專利名稱：液滴噴出裝置及其運(yùn)轉(zhuǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴出液滴的液滴噴出裝置及其運(yùn)轉(zhuǎn)方法，尤其涉及適合于噴出混合并分散了空心珠等固體粒子的涂覆液的液滴噴出裝置及其運(yùn)轉(zhuǎn)方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示裝置等為了將二塊液晶基片的間隙維持一定，將微粒子狀的隔離物配置在上述液晶基片之間。一直以來，雖然使用噴霧式分散裝置等將隔離物分散在液晶基片上，但這種方法易于使隔離物分散不均，或者不能使液晶基片的間隔維持一定或者使多個(gè)隔離物聚成團(tuán)，導(dǎo)致顯示質(zhì)量的降低。
為了消除這類缺點(diǎn)，近年來，開發(fā)出應(yīng)用了噴墨方式的液滴噴出法，提出了多種技術(shù)方案。若用這種液滴噴出法，可以大致將必要數(shù)量的隔離物配置在預(yù)定位置；另外，若使用具有多個(gè)噴出口的噴出頭，可以在多個(gè)預(yù)定位置同時(shí)配置隔離物，具有能提高生產(chǎn)效率等優(yōu)點(diǎn)。
在通常的噴墨記錄裝置中，為了簡(jiǎn)化連接墨罐和記錄頭的管子的處理，并減輕由于滯留在管子內(nèi)的墨水的慣性力對(duì)記錄頭的影響，提出了如圖10所示的噴墨記錄裝置的方案(參照專利文獻(xiàn)1-日本特開2005-067134號(hào)公報(bào))。
這種噴墨記錄裝置具有記錄頭單元100，該記錄頭單元100與在同記錄用紙(未圖示)的運(yùn)送方向X正交的方向(主掃描方向)Y上延伸的單元驅(qū)動(dòng)用滾珠絲杠101螺紋配合，并利用與該滾珠絲杠101平行延伸的兩根導(dǎo)軌102可滑動(dòng)地支撐。將單元驅(qū)動(dòng)用電動(dòng)機(jī)(未圖示)連接在上述滾珠絲杠101上，上述記錄頭單元100通過該電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)經(jīng)滾珠絲杠101在主掃描方向Y上往復(fù)移動(dòng)。
記錄頭單元100具有板狀的支撐部件103，記錄頭104固定在該支撐部件103的大致中央部位，將供給墨水用輔罐105配置在比記錄頭104更靠對(duì)著圖面的右側(cè)，而將回收墨水用輔罐106配置在比記錄頭104更靠對(duì)著圖面的左側(cè)。
上述供給墨水用輔罐105，與在上下方向上延伸的供給墨水用輔罐用的滾珠絲杠107螺紋配合，將供給墨水用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)108連接在該滾珠絲杠107上。并且，利用上述滾珠絲杠107和驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)108，可將供給墨水用輔罐105調(diào)整到比記錄頭104更高的位置。
上述回收墨水用輔罐106與在上下方向上延伸的回收墨水用輔罐用的滾珠絲杠109螺紋配合，將回收墨水用驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)110連接在該滾珠絲杠109上。并且，利用上述滾珠絲杠109和驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)110，可將回收墨水用輔罐106調(diào)整到比記錄頭104更低的位置。
在打印機(jī)主體(未圖示)的下部，設(shè)有容納了墨水111(在彩印機(jī)的場(chǎng)合，有C、M、Y、K四個(gè)顏色的單色罐)的主罐112，以及通過墨水供給管114將這些墨水111供給到記錄頭單元100上的墨水供給用輔罐105的抽吸揚(yáng)升泵113。
容納在主墨水罐112中的墨水111，利用抽吸揚(yáng)升泵113通過墨水供給管114供給到墨水供給用輔罐105。容納在該墨水供給輔罐105中的墨水通過連通管115向記錄頭104流下，其中一部分從記錄頭104成為液滴噴出到記錄用紙(未圖示)上而形成墨點(diǎn)。通過將該記錄頭100對(duì)記錄用紙相對(duì)地進(jìn)行二維掃描，就將信息記錄在記錄用紙上。
未噴出的墨水通過連通管115向墨水回收用輔罐106流下，并滯留在其中，滯留在輔罐106中的墨水通過墨水回收管116返回到主罐112中。
這樣，墨水111便形成通過下述流道循環(huán)的系統(tǒng)主罐112→墨水供給管114→(抽吸揚(yáng)升泵113)→墨水供給用輔罐105→連通管115→記錄頭104→連通管115→墨水回收用輔罐106→墨水回收管116→主罐112。
此外，有關(guān)其它噴墨記錄裝置，可列舉例如專利文獻(xiàn)2-日本特開2003-165233號(hào)公報(bào)、專利文獻(xiàn)3-日本特開2003-300331號(hào)公報(bào)、專利文獻(xiàn)4-國際公開WO2002/90117號(hào)公報(bào)；另外，有關(guān)液晶隔離物的噴出裝置，可列舉例如專利文獻(xiàn)5-日本特開平05-281562號(hào)公報(bào)和專利文獻(xiàn)6-日本特開平11-007028號(hào)公報(bào)。
上述的噴墨記錄裝置并沒有考慮對(duì)于涂覆液(這時(shí)為墨水)的種類等在制造過程中需要變更時(shí)所采取的措施。例如，在上述的液晶顯示裝置中，雖然將微粒子狀的隔離物夾在兩塊液晶基片之間，但為了使該隔離物噴射附著于液晶基片上，往往在液晶顯示裝置的生產(chǎn)線中設(shè)置應(yīng)用了噴出記錄裝置的機(jī)構(gòu)的液滴(隔離物)噴出裝置。
然而，若在液晶顯示裝置的生產(chǎn)線上變更所制造的液晶顯示裝置的種類等時(shí)，與此相應(yīng)，由于所使用的隔離物的直徑等不同，因而在制造過程中經(jīng)常引起變更混合并分散了隔離物的涂覆液的種類。在這種狀態(tài)下，應(yīng)用了上述的噴墨記錄裝置的機(jī)構(gòu)的液滴(隔離物)噴出裝置，不能順利地進(jìn)行涂覆液的變更處理，存在操作復(fù)雜、生產(chǎn)效率差等問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就在于消除這類現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種盒的更換容易的使用方便性好的液滴噴出裝置及其操作方法。
為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明第一方案的液滴噴出裝置的特征是，具備具有容納了涂覆液的罐的盒部；使上述涂覆液成為液滴噴出到被附著體上的頭部；通過將上述罐中的涂覆液供給上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回上述罐，從而使涂覆液循環(huán)的涂覆液供給循環(huán)部；經(jīng)由上述涂覆液供給循環(huán)部將清洗液供給上述頭部的清洗液供給部；從上述涂覆液供給循環(huán)部的一部分排出廢液的廢液排出部；以及在用從上述清洗液供給部供給的清洗液清洗上述涂覆液供給循環(huán)部及上述頭部時(shí)，以加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓，在通過上述涂覆液供給循環(huán)部使涂覆液循環(huán)時(shí)，對(duì)上述罐內(nèi)進(jìn)行減壓的壓力切換部，并且輔罐和主罐連接成上述盒部對(duì)上述涂覆液供給循環(huán)部可以更換。
本發(fā)明第二方案的液滴噴出裝置在第一方案中，其特征是，上述盒部設(shè)有多個(gè)具有上述罐的盒，各盒對(duì)上述涂覆液供給循環(huán)部可切換地并列連接。
本發(fā)明第三方案的液滴噴出裝置在第一或第二方案中，其特征是，上述盒部設(shè)置在比上述頭部更高的位置，上述盒部具有將涂覆液供給上述頭部的主罐，和使通過了上述頭部的涂覆液返回的輔罐，上述主罐和輔罐用上述涂覆液供給循環(huán)部的帶移送用泵的罐間移送管連接，
在通過上述涂覆液供給循環(huán)部使涂覆液循環(huán)時(shí)，由上述壓力切換部維持上述輔罐的內(nèi)壓使其比上述主罐的內(nèi)壓更低。
本發(fā)明第四方案的液滴噴出裝置在第一方案中，其特征是，上述頭部設(shè)有多個(gè)頭，這些多個(gè)頭利用頭連接管串連連接。
本發(fā)明第五方案的液滴噴出裝置在第一至第四方案的任一個(gè)中，其特征是，上述涂覆液是混合并分散了固體粒子的涂覆液。
本發(fā)明第六方案的液滴噴出裝置在第五方案中，其特征是，上述被附著體是液晶用基片，上述固體粒子是保持兩塊液晶用基片的間隙的隔離物。
本發(fā)明第七方案的液滴噴出裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的特征是，該液滴噴出裝置具備使上述涂覆液成為液滴噴出到被附著體上的頭部；具有容納上述涂覆液的主罐和使通過了上述頭部的涂覆液返回的輔罐，且連接輔罐與主罐從而可將涂覆液從上述輔罐移送到主罐的盒部；通過將上述主罐中的涂覆液供給上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回上述輔罐，從而使涂覆液循環(huán)的涂覆液循環(huán)部；經(jīng)由上述涂覆液供給循環(huán)部將清洗液供給上述頭部的清洗液供給部；從上述涂覆液供給循環(huán)部的一部分排出廢液的廢液排出部以及在用上述清洗液清洗上述涂覆液供給循環(huán)部及上述頭部時(shí)，以加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓，在通過上述涂覆液供給循環(huán)部使涂覆液循環(huán)時(shí)，對(duì)上述主罐內(nèi)和輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓地切換壓力的壓力切換部，該運(yùn)轉(zhuǎn)方法實(shí)施以下工序空氣/清洗液置換工序，該工序是，通過由上述壓力切換部用加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓，從而使上述清洗液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，使通過了該頭部的清洗液經(jīng)涂覆液供給循環(huán)部流到上述廢液排出部，將從上述涂覆液供給循環(huán)部直到上述頭部?jī)?nèi)的空氣置換為清洗液；清洗液/涂覆液置換工序，該工序是，在該空氣/清洗液置換工序之后，由上述壓力切換部對(duì)上述主罐內(nèi)進(jìn)行加壓，使上述涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，使通過了該頭部的涂覆液經(jīng)涂覆液供給循環(huán)部流到上述廢液排出部，將從上述涂覆液供給循環(huán)部直到上述頭部?jī)?nèi)的清洗液置換為涂覆液；以及涂覆液供給循環(huán)工序，該工序是，在該清洗液/涂覆液置換工序之后，由上述壓力切換部對(duì)上述主罐內(nèi)及輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓，使上述主罐內(nèi)的涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，在使通過了該頭部的涂覆液返回上述輔罐的同時(shí)，在該涂覆液的循環(huán)過程中將涂覆液從上述頭部成為液滴噴出到被附著體上。
本發(fā)明第八方案的液滴噴出裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法在第七方案中，其特征是，上述盒部設(shè)置在比上述頭部更高的位置，在上述涂覆液供給循環(huán)工序時(shí)，由上述壓力切換部將上述輔罐的內(nèi)壓維持得比上述主罐的內(nèi)壓更低。
本發(fā)明第九方案的液滴噴出裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的特征是，該液滴噴出裝置具備使上述涂覆液成為液滴噴出到被附著體上的頭部；具有容納上述涂覆液的主罐和使通過了上述頭部的涂覆液返回的輔罐，且連接輔罐與主罐從而可將涂覆液從上述輔罐移送到主罐的盒部；通過將上述主罐中的涂覆液供給上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回上述輔罐，從而使涂覆液循環(huán)的涂覆液供給循環(huán)部；經(jīng)由上述涂覆液供給循環(huán)部將清洗液供給上述頭部的清洗液供給部；從上述涂覆液供給循環(huán)部的一部分排出廢液的廢液排出部；以及在用上述清洗液清洗上述涂覆液供給循環(huán)部及上述頭部時(shí)，以加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓，在通過上述涂覆液供給循環(huán)部使涂覆液循環(huán)時(shí)，對(duì)上述主罐內(nèi)和輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓地切換壓力的壓力切換部，并且，上述盒部至少還具備具有上述主罐和輔罐的第一盒和具有上述主罐和輔罐的第二盒，輔罐和主罐連接成上述第一盒和第二盒對(duì)上述涂覆液供給循環(huán)部可以切換；在上述第一盒和第二盒中所容納的上述涂覆液的組成相同的場(chǎng)合，連續(xù)實(shí)施以下工序涂覆液供給循環(huán)工序，該工序是，將上述第一盒與上述涂覆液供給循環(huán)部連接，由上述壓力切換部對(duì)上述第一盒的主罐內(nèi)及輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓，使上述主罐內(nèi)的涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回到上述輔罐，同時(shí)在該涂覆液的循環(huán)過程中使涂覆液從上述頭部成為液滴噴出到上述被附著體上；停止工序，該工序是，在該涂覆液供給循環(huán)工序的過程中，若上述第一盒一側(cè)的涂覆液量變少，則停止通過上述涂覆液供給制循環(huán)部的從上述第一盒的涂覆液的供給循環(huán)；切換工序，該工序是，在該停止工序后，將上述涂覆液供給循環(huán)部的連接從上述第一盒切換到上述第二盒；涂覆液供給循環(huán)工序，該工序是，在該切換工序后，由上述壓力切換部對(duì)上述第二盒的主罐內(nèi)及輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓，使上述主罐內(nèi)的涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回到上述輔罐的同時(shí)，在該涂覆液的循環(huán)過程中使涂覆液從上述頭部成為液滴噴出到被附著體上。
本發(fā)明第十方案的液滴噴出裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的特征是，該液滴噴出裝置具備使上述涂覆液成為液滴噴出到被附著體上的頭部；具有容納上述涂覆液的主罐和使通過了上述頭部的涂覆液返回的輔罐，且連接輔罐與主罐從而可將涂覆液從上述輔罐移送到主罐的盒部；通過將上述主罐中的涂覆液供給上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回上述輔罐，從而使涂覆液循環(huán)的涂覆液供給循環(huán)部；經(jīng)由上述涂覆液供給循環(huán)部將清洗液供給上述頭部的清洗液供給部；從上述涂覆液供給循環(huán)部的一部分排出廢液的廢液排出部；以及在用上述清洗液清洗上述涂覆液供給循環(huán)部及上述頭部時(shí)，以加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓，在通過上述涂覆液供給循環(huán)部使涂覆液循環(huán)時(shí)，對(duì)上述主罐內(nèi)和輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓地切換壓力的壓力切換部，并且，上述盒部至少還具備具有上述主罐和輔罐的第一盒和具有上述主罐和輔罐的第二盒，輔罐和主罐連接成上述第一盒和第二盒對(duì)上述涂覆液供給循環(huán)部可以切換；在上述第一盒和第二盒中所容納的上述涂覆液的組成不同的場(chǎng)合，實(shí)施以下工序涂覆液供給循環(huán)工序，該工序是，將上述第一盒與上述涂覆液供給循環(huán)部連接，由上述壓力切換部對(duì)上述第一盒的主罐內(nèi)及輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓，使上述主罐內(nèi)的涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回到上述輔罐，同時(shí)在該涂覆液的循環(huán)過程中使涂覆液從上述頭部成為液滴噴出到被附著體上；停止工序，該工序是，在該涂覆液供給循環(huán)工序的過程中，若上述第一盒一側(cè)的涂覆液量變少，則停止通過上述涂覆液供給制循環(huán)部的從上述第一盒的涂覆液的供給循環(huán)；切換工序，該工序是，在該停止工序后，將上述涂覆液供給循環(huán)部的連接從上述第一盒切換到上述第二盒；涂覆液排出工序，該工序是，在該切換工序后，由上述壓力切換部將上述加壓氣體從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，將從上述涂覆液供給循環(huán)部直到上述頭部?jī)?nèi)的涂覆液排出；清洗工序，該工序是，在該涂覆液排出工序之后，通過由上述壓力切換部用加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓，從而使上述清洗液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，將該通過了頭部的清洗液排出到上述廢液排出部，以清洗從上述涂覆液供給循環(huán)部到上述頭部；新的涂覆液供給循環(huán)工序，該工序是，在該清洗工序之后，由上述壓力切換部對(duì)上述第二盒的主罐內(nèi)及輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓，使上述主罐內(nèi)的新的涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，在使通過了該頭部的涂覆液返回上述輔罐的同時(shí)，在該涂覆液的循環(huán)過程中將涂覆液從上述頭部成為液滴噴出到被附著體上。
本發(fā)明采用如上所述的結(jié)構(gòu)，通過將涂覆液供給循環(huán)部，頭部及壓力切換部通用，無論涂覆液的組成為相同物質(zhì)還是組成為不同物質(zhì)，其盒的更換都容易，使用方便性良好。


圖1是涉及本發(fā)明的第一實(shí)施方式的液滴噴出裝置的系統(tǒng)圖。
圖2是該液滴噴出裝置的方框簡(jiǎn)圖。
圖3是涉及本發(fā)明的第二實(shí)施方式的液滴噴出裝置的系統(tǒng)圖。
圖4是涉及本發(fā)明的實(shí)施方式的液滴噴出裝置的正視圖。
圖5是該液滴噴出裝置的側(cè)視圖。
圖6是涉及本發(fā)明的實(shí)施方式的頭部的分解立體圖。
圖7是該頭部在組裝后的剖視圖。
圖8是沿圖7的A-A線的剖面圖。
圖9是表示頭和涂覆了隔離物的液晶用濾色器基片的關(guān)系的平面圖。
圖10是現(xiàn)有技術(shù)的噴墨記錄裝置的說明圖。
圖中1-壓力切換部，2-涂覆液循環(huán)供給部，3-盒部，4-頭部，5-盒5a-第一盒，5b-第二盒，6-主罐，7-輔罐，8-主罐用加壓/減壓管，9-主罐用歧管，10-主罐用緩沖器，11-主罐用泵，12-主罐用切換閥，13-罐間移送管，14-罐間移送用泵，15-輔罐用加壓/減壓管，16-輔罐用歧管，17-輔罐用緩沖器，18-輔罐用泵，19-輔罐用切換閥，20-涂覆液供給管，21-涂覆液供給管用切換閥，22-涂覆液回收管，23-涂覆液回收管用切換閥，24a-24d-頭，25-液面?zhèn)鞲衅鳎?6-涂覆液，27-攪拌器，28-清洗液供給管，29-清洗液罐，30-清洗液，31-液面?zhèn)鞲衅鳎?2-廢液管，33-廢液罐，34-液面?zhèn)鞲衅鳎?5-加壓氣體，36-加壓用歧管，37-加壓氣體用配管，38-涂覆液/清洗液/加壓氣體切換閥，39-頭連接管，40-清洗液/加壓氣體切換閥，41-壓力傳感器，42-涂覆液/廢液切換閥，43-第一斷路閥，44-廢液一側(cè)管體，45-回收一側(cè)管體，46、47-第二斷路閥，48-液晶用基片，49a-49f-連接部。
具體實(shí)施例方式
下面，與圖一起說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1是涉及本發(fā)明的第一實(shí)施方式的液滴噴出裝置的系統(tǒng)圖，圖2是該液滴噴出裝置的方框簡(jiǎn)圖。
首先，與圖2一起說明該液滴噴出裝置的簡(jiǎn)要結(jié)構(gòu)。如圖2所示，液滴噴出裝置包括從功能上分的大的四個(gè)部分壓力切換部1，涂覆液供給循環(huán)部2，盒部3和頭部4，大致具有如圖所示的連接關(guān)系。
上述盒部2設(shè)置在比上述頭部4高的位置。另外，上述盒部2裝有第一盒5a和第二盒5b兩個(gè)盒，第一盒5a和第二盒5b做成對(duì)裝置主體可以更換(可以裝拆)。并且，該第一盒5a和第二盒5b做成與上述涂覆液供給循環(huán)部2并列連接，可相互切換。
如圖1所示，上述盒5a、5b分別具有容納噴出前的涂覆液的主罐6和涂覆液回收用的輔罐(涂覆液循環(huán)用緩沖罐)7。主罐6上連接有主罐用加壓/減壓管8，主罐用加壓/減壓管8通過涂覆液供給循環(huán)部并連接在設(shè)于上述壓力切換部1的主罐用歧管9上。主罐用歧管9通過主罐用壓力緩沖器10與主罐用泵11連接。在從上述第一盒5a引出的主罐用加壓/減壓管8和從上述第二盒5b引出的主罐用加壓/減壓管8的結(jié)合部連接有由三通閥構(gòu)成的主罐用切換閥12。
罐間移送管13從輔罐7向主罐6延伸，罐間移送用泵14連接在罐間移送管13的中途。
在輔罐7上連接有輔罐用加壓/減壓管15，輔罐用加壓/減壓管15通過涂覆液供給循環(huán)部2并連接在設(shè)于上述壓力切換部1的輔罐用歧管16上。輔罐用歧管16通過輔罐用壓力緩沖器17與輔罐用泵18連接。在從上述第一盒5a引出的輔罐用加壓/減壓管15和從上述第二盒5b引出的輔罐用加壓/減壓管15的結(jié)合部連接有由三通閥構(gòu)成的輔管用切換閥19。
涂覆液供給管20從主罐6向頭部4延伸，在從上述第一盒5a引出的涂覆液供給管20和上述第二盒5b引出的涂覆液供給管20的結(jié)合部連接有由三通閥構(gòu)成的盒切換閥21。
涂覆液回收管22從頭部4通過涂覆液供給循環(huán)部2延伸到輔罐7一側(cè)，在延伸到上述第一盒5a一側(cè)的涂覆液回收管22和延伸到上述第二盒5b一側(cè)的涂覆液回收管22的分支部上，連接有由三通閥構(gòu)成的涂覆液回收用切換閥23。
在上述頭部4上，四個(gè)頭24a-24d并列配置在直線上，各頭24a-24d用頭連接管39串連連接。
在主罐6的上部固定有利用了超聲波的液面?zhèn)鞲衅?5，用來監(jiān)視主罐6內(nèi)的涂覆液26的液面(剩余量)。在主罐6和輔罐7上，裝有通過從外部施加交變磁場(chǎng)可自轉(zhuǎn)的由磁體構(gòu)成的攪拌器27，通過改變所施加的交變磁場(chǎng)可適當(dāng)調(diào)整攪拌器27的轉(zhuǎn)數(shù)。通過伴隨該攪拌器27的旋轉(zhuǎn)的攪拌作用，能更可靠地防止涂覆液26中的固體微粒子(隔離物微離子)的沉降。
在涂覆液供給循環(huán)部2上，通過清洗液供給管28連接有清洗液罐29，在清洗液罐29內(nèi)容納有例如異丙醇等清洗液30。清洗液罐29內(nèi)的清洗液30的液面(剩余量)由液面?zhèn)鞲衅?1監(jiān)視。
在上述涂覆液回收管22的中途連接有廢液管32，該廢液管32延伸到廢液罐33。罐內(nèi)的廢液量由液面?zhèn)鞲衅?4監(jiān)視。
由氮?dú)饣蚩諝獾葮?gòu)成的加壓氣體35，通過加壓用歧管36并利用各加壓氣體用配管37分別供給到主罐用歧管9、輔罐用歧管16、涂覆液供給管20以及清洗液罐29一側(cè)。
在上述加壓氣體用配管37的與涂覆液供給管20的結(jié)合部設(shè)有由三通閥構(gòu)成的涂覆液/清洗液/加壓氣體切換閥38。另外，在上述加壓氣體用配管37和清洗液供給管28的結(jié)合部設(shè)有由三通閥構(gòu)成的清洗液/加壓氣體切換閥40。在上述主罐用歧管9、輔罐用歧管16及加壓用歧管36上分別設(shè)有壓力傳感器41。
在從上述涂覆液供給用切換閥21引出的涂覆液供給管20和廢液管32的結(jié)合部上設(shè)有由三通閥構(gòu)成的涂覆液/廢液切換閥42。在涂覆液供給管20上的上述涂覆液/廢液切換閥42和頭部4之間設(shè)有由二通閥構(gòu)成的第一斷路閥43。從頭部4引出的涂覆液回收管22在與廢液管32的結(jié)合部附近，分支為延伸到廢液管32一側(cè)的廢液一側(cè)管體44和延伸到涂覆液回收用切換閥23一側(cè)的回收一側(cè)管體45兩條支管。并且，在上述廢液一側(cè)管體44上設(shè)有由二通閥構(gòu)成的第二斷路閥46，在回收一側(cè)管體45上設(shè)有由二通閥構(gòu)成的第三斷路閥47，如圖所示，從頭部4引出的涂覆液回收管22連接在第二斷路閥46和第三斷路閥47之間。
如圖所示，第一盒5a和第二盒5b一起，由主罐6→涂覆液供給管20→頭24a-24d→涂覆液回收管22→輔罐7→罐間移送管13(罐間移送用泵14)形成了涂覆液26的循環(huán)路徑。
第一盒5a和第二盒5b都做成可對(duì)裝置主體進(jìn)行更換，圖中，49a是主罐6與涂覆液供給管20的連接部，49b是主罐6與主罐用加壓/減壓管8的連接部，49c是主罐6與罐用移送管13的出口一側(cè)的連接部，49d是輔罐7與罐用移送管13的入口一側(cè)的連接部，49e是輔罐7與輔罐用加壓/減壓管15的連接部，49f是輔罐7與涂覆液回收管22的連接部。在這些連接部49a-40f中，連接輔罐與主罐從而上述盒5a、5b可以對(duì)裝置主體進(jìn)行更換。
在第一盒5a和第二盒5b的主罐6和輔罐7中注入有預(yù)定量的涂覆液26。本實(shí)施方式表示的例子是，將用作液晶顯示裝置的基片間隔離物的例如由空心珠等構(gòu)成的球狀的隔離物粒子噴射附著到基片上的液滴噴出裝置。
隔離物粒子的直徑隨例如液晶顯示裝置的種類為VA方式或TN方式之類而不同，但通常使用的直徑為2μm-5μm左右，是從頭24的噴口可以噴出的直徑。該隔離物粒子以例如0.5重量％-20重量％左右的濃度分散在有機(jī)液體、水或有機(jī)液體與水的混合液等的分散液中。
本實(shí)施方式使用的是將水和乙二醇混合，將粘度調(diào)整到10mPa·S的程度，使其可穩(wěn)定地噴出的分散液，并將直徑為3.5μm的空心玻璃珠按1.2重量％分散到該分散液中。根據(jù)需要，也可以添加用于良好地維持隔離物粒子的分散性的分散劑或者將隔離物粒子粘接到基片表面的粘接劑等。
下面，說明該液滴噴出裝置的各項(xiàng)操作。首先，說明使用第一盒5a噴出涂覆液26的情況。
涂覆液的充填操作如下。
在將第一盒5a安裝在液滴噴出裝置上的狀態(tài)下，由于在涂覆液供給管20、各頭24a-24d、頭連接管39和涂覆液回收管22內(nèi)等中存在空氣，因而，為排出這些空氣，首先用清洗液30置換空氣。
由于在從主罐6到切換閥38之間的涂覆液供給管內(nèi)還殘留有空氣，因而，應(yīng)將切換閥38的A側(cè)打開、B側(cè)關(guān)閉，將切換閥21置于原狀，將切換閥42的A側(cè)關(guān)閉、B側(cè)打開，并關(guān)閉斷路閥43。另外，將切換閥12的A側(cè)打開，B側(cè)關(guān)閉。
然后，通過使加壓氣體經(jīng)過加壓氣體用配管37，主罐用歧管9、主罐用加壓/減壓管8而供給到主罐6內(nèi)以提高內(nèi)壓，利用該內(nèi)壓使涂覆液26流過涂覆液供給管20及廢液管23，從而將涂覆液26充填到它們之間(從主罐6到切換38之間)的路徑中。
為此，打開切換閥40的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)，關(guān)閉切換閥38的A側(cè)、打開B側(cè)，打開切換閥21的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)，打開切換閥42的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)，并打開斷路閥43，打開斷路閥46，關(guān)閉斷路閥47。
然后，通過使加壓氣體35經(jīng)過加壓氣體用配管37供給到清洗液罐29內(nèi)以提高內(nèi)壓，利用該內(nèi)壓使清洗液罐29內(nèi)的清洗液30流過清洗液供給管28、加壓氣體用配管37的一部分、涂覆液供給管20、各頭24a-24d、頭連接管39、涂覆液回收管22的一部分、廢液管32，從而使其間的空氣置換為清洗液30。通過使清洗液30流過規(guī)定時(shí)間，從而用清洗液充滿包含頭部4的循環(huán)路徑。
隨后，打開切換閥42的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)，打開斷路閥43。然后，通過將加壓氣體35供給到主罐6內(nèi)以提高內(nèi)壓，利用該內(nèi)壓使涂覆液26流過涂覆液供給管20、各頭24a-24d、頭連接管39、涂覆液回收管22的一部分、廢液管32，從而將清洗液30置換為涂覆液26。再關(guān)閉斷路閥46，打開斷路閥47，將涂覆液26壓送到回收一側(cè)管體45內(nèi)及延伸到其前邊的輔罐7的涂覆液回收管22內(nèi)。由此，結(jié)束涂覆液26的充填操作，接著進(jìn)行涂覆液36的噴出操作。
涂覆液的噴出操作如下。
如上所述，盒部3設(shè)置在比頭部4更高的位置，兩者之間產(chǎn)生水位差。本發(fā)明利用該水位差，在將涂覆液26從記錄頭4噴出時(shí)，總是使涂覆液26通過上述循環(huán)路徑循環(huán)，從而抑制了涂覆液成分的沉降，本實(shí)施方式中則抑制了隔離物粒子的沉降。
然而，若只將盒部3設(shè)置在比頭部4更高的位置，由于上述水位差的影響，并不能很好地維持在頭的噴口處的彎液面，像現(xiàn)有技術(shù)那樣仍產(chǎn)生漏液。因此，本發(fā)明為了在能很好地維持在頭的噴口處的彎液面的同時(shí)，還能適合于使涂覆液26循環(huán)的條件，使主罐6內(nèi)及輔罐7內(nèi)處于減壓狀態(tài)。
具體地，打開涂覆液回收用切換閥23的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)，關(guān)閉第二斷路閥46，打開第三斷路閥47，并打開主罐用切換閥12和輔罐用切換閥19的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)。然后，驅(qū)動(dòng)主罐用泵11和輔罐用泵18，通過主罐用加壓/減壓管8和輔罐用加壓/減壓管15，分別使主罐6內(nèi)和輔罐7內(nèi)處于減壓狀態(tài)。輔罐7的內(nèi)壓由壓力切換部1進(jìn)行控制，從而使其總是比主罐6的內(nèi)壓低，即使涂覆液26的量發(fā)生變化，兩者的壓力差也總是維持一定。涂覆液26的剩余量可由液面?zhèn)鞲衅?5檢測(cè)。
本實(shí)施方式如圖1所示，各項(xiàng)參數(shù)的設(shè)定為頭24的噴出面與主罐6的底面的高低差H約為700mm，主罐6的內(nèi)壓約為-8kPa，輔罐7的內(nèi)壓約為-11kPa，兩罐6、7的壓力差約為3kPa。主罐6的內(nèi)壓隨著主罐6內(nèi)的涂覆液26的量在約±0.5kPa內(nèi)變動(dòng)，與其變動(dòng)相對(duì)應(yīng)地控制輔罐7的內(nèi)壓。
另外如圖所示，輔罐7的液面通過驅(qū)動(dòng)罐間移送用泵14進(jìn)行控制，使其總是比主罐6的液面更低，利用主罐6和輔罐7的液面差使涂覆液26的循環(huán)順利地進(jìn)行。
主罐6內(nèi)的涂覆液26利用上述水位差通過涂覆液供給管20供給到頭部4，流入到各頭24的壓力室中，通過驅(qū)動(dòng)壓電振子而成為液滴從噴口噴出到液晶用基片48的預(yù)定位置上。在該噴射附著在基片上的液滴中，大致包含規(guī)定個(gè)數(shù)(在本實(shí)施方式中為3-5個(gè))的隔離物粒子。此外，關(guān)于頭24的內(nèi)部結(jié)構(gòu)將在后文說明。
沒有噴出的涂覆液26流到下一個(gè)頭24并將其一部分噴出，最終未被噴出的殘留的涂覆液26通過涂覆液回收管22送到輔罐7中。輔罐7內(nèi)的涂覆液26通過驅(qū)動(dòng)罐間移送用泵14而經(jīng)過罐間移送管13返回到主罐6中。通過該罐間移送用泵14的旋轉(zhuǎn)控制，可以使主罐6和輔罐7的液面差H總是維持適當(dāng)?shù)闹怠?br> 未噴出涂覆液26時(shí)，由于頭24的壓電振子未驅(qū)動(dòng)，因而涂覆液26只是穿過各頭24a-24d的內(nèi)部。
這樣，涂覆液26無論噴出時(shí)或未噴出時(shí)都進(jìn)行循環(huán)，由于總是處于流動(dòng)狀態(tài)，因而可以抑制涂覆液的構(gòu)成成分，尤其是本實(shí)施方式中的隔離物粒子的沉降。再有，由于在本實(shí)施方式中，攪拌器27分別在主罐6及輔罐7內(nèi)旋轉(zhuǎn)，因而，可以進(jìn)一步抑制隔離物粒子的沉降。
盒的切換操作如下。
下面，說明從第一盒5a向第二盒5b的切換操作。當(dāng)液面?zhèn)鞲衅?5檢測(cè)出第一盒5a一側(cè)的主罐6的液面比規(guī)定的位置還低時(shí)，則判斷為第一盒5a一側(cè)的涂覆液26已消耗。
在第一盒5a和第二盒5b的涂覆液26的組成相同時(shí)，雖然涂覆液26已經(jīng)充填在包含頭部4的循環(huán)路徑中，但在從主罐6到切換閥38b之間的涂覆液供給管20b和從切換閥23到輔罐7b的路徑中仍殘留有空氣。
因此，關(guān)閉切換閥12、19、21、23、42的A側(cè)、打開B側(cè)，打開切換閥38的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)。然后，通過將加壓氣體35經(jīng)過加壓氣體用配管37，主罐用歧管9，主罐用加壓/減壓管8供給到主罐6b內(nèi)以提高內(nèi)壓，利用其內(nèi)壓使涂覆液26流過涂覆液供給管20b及廢液管32，從而將從主罐6到切換閥38b之間的涂覆液供給管20b內(nèi)的空氣排出。其后，打開切換閥42的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)，將涂覆液26壓送到從切換閥23到輔罐7b的路徑中。由此，結(jié)束盒的切換操作。該涂覆液26的噴出動(dòng)作由于與第一盒5a的情況相同，因此，省略重復(fù)的說明。
在第一盒5a和第二盒5b中的涂覆液26的組成不同的情況下，例如在所制造的液晶顯示器的種類變更，與之相應(yīng)，在涂覆液中的隔離物粒子(空心珠)的直徑不同的場(chǎng)合，由于在包含頭部4的循環(huán)路徑中充填有前一種涂覆液26a，因而，必須將其完全排除。
為此，首先關(guān)閉切換閥38的A側(cè)、打開B側(cè)，打開切換閥21的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)，打開切換閥42的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)，打開第一斷路閥43及第三斷路閥47，關(guān)閉第二斷路閥46，并使切換閥23處于A側(cè)打開B側(cè)關(guān)閉了的狀態(tài)。然后，通過關(guān)閉切換閥40的A側(cè)、打開B側(cè)，將加壓氣體35通過加壓氣體用配管37壓送到涂覆液供給管20。由此，將殘留在切換閥38以后的涂覆液供給管20，各頭24a-24d，直到頭連接管39及第一盒5a的輔罐7的涂覆液回收管22內(nèi)的涂覆液26a排出到輔罐7。
其次，使切換閥40以外的閥處于與上述的涂覆液26a排出時(shí)相同的狀態(tài)，打開切換閥40的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)，這次是壓送清洗液30。由此，清洗切換閥38以后的涂覆液供給管20，各頭24a-24d，直到頭連接管39及第一盒5a的輔罐7的涂覆液回收管22，將那些廢液排出到輔罐7中。這樣，在變更涂覆液26的種類的場(chǎng)合等時(shí)，將在前所使用了的盒5的輔罐7作為廢液罐利用。
這樣一來，在直到當(dāng)前使用了的循環(huán)流道中的涂覆液26a的排出及清洗結(jié)束之后，關(guān)閉第一盒5a側(cè)的切換閥38的A側(cè)、打開B側(cè)，打開第二盒5b側(cè)的切換閥38的A側(cè)、關(guān)閉B側(cè)，關(guān)閉切換閥21的A側(cè)、打開B側(cè)，關(guān)閉切換閥23的A側(cè)、打開B側(cè)。
通過這些閥的操作，將包含頭部4的循環(huán)流道連接到第二盒5b一側(cè)，在這種狀態(tài)下，進(jìn)行第二盒5b一側(cè)的涂覆液26b的充填。由于涂覆液26b的噴出動(dòng)作與上述相同，因而省略重復(fù)的說明。
圖3是涉及本發(fā)明第二實(shí)施方式的液滴噴出裝置的系統(tǒng)圖，在本實(shí)施方式中與上述第一實(shí)施方式不同之點(diǎn)在于，各頭24a-24d利用頭連接管39并列連接這一點(diǎn)。
如圖1所示，在各頭24a-24d為串連連接的場(chǎng)合，其具有的優(yōu)點(diǎn)是在各頭24a-24d中，從清洗液向涂覆液的置換以及涂覆液的循環(huán)能均勻地進(jìn)行。另一方面，如圖3所示，在各頭24a-24d為并列連接的場(chǎng)合，其具有的優(yōu)點(diǎn)是在各頭24a-24d中，可增大涂覆液的噴出量，并可提高噴出速度。
圖4和圖5是涉及本發(fā)明的實(shí)施方式的液滴噴出裝置的正視圖和側(cè)視圖。
如這些圖所示，在涂覆臺(tái)51上敷設(shè)并固定有兩條平行延伸的X軸直線導(dǎo)軌52，在該導(dǎo)軌上安裝有兩個(gè)X軸直線導(dǎo)軌53。在X軸直線導(dǎo)軌53的上方通過臺(tái)座54固定有工作臺(tái)55。
在工作臺(tái)55上，取向面朝上地放置涂覆隔離物微粒子(空心珠)的液晶用基片48，并利用例如空氣吸附機(jī)構(gòu)等定位機(jī)構(gòu)(未圖示)將其固定在工作臺(tái)55上的預(yù)定位置。
支柱56、56從涂覆臺(tái)51的左右兩側(cè)面向上方延伸，在支柱56、56的上端部架設(shè)有導(dǎo)向支撐部件57。在導(dǎo)向支撐部件57的前面，兩條平行延伸的Y軸直線導(dǎo)軌58固定在水平方向上，在該Y軸直線導(dǎo)軌58上可滑動(dòng)地支承有Y軸座59。再在Y軸座59上固定有在垂直方向延伸的Z軸座60，在Z軸座60上可滑動(dòng)地支承有Z軸直線導(dǎo)軌61(參照?qǐng)D4)。
在上述Y軸座59及Z軸座60上如圖5所示，搭載有涂覆液噴出機(jī)構(gòu)62。該涂覆液噴出機(jī)構(gòu)62中的涂覆液供給箱63搭載在Y軸座59上，涂覆液供給箱63如圖4所示，具有上述涂覆液循環(huán)供給部2和盒部3。本實(shí)施方式中，作為上述盒部3，雖然搭載了兩組主罐6和輔罐7的組合，但也可以搭載一組上述組合。另一方面，涂覆液噴出機(jī)構(gòu)62中的頭部4通過頭滑塊64搭載在上述Z軸直線導(dǎo)軌61(Z軸座60)上。
搭載了上述液晶用基片48的工作臺(tái)55，例如以線性電機(jī)(未圖示)為驅(qū)動(dòng)源沿上述X軸直線導(dǎo)軌52上往復(fù)移動(dòng)。搭載了上述Z軸座60的Y軸座59例如以線性電機(jī)(未圖示)作為驅(qū)動(dòng)源在上述Y軸直線導(dǎo)軌58上往復(fù)移動(dòng)。而搭載了上述頭部4的Z軸直線導(dǎo)軌61則例如以線性電機(jī)(未圖示)為驅(qū)動(dòng)源在上述Z軸座60上往復(fù)移動(dòng)。
也如這些圖所示，涂覆液供給箱63(涂覆液循環(huán)供給部2、盒部3)設(shè)置在比頭部4高的位置，因此，涂覆液從盒部3經(jīng)涂覆液循環(huán)供給部2通過涂覆液供給管(例如柔性管)自然地供給到頭部4內(nèi)，同時(shí)頭部4內(nèi)的涂覆液利用與盒部3的液面差而總是處于加壓狀態(tài)。由此，由于在頭部4中有可能產(chǎn)生涂覆液的泄漏，因而，利用未圖示的壓力切換部1對(duì)盒部3內(nèi)進(jìn)行控制使其處于減壓狀態(tài)。
頭部4和液晶用基片48的距離通過調(diào)整在Z軸座60上的Z軸直線導(dǎo)軌61的位置適當(dāng)設(shè)定。并且，在搭載了液晶用基片48的工作臺(tái)55往復(fù)移動(dòng)期間，通過初始設(shè)定的噴出定時(shí)，使涂覆液從頭部4成為液滴噴出到液晶用基片48的預(yù)定位置上，在噴射附著的液滴內(nèi)包含有規(guī)定個(gè)數(shù)的隔離物微粒子。
當(dāng)通過液晶用基片48的一次往復(fù)移動(dòng)使液滴噴射附著到必要的位置時(shí)，涂覆液噴出機(jī)構(gòu)62便在Y軸上移動(dòng)到下一個(gè)涂覆區(qū)域。通過重復(fù)這些動(dòng)作，含有隔離物微粒子的液滴則噴射附著到液晶用基片48的整個(gè)面上，在進(jìn)行隔離物微粒子的粘接之后，運(yùn)送到液晶顯示裝置的下一個(gè)組裝工序。
圖6到圖8是表示按需型頭部的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖，圖6是頭部的分解立體圖，圖7是頭部的組裝后的剖視圖，圖8是沿圖7的A-A線的剖視圖。
在這些圖中，標(biāo)號(hào)71是噴口，72是噴口板，73是壓力室，74是壓力室板，75是節(jié)流孔，76是節(jié)流板，77是隔膜，78是過濾器，79是隔膜板，80是孔部，81是支撐板，82是共用液體通道，83是外殼，84是粘接劑，85是壓電驅(qū)動(dòng)器，86是壓電振子，87是外部電極，88是導(dǎo)電性粘接劑，89是支撐基片，90是單獨(dú)電極，91是共用電極，92是通孔，93是液體導(dǎo)入管。
這種按需型頭部如圖6所示，由噴口板72、壓力室板74、節(jié)流板76、隔膜板79、支撐板81、外殼83和壓電驅(qū)動(dòng)器85等構(gòu)成。
形成有一列多個(gè)噴口71的噴口板72通過用鎳材料的電鑄加工法、用不銹鋼材料等的精密壓力加工法或激光加工法等制作而成。在壓力室板74上形成有個(gè)數(shù)與上述噴口71相應(yīng)的壓力室73，并與上述噴口71連通。節(jié)流板76如圖7所示，形成有將共用液體通道82和上述壓力室73連通，并控制向壓力室73的液體注入量的節(jié)流孔75。壓力室板74和節(jié)流板76利用不銹鋼材料的刻蝕加工法或鎳材料的電鑄加工法等制作。
在隔膜板79上形成有用于將壓電振子86的壓力有效地傳遞給壓力室73的隔膜77，和除去從共用液體通道82注入到節(jié)流孔75中的液體中的雜質(zhì)等的過濾器78。隔膜板79利用不銹鋼材料的刻蝕加工法或鎳材料的電鑄加工法等制作。
支撐板81上形成有孔部80，該孔部80用來在用粘接劑84固定隔膜77和壓電振子86時(shí)，控制隔膜77的振動(dòng)系統(tǒng)固定端的位置，并且限制從粘接位置擠出來的粘接劑在隔膜77上擴(kuò)展。支撐板81利用不銹鋼材料的刻蝕加工法或鎳材料的電鑄加工法等制作。在用金屬或合成樹脂制作的外殼83上，設(shè)有共用液體通道82，在該共用液體道82上連接有上述涂覆液供給管20或頭連接管39。從涂覆液供給管20或頭連接管39供給的涂覆液，在頭的共用液體通道82的中間通過過濾器78依次流向節(jié)流孔75、壓力室73、噴口71。通過在單獨(dú)電極90和共用電極91之間施加規(guī)定的脈沖電壓而使壓電振子86伸縮，當(dāng)停止施加脈沖電壓時(shí)，壓電振子86便返回到伸縮前的狀態(tài)。由于壓電振子86這樣的變形，對(duì)壓力室73內(nèi)的涂覆液便施加瞬時(shí)的壓力，涂覆液從噴口成為液滴而噴射附著到液晶用基片48上。
圖9是表示頭和涂覆了隔離物的液晶用濾色器基片的關(guān)系的平面圖。如圖9所示，在液晶用濾色器基片48的表面上，形成了有規(guī)律的R、G、B的像素單元95，在該液晶用濾色器基片48的遮光膜96的交叉部分上涂覆有多個(gè)隔離物97。
如圖9所示，在頭24上以P1的間距形成有噴口71，與此相比，在基片48上所粘接的隔離物97的間距P2隨液晶顯示裝置的種類而不同。為此，調(diào)整頭24的傾斜角度θ，使得由頭24噴出的間隔與隔離物97的間距P2一致。
上述實(shí)施方式雖對(duì)液晶顯示裝置制造的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，也可以應(yīng)用于例如場(chǎng)致發(fā)光件的制造或印刷含有氧化鈦粒子的墨水的印刷電路板的制造，使用容易沉降或凝聚的高濃度的電子零部件用墨水制造的疊層陶瓷電子零部件或高頻電子零部件之類的電子零部件的制造等其它技術(shù)領(lǐng)域。
另外，本發(fā)明雖對(duì)噴出混合并分散了固體微粒子的涂覆液的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，也可以適用于例如噴墨記錄裝置等的噴出沒有含固體微粒子的涂覆液的場(chǎng)合。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，其特征在于，具備具有容納了涂覆液的罐的盒部；使上述涂覆液成為液滴噴出到被附著體上的頭部；通過將上述罐中的涂覆液供給上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回上述罐，從而使涂覆液循環(huán)的涂覆液供給循環(huán)部；經(jīng)由上述涂覆液供給循環(huán)部將清洗液供給上述頭部的清洗液供給部；從上述涂覆液供給循環(huán)部的一部分排出廢液的廢液排出部；以及在用從上述清洗液供給部供給的清洗液清洗上述涂覆液供給循環(huán)部及上述頭部時(shí)，以加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)加壓，在通過上述涂覆液供給循環(huán)部使涂覆液循環(huán)時(shí)，對(duì)上述罐內(nèi)進(jìn)行減壓的壓力切換部，并且上述盒部連接成對(duì)上述涂覆液供給循環(huán)部可以更換。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，上述盒部設(shè)有多個(gè)具有上述罐的盒，各盒對(duì)上述涂覆液供給循環(huán)部可切換地并列連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出裝置，其特征在于，上述盒部設(shè)置在比上述頭部更高的位置，上述盒部具有將涂覆液供給上述頭部的主罐，和使通過了上述頭部的涂覆液返回的輔罐，上述主罐和輔罐用上述涂覆液供給循環(huán)部的帶移送用泵的罐間移送管連接，在通過上述涂覆液供給循環(huán)部使涂覆液循環(huán)時(shí)，由上述壓力切換部維持上述輔罐的內(nèi)壓使其比上述主罐的內(nèi)壓更低。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，上述頭部設(shè)有多個(gè)頭，這些多個(gè)頭利用頭連接管串連連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于，上述涂覆液是混合并分散了固體粒子的涂覆液。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液滴噴出裝置，其特征在于，上述被附著體是液晶用基片，上述固體粒子是保持兩塊液晶用基片的間隙的隔離物。
7.一種液滴噴出裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于，該液滴噴出裝置具備使上述涂覆液成為液滴噴出到被附著體上的頭部；具有容納上述涂覆液的主罐和使通過了上述頭部的涂覆液返回的輔罐，且連接輔罐與主罐從而可將涂覆液從上述輔罐移送到主罐的盒部；通過將上述主罐中的涂覆液供給上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回上述輔罐，從而使涂覆液循環(huán)的涂覆液循環(huán)部；經(jīng)由上述涂覆液供給循環(huán)部將清洗液供給上述頭部的清洗液供給部；從上述涂覆液供給循環(huán)部的一部分排出廢液的廢液排出部以及在用上述清洗液清洗上述涂覆液供給循環(huán)部及上述頭部時(shí)，以加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)加壓，在通過上述涂覆液供給循環(huán)部使涂覆液循環(huán)時(shí)，對(duì)上述主罐內(nèi)和輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓地切換壓力的壓力切換部，該運(yùn)轉(zhuǎn)方法實(shí)施以下工序空氣/清洗液置換工序，該工序是，通過由上述壓力切換部用加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓，從而使上述清洗液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，使通過了該頭部的清洗液經(jīng)涂覆液供給循環(huán)部流到上述廢液排出部，將從上述涂覆液供給循環(huán)部直到上述頭部?jī)?nèi)的空氣置換為清洗液；清洗液/涂覆液置換工序，該工序是，在該空氣/清洗液置換工序之后，由上述壓力切換部對(duì)上述主罐內(nèi)加壓，使上述涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，使通過了該頭部的涂覆液經(jīng)涂覆液供給循環(huán)部流到上述廢液排出部，將從上述涂覆液供給循環(huán)部直到上述頭部?jī)?nèi)的清洗液置換為涂覆液；以及涂覆液供給循環(huán)工序，該工序是，在該清洗液/涂覆液置換工序之后，由上述壓力切換部對(duì)上述主罐內(nèi)及輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓，使上述主罐內(nèi)的涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，在使通過了該頭部的涂覆液返回上述輔罐的同時(shí)，在該涂覆液的循環(huán)過程中將涂覆液從上述頭部成為液滴噴出到被附著體上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的液滴噴出裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于，上述盒部設(shè)置在比上述頭部更高的位置，在實(shí)施上述涂覆液供給循環(huán)工序時(shí)，由上述壓力切換部將上述輔罐的內(nèi)壓維持得比上述主罐的內(nèi)壓更低。
9.一種液滴噴出裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于，該液滴噴出裝置具備使上述涂覆液成為液滴噴出到被附著體上的頭部；具有容納上述涂覆液的主罐和使通過了上述頭部的涂覆液返回的輔罐，且連接輔罐與主罐從而可將涂覆液從上述輔罐移送到主罐的盒部；通過將上述主罐中的涂覆液供給上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回上述輔罐，從而使涂覆液循環(huán)的涂覆液供給循環(huán)部；經(jīng)由上述涂覆液供給循環(huán)部將清洗液供給上述頭部的清洗液供給部；從上述涂覆液供給循環(huán)部的一部分排出廢液的廢液排出部；以及在用上述清洗液清洗上述涂覆液供給循環(huán)部及上述頭部時(shí)，以加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)加壓，在通過上述涂覆液供給循環(huán)部使涂覆液循環(huán)時(shí)，對(duì)上述主罐內(nèi)和輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓地切換壓力的壓力切換部，并且，上述盒部至少還具備具有上述主罐和輔罐的第一盒和具有上述主罐和輔罐的第二盒，輔罐和主罐連接成上述第一盒和第二盒對(duì)上述涂覆液供給循環(huán)部可以切換；在上述第一盒和第二盒中所容納的上述涂覆液的組成相同的場(chǎng)合，連續(xù)實(shí)施以下工序涂覆液供給循環(huán)工序，該工序是，將上述第一盒與上述涂覆液供給循環(huán)部連接，由上述壓力切換部對(duì)上述第一盒的主罐內(nèi)及輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓，使上述主罐內(nèi)的涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回到上述輔罐，同時(shí)在該涂覆液的循環(huán)過程中使涂覆液從上述頭部成為液滴噴出到被附著體上；停止工序，該工序是，在該涂覆液供給循環(huán)工序的過程中，若上述第一盒一側(cè)的涂覆液量變少，則停止通過上述涂覆液供給制循環(huán)部的從上述第一盒的涂覆液的供給循環(huán)；切換工序，該工序是，在該停止工序后，將上述涂覆液供給循環(huán)部的連接從上述第一盒切換到上述第二盒；以及涂覆液供給循環(huán)工序，該工序是，在該切換工序后，由上述壓力切換部對(duì)上述第二盒的主罐內(nèi)及輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓，使上述主罐內(nèi)的涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回到上述輔罐，同時(shí)在該涂覆液的循環(huán)過程中使涂覆液從上述頭部成為液滴噴出到被附著體上。
10.一種液滴噴出裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于，該液滴噴出裝置具備使上述涂覆液成為液滴噴出到被附著體上的頭部；具有容納上述涂覆液的主罐和使通過了上述頭部的涂覆液返回的輔罐，且連接輔罐與主罐從而可將涂覆液從上述輔罐移送到主罐的盒部；通過將上述主罐中的涂覆液供給上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回上述輔罐，從而使涂覆液循環(huán)的涂覆液供給循環(huán)部；經(jīng)由上述涂覆液供給循環(huán)部將清洗液供給上述頭部的清洗液供給部；從上述涂覆液供給循環(huán)部的一部分排出廢液的廢液排出部；以及在用上述清洗液清洗上述涂覆液供給循環(huán)部及上述頭部時(shí)，以加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓，在通過上述涂覆液供給循環(huán)部使涂覆液循環(huán)時(shí)，對(duì)上述主罐內(nèi)和輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓地切換壓力的壓力切換部，并且，上述盒部至少還具備具有上述主罐和輔罐的第一盒和具有上述主罐和輔罐的第二盒，輔罐和主罐連接成上述第一盒和第二盒對(duì)上述涂覆液供給循環(huán)部可以切換；在上述第一盒和第二盒中所容納的上述涂覆液的組成不同的場(chǎng)合，實(shí)施以下工序涂覆液供給循環(huán)工序，該工序是，將上述第一盒與上述涂覆液供給循環(huán)部連接，由上述壓力切換部對(duì)上述第一盒的主罐內(nèi)及輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓，使上述主罐內(nèi)的涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，并使通過了該頭部的涂覆液返回到上述輔罐，同時(shí)在該涂覆液的循環(huán)過程中使涂覆液從上述頭部成為液滴噴出到被附著體上；停止工序，該工序是，在該涂覆液供給循環(huán)工序的過程中，若上述第一盒一側(cè)的涂覆液量變少，則停止通過上述涂覆液供給制循環(huán)部的從上述第一盒的涂覆液的供給循環(huán)；切換工序，該工序是，在該停止工序后，將上述涂覆液供給循環(huán)部的連接從上述第一盒切換到上述第二盒；涂覆液排出工序，該工序是，在該切換工序后，由上述壓力切換部將上述加壓氣體從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，將從上述涂覆液供給循環(huán)部直到上述頭部?jī)?nèi)的涂覆液排出；清洗工序，該工序是，在該涂覆液排出工序之后，通過由上述壓力切換部用加壓氣體對(duì)上述清洗液供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓，從而使上述清洗液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，將該通過了頭部的清洗液排出到上述廢液排出部，以清洗從上述涂覆液供給循環(huán)部到上述頭部；新的涂覆液供給循環(huán)工序，該工序是，在該清洗工序之后，由上述壓力切換部對(duì)上述第二盒的主罐內(nèi)及輔罐內(nèi)進(jìn)行減壓，使上述主罐內(nèi)的新的涂覆液從上述涂覆液供給循環(huán)部通往上述頭部，在使通過了該頭部的涂覆液返回上述輔罐的同時(shí)，在該涂覆液的循環(huán)過程中將涂覆液從上述頭部成為液滴噴出到被附著體上。
全文摘要
本發(fā)明目的在于提供盒的更換容易，且使用方便性好的液滴噴出裝置。其具備具有罐(6、7)的盒部(3)，使涂覆液成為液滴噴出到被附著體上的頭部(4)，將罐(6)的涂覆液供給頭部(4)，并使通過了頭部(4)的涂覆液返回罐(7)的涂覆液供給循環(huán)部(2)，經(jīng)涂覆液供給循環(huán)部(2)將清洗液供給頭部(2)的清洗液供給部(29)，從涂覆液供給循環(huán)部(2)的一部分排出廢液的廢液排出部(33)，以及在用從清洗液供給部(2)供給的清洗液清洗涂覆液供給循環(huán)部(2)及頭部(4)時(shí)，以加壓氣體對(duì)清洗液供給部?jī)?nèi)進(jìn)行加壓，在通過涂覆液供給循環(huán)部(2)使涂覆液循環(huán)時(shí)，對(duì)罐(6、7)內(nèi)進(jìn)行減壓的壓力切換部，并且盒部(3)連接成對(duì)涂覆液供給循環(huán)部(2)可以更換。
文檔編號(hào)B05C11/10GK101054024SQ200710091049
公開日2007年10月17日 申請(qǐng)日期2007年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月10日
發(fā)明者前川勉, 藤井秀俊, 飛田悟, 町田治 申請(qǐng)人:理光打印系統(tǒng)有限公司