專利名稱：涂敷針固定方法、使用該方法的液狀材料涂敷機構(gòu)及缺陷修正裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及涂敷針固定方法、液狀材料涂敷機構(gòu)及缺陷修正裝置，尤其涉及將液狀材料涂敷在基板上的細(xì)小區(qū)域的涂敷針固定在驅(qū)動裝置的驅(qū)動軸上的涂敷針固定方法和使用該方法的液狀材料涂敷機構(gòu)及缺陷修正裝置。
背景技術(shù)：
近年來，隨著LCD(液晶顯示器)的大型化、高精細(xì)化，像素數(shù)也增大，無缺陷制造LCD是困難的，缺陷的發(fā)生概率也增加起來。在這種情況下，為了提高合格率，在生產(chǎn)線上，對在LCD的濾色板的制造工序中產(chǎn)生的缺陷進(jìn)行修正的缺陷修正裝置是必不可少的。
圖8(a)～(c)是表示LCD的濾色板制造工序中發(fā)生的缺陷的示圖。圖8(a)～(c)中，濾色板包括透明基板、形成在該基板表面上的稱為黑底100的格子狀的圖形、多組的R(紅色)像素101、G(綠色)像素102及B(藍(lán)色)像素103。在濾色板的制造工序中，要么如圖8(a)所示，產(chǎn)生像素或黑底100顏色脫落的白色缺陷104；如圖8(b)所示顏色與相鄰的像素混合，或黑底100滲入像素內(nèi)的黑缺陷105；要么如圖8(c)所示，發(fā)生異物附著在像素上的異物缺陷106等。
作為對白色缺陷104進(jìn)行修正的方法有如下方法利用油墨涂敷機構(gòu)使與存在白色缺陷104的像素相同顏色的油墨附著在涂敷針的前端部上，將附著在涂敷針前端部上的油墨涂敷在白色缺陷104上進(jìn)行修正(例如參照日本特開平9-236933號公報)。另外，作為對黑色缺陷105和異物缺陷106進(jìn)行修正的方法有如下方法在對缺陷部分進(jìn)行激光切割而形成矩形的白色缺陷104后，利用油墨涂敷機構(gòu)將附著在涂敷針的前端部上的油墨涂敷在該白色缺陷104上進(jìn)行修正(例如參照日本特開平9-262520號公報)。
在上述的油墨涂敷機構(gòu)中，涂敷針固定在涂敷針保持架上，在驅(qū)動缸的驅(qū)動軸前端部設(shè)有固定底座，涂敷針保持架用固定螺釘安裝在固定底座上。為了確保更換涂敷針時涂敷針位置的再現(xiàn)性，在將涂敷針保持架的端面按壓在固定底座的基準(zhǔn)端面上的狀態(tài)下將涂敷針保持架固定在固定底座上。在安裝涂敷針保持架后，要預(yù)先確認(rèn)涂敷針的前端位置以決定油墨的涂敷位置。此時，在固定涂敷針保持架時，若涂敷針前端位置偏位較大，則確認(rèn)涂敷針的前端位置非?；ㄙM時間。
一般，濾色板的生產(chǎn)是在潔凈室內(nèi)進(jìn)行的，以防止灰塵(異物)所發(fā)生的缺陷。由于在潔凈室內(nèi)可盡量抑制灰塵發(fā)生，故作業(yè)者有義務(wù)穿戴潔凈衣服、戴口罩、戴薄的橡膠手套。
在這樣的作業(yè)狀態(tài)中，不容易一邊將小的涂敷針保持架按壓在固定底座的基準(zhǔn)端面上一邊用小的固定螺釘進(jìn)行安裝的作業(yè)，在作業(yè)者生疏的場合，有時涂敷針保持架的固定位置產(chǎn)生偏位。另外，也有可能使涂敷針保持架落下而損傷涂敷針。
發(fā)明目的因此，本發(fā)明的主要目的在于，提供一種可容易地再現(xiàn)性良好地將涂敷針安裝在驅(qū)動裝置的驅(qū)動軸上的涂敷針固定方法、和使用該方法的液狀材料涂敷機構(gòu)及缺陷修正裝置。
本發(fā)明的涂敷針固定方法，以使將液狀材料涂敷在基板上的細(xì)小區(qū)域的涂敷針固定在驅(qū)動裝置的驅(qū)動軸上，其特征在于，將涂敷針的基端部固定在涂敷針保持架上，將具有第1和第2基準(zhǔn)面的固定底座設(shè)在驅(qū)動軸的前端部上，在涂敷針保持架及固定底座上分別設(shè)置第1及第2磁鐵，利用第1及第2磁鐵間的磁性吸力使涂敷針保持架吸附在第1基準(zhǔn)面上，并通過利用與第1基準(zhǔn)面平行的方向的第1及第2磁鐵的位置偏位所產(chǎn)生的第1及第2磁鐵間的向心力而使涂敷針保持架的端面按壓在第2基準(zhǔn)面上。
本發(fā)明的液狀材料涂敷機構(gòu)，用于將附著在涂敷針的前端部上的液狀材料涂敷在基板上的細(xì)小區(qū)域內(nèi)，其特征在于，具有含有驅(qū)動涂敷針的驅(qū)動軸的驅(qū)動裝置；固定有涂敷針的基端部的涂敷針保持架；還有第1及第2基準(zhǔn)面并設(shè)在驅(qū)動軸前端部上的固定底座；以及分別設(shè)在涂敷針保持架及固定底座上的第1及第2磁鐵，通過第1及第2磁鐵間的磁性吸力使涂敷針保持架吸附在第1基準(zhǔn)面上，并通過利用與第1基準(zhǔn)面平行的方向的第1及第2磁鐵的位置偏位所產(chǎn)生的第1及第2磁鐵間的向心力而使涂敷針保持架的端面按壓在第2基準(zhǔn)面上。
最好是，固定底座還具有第3基準(zhǔn)面，第1及第2磁鐵通過向心力將涂敷針保持架的2個端面分別按壓在第2及第3基準(zhǔn)面上。
最好是，涂敷針保持架及固定底座由非磁性材料形成。
另外，本發(fā)明的缺陷修正裝置，其特征在于，基板上的細(xì)小區(qū)域是形成在基板上的細(xì)小圖形的缺陷部，液狀材料是修正缺陷部用的修正液，缺陷修正裝置具有包含所述液狀材料涂敷機構(gòu)及觀察缺陷部用的觀察用光學(xué)系統(tǒng)的修正頭；使基板和修正頭相對移動并進(jìn)行定位的定位機構(gòu)。
在本發(fā)明的涂敷針固定方法和使用該方法的液狀材料涂敷機構(gòu)及缺陷修正裝置中，將涂敷針的基端部固定在涂敷針保持架上，將具有第1及第2基準(zhǔn)面的固定底座設(shè)在驅(qū)動軸的前端部上，在涂敷針保持架和固定底座上分別設(shè)置第1及第2磁鐵，利用第1及第2磁鐵間的磁性吸力而使涂敷針保持架吸附在第1基準(zhǔn)面上，并通過利用與第1基準(zhǔn)面平行的方向的第1及第2磁鐵的位置偏位所產(chǎn)生的第1及第2磁鐵間的向心力而使涂敷針保持架的端面按壓在第2基準(zhǔn)面上。因此，與一邊將涂敷針保持架按壓在固定底座的基準(zhǔn)端面上一邊使用小的固定螺釘進(jìn)行安裝的以往技術(shù)相比，可容易地再現(xiàn)性良好地將涂敷針安裝在驅(qū)動裝置的驅(qū)動軸上。


圖1是表示本發(fā)明一實施形態(tài)的缺陷修正裝置整體結(jié)構(gòu)的示圖。
圖2是表示圖1所示的油墨涂敷機構(gòu)結(jié)構(gòu)的示圖。
圖3是表示圖2所示的涂敷針保持架及固定底座的結(jié)構(gòu)和固定方法的示圖。
圖4是用于說明圖3所示的2個磁鐵間的向心力的示圖。
圖5是表示圖3所示的2個磁鐵的位置關(guān)系的示圖。
圖6是表示實施形態(tài)的比較例的示圖。
圖7是表示實施形態(tài)的變更例的示圖。
圖8是表示濾色板上發(fā)生的缺陷的示圖。
具體實施例方式
圖1是表示本發(fā)明一實施形態(tài)的缺陷修正裝置整體結(jié)構(gòu)的示圖。在圖1中，該缺陷修正裝置主要包括缺陷修正頭部，該缺陷修正頭部由觀察光學(xué)系統(tǒng)1、CCD照相機2、激光3、油墨涂敷機構(gòu)4和油墨硬化用照明5構(gòu)成；使該缺陷修正頭沿相對于修正對象的濾色板基板6垂直方向(Z軸方向)移動的Z軸工作臺7；搭載有Z軸工作臺7并使其沿X軸方向移動的X軸工作臺8；搭載有濾色板基板6并使其沿Y軸方向移動的Y軸工作臺9；控制裝置整體動作的控制用計算機10；以及將來自作業(yè)者的指令輸入控制用計算機10的操作板11。
觀察光學(xué)系統(tǒng)1的作用是觀察濾色板基板6的表面狀態(tài)和油墨涂敷機構(gòu)4所作的油墨涂敷后的狀態(tài)。由觀察光學(xué)系統(tǒng)1所觀察的圖像利用CCD照相機2變換成電氣信號，在控制用計算機10的監(jiān)控畫面上顯示。油墨涂敷機構(gòu)4將油墨涂敷在濾色板基板6表面的白色缺陷上進(jìn)行修正。油墨硬化用照明5照射用于使由油墨涂敷機構(gòu)4所涂敷后的油墨硬化的光。在油墨是紫外線硬化類型的場合，選擇紫外線照明作為油墨硬化用照明5并搭載在裝置上。在油墨是熱硬化類型的場合，選擇鹵素照明作為油墨硬化用照明5并搭載在裝置上。激光3用于將黑色缺陷或異物缺陷除去使成為白色缺陷。利用本裝置結(jié)構(gòu)，可修正濾色板上發(fā)生的白色缺陷、黑色缺陷和異物缺陷。
圖2是表示油墨涂敷機構(gòu)4的結(jié)構(gòu)的一部分省略后的立體圖。在圖2中，該油墨涂敷機構(gòu)4包括油墨涂敷用的涂敷針21和垂直驅(qū)動涂敷針21用的涂敷針驅(qū)動缸22。涂敷針21通過涂敷針保持架24及固定底座25而設(shè)在涂敷針驅(qū)動缸22的驅(qū)動軸23前端部上。
另外，該油墨涂敷機構(gòu)4包含設(shè)成水平的旋轉(zhuǎn)工作臺26，在旋轉(zhuǎn)工作臺26上沿圓周方向依次配置多個油墨盒27～30，并在旋轉(zhuǎn)工作臺26上設(shè)置洗凈裝置31和空氣清洗裝置32。在旋轉(zhuǎn)工作臺26的中心立設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸33。并在旋轉(zhuǎn)工作臺26上形成有在油墨涂敷時使涂敷針21通過用的缺口部34。在油墨盒27～30內(nèi)分別適當(dāng)注入有R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))及黑的各色油墨。洗凈裝置31用于將附著在涂敷針21上的油墨予以除去，空氣清洗裝置32的作用是吹掉附著在涂敷針21上的洗凈液。
此外，該油墨涂敷機構(gòu)4包含使旋轉(zhuǎn)工作臺26的旋轉(zhuǎn)軸33旋轉(zhuǎn)用的轉(zhuǎn)位用電動機35，還設(shè)有與旋轉(zhuǎn)軸33一起旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)位板36；通過轉(zhuǎn)位板36對旋轉(zhuǎn)工作臺26的旋轉(zhuǎn)位置進(jìn)行檢測用的轉(zhuǎn)位用傳感器37；通過轉(zhuǎn)位板36對旋轉(zhuǎn)工作臺26的旋轉(zhuǎn)位置回復(fù)到原點的情況進(jìn)行檢測用的原點回復(fù)用傳感器38。電動機35根據(jù)傳感器37、38的輸出而受到控制，使旋轉(zhuǎn)工作臺26旋轉(zhuǎn)并使缺口部34、油墨盒27～30、洗凈裝置31及空氣清洗裝置32中任一個位于涂敷針21的下方。
涂敷針驅(qū)動缸22和電動機35固定在Z軸工作臺7上，Z軸工作臺7和成為缺陷修正對象的濾色板基板6通過X軸工作臺8和Y軸工作臺9被相對定位。
接著說明該油墨涂敷機構(gòu)4的動作。首先，驅(qū)動X軸工作臺8、Y軸工作臺9和Z軸工作臺7，將涂敷針21的前端定位在濾色板基板6的缺陷部上方的規(guī)定位置處。然后，通過電動機35使旋轉(zhuǎn)工作臺26旋轉(zhuǎn)，使所需的油墨盒(例如27)移動到涂敷針21之下。在通過涂敷針驅(qū)動缸22上下驅(qū)動涂敷針21，將油墨附著在涂敷針21的前端部上。
接著，通過電動機35使旋轉(zhuǎn)工作臺26旋轉(zhuǎn)，使缺口部34移動到涂敷針21之下。然后通過涂敷針驅(qū)動缸22上下驅(qū)動涂敷針21，將附著在涂敷針21前端部上的油墨涂敷在濾色板基板6的缺陷部上。
在洗凈涂敷針21時，通過電動機35使旋轉(zhuǎn)工作臺26旋轉(zhuǎn)，使洗凈裝置31移動到涂敷針21之下。然后，通過涂敷針驅(qū)動缸22上下驅(qū)動涂敷針21，洗凈附著在涂敷針21上的油墨。然后，通過電動機35使旋轉(zhuǎn)工作臺26旋轉(zhuǎn)，使空氣清洗裝置32移動到涂敷針21之下。再通過涂敷針驅(qū)動缸22上下驅(qū)動涂敷針21，吹掉附著在涂敷針21上的油墨。
圖3(a)～(c)是表示成為該缺陷修正裝置的特征的涂敷針固定方法的示圖。在圖3(a)～(c)中，涂敷針保持架24形成為長方形的平板狀。涂敷針21朝向與涂敷針保持架24長邊相同的方向，其基端部固定在涂敷針保持架24的一個短邊上。涂敷針保持架24的另一個短邊側(cè)的端面E1和一個長邊側(cè)的端面E2用于涂敷針21的位置對準(zhǔn)。端面E1和E2交叉的角被削去。在涂敷針保持架24表面的規(guī)定位置嵌入有磁鐵(永久磁鐵)M1。
另外，固定底座25做成以涂敷針保持架24的大小將長方形厚板的一角部削去的形狀，將其長邊鉛垂地固定在驅(qū)動軸23的前端部上。固定底座25包含與涂敷針保持架24背面緊貼的基準(zhǔn)面F、和分別按壓涂敷針保持架24端面E1、E2的基準(zhǔn)端面E3、E4。基準(zhǔn)面F位于固定底座25的圖中左斜下部，鉛垂設(shè)置。基準(zhǔn)端面E3沿著基準(zhǔn)面F的圖中上側(cè)短邊配置，基準(zhǔn)端面E4沿著基準(zhǔn)面F的圖中右側(cè)長邊配置。在基準(zhǔn)面F的規(guī)定位置埋入有磁鐵M2。
為在涂敷針保持架24的背面與固定底座25的基準(zhǔn)面F之間產(chǎn)生磁性吸力，使磁鐵M1的N極(或S極)朝向與涂敷針保持架24背面相同的方向地將磁鐵M1裝入涂敷針保持架24中，使磁鐵M2的S極(或N極)朝向與固定底座25基準(zhǔn)面F相同的方向地將磁鐵M2裝入固定底座25中。因此，當(dāng)將涂敷針21的前端朝下將涂敷針保持架24的背面接近于固定底座25的基準(zhǔn)面F時，涂敷針保持架24的背面利用磁鐵M1、M2間的磁性吸力而被吸附在固定底座25的基準(zhǔn)面F上。
另外，將磁鐵M1、M2配置成，利用由與基準(zhǔn)面F平行的方向的磁鐵M1、M2的位置偏位所產(chǎn)生的磁鐵M1、M2間的向心力而將涂敷針保持架24的端面E1、E2按壓在固定底座25的基準(zhǔn)端面E3、E4上。
即，如圖4(a)、(b)所示，當(dāng)將磁鐵M1和M2接近到利用磁性吸力使磁鐵M1的S極和磁鐵M2的N極吸合程度的距離時，從磁鐵M2的N極出來的磁通就筆直朝向磁鐵M1的S極。另外，也產(chǎn)生欲使磁通收攏的力，以產(chǎn)生欲使拉伸后的橡膠線收攏的力。如圖4(c)、(d)所示，互相中心偏位的磁鐵M1、M2因該力而欲移動到使互相中心一致的位置。該力稱為向心力。
圖5是表示涂敷針保持架24與固定底座25緊貼時的磁鐵M1和M2位置關(guān)系的示圖。在圖5中，涂敷針保持架24與固定底座25緊貼時，磁鐵M1配置在磁鐵M2的左斜下方。即，磁鐵M1配置在磁鐵M2的下側(cè)ΔZ處，并配置在磁鐵M2的左側(cè)ΔX處。由此，圖4(a)～(d)說明的磁鐵M1、M2的位置偏位所產(chǎn)生的向心力在圖中的箭頭A的方向產(chǎn)生，涂敷針保持架24的端面E1、E2固定成被按壓在固定底座25的基準(zhǔn)端面E3、E4上的形式。
為了更有效地產(chǎn)生磁鐵M1、M2間的向心力，最好由非磁性材料形成涂敷針保持架24和固定底座25。其原因是，在由磁性材料形成涂敷針保持架24和固定底座25的場合，在磁鐵M1、M2外周的磁性材料部分從磁鐵M1、M2出來的磁通擴散，向心力減弱。
在本實施形態(tài)中，在涂敷針保持架24及固定底座25上分別設(shè)置磁鐵M1、M2，利用磁鐵M1、M2間的磁性吸力而使涂敷針保持架24的背面吸附在固定底座25的基準(zhǔn)面F上，并利用與基準(zhǔn)面F平行的方向的磁鐵M1、M2的位置偏位所產(chǎn)生的磁鐵M1、M2間的向心力而將涂敷針保持架24的端面E1、E2按壓在固定底座25的基準(zhǔn)端面E3、E4上。因此，在潔凈室內(nèi)，即使是穿戴了清潔服裝、口罩和橡膠手套的作業(yè)者，也可容易地再現(xiàn)性良好地將涂敷針保持架24安裝在固定底座25上。
圖6(a)～(c)是表示該實施形態(tài)的比較例的示圖，是與圖3(a)～(c)對比的示圖。在圖6(a)～(c)中，該比較例與圖3(a)～9(c)的涂敷針固定方法不同點是代替將磁鐵M1裝入涂敷針保持架24中，而是形成缺口部40，代替將磁鐵M2裝入固定底座25中，而是形成螺釘孔41，用固定螺釘42將涂敷針保持架24固定在固定底座25上。
在該比較例中，穿戴了清潔服裝、口罩、橡膠手套的作業(yè)者必須一邊將涂敷針保持架24的端面E1、E2按壓在固定底座25的基準(zhǔn)端面E3、E4上一邊緊固固定螺釘42，難以再現(xiàn)性良好地將涂敷針保持架24安裝在固定底座25上。在端面E1和E3之間或端面E2和E4之間產(chǎn)生間隙，涂敷針24的更換前后的涂敷針24前端位置的再現(xiàn)性變差，存在著使涂敷針保持架24落下?lián)p壞涂敷針21的問題。
對此，在本申請發(fā)明中，不必將固定螺釘42緊固，可提高作業(yè)性。并且，不必一邊將涂敷針保持架24的端面E1、E2按壓在固定底座25的基準(zhǔn)端面E3、E4上一邊進(jìn)行固定，即使是生疏的作業(yè)者，也能可靠地將涂敷針保持架24固定。而且，當(dāng)使涂敷針保持架24接近固定底座25時，由于涂敷針保持架24利用磁鐵M1、M2的磁性吸力而被吸附在固定底座25上，故使涂敷針保持架24落下?lián)p壞涂敷針21的可能性也下降。在將涂敷針保持架24取下時，只要從固定底座25上拔取即可，作業(yè)性得到極大的提高。
另外，圖7(a)～(d)是表示該實施形態(tài)的變更例的示圖，是與圖3(a)～(b)對比的示圖。在圖7(a)～(d)中，該變更例與圖3的涂敷針固定方法不同點是涂敷針保持架24及固定底座25分別被涂敷針保持架50和固定底座51置換。涂敷針保持架50形成為長方形的平板狀。涂敷針21朝向與涂敷針保持架50的背面垂直的方向，其基端部固定在背面的一個短邊側(cè)。涂敷針保持架50的另一個短邊側(cè)的端面E1和一個長邊側(cè)的端面E2用于涂敷針21的位置對準(zhǔn)。端面E1和E2交叉的角被削去。在涂敷針保持架50背面的規(guī)定位置埋入有磁鐵M1。
另外，固定底座51做成以涂敷針保持架50背面的大小將座椅狀臺座的水平部的表面的一角部削去的形狀，其鉛垂部的背面固定在驅(qū)動軸23的前端部上。固定底座51包括與涂敷針保持架50的背面緊貼的基準(zhǔn)面F、和分別按壓涂敷針保持架50端面E1、E2的基準(zhǔn)端面E3、E4?；鶞?zhǔn)面F設(shè)成水平。在基準(zhǔn)面F的規(guī)定位置埋入有磁鐵M2。
為在涂敷針保持架50的背面與固定底座51的基準(zhǔn)面F之間產(chǎn)生磁性吸力，使磁鐵M1的N極(或S即)朝向與涂敷針保持架50的背面相同的方向地將磁鐵M1裝入涂敷針保持架50中，使磁鐵M2的S極(或N極)朝向與固定底座51的基準(zhǔn)面F相同的方向地將磁鐵M2裝入固定底座51中。因此，當(dāng)將涂敷針21的前端朝下并使涂敷針保持架50的背面接近固定底座51的基準(zhǔn)面F時，涂敷針保持架50的背面利用磁鐵M1、M2間的磁性吸力而被吸附在固定底座51的基準(zhǔn)面F上。
另外，將磁鐵M1、M2配置成，利用與基準(zhǔn)面F平行的方向的磁鐵M1、M2的位置偏位所產(chǎn)生的磁鐵M1、M2間的向心力而將涂敷針保持架50的端面E1、E2按壓在固定底座51的基準(zhǔn)端面E3、E4上。向心力如圖4及圖5中說明的那樣。在本變更例中，也可獲得與實施形態(tài)相同的效果。
這次公開的實施形態(tài)全部是例示，應(yīng)認(rèn)為不受到它們的限制。本發(fā)明的范圍不是由上述的說明而是由權(quán)利要求書表示，包含與權(quán)利要求書相同的意思和在權(quán)利要求范圍內(nèi)的所有的變更。
權(quán)利要求
1.一種涂敷針固定方法，是將涂敷在基板上的細(xì)小區(qū)域涂敷液狀材料的涂敷針固定在驅(qū)動裝置的驅(qū)動軸上的方法，其特征在于，將所述涂敷針的基端部固定在涂敷針保持架上，將具有第1及第2基準(zhǔn)面的固定底座設(shè)在所述驅(qū)動軸的前端部上，在所述涂敷針保持架及所述固定底座上分別設(shè)置第1及第2磁鐵，利用所述第1及第2磁鐵間的磁性吸力使所述涂敷針保持架吸附在所述第1基準(zhǔn)面上，同時，利用由與第1基準(zhǔn)面平行的方向的所述第1及第2磁鐵的位置偏位產(chǎn)生的所述第1及第2磁鐵間的向心力而將涂敷針保持架的端面按壓在所述第2基準(zhǔn)面上。
2.一種液狀材料涂敷機構(gòu)，用于將附著在涂敷針的前端部上的液狀材料涂敷在基板上的細(xì)小區(qū)域內(nèi)，其特征在于，具有含有驅(qū)動所述涂敷針的驅(qū)動軸的驅(qū)動裝置；固定有所述涂敷針的基端部的涂敷針保持架；具有第1及第2基準(zhǔn)面并設(shè)在所述驅(qū)動軸前端部上的固定底座；及分別設(shè)在所述涂敷針保持架及所述固定底座上的第1及第2磁鐵，通過所述第1及第2磁鐵間的磁性吸力使所述涂敷針保持架吸附在所述第1基準(zhǔn)面上，并利用由與所述第1基準(zhǔn)面平行的方向的所述第1及第2磁鐵的位置偏位所產(chǎn)生的所述第1及第2磁鐵間的向心力而將所述涂敷針保持架的端面按壓在所述第2基準(zhǔn)面上。
3.如權(quán)利要求2所述的液狀材料涂敷機構(gòu)，其特征在于，所述固定底座還具有第3基準(zhǔn)面，所述第1及第2磁鐵利用所述向心力將所述涂敷針保持架的2個端面分別按壓在所述第2及第3基準(zhǔn)面上。
4.如權(quán)利要求2所述的液狀材料涂敷機構(gòu)，其特征在于，所述涂敷針保持架及所述固定底座由非磁性材料形成。
5.一種缺陷修正裝置，其特征在于，所述基板上的細(xì)小區(qū)域是形成在所述基板上的細(xì)小圖形的缺陷部，所述液狀材料是修正所述缺陷部用的修正液，所述缺陷修正裝置具有包含權(quán)利要求2至權(quán)利要求4任一項所述的液狀材料涂敷機構(gòu)及觀察所述缺陷部用的觀察用光學(xué)系統(tǒng)的修正頭；以及使所述基板和所述修正頭相對移動并進(jìn)行定位的定位機構(gòu)。
全文摘要
一種涂敷針固定方法，在其所用的油墨涂敷機構(gòu)(4)中的涂敷針保持架(24)及固定底座(25)上分別設(shè)置磁鐵(M1、M2)，利用磁鐵(M1、M2)間的磁性吸力將涂敷針保持架(24)的背面吸附在固定底座(25)的基準(zhǔn)面(F)上，并利用磁鐵(M1、M2)間的向心力將涂敷針保持架(24)的端面(E1、E2)按壓在固定底座(25)的基準(zhǔn)端面(E3、E4)上。因此，可容易地再現(xiàn)性良好地將涂敷針保持架(24)安裝在固定底座(25)上，從而容易而再現(xiàn)性良好地將涂敷針安裝在驅(qū)動裝置的驅(qū)動軸上。
文檔編號B05C1/00GK1991505SQ20061014843
公開日2007年7月4日 申請日期2006年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月27日
發(fā)明者松島昌良, 山中昭浩 申請人:Ntn株式會社