專利名稱：液滴噴射裝置、電光學(xué)裝置、電光學(xué)裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液滴噴射裝置、電光學(xué)裝置以及電子機(jī)器，詳細(xì)地說(shuō)，涉及一種適合于在彩色濾光片基板、彩色矩陣式顯示裝置等中周期地配置的區(qū)域中，涂敷液狀體材料的液滴噴射裝置、電光學(xué)裝置以及電子機(jī)器。
背景技術(shù)：
薄膜的形成中，一般使用例如作為薄膜涂敷方法之一的旋涂法。該旋涂法中，將液狀體滴落在基板上之后，讓基板旋轉(zhuǎn)，通過(guò)離心力在基板全表面進(jìn)行涂敷，從而形成薄膜，通過(guò)旋轉(zhuǎn)數(shù)、旋轉(zhuǎn)持續(xù)的時(shí)間以及液狀體的粘度等來(lái)控制膜厚。
但是，旋涂法中，所供給的液狀體大部分都飛散了，因此存在必須向其供應(yīng)大量液狀體，同時(shí)浪費(fèi)很大，生產(chǎn)成本增加這一問(wèn)題。另外，由于讓基板旋轉(zhuǎn)，通過(guò)離心力讓液狀體從內(nèi)側(cè)向外側(cè)流動(dòng)，具有外圍區(qū)域的膜厚要比內(nèi)側(cè)的膜厚更加厚的傾向，因此存在膜厚變得不均勻這一問(wèn)題。
從相關(guān)背景出發(fā)，最近有人提案了噴墨法等液滴噴射法，并且提案了噴墨裝置，作為用來(lái)實(shí)施該涂敷法的設(shè)備。該噴墨裝置，能夠?qū)⒔o定量的液狀體配置到期望位置上，因此，非常適用于薄膜形成。例如，使用噴墨裝置形成彩色濾光片基板的濾光片元素，以及形成在矩陣式顯示裝置中矩陣狀配置的發(fā)光部，這都是公眾的(參照例如專利文獻(xiàn)1)。
伴隨著彩色顯示裝置等的高象素化，彩色濾光片基板的濾光片元素等中，必須高密度地形成能涂敷材料的多個(gè)被噴射部。這里，被噴射部是指例如應(yīng)當(dāng)設(shè)置在濾光片元素中的部位。因此，對(duì)噴墨裝置的噴墨頭也提出了高密度化要求。如果能夠高精度地制造基體寬度相同的噴墨頭，則能夠通過(guò)一次掃描在基體的全涂敷面高精度地進(jìn)行繪圖，但噴墨頭的噴嘴很難高精度地制造，1個(gè)噴墨頭中所能夠高精度地制造的噴嘴數(shù)最多也不過(guò)200～400左右。因此，現(xiàn)在采用在承載器中將多個(gè)噴墨頭安裝在水平方向上，擴(kuò)展繪圖寬度的方法。這種情況下，在承載器內(nèi)確定多個(gè)噴墨頭的位置實(shí)施裝配。在裝配精度較差，無(wú)法得到所期望的噴嘴間距的情況下，必須進(jìn)行分解再裝配，存在該噴嘴間距的調(diào)整很難這一問(wèn)題。
專利文獻(xiàn)1特開(kāi)2003-127343號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種能夠簡(jiǎn)單地調(diào)整噴嘴間距，高精度地進(jìn)行繪圖的液滴噴射裝置、電光學(xué)裝置、電光學(xué)裝置的制造方法以及電子機(jī)器。
為解決上述問(wèn)題實(shí)現(xiàn)發(fā)明目的，本發(fā)明的特征在于，在從噴頭的噴嘴向基體噴射液滴的液滴噴射裝置中，包括保持上述基體的平臺(tái)；多個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其分別保持包含有1個(gè)或多個(gè)具有噴嘴列的噴頭的噴頭組，且在1個(gè)軸上或平行設(shè)置的多個(gè)軸上在副掃描方向上移動(dòng)；以及位置控制機(jī)構(gòu)，其獨(dú)立驅(qū)動(dòng)上述多個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并且調(diào)整在上述副掃描方向或主掃描方向上相鄰的上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的噴頭組間的相對(duì)位置關(guān)系，并調(diào)整噴嘴間距，其中，讓上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)于上述平臺(tái)在上述主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，通過(guò)上述噴頭組向上述基體的被噴射部噴射液滴。
通過(guò)這樣，在1個(gè)軸上或平行設(shè)置的多個(gè)軸上在副掃描方向上移動(dòng)的多個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)中分別安裝噴頭組，通過(guò)位置控制裝置，獨(dú)立驅(qū)動(dòng)多個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，同時(shí)調(diào)整在副掃描方向或主掃描方向上相鄰的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的噴頭組間的相對(duì)位置關(guān)系，并調(diào)整噴嘴間距，因此，液滴噴射裝置中，能夠進(jìn)行安裝在多個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)上的噴頭組之間的噴嘴間距，從而能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的方法來(lái)進(jìn)行噴嘴間距的調(diào)整，高精度地進(jìn)行繪圖。其結(jié)果是，能夠提供一種能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的方法來(lái)進(jìn)行噴嘴間距的調(diào)整，高精度地進(jìn)行繪圖的液滴噴射裝置。
另外，作為優(yōu)選方式，上述位置控制機(jī)構(gòu)，在維持所調(diào)整的相對(duì)位置關(guān)系的狀態(tài)下，讓上述多個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)同步在上述副掃描方向上移動(dòng)。通過(guò)這樣，能夠由調(diào)整之后的噴嘴間距，對(duì)基體的全表面進(jìn)行繪圖。
另外，作為優(yōu)選方式，上述位置控制機(jī)構(gòu)，調(diào)整在上述副掃描方向或主掃描方向上相鄰的上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的噴頭組間的相對(duì)位置關(guān)系，使得上述副掃描方向的噴嘴間距為等間隔。通過(guò)這樣，能夠以較寬的繪圖寬度來(lái)在基體中繪圖，從而能夠降低成膜基體的情況下的掃描次數(shù)。
另外，作為優(yōu)選方式，上述位置控制機(jī)構(gòu)，調(diào)整在上述副掃描方向或主掃描方向上相鄰的上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的噴頭組間的相對(duì)位置關(guān)系，使得上述副掃描方向的噴嘴間距的線密度提高。通過(guò)這樣，能夠由所期望的噴嘴間距來(lái)進(jìn)行高密度的繪圖。
另外，作為優(yōu)選方式，上述被噴射部的俯視圖，呈由長(zhǎng)邊與短邊所決定的略矩形形狀，上述平臺(tái)保持上述基體，使得上述長(zhǎng)邊方向平行于上述副掃描方向，上述邊方向平行于上述主掃描方向。通過(guò)這樣，能夠向矩形形狀的被噴射部噴射液滴。
另外，作為優(yōu)選方式，構(gòu)成上述噴頭組的噴頭的噴嘴列，被設(shè)置為平行于上述副掃描方向。通過(guò)這樣，能夠以較寬的繪圖寬度高精度地噴射液滴。
另外，作為優(yōu)選方式，構(gòu)成上述噴頭組的噴頭的噴嘴列，被設(shè)置在傾斜于上述副掃描方向的方向上。通過(guò)這樣，能夠高精度地噴射液滴。
另外，作為優(yōu)選方式，在電光學(xué)裝置的制造方法中使用本發(fā)明的液滴噴射裝置。通過(guò)這樣，能夠高精度地繪圖電光學(xué)裝置。
另外，作為優(yōu)選方式，電光學(xué)裝置使用本發(fā)明的液滴噴射裝置來(lái)進(jìn)行制造。通過(guò)這樣，能夠提供一種能夠進(jìn)行高品質(zhì)的顯示等的電光學(xué)裝置。
另外，作為優(yōu)選方式，電子機(jī)器中安裝有本發(fā)明的電光學(xué)裝置。通過(guò)這樣，能夠提供一種安裝有能夠進(jìn)行高品質(zhì)的顯示等的電光學(xué)裝置的電子機(jī)器。


圖1為表示實(shí)施例的相關(guān)液滴噴射裝置的模式圖。
圖2為表示實(shí)施例的相關(guān)承載器的模式圖。
圖3為表示實(shí)施例的相關(guān)噴頭的模式圖。
圖4-1為表示實(shí)施例的相關(guān)噴頭的噴射部的模式圖。
圖4-2為表示實(shí)施例的相關(guān)噴頭的噴射部的模式圖。
圖5為表示實(shí)施例的相關(guān)噴頭組中的噴頭的相對(duì)位置關(guān)系的模式圖。
圖6為表示實(shí)施例的相關(guān)控制部的模式圖。
圖7-1為表示實(shí)施例的相關(guān)噴頭驅(qū)動(dòng)部的模式圖。
圖7-2為表示實(shí)施例的相關(guān)噴頭驅(qū)動(dòng)部中的驅(qū)動(dòng)信號(hào)、選擇信號(hào)以及噴射信號(hào)的時(shí)序圖。
圖8為用來(lái)表示實(shí)施例的相關(guān)液滴噴射裝置的涂敷方法的一例的模式圖。
圖9-1為表示第1承載器與第2承載器的相對(duì)位置關(guān)系的變形例的模式圖。
圖9-2為表示噴頭的排列的變形例的模式圖。
圖10-1為表示承載器的變形例1的模式圖。
圖10-2為表示承載器的變形例1的模式圖。
圖11為表示承載器的變形例2的模式圖。
圖12為表示彩色濾光片制造工序的流程圖。
圖13-1為順次表示制造工序的彩色濾光片的模式剖視圖。
圖13-2為順次表示制造工序的彩色濾光片的模式剖視圖。
圖13-3為順次表示制造工序的彩色濾光片的模式剖視圖。
圖13-4為順次表示制造工序的彩色濾光片的模式剖視圖。
圖13-5為順次表示制造工序的彩色濾光片的模式剖視圖。
圖14為表示使用實(shí)施例的相關(guān)彩色濾光片的液晶裝置的概要構(gòu)成的要部剖視圖。
圖15為表示使用實(shí)施例的相關(guān)彩色濾光片的第2例液晶裝置的概要構(gòu)成的要部剖視圖。
圖16為表示使用實(shí)施例的相關(guān)彩色濾光片的第3例液晶裝置的概要構(gòu)成的要部剖視圖。
圖17為表示作為有機(jī)EL裝置的顯示裝置的要部剖視圖。
圖18為表示作為有機(jī)EL裝置的顯示裝置的制造工序的流程圖。
圖19為表示有機(jī)物圍堰的形成的工序圖。
圖20為表示無(wú)機(jī)物圍堰的形成的工序圖。
圖21為表示形成空穴注入/輸送層的過(guò)程的工序圖。
圖22為表示所形成的空穴注入/輸送層的狀態(tài)的工序圖。
圖23為表示形成藍(lán)色發(fā)光層的過(guò)程的工序圖。
圖24為表示所形成藍(lán)色發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。
圖25為表示所形成各色發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。
圖26為表示陰極的形成工序圖。
圖27為表示作為等離子顯示裝置(PDP裝置)的顯示裝置的要部分解立體圖。
圖28為表示作為電子發(fā)射裝置(FED裝置)的顯示裝置的要部剖視圖。
圖29-1為表示具有實(shí)施例的相關(guān)電光學(xué)裝置的個(gè)人計(jì)算機(jī)的立體圖。
圖29-2為表示具有實(shí)施例的相關(guān)電光學(xué)裝置的移動(dòng)電話的立體圖。
圖中100-液滴噴射裝置，102-噴射掃描部，103-承載器，103A-第1承載器，103B-第2承載器，104-第1位置控制裝置，106-平臺(tái)，107A-第1傳動(dòng)軸，107B-第2傳動(dòng)軸，108-第2位置控制裝置，111-液狀體材料，112-控制部，114-噴頭，114G-噴頭組，116A、116B-噴嘴列，118-噴嘴，118R-基準(zhǔn)噴嘴，124-振子，124A、124B-電極，124C-壓電元件，127-噴射部，203-驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部，208-噴頭驅(qū)動(dòng)部，300-基體，301-圍堰，302-被噴射部，401-承載器，401A-第1承載器，401B-第2承載器，401C-第3承載器，402-傳動(dòng)軸，403G-噴頭組，410-承載器，411A-第1承載器，411B-第2承載器，411C-第3承載器，412-傳動(dòng)軸，431-承載器，431A-第1承載器，431B-第2承載器，432-第1傳動(dòng)軸，441A-第3承載器，441B-第4承載器，442-第2傳動(dòng)軸。
具體實(shí)施例方式
下面對(duì)照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，本實(shí)施例并不對(duì)本發(fā)明進(jìn)行限定。另外，下述實(shí)施例中的構(gòu)成要素中，包括本領(lǐng)域技術(shù)人員所能夠容易地進(jìn)行設(shè)想或?qū)嵸|(zhì)上相同的裝置。
(實(shí)施例)下面對(duì)本發(fā)明的相關(guān)液滴噴射裝置、電光學(xué)裝置、電光學(xué)裝置的制造方法以及電子機(jī)器的最佳實(shí)施方式，以[液滴噴射裝置]、[電光學(xué)裝置的制造]、[在電子機(jī)器中的應(yīng)用]為順序進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
下面按照(液滴噴射裝置的整體構(gòu)成)、(承載器)、(噴頭)、(噴頭組)、(控制部)、(涂敷方法)、(相對(duì)位置關(guān)系調(diào)整的變形例)、(噴頭排列的變形例)、(承載器的變形例1)、(承載器的變形例2)的順序，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例的相關(guān)液滴噴射裝置進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
(液滴噴射裝置的整體構(gòu)成)圖1為表示液滴噴射裝置100的整體構(gòu)成的模式圖。液滴噴射裝置100，如圖1所示，具有保持液狀體材料111的儲(chǔ)液槽101、軟管110、經(jīng)軟管110被供給來(lái)自儲(chǔ)液槽101的液狀體材料111的噴射掃描部102。噴射掃描部102具有保持多個(gè)噴頭114(圖2)的承載器(移動(dòng)機(jī)構(gòu))103、控制承載器103的位置的第1位置控制裝置104、保持后述的基體的平臺(tái)106、控制平臺(tái)106的位置的第2位置控制裝置108以及控制部112。儲(chǔ)液槽101與承載器103中的多個(gè)噴頭114，通過(guò)軟管110連接起來(lái)，從儲(chǔ)液槽101分別向多個(gè)噴頭113提供液狀體材料111。
第1位置控制裝置104，根據(jù)來(lái)自控制部112的信號(hào)，將承載器103沿著X軸方向(副掃描方向)，以及垂直于X軸方向的Z軸方向移動(dòng)。另外，第1位置控制裝置104，還具有讓承載器103圍繞平行于Z軸的軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的功能。本實(shí)施例中，Z軸方向是平行于鉛直方向(也即重力加速度的方向)的方向。第2位置控制裝置108，根據(jù)來(lái)自控制部112的信號(hào)，將平臺(tái)106沿著垂直于X軸方向以及Z軸方向雙方的Y軸方向(主掃描方向)移動(dòng)。另外，第1位置控制裝置104，還具有讓平臺(tái)106圍繞平行于Z軸的軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的功能。另外，本說(shuō)明書(shū)中，將第1位置控制裝置104與第2位置控制裝置108稱作“掃描部”。
平臺(tái)106具有平行于X軸方向與Y軸方向這兩個(gè)方向的平面。另外，平臺(tái)106能夠?qū)⒕哂袘?yīng)當(dāng)涂敷給定材料的被噴射部的基體，固定并保持在該平面上。另外，本說(shuō)明書(shū)中有時(shí)將具有被噴射部的基體稱作“受容基體”。
本說(shuō)明書(shū)中的X軸方向、Y軸方向以及Z軸方向，與承載器103以及平臺(tái)106中的任一方向另一方相對(duì)移動(dòng)的方向一致。另外，將規(guī)定X軸方向、Y軸方向以及Z軸方向的XYZ坐標(biāo)系的假想原點(diǎn)，固定在液滴噴射裝置100的基準(zhǔn)部分。本說(shuō)明書(shū)中，X坐標(biāo)、Y坐標(biāo)以及Z坐標(biāo)是該XYZ坐標(biāo)系中的坐標(biāo)。另外，上述的假想原點(diǎn)，既可以固定在平臺(tái)106中，又可以固定在承載器103中。
如上所述，通過(guò)第1位置控制器104將承載器103在X軸方向上移動(dòng)。另外，通過(guò)第2位置控制器108將平臺(tái)106在Y軸方向上移動(dòng)。也即，通過(guò)第1位置控制裝置104以及第2位置控制裝置108，變更噴頭114相對(duì)平臺(tái)106的位置。具體地說(shuō)，通過(guò)上述動(dòng)作，將承載器103、噴頭組114G(圖2)，噴頭114或噴嘴118(圖3)，相對(duì)以平臺(tái)106定位的被噴射部，在Z軸方向上保持給定的距離，同時(shí)在X軸方向以及Y軸方向上相對(duì)移動(dòng)，也即相對(duì)掃描。這里，也可以讓承載器103相對(duì)靜止的被噴射部在Y軸方向上移動(dòng)。這樣，可以在承載器103沿著Y軸方向在給定的2點(diǎn)之間移動(dòng)時(shí)，從噴嘴118中向靜止的被噴射部噴射材料111?！跋鄬?duì)移動(dòng)”或“相對(duì)掃描”，包括讓噴射液狀體材料111的一側(cè)，與該噴射物所著落的一側(cè)(被噴射部側(cè))中的至少一方，相對(duì)另一方移動(dòng)。
另外，承載器103、噴頭組114G(圖2)，噴頭114或噴嘴118(圖3)相對(duì)移動(dòng)是指，變更它們相對(duì)平臺(tái)、基體或被噴射部的位置。因此，本說(shuō)明書(shū)中，在承載器103、噴頭組114G，噴頭114或噴嘴118相對(duì)液滴噴射裝置100靜止，而只讓平臺(tái)106移動(dòng)的情況下，也表述為承載器103、噴頭組114G，噴頭114或噴嘴118相對(duì)平臺(tái)106、基體或被噴射部移動(dòng)。另外，有時(shí)候?qū)⑾鄬?duì)掃描或相對(duì)移動(dòng)，與材料的噴射組合起來(lái)表述為“涂敷掃描”。
承載器103以及平臺(tái)106還具有上述以外的平行移動(dòng)以及旋轉(zhuǎn)的自由度。但本發(fā)明中，為了讓說(shuō)明增加容易理解，而省略了上述自由度以外的自由度。
控制部112，從外部信息處理裝置接收表示應(yīng)當(dāng)噴射液狀體材料111的相對(duì)位置的噴射數(shù)據(jù)。關(guān)于控制部112的詳細(xì)構(gòu)成以及功能，將在后面說(shuō)明。
(承載器)圖2為從平臺(tái)106側(cè)觀察承載器103的圖，垂直于圖2的紙面的方向?yàn)閆軸方向。另外，圖2的紙面的左右方向?yàn)閄軸方向(副掃描方向)，紙面的上下方向?yàn)閅軸方向(主掃描方向)。
如圖2所示，承載器(移動(dòng)機(jī)構(gòu))103，由設(shè)置在同一個(gè)XY平面上的第1承載器103A(移動(dòng)機(jī)構(gòu))，與第2承載器103B(移動(dòng)機(jī)構(gòu))構(gòu)成。第1承載器103A，按照第1位置控制裝置104的控制，在延伸在X軸方向上的第1傳動(dòng)軸107A上在X軸方向上移動(dòng)。第2承載器103B，按照第1位置控制裝置104的控制，在與第1傳動(dòng)軸107A平行且設(shè)置在同一個(gè)XY平面上的第2傳動(dòng)軸107B上在X軸方向上移動(dòng)。通過(guò)這樣，第1承載器103A與第2承載器103B能夠在X軸方向上獨(dú)立移動(dòng)。
第1、第2承載器103A、103B分別保持有噴頭組114G。噴頭組114G分別由4個(gè)噴頭114構(gòu)成，各個(gè)噴頭114的排列相同。噴頭114具有設(shè)置了多個(gè)后述的噴嘴118的底面。噴頭114的底面形狀是具有兩個(gè)長(zhǎng)邊與兩個(gè)短邊的多邊形。如圖2所示，第1、第2承載器103A、103B所保持的噴頭114的底面朝向平臺(tái)106側(cè)，另外，噴頭114的長(zhǎng)邊方向與短邊方向分別平行于X軸方向與Y軸方向。另外，關(guān)于噴頭114互相之間的相對(duì)位置關(guān)系，將在后面進(jìn)行說(shuō)明。
第1位置控制裝置104，為了對(duì)第1承載器103A的噴頭組114G與第2承載器103B的噴頭組114G之間的噴嘴間距進(jìn)行調(diào)整，讓第1承載器103A與第2承載器103B相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)行相對(duì)位置的調(diào)整，使得第1承載器103A的噴頭組114G與第2承載器103B的噴頭組114G之間的噴嘴間距為給定的距離。圖2中顯示了將第1承載器103A的噴頭組114G與第2承載器103B的噴頭組114G在X軸方向上并列，繪圖寬度變?yōu)?倍的情況?？梢钥紤]各種方法，作為進(jìn)行第1承載器103A與第2承載器103B的相對(duì)位置關(guān)系的調(diào)整的方法，例如以下所示的第1以及第2方法。
(1)第1方法在第1承載器103A與第2承載器103B設(shè)置在給定位置的情況下，對(duì)應(yīng)于測(cè)試圖案，在基體11上繪圖液狀體材料111。測(cè)量出繪圖在基體上的第1承載器103A的噴頭組114G與第2承載器103B的噴頭組114G之間接縫部位的圖案偏移量，將第1承載器103A與第2承載器103B相對(duì)移動(dòng)該偏移量，通過(guò)這樣來(lái)調(diào)整噴嘴間距。
(2)第2方法在第1承載器103A與第2承載器103B的噴頭組114G的噴嘴中插別針，用照相機(jī)拍攝兩個(gè)別針并測(cè)量出兩個(gè)別針之間的距離，計(jì)算出測(cè)定具有與目標(biāo)距離之間的偏移量，將第1承載器103A與第2承載器103B相對(duì)移動(dòng)該偏移量，通過(guò)這樣來(lái)調(diào)整噴嘴間距。
調(diào)整了相對(duì)位置關(guān)系之后，第1位置控制裝置104，在保持所調(diào)整的第1承載器103A與第2承載器103B相對(duì)位置關(guān)系的狀態(tài)下，將第1承載器103A與第2承載器103B同步在X軸方向上移動(dòng)。這里，雖然讓相對(duì)位置關(guān)系調(diào)整之后的第1承載器103A與第2承載器103B同步移動(dòng)，但不一定需要同步，只要在移動(dòng)后能夠維持相對(duì)位置關(guān)系就可以。以下的說(shuō)明中也一樣。
另外，這里噴頭組114G分別具有4個(gè)噴頭，但噴頭組114G所具有的噴頭數(shù)并沒(méi)有限制，另外，噴頭也可以是1個(gè)。本說(shuō)明書(shū)中，噴頭組是指1個(gè)或多個(gè)噴頭的集合。
(噴頭)圖3中顯示了噴頭114的底面。噴頭114具有排列在X軸方向上的多個(gè)噴嘴118。這些多個(gè)噴嘴118被設(shè)置為噴頭114的X軸方向的噴嘴間距HXP約為70μm。這里，“噴頭114的X軸方向的噴嘴間距HXP”，相當(dāng)于將噴頭114中的所有噴嘴118沿著Y軸方向投影到X軸上所得到的多個(gè)噴嘴像之間的間距。
本實(shí)施例中，噴頭114中的多個(gè)噴嘴118，均由在X軸方向上延伸的噴嘴列116A與噴嘴列116B構(gòu)成。嘴列116A與噴嘴列116B排列在Y軸方向上。嘴列116A與噴嘴列116B中，分別有180個(gè)噴嘴118以一定的間隔在X軸方向排列成一列。本實(shí)施例中，該一定的間隔大約為140μm。也即，噴嘴列116A的噴嘴間距LNP，與噴嘴列116B的噴嘴間距LNP都大約為140μm。
噴嘴列116B的位置相對(duì)噴嘴列116A的位置，向X軸方向的正方向(圖3的右方)偏移了噴嘴間距LNP的一半(大約70μm)。因此，噴頭114的X方向的噴嘴間距HXP，為噴嘴列116A(或噴嘴列116B)的噴嘴間距LNP的一半長(zhǎng)度(約70μm)。
因此，噴頭114的X軸方向的噴嘴線密度，為噴嘴列116A(或噴嘴列116B)的噴嘴線密度的2倍。另外，本說(shuō)明書(shū)中，“X軸方向的噴嘴線密度”是相當(dāng)于將多個(gè)噴嘴沿著Y軸方向投影到X軸上所得到的多個(gè)噴嘴像的單位長(zhǎng)度的數(shù)字。
當(dāng)然，噴頭114中所包含的噴嘴列的數(shù)目并不一定是2個(gè)。噴頭114可以包含有M個(gè)噴嘴列。這里，M為1以上的自然數(shù)。這種情況下，M個(gè)噴嘴列各自中的多個(gè)噴嘴118，以噴嘴間距HXP的M倍長(zhǎng)度的間距進(jìn)行排列。另外，在M為2以上的自然數(shù)的情況下，相對(duì)M個(gè)噴嘴列中的一個(gè)，另一個(gè)(M-1)噴嘴列在X軸方向上無(wú)重復(fù)地偏移噴嘴間距HXP的i倍長(zhǎng)度。這里，i為從1到(M-1)的自然數(shù)。
由于噴嘴列116A與噴嘴列116B分別由180個(gè)噴嘴構(gòu)成，因此，1個(gè)噴頭114具有360個(gè)噴嘴。但將噴嘴列116A的兩端的各10個(gè)噴嘴設(shè)為“休眠噴嘴”。同樣，將噴嘴列116B的兩端的各10個(gè)噴嘴設(shè)為“休眠噴嘴”。這樣，不從這40個(gè)“休眠噴嘴”中噴射液狀體材料111。因此，噴頭114的360個(gè)噴嘴118中，有320個(gè)噴嘴118具有噴射液狀體材料111的功能。本說(shuō)明書(shū)中，將這320個(gè)噴嘴118表述為“噴射噴嘴”。
本說(shuō)明書(shū)中，為了對(duì)噴頭114之間的相對(duì)位置關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明，而將噴嘴列116A中所包括的180個(gè)噴嘴118中，將左起第11個(gè)噴嘴118標(biāo)記為噴頭114的“基準(zhǔn)噴嘴118R”。也即，噴嘴列116A中的160個(gè)噴射噴嘴中，最左側(cè)的噴射噴嘴為噴頭114的“基準(zhǔn)噴嘴118R”。另外，“基準(zhǔn)噴嘴118R”的位置也可以不是上述位置，只要對(duì)所有的噴頭114指定“基準(zhǔn)噴嘴118R”的方法相同就可以。
如圖4-1以及圖4-2所示，各個(gè)噴頭114是噴墨頭。更具體地說(shuō)，各個(gè)噴頭114具有振動(dòng)板126與噴嘴板128。通常充滿從儲(chǔ)液槽101經(jīng)孔131所提供液狀的材料111的儲(chǔ)液室129，位于振動(dòng)板126與噴嘴板128之間。
另外，多個(gè)分隔壁位于振動(dòng)板126與噴嘴板128之間。這樣，通過(guò)振動(dòng)板126、噴嘴板128以及一對(duì)分隔壁122所包圍的部分是空腔120。由于空腔120與噴嘴118對(duì)應(yīng)設(shè)置，因此，空腔120的數(shù)目與噴嘴118的數(shù)目相同?？涨?20中，經(jīng)位于1對(duì)分隔壁122之間的供給口130，被儲(chǔ)液室129提供液狀體材料111。
振子124分別與各個(gè)空腔相對(duì)應(yīng)，位于振動(dòng)板126上。振子124包括壓電元件124C以及夾持壓電元件124C的1對(duì)電極124A、124B。通過(guò)給這一對(duì)電極124A、124B之間加載驅(qū)動(dòng)電壓，從對(duì)應(yīng)的噴嘴118中噴射液狀體材料111。另外，調(diào)整噴嘴118的形狀，從而讓噴嘴118向Z軸方向噴射液狀體材料。
這里，本說(shuō)明書(shū)中的“液狀體材料”是指，具有能夠從噴嘴噴射的粘度的材料。這種情況下，不管材料是水性的還是油性的。只要具有能夠從噴嘴噴射的流動(dòng)性(粘度)就可以了，即使混有固體物質(zhì)但只要整體上是流體就可以。
控制部112(圖1)可以向多個(gè)振子124分別提供互相獨(dú)立的信號(hào)。也即，從噴嘴118中所噴射的材料111的體積，可以根據(jù)來(lái)自控制部112的信號(hào)，在每個(gè)噴嘴118中進(jìn)行控制。這種情況下，從噴嘴118所分別噴射的材料111的體積在0pl～42pl(微微升)之間可變。另外，控制部112如后所述，在涂敷掃描時(shí)，還能夠設(shè)定進(jìn)行噴射動(dòng)作的噴嘴118，與不進(jìn)行噴射動(dòng)作的噴嘴118。
本說(shuō)明書(shū)中，有時(shí)將包括1個(gè)噴嘴18、對(duì)應(yīng)于噴嘴118的空腔120以及對(duì)應(yīng)于空腔120的振子124的部分，表述為“噴射部127”。根據(jù)該表述，1個(gè)噴頭114具有與噴嘴118的數(shù)目相同數(shù)目的噴射部127。噴射部127也可以具有電氣熱變換元件，來(lái)代替壓電元件。也即，噴射部127也可以利用電氣熱變換元件對(duì)材料的熱膨脹，來(lái)噴射材料。
(噴頭組)接下來(lái)，對(duì)噴頭組114G中的4個(gè)噴頭114的相對(duì)位置關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。圖5中顯示了在圖2的承載器103(第1、第2承載器103A、103B)中，在Y軸方向上相鄰的2個(gè)噴頭組114G。
如圖5所示，各個(gè)噴頭組114G由4個(gè)噴頭114構(gòu)成。配置噴頭組114G中的4個(gè)噴頭114，使得噴頭組114G的X軸方向的噴嘴間距GXP，為噴頭114的X軸方向的噴嘴間距HXP的1/4倍長(zhǎng)。更具體地說(shuō)，讓1個(gè)噴頭114的基準(zhǔn)噴嘴118R的X坐標(biāo)，位于相對(duì)另一個(gè)噴頭114的基準(zhǔn)噴嘴118R的X坐標(biāo)，在X方向上無(wú)重復(fù)地偏移噴嘴間距HXP的j/4倍的長(zhǎng)度處。這里，j為1到3之間的自然數(shù)。因此，噴頭組114G的X方向的噴嘴間距GXP，為噴嘴間距HXP的1/4倍。
本實(shí)施例中，由于噴頭114的X軸方向噴嘴間距HXP約為70μm，因此，噴頭組114G的X方向的噴嘴間距GXP為其1/4倍，也即17.5μm。這里，“噴頭組114G的X方向的噴嘴間距GXP”，相當(dāng)于將噴頭組114G中的所有噴嘴118，沿著Y軸方向投影到X軸上所得到的多個(gè)噴嘴像之間的間距。
當(dāng)然，噴頭組114G中所包括的噴頭114的個(gè)數(shù)，并不僅限于4個(gè)。噴頭組114G可以由N個(gè)噴頭114構(gòu)成。這里，N為2以上的自然數(shù)。這種情況下，配置噴頭組114G中的N個(gè)噴頭114，使得噴嘴間距GXP為噴嘴間距HXP的1/N倍長(zhǎng)?；蛘撸屢粋€(gè)(N-1)噴頭114的基準(zhǔn)噴嘴118R的X坐標(biāo)，位于相對(duì)第N個(gè)噴頭114的基準(zhǔn)噴嘴118R的X坐標(biāo)，無(wú)重復(fù)地偏移噴嘴間距HXP的j/N倍的長(zhǎng)度。這里，j為1到(N-1)之間的自然數(shù)。
下面對(duì)本實(shí)施例的噴頭114的相對(duì)位置關(guān)系進(jìn)行更加具體地說(shuō)明。
首先，為了讓說(shuō)明較容易，將圖5的左上方的噴頭組114G中所包括的4個(gè)噴頭114，從上向下分別標(biāo)記為噴頭1141、噴頭1142、噴頭1143、噴頭1144。同樣，將圖5的右下方的噴頭組114G中所包括的4個(gè)噴頭114，從上向下分別標(biāo)記為噴頭1145、噴頭1146、噴頭1147、噴頭1148。
接下來(lái)，將噴頭1141中的噴嘴列116A、116B標(biāo)記為噴嘴列1A、1B，將噴頭1142中的噴嘴列116A、116B標(biāo)記為噴嘴列2A、2B，將噴頭1143中的噴嘴列116A、116B標(biāo)記為噴嘴列3A、3B，將噴頭1144中的噴嘴列116A、116B標(biāo)記為噴嘴列4A、4B，將噴頭1145中的噴嘴列116A、116B標(biāo)記為噴嘴列5A、5B，將噴頭1146中的噴嘴列116A、116B標(biāo)記為噴嘴列6A、6B，將噴頭1147中的噴嘴列116A、116B標(biāo)記為噴嘴列7A、7B，將噴頭1148中的噴嘴列116A、116B標(biāo)記為噴嘴列8A、8B。
這些噴嘴列1A～8B實(shí)際上分別由180個(gè)噴嘴118構(gòu)成。如上所述，各個(gè)噴嘴列1A～8B中，該180個(gè)噴嘴排列在X軸方向上。但圖5中為了便于說(shuō)明，將各個(gè)噴嘴列1A～8B分別繪圖成由4個(gè)噴射噴嘴(噴嘴118)構(gòu)成。另外，圖5中，噴嘴列1A的最左側(cè)的噴嘴118為噴頭1141的基準(zhǔn)噴嘴118R，噴嘴列2A的最左側(cè)的噴嘴118為噴頭1142的基準(zhǔn)噴嘴118R，噴嘴列3A的最左側(cè)的噴嘴118為噴頭1143的基準(zhǔn)噴嘴118R，噴嘴列4A的最左側(cè)的噴嘴118為噴頭1144的基準(zhǔn)噴嘴118R，噴嘴列5A的最左側(cè)的噴嘴118為噴頭1145的基準(zhǔn)噴嘴118R。
噴頭1141的基準(zhǔn)噴嘴118R的X坐標(biāo)，與噴頭1142的基準(zhǔn)噴嘴118R的X坐標(biāo)之間的差的絕對(duì)值，是噴嘴間距LNP的1/4倍的長(zhǎng)度，也即噴嘴間距HXP的1/2倍。圖5的例子中，噴頭1141的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置，相對(duì)噴頭1142的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置，向噴頭X軸方向的負(fù)方向(圖5的左方)偏移了噴嘴間距LNP的1/4倍的長(zhǎng)度。但噴頭1141相對(duì)噴頭1142偏移的方向，也可以是X軸方向的正方向(圖5的右方)。
噴頭1143的基準(zhǔn)噴嘴118R的X坐標(biāo)，與噴頭1144的基準(zhǔn)噴嘴118R的X坐標(biāo)之間的差的絕對(duì)值，是噴嘴間距LNP的1/4倍，也即噴嘴間距HXP的1/2倍的長(zhǎng)度。圖5的例子中，噴頭1143的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置，相對(duì)噴頭1144的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置，向噴頭X軸方向的負(fù)方向(圖5的左方)偏移了噴嘴間距LNP的1/4倍的長(zhǎng)度。但噴頭1143相對(duì)噴頭1144偏移的方向，也可以是X軸方向的正方向(圖5的右方)。
噴頭1142的基準(zhǔn)噴嘴118R的X坐標(biāo)，與噴頭1143的基準(zhǔn)噴嘴118R的X坐標(biāo)之間的差的絕對(duì)值，是噴嘴間距LNP的1/8或3/8，也即噴嘴間距HXP的1/4倍或3/4倍的長(zhǎng)度。圖5的例子中，噴頭1142的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置，相對(duì)噴頭1143的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置，向噴頭X軸方向的正方向(圖5的右方)偏移了噴嘴間距LNP的1/8，也即17.5μm。但噴頭1142相對(duì)噴頭1143偏移的方向，也可以是X軸方向的負(fù)方向(圖5的左方)。
本實(shí)施例中，噴頭1141、噴頭1142、噴頭1143、噴頭1144順次向Y軸方向的負(fù)方向(圖面的下方)排列。但排列在Y軸方向上的這4個(gè)噴頭114的順序，可以不是本實(shí)施例的順序。具體地說(shuō)，只要讓噴頭1141與噴頭1142在Y軸方向上相鄰，同時(shí)，讓噴頭1143與噴頭1144在Y軸方向上相鄰就可以了。
通過(guò)上述配置，在噴嘴列1A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)與噴嘴列1B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)之間，包括進(jìn)噴嘴列2A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)、噴嘴列3A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)以及噴嘴列4A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)。同樣，在噴嘴列1B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)與噴嘴列1A的左起第2個(gè)的噴嘴118的X坐標(biāo)之間，包括進(jìn)噴嘴列2B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)、噴嘴列3B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)以及噴嘴列4B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)。在噴嘴列1A的另一個(gè)噴嘴118的X坐標(biāo)與噴嘴列1B的另一個(gè)噴嘴118的X坐標(biāo)之間，同樣包括進(jìn)噴嘴列2A(或2B)的噴嘴118的X坐標(biāo)、噴嘴列3A(或3B)的噴嘴118的X坐標(biāo)以及噴嘴列4A(或4B)的噴嘴118的X坐標(biāo)。
更具體地說(shuō)，通過(guò)上述噴頭配置，噴嘴列1B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)，幾乎位于噴嘴列1A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)與噴嘴列1A的左起第2個(gè)的噴嘴118的X坐標(biāo)的正中間。噴嘴列2A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)，幾乎位于噴嘴列1A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)與噴嘴列1B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)的正中間。噴嘴列2B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)，幾乎位于噴嘴列1A的左起第2個(gè)噴嘴118的X坐標(biāo)與噴嘴列1B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)的正中間。噴嘴列3A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)，幾乎位于噴嘴列1A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)與噴嘴列2A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)的正中間。噴嘴列3B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)，幾乎位于噴嘴列1B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)與噴嘴列2B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)的正中間。噴嘴列4A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)，幾乎位于噴嘴列1B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)與噴嘴列2A的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)的正中間。噴嘴列4B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)，幾乎位于噴嘴列1A的左起第2個(gè)噴嘴118的X坐標(biāo)與噴嘴列2B的最左側(cè)的噴嘴118的X坐標(biāo)的正中間。
圖5的右下方的噴頭組114G中的噴頭1145、1146、1147、1148的配置，也即構(gòu)造，與噴頭1141、1142、1143、1144的配置相同。
接下來(lái)，在X軸方向相鄰的2個(gè)噴頭組114G之間的相對(duì)位置關(guān)系，像下述的關(guān)系那樣，對(duì)第1承載器103A與第2承載器103B之間的相對(duì)位置關(guān)系進(jìn)行調(diào)整。下面根據(jù)噴頭1145與噴頭1141之間的關(guān)系，對(duì)在X軸方向上相鄰的2個(gè)噴頭組114G之間的相對(duì)位置關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。
噴頭1145的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置，從噴頭1141的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置出發(fā)，向X軸方向的正方向，偏移噴頭114的X軸方向的噴嘴間距HXP與噴頭114中的噴射噴嘴數(shù)目的乘積的長(zhǎng)度。本實(shí)施例中，噴嘴間距HXP約為70μm，同時(shí)，1個(gè)噴頭114中的噴射噴嘴的個(gè)數(shù)為320個(gè)，因此，噴頭1145的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置，從噴頭1141的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置出發(fā)，向X軸方向的正方向偏移22.4mm(70μm×320)。但是，圖5中為了便于說(shuō)明，由于噴嘴1141中的噴射噴嘴的個(gè)數(shù)為8個(gè)，因此圖中繪圖成噴頭1145的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置，偏離噴頭1141的基準(zhǔn)噴嘴118R的位置560μm(70μm×8)。
由于噴頭1141與噴頭1145如上進(jìn)行配置，因此，噴嘴列1A的最右側(cè)噴嘴的X坐標(biāo)，與噴嘴列5A的最左側(cè)噴嘴的X坐標(biāo)之間，僅偏離了噴嘴間距LNP。因此，兩個(gè)噴頭組114G整體的X軸方向的噴嘴間距，為噴頭114的X軸方向的噴嘴間距HXP的1/4倍。
另外，同樣配置6個(gè)噴頭組114G，使得作為承載器103全體的X軸方向的噴嘴間距也為17.5μm，也即噴頭114的X軸方向的噴嘴間距HXP的1/4倍的長(zhǎng)度。
(控制部)接下來(lái)，對(duì)控制部112的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。如圖6所示，控制部112具有輸入緩存器200、存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202、處理部204、掃描驅(qū)動(dòng)部206、噴頭驅(qū)動(dòng)部208。輸入緩存器200與處理部204相連接且能夠互相通信。處理部204與存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202相連接且能夠互相通信。處理部204與掃描驅(qū)動(dòng)部206相連接且能夠互相通信。處理部204與噴頭驅(qū)動(dòng)部208相連接且能夠互相通信。另外，掃描驅(qū)動(dòng)部206與第1位置控制裝置104以及第2位置控制裝置108相連接且能夠互相通信。同樣，噴頭驅(qū)動(dòng)部208與多個(gè)噴頭114相連接且能夠互相通信。
輸入緩存器200，從外部信息處理裝置接收用來(lái)進(jìn)行液狀材料111的液滴噴射的噴射數(shù)據(jù)。噴射數(shù)據(jù)包括表示基體上的所有被噴射部的相對(duì)位置的數(shù)據(jù)、表示在所有的被噴射部中將液狀體材料111涂敷到給定厚度所需要的相對(duì)掃描的次數(shù)的數(shù)據(jù)、指定具有作為打開(kāi)噴嘴118A的功能的噴嘴118的數(shù)據(jù)，以及指定具有作為關(guān)閉噴嘴118B的功能的噴嘴118的數(shù)據(jù)。關(guān)于打開(kāi)噴嘴118A與關(guān)閉噴嘴118B將在后面進(jìn)行說(shuō)明。輸入緩存器200將噴射數(shù)據(jù)提供給處理部204，處理部204將噴射數(shù)據(jù)保存在存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202中。圖6中，存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202為RAM。
處理部204根據(jù)存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202內(nèi)的噴射數(shù)據(jù)，將表示噴嘴118相對(duì)被噴射部的位置的數(shù)據(jù)發(fā)送給掃描驅(qū)動(dòng)部206。掃描驅(qū)動(dòng)部206將對(duì)應(yīng)于該數(shù)據(jù)與后述的噴射周期EP(圖7)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，發(fā)送給第1位置控制裝置104與第2位置控制裝置108。其結(jié)果是，噴頭114對(duì)被噴射部進(jìn)行相對(duì)掃描。另外，處理部204根據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202中的噴射數(shù)據(jù)，與噴射周期EP，將指定噴射時(shí)序中的每個(gè)噴嘴118的打開(kāi)·關(guān)閉的選擇信號(hào)SC發(fā)送給噴頭驅(qū)動(dòng)部208。噴頭驅(qū)動(dòng)部208根據(jù)選擇信號(hào)SC，將噴射液狀體材料111所必須的噴射信號(hào)ES發(fā)送給噴頭114。其結(jié)果是，從噴頭114中的對(duì)應(yīng)噴嘴118中，將液狀體材料111作為液滴噴射。
控制部112可以是包含有CPU、ROM、RAM的計(jì)算機(jī)。這種情況下，控制部112的上述功能，可以通過(guò)由計(jì)算機(jī)所執(zhí)行的軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)。當(dāng)然，控制部112也可以提供專用的電路(硬件)來(lái)實(shí)現(xiàn)。
接下來(lái)，對(duì)控制部112中的噴頭驅(qū)動(dòng)部208的構(gòu)成與功能進(jìn)行說(shuō)明。
如圖7-1所示，噴頭驅(qū)動(dòng)部208具有1個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203，與多個(gè)模擬開(kāi)關(guān)AS。如圖7-2所示，驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203生成驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS。驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS的電位，相對(duì)基準(zhǔn)電位L在時(shí)間上進(jìn)行變化。具體地說(shuō)，驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS包含有在噴射周期EP反復(fù)的多個(gè)噴射波形P。這里，噴射波形P為了從噴嘴118噴射1個(gè)液滴，與對(duì)應(yīng)的振子124的一對(duì)電極之間所應(yīng)當(dāng)加載的驅(qū)動(dòng)電壓波形相對(duì)應(yīng)。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS被提供給模擬開(kāi)關(guān)AS的各個(gè)輸入端。模擬開(kāi)關(guān)AS被設(shè)置為與噴射部127分別相對(duì)應(yīng)。也即，模擬開(kāi)關(guān)AS的數(shù)目與噴射部127的數(shù)目(也即噴嘴118的數(shù)目)相同。
處理部204，將表示噴嘴118的打開(kāi)·關(guān)閉的選擇信號(hào)SC，分別發(fā)送給模擬開(kāi)關(guān)AS。這里，選擇信號(hào)SC，讓每個(gè)模擬開(kāi)關(guān)AS分別獨(dú)立取得高電平與低電平中的任一個(gè)狀態(tài)。另外，模擬開(kāi)關(guān)AS，對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS與選擇信號(hào)SC，給振子124的電極124A提供噴射信號(hào)ES。具體地說(shuō)，在選擇信號(hào)SC為高電平的情況下，模擬開(kāi)關(guān)AS將驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS作為噴射信號(hào)ES，傳送給電極124A。另外，在選擇信號(hào)SC為低電平的情況下，模擬開(kāi)關(guān)AS所輸出的噴射信號(hào)ES的電位變?yōu)榛鶞?zhǔn)電位L。將驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS發(fā)送給振子124的電極124A之后，便從該振子124相對(duì)應(yīng)的噴嘴118中噴射液狀體材料111。另外，將基準(zhǔn)電位L發(fā)送給各個(gè)振子124的電極124B。
圖7-2所示的例子中，2個(gè)噴射信號(hào)ES各自中，在兩個(gè)選擇信號(hào)SC中分別設(shè)置高電平期間與低電平期間，以使周期為噴射周期EP的兩倍的2EP的噴射波形P出現(xiàn)。通過(guò)這樣，從相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)噴嘴118中，分別以周期2EP噴射液狀體材料111。另外，將來(lái)自共同驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203的共同驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS，分別發(fā)送給對(duì)應(yīng)于這兩個(gè)噴嘴118的振子124。因此，兩個(gè)噴嘴118以幾乎相同的時(shí)序噴射液狀體材料111。
通過(guò)上述構(gòu)成，液滴噴射裝置100，根據(jù)發(fā)送給控制部112的噴射數(shù)據(jù)，進(jìn)行液狀體材料111的涂敷掃描。
(涂敷方法)對(duì)照?qǐng)D8對(duì)液滴噴射裝置100的涂敷方法的一例進(jìn)行說(shuō)明。圖8為說(shuō)明液滴噴射裝置100的涂敷方法的一例的說(shuō)明圖。圖8中，平臺(tái)106中保持基體300?；w300中，被圍堰301所區(qū)分的被噴射部302形成矩陣狀。該被噴射部302，是由象素等所形成的區(qū)域。被噴射部302的平面像，呈通過(guò)長(zhǎng)邊與短邊所決定的略矩形狀。平臺(tái)106保持基體300，使得基體300的被噴射部302的長(zhǎng)邊方向平行于X軸方向，且短邊方向平行于Y軸方向。
圖8中，首先，第1位置控制裝置104將第1承載器103A的位置與平臺(tái)106上的位置相一致。通過(guò)上述方法在X軸方向上移動(dòng)第2承載器103B，以使得第1承載器103A的噴頭組114G與第2承載器103B的噴頭組114G之間的接縫部的噴嘴間距為給定的噴嘴間距(圖5所示的例子中，X軸方向的噴嘴間距GSP＝17.5μm)。通過(guò)這樣，來(lái)調(diào)整第1承載器103A與第2承載器103B之間的相對(duì)位置關(guān)系。
之后，一邊讓第1、第2承載器103A、B在Y軸方向上相對(duì)平臺(tái)106移動(dòng)，一邊沿著Y軸方向，通過(guò)第1、第2承載器103A、B的噴頭組114G，向基體300的被噴射部302噴射液狀體材料111的液滴。
接下來(lái)，維持第1承載器103A與第2承載器103B的相對(duì)位置關(guān)系不變，讓第1承載器103A與第2承載器103B在X軸方向上同步移動(dòng)繪圖寬度(有效掃描寬度)的距離。之后，一邊讓第1、第2承載器103A、B在Y軸方向上相對(duì)平臺(tái)106移動(dòng)，一邊沿著Y軸方向，通過(guò)第1、第2承載器103A、B的噴頭組114G，向基體300的被噴射部302噴射液狀體材料111的液滴。執(zhí)行相同的動(dòng)作，一直到基體300的全涂敷面完成。
(相對(duì)位置關(guān)系調(diào)整的變形例)圖9-1為表示第1承載器103A與第2承載器103B的相對(duì)位置關(guān)系的變形例的模式圖。上述實(shí)施例中，將第1承載器103A的噴頭組114G與第2承載器103B的噴頭組114G排列在X軸方向上，調(diào)整第1承載器103A與第2承載器103B的相對(duì)位置關(guān)系，使得繪圖寬度變?yōu)閮杀?，但本發(fā)明并不僅限于此。例如，如圖9-1所示，將第1承載器103A的噴頭組114G與第2承載器103B的噴頭組114G排列在Y軸方向上，調(diào)整第1承載器103A與第2承載器103B的相對(duì)位置關(guān)系，使得噴嘴的線密度變大。通過(guò)這樣，作為第1、第2承載器103A、103B的相對(duì)位置關(guān)系的形態(tài)，具有排列在X軸方向上使得繪圖寬度加倍的形態(tài)，以及排列在Y軸方向上讓噴嘴的線密度成為高密度的形態(tài)這兩種。
(噴頭排列的變形例)圖9-2為說(shuō)明噴頭114的排列的變形例的模式圖。上述實(shí)施例中，將噴頭114安裝在承載器103中，使得噴嘴列平行于X軸方向。與此相對(duì)，變形例中，如圖9-2所示，將噴頭114安裝在承載器103中，使使得噴頭114的噴嘴列相對(duì)X軸方向傾斜。如該圖所示，各個(gè)噴頭組114G具有兩個(gè)噴頭114。通過(guò)將噴嘴列排列在傾斜于X軸方向的方向上，通過(guò)通過(guò)較少的噴頭數(shù)來(lái)進(jìn)行高密度的繪圖。
如上所述，本實(shí)施例的相關(guān)液滴噴射裝置100，具有分別保持包含有1個(gè)或多個(gè)具有噴嘴列的噴頭114的噴頭組114G，且在平行設(shè)置的多個(gè)傳動(dòng)軸107A、B上在副掃描方向(X軸方向)上分別移動(dòng)的第1、第2承載器103A、103B，以及獨(dú)立驅(qū)動(dòng)第1、第2承載器103A、103B，在主掃描方向(Y軸方向)上調(diào)整與相鄰的噴頭組114G之間的相對(duì)位置關(guān)系，并調(diào)整噴嘴間距的第1位置控制裝置104，讓第1、第2承載器103A、103B相對(duì)平臺(tái)106在主掃描方向(X軸方向)上相對(duì)移動(dòng)，由噴頭組114G向基體300的被噴射部302噴射液滴，因此，能夠在液滴噴射裝置100中，移動(dòng)第1、第2承載器103A、103B，進(jìn)行噴頭組114G之間的噴嘴間距的調(diào)整，從而能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的方法來(lái)進(jìn)行噴嘴間距的調(diào)整，高精度地進(jìn)行繪圖。
(承載器的變形例1)圖10為用于說(shuō)明承載器的變形例1的模式圖。上述實(shí)施例中，第1承載器103A與第2承載器103B設(shè)置在不同的傳動(dòng)軸上。與此相對(duì)，變形例1中，在同一個(gè)傳動(dòng)軸上設(shè)置多個(gè)承載器。如圖10-1所示，承載器401具有第1承載器401A、第1承載器401B、第1承載器401C。第1、第2、第3承載器401A、B、C配置在同一個(gè)傳動(dòng)軸402上。第1、第2、第3承載器401A、B、C具有相同的構(gòu)造，俯視呈現(xiàn)平行四邊形形狀，具有平行于X軸方向的兩邊，與以給定的角度傾斜于Y軸方向的平行的兩邊。
第1、第2、第3承載器401A、B、C，分別保持有噴頭組403G。噴頭組403G分別由3個(gè)噴頭114構(gòu)成，各個(gè)噴頭114的排列相同。構(gòu)成噴頭組403G的3個(gè)噴頭，排列在X軸方向上，分別配置在右上、中央、左下這3處，從而使各個(gè)噴頭114的繪圖寬度為3倍繪圖寬度。噴頭114具有設(shè)置了多個(gè)后述的噴嘴118的底面。第1、第2、第3承載器401A、B、C所保持的噴頭114的底面朝向平臺(tái)106側(cè)，另外，噴頭114的長(zhǎng)邊方向與短邊方向分別平行于X軸方向與Y軸方向。
在X軸方向上相鄰的承載器互相接近的情況下，一方的承載器的噴頭組403G的右上方噴頭114，與另一方的承載器的噴頭組403G的左下方的噴頭114，其噴嘴列的至少一部分在Y軸方向上重疊。圖中所示的例子中，第1承載器401A的噴頭組403G的右上方的噴頭114與第2承載器401B的噴頭組403G的左下方的噴頭114之間，以及第2承載器401B的噴頭組403G的右上方的噴頭114與第3承載器401C的噴頭組403G的左下方的噴頭114之間，噴嘴列的至少一部分在Y軸方向上重疊。
第1位置控制裝置104，為了調(diào)整第1承載器401A的噴頭組403G與第2承載器401B的噴頭組403G之間的噴嘴間距，讓第1承載器401A與第2承載器401B相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)行相對(duì)位置關(guān)系調(diào)整(這種情況下，還進(jìn)行θ的調(diào)整)，使得第1承載器401A的噴頭組403G與第2承載器401B的噴頭組403G之間的噴嘴間距變?yōu)榻o定的距離。相對(duì)位置關(guān)系的調(diào)整方法，可以通過(guò)與上述實(shí)施例相同的方法來(lái)進(jìn)行。
接下來(lái)，第1位置控制裝置104，為了調(diào)整第2承載器401B的噴頭組403G與第3承載器401C的噴頭組403G之間的噴嘴間距，讓第3承載器401C相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)行相對(duì)位置關(guān)系調(diào)整(這種情況下，還進(jìn)行θ的調(diào)整)，使得第2承載器401A的噴頭組403G與第3承載器401C的噴頭組403G之間的噴嘴間距變?yōu)榻o定的距離。進(jìn)行了相對(duì)位置關(guān)系的調(diào)整之后，第1位置控制裝置104，在維持相對(duì)位置關(guān)系的狀態(tài)下，讓第1、第2、第3承載器401A、B、C同步在X軸方向上移動(dòng)。像這樣，通過(guò)調(diào)整承載器之間的相對(duì)位置關(guān)系，能夠以1個(gè)噴頭組114G的3倍繪圖寬度，且通過(guò)高精度調(diào)整了的噴嘴間距進(jìn)行繪圖。
通過(guò)該變形例1的相關(guān)液滴噴射裝置100，具有分別保持包含有1個(gè)或多個(gè)具有噴嘴列的噴頭114的噴頭組403G，且在同一個(gè)傳動(dòng)軸402上在副掃描方向(X軸方向)上分別移動(dòng)的第1、第2、第3承載器401A、B、C，以及獨(dú)立驅(qū)動(dòng)第1、第2、第3承載器401A、B、C，在副掃描方向(X軸方向)上調(diào)整與相鄰的噴頭組403G之間的相對(duì)位置關(guān)系，并調(diào)整噴嘴間距的第1位置控制裝置104。讓第1、第2、第3承載器401A、B、C相對(duì)平臺(tái)106在主掃描方向(Y軸方向)上相對(duì)移動(dòng)，由噴頭組403G向基體300的被噴射部302噴射液滴，因此，能夠在液滴噴射裝置100中，移動(dòng)第1、第2、第3承載器401A、B、C，進(jìn)行噴頭組403G之間的噴嘴間距的調(diào)整，從而能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的方法來(lái)進(jìn)行噴嘴間距的調(diào)整，高精度地進(jìn)行繪圖。
上述圖10-1所示的例子中，在X軸方向上相鄰的承載器互相接近的情況下，由于一方的承載器的噴頭組403G的右上方噴頭114，與另一方的承載器的噴頭組403G的左下方的噴頭114，其噴嘴列的至少一部分在Y軸方向上重疊，因此，承載器的構(gòu)成并不僅限于平行四邊形形狀。例如，還可以如圖10-2所示，在設(shè)置在傳動(dòng)軸412上的第1、第2、第3承載器410A、B、C中形成凸部與凹部，讓在X軸方向上相連接的承載器之間的噴頭114的噴嘴列中，至少一部分在Y軸方向上重疊。
另外，變形例1中，也可以讓噴頭114的噴嘴列相對(duì)X軸方向傾斜。
(承載器的變形例2)圖11為說(shuō)明承載器的變形例2的模式圖。變形例2中，在兩個(gè)傳動(dòng)軸上分別設(shè)有多個(gè)承載器。在圖11中，第1傳動(dòng)軸432與第2傳動(dòng)軸442在同一個(gè)XY平面上平行設(shè)置。承載器431，具有設(shè)置在第1傳動(dòng)軸432上的第1、2承載器431A、431B，設(shè)置在第2傳動(dòng)軸442上的第3、4承載器441A、B。
該圖中對(duì)以1個(gè)噴頭組403G的4倍繪圖寬度進(jìn)行繪圖的情況進(jìn)行說(shuō)明。第1位置控制裝置104，為了調(diào)整第1承載器431A的噴頭組403G與第3承載器441A的噴頭組403G之間的噴嘴間距，讓第1承載器431A與第3承載器441A相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)行相對(duì)位置關(guān)系調(diào)整，使得第1承載器431A的噴頭組403G與第3承載器441A的噴頭組403G之間的噴嘴間距變?yōu)榻o定的距離。
接下來(lái)，第1位置控制裝置104，為了調(diào)整第3承載器441A的噴頭組403G與第2承載器431B的噴頭組403G之間的噴嘴間距，讓第2承載器431B相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)行相對(duì)位置關(guān)系調(diào)整(這種情況下，還進(jìn)行θ的調(diào)整)，使得第3承載器441A的噴頭組403G與第2承載器431B的噴頭組403G之間的噴嘴間距變?yōu)榻o定的距離。
最后，第1位置控制裝置104，為了調(diào)整第2承載器431B的噴頭組403G與第4承載器441B的噴頭組403G之間的噴嘴間距，讓第4承載器441B相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)行相對(duì)位置關(guān)系調(diào)整，使得第2承載器431B的噴頭組403G與第4承載器441B的噴頭組403G之間的噴嘴間距變?yōu)榻o定的距離。進(jìn)行了相對(duì)位置關(guān)系的調(diào)整之后，第1位置控制裝置104，在維持相對(duì)位置關(guān)系的狀態(tài)下，讓第1、第2、第3、第4承載器431A、B、441A、B同步在X軸方向上移動(dòng)。像這樣，通過(guò)調(diào)整承載器之間的相對(duì)位置關(guān)系，能夠以1個(gè)噴頭組114G的4倍繪圖寬度，且通過(guò)高精度調(diào)整了的噴嘴間距進(jìn)行繪圖。
這里對(duì)擴(kuò)展繪圖寬度的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以讓第1承載器431A與第3承載器441A在Y軸方向上重疊，且讓第2承載器431B與第4承載器441B在Y軸方向上重疊，調(diào)整相對(duì)位置關(guān)系，增加噴嘴的線密度。
通過(guò)該變形例2的相關(guān)液滴噴射裝置100，具有第1位置控制裝置104，該第1位置控制裝置104分別保持包含有1個(gè)或多個(gè)具有噴嘴列的噴頭114的噴頭組403G，且在平行設(shè)置的兩個(gè)傳動(dòng)軸432、442上在副掃描方向(X軸方向)上分別移動(dòng)的第1、第2承載器431A、B、第3、第4承載器441A、B，以及獨(dú)立驅(qū)動(dòng)第1、第2承載器431A、B、第3、第4承載器441A、B，在主掃描方向(Y軸方向)上調(diào)整與相鄰的噴頭組403G之間的相對(duì)位置關(guān)系，并調(diào)整噴嘴間距。使第1、第2承載器431A、431B、第3、第4承載器441A、441B相對(duì)平臺(tái)106在主掃描方向(Y軸方向)上相對(duì)移動(dòng)，由噴頭組403G向基體300的被噴射部302噴射液滴，因此，能夠在液滴噴射裝置100中，讓第1、第2承載器431A、B、第3、第4承載器441A、B相對(duì)平臺(tái)106在副掃描方向(X軸方向)上相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)行噴頭組403G之間的噴嘴間距的調(diào)整，從而能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的方法來(lái)進(jìn)行噴嘴間距的調(diào)整，高精度地進(jìn)行繪圖。
另外，變形例1中，也可以讓噴頭114的噴嘴列相對(duì)X軸方向傾斜。
接下來(lái)，對(duì)使用本實(shí)施例的液滴噴射裝置100所制造的電光學(xué)裝置(平板顯示器)，以彩色濾光片、液晶顯示裝置、有機(jī)EL裝置、PDP裝置、電子發(fā)射裝置(FED裝置、SED裝置)等為例，對(duì)其構(gòu)造以及制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先，對(duì)組裝在液晶顯示裝置或有機(jī)EL裝置等中的彩色濾光片的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖12為表示彩色濾光片的制造工序的流程圖，圖13為順次表示制造工序的本實(shí)施例的彩色濾光片500(濾光片基體500A)的模式剖視圖。
首先，在黑矩陣形成工序(S11)中，如圖13-1所示，在基板(W)501上形成黑矩陣502。黑矩陣502通過(guò)金屬鉻、金屬鉻與氧化鉻的層積體或樹(shù)脂黑等形成。形成由金屬薄膜所構(gòu)成的黑矩陣502時(shí)，可以使用噴濺法或蒸鍍法。另外，形成由樹(shù)脂薄膜所構(gòu)成的黑矩陣502時(shí)，可以使用凹板印刷法、光刻膠法、熱轉(zhuǎn)印法等。
接下來(lái)，在圍堰形成工序(S12)中，形成重疊在黑矩陣502上的圍堰503。也即，首先如圖13-2所示，以覆蓋基板501以及黑矩陣502的方式，形成底片式的由透明感光性樹(shù)脂所構(gòu)成的抗蝕層504。之后，在通過(guò)形成為矩陣圖案狀的掩膜505覆蓋其上表面的狀態(tài)下，進(jìn)行曝光處理。之后，如圖13-3所示，通過(guò)給抗蝕層504的未曝光部分實(shí)施蝕刻處理，讓抗蝕層504形成圖案，形成圍堰503。另外，在通過(guò)樹(shù)脂黑來(lái)形成黑矩陣的情況下，可以兼用黑矩陣與圍堰。該圍堰503與其下方的黑矩陣502，形成區(qū)分各個(gè)象素區(qū)域507a的隔離壁部507b，在后繼的著色層形成工序中通過(guò)噴頭114形成著色層(成膜部)508R、508G、508B時(shí)，規(guī)定液滴的著落區(qū)域。
通過(guò)以上的黑矩陣形成工序以及圍堰形成工序，得到了上述薄膜基體500A。另外，本實(shí)施例中，使用涂膜表面為疏液(疏水)性的樹(shù)脂材料，作為圍堰503的材料。因此，由于基板(玻璃基板)501的表面為疏液(疏水)性，因此，提高了在后述的著色層形成工序中液滴對(duì)被圍堰503(隔離壁部507b)所包圍的各個(gè)象素區(qū)域507a內(nèi)的著落位置的精度。
接下來(lái)，在著色層形成工序(S13)中，如圖13-4所示，通過(guò)噴頭114噴射功能液滴，著落到由隔離壁部507b所包圍的各個(gè)象素區(qū)域507a內(nèi)。這種情況下，使用噴頭114導(dǎo)入R·G·B三色的功能液(濾光片材料)，進(jìn)行功能液滴的噴射。另外，R·G·B三色的的排列圖案，有條紋排列、馬賽克排列以及三角排列等。
之后，經(jīng)干燥處理(加熱等處理)固定功能液，形成3色的著色層508R、508G、508B。形成了著色層508R、508G、508B之后，進(jìn)入保護(hù)膜形成工序(S14)，如圖13-5所示，以覆蓋基板501、隔離壁部507b以及著色層508R、508G、508B的上表面的方式形成保護(hù)膜509。也即，對(duì)形成有基板501的著色層508R、508G、508B的面全體噴射保護(hù)膜用涂敷液之后，經(jīng)干燥處理得到保護(hù)膜509。在保護(hù)膜形成之后，通過(guò)將基板501在每個(gè)有效象素區(qū)域中切斷，得到彩色濾光片500。
圖14為表示作為使用上述彩色濾光片500的液晶顯示裝置的一例的無(wú)源矩陣式液晶裝置(液晶裝置)的概要構(gòu)成的要部剖視圖。通過(guò)在該液晶顯示裝置520中，通過(guò)安裝液晶驅(qū)動(dòng)用IC、背光、支持體等附帶要素，得到作為最終產(chǎn)品的透過(guò)型液晶顯示裝置。另外，彩色濾光片500與圖13所示的相同，因此給相對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)上相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。
該液晶裝置520，大體上由彩色濾光片500與玻璃基板等所構(gòu)成的對(duì)向基板521，以及由夾在它們之間的STN(Super Twisted Nematic)液晶組成物所構(gòu)成的液晶層522所構(gòu)成，彩色濾光片500設(shè)置在圖中上側(cè)(觀測(cè)者側(cè))。另外，雖然圖中未顯示，但對(duì)向基板521與彩色濾光片500的外表面(與液晶層522側(cè)相反側(cè)的面)中分別設(shè)置偏振板，另外，在位于對(duì)向基板521側(cè)的偏振板的外側(cè)，設(shè)置背光。
彩色濾光片500的保護(hù)膜509上(液晶層側(cè))，以給定的間隔形成多個(gè)第1電極523，該第1電極523在圖14中的左右方向上成較長(zhǎng)的長(zhǎng)方形，并形成覆蓋該第1電極523的與彩色濾光片500側(cè)相反的一側(cè)的表面的第1取向膜524。另外，對(duì)向基板521中的與彩色濾光片500相對(duì)的面中，在垂直于彩色濾光片500的第1電極523的方向上以給定的間隔形成有多個(gè)較長(zhǎng)的長(zhǎng)方形的第2電極526，并形成覆蓋該第2電極526的液晶層側(cè)的表面的第2取向膜527。這些第1電極523與第2電極526，由ITO(Indium Tin Oxide)等透明導(dǎo)電材料所形成。
設(shè)置在液晶層522內(nèi)的分隔器528，是用來(lái)保持液晶層522的厚度(單元間距)為一定而設(shè)置的部件。另外，密封材料529是用來(lái)防止液晶層522內(nèi)的液晶組成物向外泄露的部件。另外，第1電極523的一端作為引繞布線523a，延伸的密封材料529的外側(cè)。第1電極523與第2電極526相交叉的部分為象素，彩色濾光片500的著色層508R、508G、508B，位于該成為象素的部位中。
通常的制造工序中，在彩色濾光片500中，進(jìn)行第1電極523的圖案形成以及第1取向膜524的涂敷，生成彩色濾光片500側(cè)的部分，同時(shí)，在與其分開(kāi)的對(duì)向基板521中，進(jìn)行第2電極526的圖案形成以及第2取向膜527的涂敷，生成對(duì)向基板521側(cè)的部分。之后，在對(duì)向基板521側(cè)部分中制造分隔器528以及密封材料529，在該狀態(tài)下，與彩色濾光片500側(cè)部分粘合。接下來(lái)，從密封材料529的注入口中注入構(gòu)成液晶層522的液晶，密封注入口。之后，將兩個(gè)偏振板以及背光層積起來(lái)。
本實(shí)施例的液滴噴射裝置100，涂敷例如構(gòu)成上述單元間距的分隔材料(功能液)，同時(shí)，在將對(duì)向基板521側(cè)部分粘合到彩色濾光片500側(cè)部分上之前，能夠在密封材料529所包圍的區(qū)域中均勻地涂敷液晶(功能液)。另外，上述密封材料529的印刷，還能夠通過(guò)噴頭114進(jìn)行。另外，第1、第2兩取向膜524、527的涂敷也能夠通過(guò)噴頭114進(jìn)行。
圖15為表示作為使用本實(shí)施例中所制造的彩色濾光片500的液晶顯示裝置的第2例的概要構(gòu)成的要部剖視圖。該液晶顯示裝置530與上述液晶顯示裝置520的最大不同點(diǎn)在于，彩色濾光片500設(shè)置在圖中下側(cè)(與觀測(cè)者相反的一側(cè))。該液晶裝置530，大體上由彩色濾光片500與玻璃基板等所構(gòu)成的對(duì)向基板531之間夾持由STN液晶構(gòu)成的液晶層532所構(gòu)成。另外，雖然圖中未顯示，但對(duì)向基板531與彩色濾光片500的外表面中分別設(shè)置有偏振板。
彩色濾光片500的保護(hù)膜509上(液晶層532側(cè))，以給定的間隔形成多個(gè)第1電極533，該第1電極在圖中的進(jìn)深方向上成較長(zhǎng)的長(zhǎng)方形，并形成覆蓋該第1電極533的液晶層532側(cè)的表面的第1取向膜534。另外，對(duì)向基板531中的與彩色濾光片500相對(duì)的面中，以給定的間隔形成有多個(gè)在垂直于彩色濾光片500側(cè)的第1電極533的方向上延伸的長(zhǎng)方形的第2電極536，并以覆蓋該第2電極536的液晶層532側(cè)的表面的方式形成第2取向膜537。
液晶層532中，設(shè)有用來(lái)保持該液晶層532的厚度(單元間距)為一定的分隔器588，以及用來(lái)防止液晶層532內(nèi)的液晶組成物向外泄露的密封材料539。與上述液晶裝置520相同，第1電極533與第2電極536相交叉的部分為象素，彩色濾光片500的著色層508R、508G、508B，位于該成為象素的部位中。
圖16為表示作為采用適用于本發(fā)明彩色濾光片500的液晶顯示裝置的第3例的透過(guò)式TFT(Thin Film Transistor)型液晶裝置(液晶裝置)的概要構(gòu)成的分解立體圖。該液晶裝置550中，色濾光片500設(shè)置在圖中上側(cè)(觀測(cè)者側(cè))。
該液晶裝置550，大體上由彩色濾光片500、與其向面對(duì)配置的對(duì)向基板551，以及由夾在它們之間的圖中未顯示的液晶層、設(shè)置在彩色濾光片500的上表面?zhèn)?觀測(cè)者側(cè))的偏振板555以及設(shè)置在對(duì)向基板551的下表面?zhèn)鹊钠癜?圖中未顯示)所構(gòu)成。彩色濾光片500的保護(hù)膜509的表面上(對(duì)向基板551側(cè)的面)，形成有液晶驅(qū)動(dòng)用電極556。該電極556由ITO等透明導(dǎo)電材料所形成，是覆蓋后述的象素電極560所形成的區(qū)域全體的全表面電極。另外，設(shè)有覆蓋該電極556的與象素電極560相反的一側(cè)表面的取向膜557。
在與對(duì)向基板551的彩色濾光片500相對(duì)的面中，形成有絕緣層558，該絕緣層558上，形成有互相垂直的掃描線561與信號(hào)線562。這樣，該掃描線561與信號(hào)線562所包圍的區(qū)域中形成象素電極560。另外，實(shí)際的液晶裝置中，象素電極560上設(shè)有取向膜，但省略了圖示。
另外，將具有源電極、漏電極、半導(dǎo)體以及柵電極的薄膜三極管563，組裝到由象素電極560的缺口部與掃描線561以及信號(hào)線562所包圍的部分中。這樣，通過(guò)給掃描線561與信號(hào)線562加載信號(hào)，就能夠讓薄膜三極管563導(dǎo)通/截止，進(jìn)行象素電極560的通電控制。
另外，上述各個(gè)例子的液晶裝置520、530、550是透過(guò)型的，但也可以設(shè)置反射層或半透過(guò)反射層，作為反射型的液晶裝置或半透過(guò)反射型的液晶裝置。
接下來(lái)，圖17為有機(jī)EL裝置的顯示區(qū)域(以下簡(jiǎn)稱作顯示裝置600)的要部剖視圖。
該顯示裝置600，大體上通過(guò)在基板(W)601上層積電路元件部602、發(fā)光元件部603以及陰極604而構(gòu)成。該顯示裝置600中，從發(fā)光元件部603向基板601側(cè)所發(fā)的光，透過(guò)電路元件部602以及基板601，出射到觀測(cè)者側(cè)，同時(shí)，從發(fā)光元件部603向基板601的相反側(cè)所發(fā)的光，被陰極604反射之后，透過(guò)電路元件部602以及基板601，出射到觀測(cè)者側(cè)。
電路元件部602與基板601之間，形成有由硅氧化膜所構(gòu)成的基底保護(hù)膜606，該基底保護(hù)膜606上(發(fā)光元件部603側(cè))形成有由多晶體硅所構(gòu)成的島狀的半導(dǎo)體膜607。該半導(dǎo)體膜607的左右區(qū)域中，通過(guò)注入高濃度的陽(yáng)離子而分別形成源區(qū)以及漏區(qū)。沒(méi)有注入陽(yáng)離子的中央部形成溝道區(qū)域607c。
另外，電路元件部602中，形成有覆蓋基底保護(hù)膜606以及半導(dǎo)體膜607的透明柵絕緣膜608，在該柵絕緣膜608上的對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體膜607的溝道區(qū)域607c的位置上，形成有由例如Al、Mo、Ta、Ti、W等所構(gòu)成的柵電極609。該柵電極609與絕緣膜608上，形成有透明的第1層間絕緣膜611a與第2層積絕緣膜611b。另外，形成有分別貫通第1、第2層間絕緣膜611a、611b，連通半導(dǎo)體膜607的源區(qū)域607a、漏區(qū)域607b的連接孔612a、612b。
之后，在第2層間絕緣膜611b上，以將ITO等所制成的透明象素電極613成形為給定的形狀，該象素電極613通過(guò)連接孔612a與源區(qū)域607a相連接。另外，第1層間絕緣膜611a上設(shè)有電源線614，該電源線614通過(guò)連接孔612b與漏區(qū)域607b相連接。
通過(guò)這樣，在電路元件部602中，分別形成連接各個(gè)象素電極613的驅(qū)動(dòng)用薄膜三極管615。
上述發(fā)光元件部603，大體上由分別層積在多個(gè)象素電極613上的功能層617，與各個(gè)象素電極613以及設(shè)置在功能層617之間用來(lái)區(qū)分各個(gè)功能層617的圍堰部618所構(gòu)成。通過(guò)上述象素電極613、功能層617以及設(shè)置在功能層617上的陰極604構(gòu)成發(fā)光元件。另外，象素電極613圖案成形為俯視大致為矩形的形狀，各個(gè)象素電極613之間形成有圍堰部618。
圍堰部618由例如通過(guò)SiO、SiO2、TiO2等無(wú)機(jī)材料所形成的無(wú)機(jī)物圍堰618a(第1圍堰)，以及層積在該無(wú)機(jī)物圍堰618a上，通過(guò)丙稀樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂等耐熱性、耐溶劑性較佳的抗蝕材料所形成的斷面臺(tái)形狀的有機(jī)物圍堰618b(第2圍堰)所構(gòu)成。該圍堰部618的一部分位于象素電極613的邊緣部的上方。這樣，在各個(gè)圍堰部618之間，形成有相對(duì)象素電極613向上逐漸擴(kuò)展的開(kāi)口部619。
上述功能層617，由在開(kāi)口部619內(nèi)層積在象素電極613上所形成的空穴注入/輸送層617a，以及形成在該空穴注入/輸送層617a上的發(fā)光層617b所構(gòu)成。另外，還能夠與該發(fā)光層617b相鄰形成具有其他功能的其他功能層。例如，有可能會(huì)形成電子輸送層。
空穴注入/輸送層617a，具有從象素電極613側(cè)輸送空穴并注入給發(fā)光層617b的功能。該空穴注入/輸送層617a，通過(guò)噴射包含有空穴注入/輸送層形成材料的第1組成物(功能液)所形成。作為空穴注入/輸送層的形成材料，使用例如聚乙烯二羥基噻吩等聚噻酚衍生物與聚苯乙烯磺酸等混合物。
發(fā)光層617b能夠發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)中的任一種光，通過(guò)噴射包含有發(fā)光層形成材料的第2組成物(功能液)所形成。另外，第2組成物的溶劑(非極化溶劑)，最好不溶于空穴注入/輸送層617a，可以使用例如環(huán)乙基苯、二氫苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。通過(guò)將該非極性溶劑用在發(fā)光層的第2組成物中，不會(huì)溶解空穴注入/輸送層617a而能夠形成發(fā)光層617b。
發(fā)光層617b中，將空穴注入/輸送層617a所注入的空穴，與陰極604所注入的電子在發(fā)光層中再結(jié)合而進(jìn)行發(fā)光。
陰極604形成為覆蓋發(fā)光元件部603的全表面，具有與象素電極613形成一對(duì)，從而讓電流在功能層617中流動(dòng)的作用。另外，該陰極604的上部設(shè)有圖中未顯示的密封材料。
接下來(lái)，對(duì)照?qǐng)D18～圖26，對(duì)上述顯示裝置600的制造工序進(jìn)行說(shuō)明。
該顯示裝置600，如圖18所示，通過(guò)圍堰部形成工序(S21)、表面處理工序(S22)、空穴注入/輸送層形成工序(S23)、發(fā)光層形成工序(S24)以及對(duì)向電極形成工序(S25)制造出來(lái)。另外，制造工序并不僅限于上述例示，還可以根據(jù)需要增加或去除其他工序。
首先，在圍堰部形成工序(S21)中，如圖19所示，在第2層間絕緣膜611b上形成無(wú)機(jī)物圍堰618a。該無(wú)機(jī)物圍堰618a，在形成位置中形成無(wú)機(jī)物膜之后，通過(guò)光刻技術(shù)等將該無(wú)機(jī)物膜形成圖案，通過(guò)這樣而形成。此時(shí)，無(wú)機(jī)物圍堰618a的一部分與象素電極613的周邊部重合。形成了無(wú)機(jī)物圍堰618a之后，如圖20所示，在無(wú)機(jī)物圍堰618a上形成有機(jī)物圍堰618b。該有機(jī)物圍堰618b與無(wú)機(jī)物圍堰618a一樣，也通過(guò)光刻技術(shù)等而形成圖案。通過(guò)這樣形成圍堰部618。另外，與此相同，在各個(gè)圍堰部618中，形成相對(duì)象素電極613向上方開(kāi)口的開(kāi)口部619。該開(kāi)口部619規(guī)定象素區(qū)域。
表面處理工序(S22)中，進(jìn)行親液化處理以及疏液化處理。實(shí)施親液化處理的區(qū)域是無(wú)機(jī)物圍堰618a的第1層積部618aa以及象素電極613的電極面613a，這些區(qū)域中，通過(guò)例如以氧氣作為處理氣體的等離子處理來(lái)進(jìn)行親液性表面處理。該等離子處理，還兼具作為象素電極613的ITO的清洗等功能。另外，疏液化處理實(shí)施于有機(jī)物圍堰618b的壁面618s以及有機(jī)物圍堰618b的上表面618t，通過(guò)例如以四氟化甲烷作為處理氣體的等離子處理來(lái)進(jìn)行(氟化)親液性表面處理。通過(guò)進(jìn)行該表面處理工序，在使用噴頭114形成功能層617時(shí)，能夠讓功能液滴更可靠地著落在象素區(qū)域中，另外，還能夠防止著落在象素區(qū)域中的功能液滴從開(kāi)口部619中溢出。
通過(guò)以上的工序，得到顯示裝置基體600A。將該顯示裝置基體600A安裝在圖1中所示液滴噴射裝置100的平臺(tái)106中，進(jìn)行以下的空穴注入/輸送層形成工序(S23)以及發(fā)光層形成工序(S24)。
如圖21所示，空穴注入/輸送層形成工序(S23)中，從噴頭114將包含有空穴注入/輸送層形成材料的第1組成物噴射到作為象素區(qū)域的各個(gè)開(kāi)口部619中。之后，如圖22所示，進(jìn)行干燥處理以及熱處理，將第1組成物中所包含的極化溶劑蒸發(fā)，在象素電極(電極面613a)613上形成空穴注入/輸送層617a。
接下來(lái)，對(duì)發(fā)光層形成工序(S24)進(jìn)行說(shuō)明。該發(fā)光層形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層的再溶解，使用對(duì)空穴注入/輸送層617a不溶解的非極化溶劑，作為形成發(fā)光層時(shí)所使用的第2組成物的溶劑。但是，另一方面，由于空穴注入/輸送層617a對(duì)非極化溶劑的親和性較低，因此，即使將包含有非極化溶劑的第2組成物噴射到空穴注入/輸送層617a上，有可能空穴注入/輸送層于發(fā)光層617b也無(wú)法粘著，或者無(wú)法均勻地涂敷發(fā)光層617b。因此，為了提高空穴注入/輸送層617a對(duì)非極化溶劑以及發(fā)光層形成材料的親和性，最好在發(fā)光層形成之前，先進(jìn)行表面處理(表面改質(zhì)處理)。該表面處理，通過(guò)將與發(fā)光層形成時(shí)所使用的第2組成物的非極化溶劑相同的溶劑或類似的溶劑的表面改質(zhì)材料，涂敷在空穴注入/輸送層617a上，并讓其干燥而進(jìn)行。通過(guò)實(shí)施這樣的處理，使得空穴注入/輸送層617a的表面很容易被非極化溶劑所浸潤(rùn)，因此，在后繼的工序中，能夠?qū)邪l(fā)光層形成材料的第2組成物均勻地涂敷在空穴注入/輸送層617a上。
接下來(lái)，如圖23所示，將包含有各色中的某一個(gè)(圖23的例子中為藍(lán)色(B))所對(duì)應(yīng)的發(fā)光層形成材料的第2組成物作為功能液滴，向象素區(qū)域(開(kāi)口部619)內(nèi)注入給定量。注入到象素區(qū)域內(nèi)的第2組成物在空穴注入/輸送層617a上擴(kuò)展，在開(kāi)口部619內(nèi)充滿。另外，即使萬(wàn)一第2組成物從象素區(qū)域偏離著落到圍堰部618的上表面618t上，由于該上表面618t實(shí)施了如上所述的疏液處理，因此，第2組成物能夠容易地滾落到開(kāi)口部619內(nèi)。
之后，通過(guò)進(jìn)行干燥工序等，給噴射后的第2組成物實(shí)施干燥處理，讓第2組成物中所含有的非極化溶劑蒸發(fā)，如圖24所示，在空穴注入/輸送層617a上形成發(fā)光層617b。這種情況下，形成對(duì)應(yīng)于藍(lán)色(B)的發(fā)光層617b。
同樣，使用噴頭114，順次進(jìn)行與上述藍(lán)色(B)所對(duì)應(yīng)的發(fā)光層617b的情況下相同的工序，形成對(duì)應(yīng)于其他顏色(紅色(R)以及綠色(G))的發(fā)光層617b。另外，發(fā)光層617b的形成順序，并不僅限于例示的順序，通過(guò)哪一個(gè)順序形成都可以。例如，還能夠根據(jù)發(fā)光層形成材料來(lái)決定形成順序。另外，R·G·B三色的排列圖案，有條紋排列、馬賽克排列以及三角排列等。
如上所述，在象素電極613上形成功能層617，也即空穴注入/輸送層617a以及發(fā)光層617b。接下來(lái)，進(jìn)入對(duì)向電極形成工序(S25)。
對(duì)向電極形成工序(S25)中，如圖26所示，在發(fā)光層617b與有機(jī)物圍堰618b的全表面上，例如通過(guò)蒸鍍法、噴濺法、CVD法等形成陰極604(對(duì)向電極)。該陰極604，在本實(shí)施例中，例如通過(guò)層積鈣層與鋁層來(lái)構(gòu)成。在該陰極604的上部，適當(dāng)設(shè)置作為電極的Al膜、Ag膜以及用來(lái)防止其氧化的SiO2、SiN等保護(hù)層。
如上形成陰極604之后，通過(guò)實(shí)施由密封材料密封該陰極604的上部的密封處理以及布線處理等其他處理，得到顯示裝置600。
接下來(lái)，圖27為等離子型顯示裝置(PDP裝置，以下簡(jiǎn)稱作顯示裝置700)的要部分解立體圖。另外，圖中以部分欠缺的狀態(tài)來(lái)顯示顯示載置。該顯示裝置700，大體由互相對(duì)設(shè)置的第1基板701、第2基板702以及形成在它們之間的放電顯示部703所構(gòu)成。放電顯示部703由多個(gè)放電室705構(gòu)成。這多個(gè)放電室705中，紅色放電室705R、綠色放電室705G以及藍(lán)色放電室705B這3個(gè)放電室705為一組，構(gòu)成1個(gè)象素。
在第1基板701的上表面以給定的間隔形成條紋狀的地址電極706，并以覆蓋該地址電極706與第1基板701的上表面的方式形成電介質(zhì)層707。在電介質(zhì)層707上，以位于各個(gè)地址電極706之間且沿著各個(gè)地址電極706的方式，設(shè)有分隔壁708。該分隔壁708，包括如圖所示的在地址電極706的寬度方向的兩側(cè)延伸的分隔壁，以及圖中未顯示的在垂直于地址電極706的方向上延伸的分隔壁。這樣，由該分隔壁所區(qū)分的區(qū)域成為放電室705。
放電室705內(nèi)設(shè)有熒光體709。熒光體709發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)中任一個(gè)顏色的熒光，紅色放電室705的底部設(shè)有紅色熒光體709R，綠色放電室705的底部設(shè)有綠色熒光體709G，藍(lán)色放電室705的底部設(shè)有藍(lán)色熒光體709B。
第2基板702的圖中下側(cè)的面中，在垂直于實(shí)施地址電極706的方向上，以給定的間隔形成條紋狀的多個(gè)顯示電極711。并形成將其覆蓋的電介質(zhì)層712，以及由MgO等所形成的保護(hù)膜713。第1基板701與第2基板702，在地址電極706與顯示電極711相垂直的狀態(tài)下面對(duì)粘合。另外，實(shí)施的地址電極706與顯示電極711與圖中未顯示的交流電源相連接。通過(guò)給各個(gè)電極706、711通電，放電顯示部703中熒光體709激勵(lì)發(fā)光，從而能夠進(jìn)行彩色顯示。
本實(shí)施例中，可以通過(guò)圖1中所示的液滴噴射裝置100來(lái)形成上述地址電極706、顯示電極711以及熒光體709。以下對(duì)第1基板701中的地址電極706的形成工序進(jìn)行例示。該情況下，在將第1基板701安裝在液滴噴射裝置100的平臺(tái)106中的狀態(tài)下進(jìn)行以下工序。首先，通過(guò)噴頭114，讓包含有導(dǎo)電膜形成用材料的液狀體材料(功能液)作為功能液滴，著落到地址電極形成區(qū)域中。該液狀體材料，是在分散媒中分散有金屬等導(dǎo)電性微粒的液狀體，作為導(dǎo)電膜布線形成用材料。該導(dǎo)電性微粒，使用包含有金、銀、銅、鈀或鎳等的金屬微粒，以及導(dǎo)電性聚合物材料等。
對(duì)作為填充對(duì)象的所有地址電極形成區(qū)域，實(shí)施完畢液狀體材料的填充之后，對(duì)噴射后的液狀體材料進(jìn)行干燥處理，讓液狀體材料中所包含的分散媒蒸發(fā)，通過(guò)這樣來(lái)形成地址電極706。
以上例示了地址電極706的形成，但上述顯示電極711以及熒光體709也能夠通過(guò)上述各個(gè)工序來(lái)形成。
在形成顯示電極711的情況下，與形成地址電極706的情況相同，將包含有導(dǎo)電膜布線用材料的液狀體材料(功能液)作為功能液滴，著落到顯示電極形成區(qū)域中。
另外，熒光體709的形成區(qū)域中，包含有對(duì)應(yīng)于各色(R、G、B)的熒光材料的液狀體材料(功能液)，從噴頭114中作為液滴噴射，著落到相應(yīng)顏色的放電室705內(nèi)。
接下來(lái)，圖28為表示電子發(fā)射裝置(FED裝置，以下簡(jiǎn)稱作顯示裝置800)的要部剖視立體圖。另外，圖中顯示了顯示裝置800的一部分的剖面。該顯示裝置800，大體由互相對(duì)設(shè)置的第1基板801、第2基板802以及形成在它們之間的電場(chǎng)發(fā)射顯示部803所構(gòu)成。電場(chǎng)發(fā)射顯示部803由矩陣狀設(shè)置的多個(gè)電子發(fā)射部805構(gòu)成。
在第1基板801的上表面，構(gòu)成負(fù)極電極806的第1元件電極806a以及第2元件電極806b，以互相垂直的方式形成。另外，被第1元件電極806a與第2元件電極806b所分隔的部分中，形成有具有縫隙808的元件膜807。也即，通過(guò)第1元件電極806a、第2元件電極806b以及元件膜807構(gòu)成多個(gè)電子發(fā)射部805。元件膜807例如由氧化鈀(PdO)等構(gòu)成，另外，縫隙808在元件膜807成膜之后，通過(guò)成形加工而形成。
第2基板802的下表面，形成有與負(fù)極電極806相對(duì)的正極電極809。正極電極809的下面，形成有格子狀的圍堰部811，在該圍堰部811所包圍的向下的各個(gè)開(kāi)口部812中，與電子發(fā)射部805相對(duì)應(yīng)的方式設(shè)置有熒光體813。熒光體813發(fā)出紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)中的任一個(gè)顏色的熒光，各個(gè)開(kāi)口部812中，紅色熒光體813R、綠色熒光體813G、藍(lán)色熒光體813B以給定的圖案配置。
之后，將如上所構(gòu)成的第1基板801與第2基板802保持微小的間隙粘合在一起。該顯示裝置800中，經(jīng)元件膜(縫隙808)807，將從作為陰極的第1元件電極806a或第2元件電極806b所飛出的電子，碰撞到形成在作為陽(yáng)極的正極電極809中的熒光體813上激勵(lì)發(fā)光，從而能夠進(jìn)行彩色顯示。
這種情況下也與其他實(shí)施例相同，能夠使用液滴噴射裝置100形成第1元件電極806a、第2元件電極806b以及正極電極809，同時(shí)，還能夠使用液滴噴射裝置100形成各色熒光體813R、813G、813B。
另外，作為其他的電光學(xué)裝置，考慮有除了金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕形成以及光擴(kuò)散體形成之外，還包括顯微鏡標(biāo)本形成的裝置。通過(guò)將上述液滴噴射裝置100用在各種電光學(xué)裝置(設(shè)備)的制造中，能夠有效地進(jìn)行各種電光學(xué)裝置的制造。
接下來(lái)，對(duì)照?qǐng)D29，對(duì)能夠使用本發(fā)明的相關(guān)電光學(xué)裝置的電子機(jī)器的具體例子進(jìn)行說(shuō)明。圖29-1為表示將本發(fā)明的相關(guān)電光學(xué)裝置使用在移動(dòng)式個(gè)人計(jì)算機(jī)(所謂的筆記本型計(jì)算機(jī))900的顯示部中的例子的立體圖。如圖所示，個(gè)人計(jì)算機(jī)900具有具有鍵盤(pán)901的主體部902，以及應(yīng)用了本發(fā)明的電光學(xué)裝置的顯示部903。圖29-2為表示將本發(fā)明的相關(guān)電光學(xué)裝置使用在移動(dòng)電話機(jī)950的顯示部中的例子的立體圖。如圖所示，移動(dòng)電話機(jī)950除了多個(gè)操作按鈕951之外，還具有揚(yáng)聲器952、話筒953以及應(yīng)用了本發(fā)明的相關(guān)電光學(xué)裝置的顯示部954。
本發(fā)明的相關(guān)電光學(xué)裝置，處理上述移動(dòng)電話機(jī)或個(gè)人計(jì)算機(jī)之外，還能夠廣泛應(yīng)用于稱作PDA(Personal Digital Assistants)的便攜式信息機(jī)器、個(gè)人計(jì)算機(jī)、工作站、數(shù)碼相機(jī)、車載監(jiān)視器、數(shù)碼攝像機(jī)、液晶電視機(jī)、取景器式或監(jiān)視器直視式錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、尋呼機(jī)、電子記事本、電子計(jì)算器、文字處理器、工作站、電視電話以及POS終端等電子機(jī)器中。
(產(chǎn)業(yè)應(yīng)用)本發(fā)明的液滴噴射裝置，能夠應(yīng)用與工業(yè)上的各種領(lǐng)域的成膜。另外，本發(fā)明的相關(guān)電光學(xué)載置，能夠廣泛地應(yīng)用于有機(jī)EL場(chǎng)致發(fā)光、液晶顯示裝置。有機(jī)TFT裝置、等離子顯示裝置、電泳顯示裝置、電子發(fā)射顯示裝置(Field Emission Display以及Surface-Conduction Electoron-EmitterDisplay)、LED(發(fā)光顯示器)顯示裝置、電子調(diào)光玻璃裝置以及電子紙裝置等電光學(xué)裝置中。另外，本發(fā)明的電子機(jī)器，能夠廣泛地應(yīng)用于移動(dòng)電話機(jī)。稱作PDA(Personal Digital Assistants)的便攜式信息機(jī)器、便攜式個(gè)人計(jì)算機(jī)、個(gè)人計(jì)算機(jī)、工作站、數(shù)碼相機(jī)、車載監(jiān)視器、數(shù)碼攝像機(jī)、液晶電視機(jī)、取景器式或監(jiān)視器直視式錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、尋呼機(jī)、電子記事本、電子計(jì)算器、文字處理器、工作站、電視電話以及POS終端等電子機(jī)器中。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴射裝置，是從噴頭的噴嘴向基體噴射液滴的液滴噴射裝置，其特征在于，包括保持上述基體的平臺(tái)；多個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其分別保持包含有1個(gè)或多個(gè)具有噴嘴列的噴頭的噴頭組，且在1個(gè)軸上或平行設(shè)置的多個(gè)軸上在副掃描方向上移動(dòng)；以及位置控制機(jī)構(gòu)，其獨(dú)立驅(qū)動(dòng)上述多個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，并且調(diào)整在上述副掃描方向或主掃描方向上相鄰的上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的噴頭組間的相對(duì)位置關(guān)系，并調(diào)整噴嘴間距，其中，讓上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)于上述平臺(tái)在上述主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，通過(guò)上述噴頭組向上述基體的被噴射部噴射液滴。
2.如權(quán)利要求1所述的液滴噴射裝置，其特征在于上述位置控制機(jī)構(gòu)，在維持所調(diào)整的相對(duì)位置關(guān)系的狀態(tài)下，使上述多個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)同步地在上述副掃描方向上移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的液滴噴射裝置，其特征在于上述位置控制機(jī)構(gòu)，調(diào)整在上述副掃描方向或上述主掃描方向上相鄰的上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的噴頭組間的相對(duì)位置關(guān)系，以使得上述副掃描方向的噴嘴間距為等間隔。
4.如權(quán)利要求1或2所述的液滴噴射裝置，其特征在于上述位置控制機(jī)構(gòu)，調(diào)整在上述副掃描方向或上述主掃描方向上相鄰的上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的噴頭組間的相對(duì)位置關(guān)系，以使得上述副掃描方向的噴嘴間距的線密度提高。
5.如權(quán)利要求1～4中的任一項(xiàng)所述的液滴噴射裝置，其特征在于上述被噴射部的俯視圖，呈由長(zhǎng)邊與短邊所決定的略矩形形狀，上述平臺(tái)保持上述基體，以使得上述長(zhǎng)邊方向平行于上述副掃描方向，且上述短邊方向平行于上述主掃描方向。
6.如權(quán)利要求1～5中的任一項(xiàng)所述的液滴噴射裝置，其特征在于構(gòu)成上述噴頭組的噴頭的噴嘴列，被設(shè)置為平行于上述副掃描方向。
7.如權(quán)利要求1～5中的任一項(xiàng)所述的液滴噴射裝置，其特征在于構(gòu)成上述噴頭組的噴頭的噴嘴列，被設(shè)置在傾斜于上述副掃描方向的方向上。
8.一種電光學(xué)裝置，其特征在于使用如權(quán)利要求1至權(quán)利要求7中的任一項(xiàng)所述的液滴噴射裝置制造出來(lái)。
9.一種電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于使用如權(quán)利要求1至權(quán)利要求7中的任一項(xiàng)所述的液滴噴射裝置制造電光學(xué)裝置。
10.一種電子機(jī)器，其特征在于安裝有如權(quán)利要求8所述的電光學(xué)裝置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種能夠簡(jiǎn)單地調(diào)整噴嘴間距，高精度地進(jìn)行繪圖的液滴噴射裝置、電光學(xué)裝置以及電子機(jī)器。在從噴頭的噴嘴向基體噴射液滴的液滴噴射裝置中，包括保持上述基體的平臺(tái)，以及分別保持包含有1個(gè)或多個(gè)具有噴嘴列的噴頭的噴頭組，且在1個(gè)軸上或平行設(shè)置的多個(gè)軸上在副掃描方向上移動(dòng)的多個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及獨(dú)立驅(qū)動(dòng)上述多個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，同時(shí)調(diào)整在上述副掃描方向或主掃描方向上相鄰的上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的噴頭組間的相對(duì)位置關(guān)系，并調(diào)整噴嘴間距的位置控制裝置；讓上述承載器相對(duì)上述平臺(tái)在上述主掃描方向上相對(duì)移動(dòng)，通過(guò)上述噴頭組向上述基體的被噴射部噴射液滴。
文檔編號(hào)B05D1/26GK1695947SQ20051007263
公開(kāi)日2005年11月16日 申請(qǐng)日期2005年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月14日
發(fā)明者松本良一, 大草隆, 小島健嗣 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社