm2)在5～40，特別是在7～30的范圍內(nèi)。
作為具有粘著性的樹脂，可以是熱塑性樹脂，也可以是固化性樹脂。作為熱塑性樹脂，包括例如丙烯酸樹脂、氨基甲酸酯樹脂、聚酯樹脂、酚醛樹脂清漆及其衍生物、聚乙烯基苯酚及其衍生物、硅樹脂及其衍生物。而作為固化性樹脂包括例如在上述任何一種樹脂中導(dǎo)入聚合性不飽和基的樹脂。
作為上述固化性樹脂，也可以是在以下所述的紫外線等的活性能量線的作用下可固化的、具有粘著性的感光性樹脂組合物中使用的具有粘著性的感光性樹脂。此時，如果需要，可以適宜地添加光聚合引發(fā)劑、光增感染料等。
作為由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物，可適合使用例如醌重氮磺酸酯。
醌重氮磺酸酯為在活性能量線照射下產(chǎn)生氮氣的感光性化合物，其產(chǎn)生的氮氣形成氣泡，可以使粘接層剝離。
作為醌重氮磺酸酯，可適合使用多羥基二苯甲酮與1，2-苯醌重氮磺酸、1，2-萘醌重氮磺酸等的1，2-醌重氮磺酸類的酯化物。
在形成該酯時使用的多羥基二苯甲酮包含下式(I)表示的化合物。
式中，m和n分別表示0到3的整數(shù)，m+n之和為1到6。
作為多羥基二苯甲酮的具體實例可以舉出2，3，4-三羥基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羥基二苯甲酮等。
另一方面，與多羥基二苯甲酮發(fā)生酯化反應(yīng)的1，2-苯醌重氮磺酸包含下式(II)表示的化合物，而1，2-萘醌重氮磺酸包含下式(III)表示的化合物。
作為1，2-苯醌重氮磺酸的具體實例可以舉出1，2-苯醌重氮-4-磺酸。作為1，2-萘醌重氮磺酸的具體實例可以舉出1，2-萘醌重氮-5-磺酸、1，2-萘醌重氮-4-磺酸等。
上述多羥基二苯甲酮和1，2-醌重氮磺酸類發(fā)生的酯化反應(yīng)可以根據(jù)其本身已知的方法，例如多羥基二苯甲酮和1，2-醌重氮磺酸類或者其鹵化物(例如氯化物)發(fā)生反應(yīng)來進(jìn)行。此時二者的反應(yīng)比率沒有特別的限制，一般優(yōu)選的是對于多羥基二苯甲酮的羥基數(shù)q，使1，2-醌重氮磺酸類為1～q分子，以該比例進(jìn)行反應(yīng)。上述多羥基二苯甲酮和1，2-醌重氮磺酸類或者其鹵化物可以單獨使用，也可以將2種以上混合使用。
在本發(fā)明的粘合劑組合物中，具有粘著性的樹脂和由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物的使用比例通常為對于100重量份的該樹脂，該化合物為1～100重量份，優(yōu)選為5～50重量份。
本發(fā)明的粘合劑組合物可通過將具有粘著性的樹脂和由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物溶解或分散在介質(zhì)中進(jìn)行配制。
作為介質(zhì)，可以將水、有機(jī)溶劑等的各種溶劑的一種或兩種以上組合使用。作為有機(jī)溶劑可以使用，例如烴類溶劑、醇類溶劑、醚類溶劑、酮類溶劑、酯類溶劑、酰胺類溶劑等的各種溶劑。
材料的加工方法本發(fā)明的剝離性粘合劑組合物適合作為，在支撐用基底材料上粘接作為想要加工的材料的被粘附體，并在加工后，從支撐用基底材料剝離該材料時使用的粘接劑。
使用上述粘合劑組合物的材料的加工方法優(yōu)選為以下的方法。
即，通過包括(1)通過本發(fā)明的剝離性粘合劑組合物層和具有粘著性的感光性樹脂組合物層，將想要加工的材料的非加工表面固定在具有透明性的支撐用基底材料上的步驟，(2)對固定好的上述材料進(jìn)行加工的步驟，(3)隨后，通過從上述支撐用基底材料的外側(cè)照射活性能量線而產(chǎn)生氣體，由此剝離、取出加工好的材料的步驟的加工方法，可合適地對各種材料進(jìn)行加工。
步驟(1)在步驟(1)中，通過在想要加工的材料的非加工表面上形成的本發(fā)明的剝離性粘合劑組合物層和具有粘著性的感光性樹脂組合物層，將該材料固定在具有透明性的支撐用基底材料上。
作為上述想要加工的材料，可以使用例如必需進(jìn)行研磨等的各種加工的各種材料，沒有特別的限制。
上述材料的材質(zhì)可以為塑料、金屬、玻璃、纖維、紙等的任何一種，其形狀可以為薄膜狀、板狀、線狀、球狀、圓盤狀、圓錐狀、長方體狀以及這些形狀組合而成的形狀等的任何一種形狀。特別是從外部施加的力易產(chǎn)生變形和破損的薄板狀等的材料，作為必需進(jìn)行研磨等的加工的材料可優(yōu)選使用。
具體材料可以舉出例如晶片等的電子材料。
在上述步驟(1)中使用的具有粘著性的感光性樹脂組合物，適合使用通過紫外線等的活性能量線固化的水性或有機(jī)溶劑型樹脂組合物，其含有具有粘著性的感光性樹脂，根據(jù)需要還含有光聚合引發(fā)劑、光增感染料等。
具有粘著性的感光性樹脂優(yōu)選為在-50～+150℃，特別是在-40～+120℃的溫度下具有粘著性的感光性樹脂。該粘著性優(yōu)選的是例如其粘接力(kgf/cm2)在5～40，特別是在7～30的范圍內(nèi)。
上述具有粘著性的感光性樹脂的具體實例舉例如下。
(i)具有(甲基)丙烯?；鹊木酆闲曰鶊F(tuán)作為感光性基團(tuán)的感光性樹脂上述感光性樹脂(i)可以通過在含有羧基的丙烯酸類樹脂上加成含有縮水甘油基的聚合性不飽和化合物的方法制造出來。
此時所使用的含羧基的丙烯酸類樹脂，以例如丙烯酸、甲基丙烯酸等的α，β-乙烯性不飽和酸作為必需的單體成分，可通過將其與從例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸羥乙酯等的(甲基)丙烯酸酯類；苯乙烯，(甲基)丙烯腈，(甲基)丙烯酰胺等中選取的至少一種不飽和單體共聚合得到。
另外，作為與上述含有羧基的丙烯酸類樹脂加成的含縮水甘油基的聚合性不飽和化合物，可以舉出例如丙烯酸縮水甘油酯，甲基丙烯酸縮水甘油酯，烯丙基縮水甘油醚等。
上述含羧基的丙烯酸類樹脂和含縮水甘油基的不飽和化合物的加成反應(yīng)，可根據(jù)其本身已知的方法，例如通過在四乙基溴化銨等的催化劑的存在下，在80～120℃的溫度下反應(yīng)1～5小時，可以容易地進(jìn)行。
此外，上述感光性樹脂(i)也可以通過將含羥基的聚合性不飽和化合物與二異氰酸酯化合物的反應(yīng)產(chǎn)物加成在含羥基的丙烯酸類樹脂上來制造。
上述含羥基的聚合性不飽和化合物，可舉出例如丙烯酸2-羥乙酯，甲基丙烯酸2-羥乙酯、丙烯酸2-羥丙酯等的(甲基)丙烯酸羥烷基酯；N-羥甲基丙烯酰胺等。
另外，作為二異氰酸酯化合物可舉出例如甲苯基二異氰酸酯、二甲苯基二異氰酸酯、1，6-己二異氰酸酯、賴氨酸二異氰酸酯等。
此外，作為含羥基的丙烯酸類樹脂可以使用這樣的樹脂，其以上述含羥基的聚合性不飽和化合物作為必需的單體成分，通過將該單體成分與從例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸羥乙酯等的(甲基)丙烯酸酯類；苯乙烯，(甲基)丙烯腈，(甲基)丙烯酰胺等中選取的至少一種不飽和單體共聚合得到。
將上述含羥基的聚合性不飽和化合物和二異氰酸酯化合物基本上以等摩爾比進(jìn)行反應(yīng)。所得的反應(yīng)產(chǎn)物和含羥基的丙烯酸類樹脂的加成反應(yīng)可按照其本身已知的方法，在氮氣氣氛中，在50～100℃的溫度下進(jìn)行反應(yīng)。
而且，在上述感光性樹脂(i)中，含烯丙基作為感光性基團(tuán)的感光性樹脂可通過在上述含羥基的丙烯酸類樹脂上加成(甲基)烯丙基醇和二異氰酸酯類化合物的反應(yīng)產(chǎn)物得到。
(ii)含肉桂酰基作為感光性基團(tuán)的感光性樹脂可通過將例如含羥基的丙烯酸類樹脂與取代或未取代的肉桂酸鹵化物，在堿的存在下，例如在吡啶溶液中進(jìn)行反應(yīng)來制造上述感光性樹脂(ii)。
上述含羥基的丙烯酸類樹脂可使用上述(i)中敘述的樹脂。
取代或未取代的肉桂酸鹵化物包括苯環(huán)上有1～3個從硝基、低級烷氧基等中選取的取代基的肉桂酸鹵化物，更具體地可以舉出例如肉桂酸氯化物、對硝基肉桂酸氯化物、對甲氧基肉桂酸氯化物、對乙氧基肉桂酸氯化物等。
取代或未取代的肉桂酸鹵化物的使用量范圍一般可以為相對于每100重量份上述含羥基的丙烯酸類樹脂，為6～180重量份，優(yōu)選30～140重量份。上述含羥基的丙烯酸類樹脂和取代或未取代的肉桂酸鹵化物的反應(yīng)可以根據(jù)其本身已知的方法，例如在如吡啶溶劑這樣的堿的存在下，在30～70℃的溫度下進(jìn)行。
(iii)其它類型的感光性樹脂作為其它類型的感光性樹脂，還可以使用聚乙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯等的預(yù)聚物作為感光性樹脂。
在具有粘著性的感光性樹脂組合物中，根據(jù)需要采用的光聚合引發(fā)劑可以使用現(xiàn)有技術(shù)中公知的引發(fā)劑，例如2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-芐基-2-二甲胺基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-1、2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮、二(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-苯基膦氧化物、二(2，6-二甲氧基苯甲?；?-2，4，4-三甲基戊基膦氧化物、2-羥基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮、1-羥基環(huán)己基-苯基酮、對二甲胺基安息香酸、2，4-二乙基噻噸酮、異丙基噻噸酮等。作為市售產(chǎn)品，可舉出例如Lucirin TPO(BASF公司制造、商品名)、Irg907、Irg369、Irg651、Irg819、Irg1700、Irg1800、Irg1850、DAROCURE 1173(以上為チバ·スペシヤルテイ·ケミカルズ公司制造、商品名)、KAYACURE DMBI、KAYACURE DETX(以上為日本化藥公司制造、商品名)、SPEED CURE ITX(日本シイベルヘグナ一公司制造、商品名)等。
光聚合引發(fā)劑的使用比例合適的是對于100重量份感光性樹脂，為10重量份以下，優(yōu)選在0.1～5重量份的范圍內(nèi)。
在具有粘著性的感光性樹脂組合物中，根據(jù)需要采用的光增感染料可以使用現(xiàn)有技術(shù)中公知的染料。具體地，可以采用例如酚噻嗪類染料、蒽類染料、六苯并苯類染料、苯并蒽類染料、二萘嵌苯類染料、芘類染料、部花青類染料、氧代香豆素(ケトクマリン)類染料等光增感染料。這些光增感染料的使用比例合適的是對于100重量份感光性樹脂為10重量份以下，優(yōu)選在0.1～5重量份的范圍內(nèi)。
在具有粘著性的感光性樹脂組合物中，根據(jù)需要還可適當(dāng)?shù)睾幸蚁┬圆伙柡突衔?、著色劑、塑化劑、平滑劑等。作為該乙烯性不飽和化合物，可以使用?～4個乙烯性不飽和基團(tuán)的單體等。
可通過將具有粘著性的感光性樹脂和根據(jù)需要采用的光聚合引發(fā)劑、光增感染料等溶解或分散在溶劑中，來配制具有粘著性的感光性樹脂組合物。
作為溶劑，可以將水、有機(jī)溶劑等的各種溶劑的一種或兩種以上組合使用。作為有機(jī)溶劑，可以使用例如烴類溶劑、醇類溶劑、醚類溶劑、酮類溶劑、酯類溶劑、酰胺類溶劑等的各種溶劑。
在步驟(i)中的上述支撐用基底材料，通過剝離性粘合劑組合物層和具有粘著性的感光性樹脂組合物層固定想要加工的材料，由此在進(jìn)行例如研磨等的加工時，所施加的力不會造成該材料變形和破損。所采用的這種支撐用基底材料，可牢固地固定該材料，并具有使紫外線等的活性能量線透過的透明性。
支撐用基底材料的透明性是必要的，因為在步驟(3)中，從支撐用基底材料的外側(cè)(與剝離性粘合劑組合物層和感光性組合物層相對的反方向)照射的活性能量線透過，使包含在剝離性粘合劑組合物層中的、由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物分解，產(chǎn)生氣體。但也沒必要是無色透明的，如果對由活性能量線透過所引起的氣體的產(chǎn)生沒有實質(zhì)上的阻礙，該基底材料還可以含有著色劑和填充劑等。
由上述步驟(1)可以得到以下列順序想要加工的材料/剝離性粘合劑組合物層/具有粘著性的感光性樹脂組合物層/支撐用基底材料層疊的的層疊體。
可通過如下的方法a獲得該層疊體在想要加工的材料的非加工表面涂布剝離性粘合劑組合物并干燥，形成該粘合劑組合物層，在該粘合劑組合物層上涂布具有粘著性的感光性樹脂組合物并干燥，形成該樹脂組合物層，然后在該樹脂組合物層上貼附支撐用基底材料。
此外，也可以通過如下的方法b獲得上述層疊體將在上述材料的非加工表面上已形成剝離性粘合劑組合物層的產(chǎn)品，以及在支撐用基底材料上已形成具有粘著性的感光性樹脂組合物膜的產(chǎn)品貼合在一起形成。
在上述方法b中，剝離性粘合劑組合物層的形成方式可以采用和方法a一樣的方式進(jìn)行。具有粘著性的感光性樹脂組合物膜的形成方式，也可以采用和方法a一樣的方式進(jìn)行，也可以采用這樣的方式進(jìn)行預(yù)先在可脫離的薄板上涂布該感光性樹脂組合物，并使其干燥，形成該感光性樹脂組合物膜，此后將支撐用基底材料的表面和可脫離的薄板上的該樹脂組合物膜相接觸地貼附在一起，從可脫離的薄板的表面(與該感光性樹脂組合物膜相對的反方向)進(jìn)行按壓，隨后剝離該可脫離的薄板。
由上述步驟(1)得到的、按照順序想要加工的材料/剝離性粘合劑組合物層/具有粘著性的感光性樹脂組合物層/支撐用基底材料順次層壓的層疊體的制作方法不受上述的方法a、方法b等的限制，只要能得到該層疊體，可以任何次序進(jìn)行制作。
在上述步驟(1)中，剝離性粘合劑組合物層或具有粘著性的感光性樹脂組合物層的涂布可以采用例如輥、輥涂機(jī)、旋涂機(jī)、刮刀式涂布機(jī)、噴霧器、刷毛等公知的涂布器實施。涂布后的干燥條件可根據(jù)所用的各組合物的組分適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)定。
在上述層疊體中，剝離性粘合劑組合物層的厚度通常為1～50μm，優(yōu)選為2～30μm是合適的。此外，在上述層疊體中，具有粘著性的感光性樹脂組合物層的厚度通常為1～200μm，優(yōu)選為2～100μm是合適的。
步驟(2)步驟(2)是對步驟(1)中已固定了的想要加工的材料進(jìn)行加工的步驟。在該步驟中，對上述材料的想要加工的表面實施例如研磨等的各種加工。實施該加工時，材料通過剝離性粘合劑組合物層和具有粘著性的感光性樹脂組合物層牢固地固定在支撐用基底材料上，因此可以充分地進(jìn)行所需的加工。
步驟(3)步驟(3)是通過從步驟(2)加工后的上述層疊體的支撐用基底材料的外側(cè)照射活性能量線而產(chǎn)生氣體，由此剝離和取出已加工的材料的步驟。
在該步驟中，從按照順序想要加工的材料/剝離性粘合劑組合物層/具有粘著性的感光性樹脂組合物層/具有透明性的支撐用基底材料層壓的層疊體的支撐用基底材料的外側(cè)(與剝離性粘合劑組合物層及感光性樹脂組合物層相對的反方向)照射活性能量線，由此使感光性樹脂組合物層固化，降低表面的粘著性或者使其不具有粘著性，同時由存在于該固化了的感光性樹脂組合物層面和材料面之間的剝離性粘合劑組合物層中的、由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物分解所產(chǎn)生的氣體，使固化了的感光性樹脂組合物層面變?yōu)榇植诿?，從而可容易地將加工處理好的材料剝離。
上述活性能量線可以采用以例如超高壓、高壓、中壓、低壓的水銀燈、化學(xué)燈、碳弧燈、氙燈、金屬鹵化物燈、鎢燈等為光源的紫外線和可見光線。而活性能量線的照射量通常在500～10,000J/m2的范圍內(nèi)為合適。
根據(jù)本發(fā)明，可以獲得如下的顯著效果。
(a)本發(fā)明的剝離性粘合劑組合物具有為了對想要加工的材料進(jìn)行加工而將其固定所需的粘接性，而且在加工后，通過活性能量線照射可容易地進(jìn)行剝離，具有優(yōu)異的剝離性。
(b)根據(jù)采用本發(fā)明剝離性粘合劑組合物的材料的加工方法，在將想要加工的材料通過該剝離性粘合劑組合物層和具有粘著性的感光性樹脂組合物層固定在具有透明性的支撐用基底材料上后進(jìn)行加工，加工后僅從該支撐用基底材料的外側(cè)(與剝離性粘合劑組合物層和具有粘著性的感光性樹脂組合物層相對的反方向)照射活性能量線，就可以使感光性樹脂組合物層固化以及從剝離性粘合劑組合物層產(chǎn)生氣體，由此可容易地將加工后的材料剝離。
(c)因此，在例如晶片等的從外部施加力時容易產(chǎn)生變形和破損的薄板材料的表面上實施例如研磨等的加工時，可以非常合適地采用使用本發(fā)明的剝離性粘合劑組合物的上述加工方法。
具體實施形式以下通過制造例、實施例、試驗例和比較試驗例對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)地說明。但是本發(fā)明不限于這些實施例。各例子中的“份”和“％”表示的是“重量份”和“％重量”。
制造例1制造具有甲基丙烯酰基作為感光性基團(tuán)的感光性樹脂在氮氣氣氛下，用3小時將由40份甲基丙烯酸甲酯，40份丙烯酸丁酯，20份丙烯酸和2份偶氮二異丁腈構(gòu)成的混合液滴加到保持在110℃溫度下的90份丙二醇單甲醚中。滴完后，熟化1小時，用1小時滴加由1份偶氮二異丁腈和10份丙二醇單甲醚構(gòu)成的混合液，進(jìn)一步熟化5小時，得到丙烯酸樹脂溶液。
隨后，向該溶液中加入24份甲基丙烯酸縮水甘油酯、0.12份氫醌和0.6份四乙基溴化銨，一邊吹入空氣，一邊在110℃溫度下反應(yīng)5小時，得到玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為20℃、數(shù)均分子量為約20,000的具有甲基丙烯酰基的感光性樹脂溶液。
制造例2感光性樹脂組合物的制造向100份由制造例1得到的感光性樹脂(固態(tài)成分)中加入作為光引發(fā)劑的、溶解在20份丙二醇單甲醚醋酸酯中的2份2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-1-嗎啉代丙烷-1-酮(商品名“Irg907”，チバスペシヤルテイ一ケミカルズ公司制造)和0.5份2，4-二乙基噻噸酮(商品名“Kayacure DETX”，日本化藥株式會社制造)的溶液，用機(jī)械攪拌器進(jìn)行攪拌，得到感光性樹脂組合物1。
實施例1向100份由制造例1得到的感光性樹脂(固態(tài)成分)中加入作為由活性能量線照射產(chǎn)生氮氣的醌重氮類的感光性化合物的、溶解在50份丙二醇單甲醚醋酸酯中的10份2-羥基-3，4-二(6-重氮-5，6-二氫-5-氧代-1-萘磺酰氧基)-二苯甲酮的溶液。
進(jìn)一步向其中加入作為光聚合引發(fā)劑的、溶解在20份丙二醇單甲醚醋酸酯中的2份2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮(商品名“Irg907”，チバスペシヤルテイ一ケミカルズ社制造)和0.5份2，4-二乙基噻噸酮(商品名“Kayacure DETX”，日本化藥株式會社制造)的溶液，用機(jī)械攪拌器進(jìn)行攪拌，得到本發(fā)明的剝離性粘合劑組合物1。
實施例2除了將實施例1中的2-羥基-3，4-二(6-重氮-5，6-二氫-5-氧代-1-萘磺酰氧基)-二苯甲酮的使用量改為30份之外，采用和實施例1一樣的方法獲得本發(fā)明的剝離性粘合劑組合物2。
實施例3除了在實施例1中使用等量的對乙烯基苯酚和苯乙烯的共聚物(商品名“マルカリンカ一CST15”，丸善石油化學(xué)公司制造)代替制造例1得到的感光性樹脂之外，采用和實施例1一樣的組成，獲得本發(fā)明的剝離性粘合劑組合物3。
實施例4除了在實施例1中使用等量的丙烯酸樹脂乳液(商品名“ビニプラン7043”，日信化學(xué)工業(yè)公司制造)代替制造例1得到的感光性樹脂之外，采用和實施例1一樣的組成，獲得本發(fā)明的剝離性粘合劑組合物4。
對由實施例1～4獲得的本發(fā)明粘合劑組合物1～4進(jìn)行以下的試驗，考查其對晶片的粘接性和剝離性。
試驗例1在8英寸的晶片上，采用旋涂機(jī)涂布由實施例1得到的剝離性粘合劑組合物1，并使其干燥后的膜厚為5μm，在熱板上、以65℃加熱干燥2分鐘。
進(jìn)一步采用旋涂機(jī)在該膜上涂布由制造例2得到的感光性樹脂組合物1，并使其干燥后的膜厚為15μm，在熱板上、以65℃加熱干燥2分鐘。此后，用0.4MPa的壓力，在它上面壓接作為支撐用基底材料的玻璃板。
由此可以得到按照順序晶片/剝離性粘合劑組合物1的層/感光性樹脂組合物1的層/玻璃板層壓的層疊體。
將上述層疊體的晶片表面用市售的雙面膠帶固定在作業(yè)臺上，并采用吸盤使玻璃板的外側(cè)結(jié)合在彈簧稱上，測定初期粘接力(kgf/cm2)之后，用超高壓水銀燈從玻璃板的外側(cè)照射6,000J/m2的UV光。采用同樣的方式測定照射后的粘接力。
初期粘接力為7kgf/cm2，對固定晶片進(jìn)行研磨的操作來說是足夠的，粘接性為良好。粘接性為良好時，意味著粘接力為5kgf/cm2以上。
而紫外線照射后的粘接力為1kgf/cm2，從粘合劑層可容易剝離晶片，剝離性為良好。剝離性為良好時，意味著粘接力為2kgf/cm2以下。
試驗例2除了用實施例2中所得的剝離性粘合劑組合物2代替試驗例1中的剝離性粘合劑組合物1以外，采用同樣的方法測定初期粘接力和紫外線照射后的粘接力。
試驗例3除了用實施例3中所得的剝離性粘合劑組合物3代替試驗例1中的剝離性粘合劑組合物1以外，采用同樣的方法測定初期粘接力和紫外線照射后的粘接力。
試驗例4除了用實施例4中所得的剝離性粘合劑組合物4代替試驗例1中的剝離性粘合劑組合物1以外，采用同樣的方法測定初期粘接力和紫外線照射后的粘接力。
試驗例1～4中測定的初期粘接力和紫外線照射后的粘接力的結(jié)果示于表1。
表1

比較試驗例將8英寸的晶片用市售的雙面膠帶固定在作為支撐用基底材料的玻璃板上。然后，在對晶片實施研磨操作后實施從玻璃板剝離該晶片的操作時，剝離困難，如果強迫地實施剝離，晶片破損。
權(quán)利要求
1.一種剝離性粘合劑組合物，其特征在于其含有具有粘著性的樹脂和由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物。
2.如權(quán)利要求1所述的剝離性粘合劑組合物，其中具有粘著性的樹脂為感光性樹脂。
3.如權(quán)利要求1或2所述的剝離性粘合劑組合物，其中由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物為醌重氮磺酸酯。
4.如權(quán)利要求1到3中任一項所述的剝離性粘合劑組合物，其中具有粘著性的樹脂和由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物的使用比例為，對于100重量份該樹脂，該化合物為1到100重量份。
全文摘要
本發(fā)明提供一種剝離性粘合劑組合物，其特征在于其含有具有粘著性的樹脂和由活性能量線照射產(chǎn)生氣體的化合物。
文檔編號C09J9/00GK1487039SQ03154370
公開日2004年4月7日 申請日期2003年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月28日
發(fā)明者竹添浩司, 市川昭人, 田村孝一, 一, 人 申請人:關(guān)西涂料株式會社