專利名稱：氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置。它能夠產(chǎn)生高頻率、高精度和可控的液 點(diǎn)噴射和霧化噴射效果?？梢詮V泛應(yīng)用于粉末冶金、噴墨、噴涂、噴膠、焊接等多種液體射 流噴射工藝。
背景技術(shù)：
本發(fā)明源于對(duì)噴射霧化冶金技術(shù)及半導(dǎo)體封裝行業(yè)中膠液分配技術(shù)的研究。 噴射霧化冶金技術(shù)是近二三十年來新興的冶金工藝，發(fā)展非?？欤殉蔀闄C(jī)電制造加工 工業(yè)的重要支柱和非常有前途的產(chǎn)業(yè)。粉末冶金材料因節(jié)能、節(jié)材、規(guī)?；a(chǎn)成本低、無 需機(jī)械加工等優(yōu)勢(shì)，備受金屬產(chǎn)品制造工業(yè)青睞，由其派生出來的金屬注射成形(metal injection molding, MIM)、 熱噴涂(thermal spraying, TS)、金屬快速成形(metal rapid prototyping, MRP)、表面貼裝(surface mount technology, SMT)等技術(shù)更是得到蓬勃的發(fā) 展。而噴射成形技術(shù)是近二、三十年發(fā)展起來的一項(xiàng)先進(jìn)的半固態(tài)金屬加工技術(shù)，它既能克 服傳統(tǒng)冶鑄工藝帶來的缺陷，又可以免除粉末冶金的制粉、壓制、燒結(jié)等多道工序。采用該 技術(shù)制備的材料有晶格細(xì)密規(guī)則、裂紋少、壽命長(zhǎng)等一系列優(yōu)點(diǎn)。噴射霧化過程形成的粉末、 液滴或液固混合顆粒粒徑、分布和形狀決定產(chǎn)品的特性和性能。隨著國際產(chǎn)業(yè)現(xiàn)代化的加快、 以及在汽車工業(yè)、航空航天、電子信息、能源電力、冶金機(jī)械等重要工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的拓展，
對(duì)材料的品種、質(zhì)量以及成本等方面要求的提高，生產(chǎn)微米級(jí)(1 30;/m)、亞微米級(jí) (ai i戸)和納米級(jí)(1~100"W)超細(xì)粒度的產(chǎn)品有著相當(dāng)?shù)钠惹行?。目前我國制造業(yè)所
需的高檔次金屬粉末需要大量進(jìn)口，而通常國際市場(chǎng)上金屬粉末(50 75^m)的價(jià)格是相應(yīng)
金屬的數(shù)倍乃至十?dāng)?shù)倍，細(xì)顆粒價(jià)格更昂貴得多，因此生產(chǎn)小粒度產(chǎn)品據(jù)有可觀的經(jīng)濟(jì)價(jià)值。 目前，就我國在該方面的技術(shù)和生產(chǎn)能力而言，與國際上還有相當(dāng)大的差距。對(duì)金屬粉末設(shè) 備的改進(jìn)和創(chuàng)造性的技術(shù)革新非常必要。
與傳統(tǒng)噴射霧化生產(chǎn)大規(guī)模不同尺寸分布的金屬液滴和顆粒不同，半導(dǎo)體封裝膠液分配 技術(shù)更多強(qiáng)調(diào)的是對(duì)生成液滴和顆粒的尺度、頻率、精度的可控和可操作性。
半導(dǎo)體封裝膠液分配技術(shù)伴隨微電子技術(shù)崛起經(jīng)過了幾十年的發(fā)展，先后出現(xiàn)了各類技 術(shù)，包括大量式布膠(mass dispensing)、接觸式點(diǎn)膠(contact dispensing)、非接觸式點(diǎn) 膠或稱噴膠(non-contact dispensing/dispensing jet)等。目前，接觸式點(diǎn)膠是最為常用 的膠液分配技術(shù)，而非接觸式點(diǎn)膠(噴膠)具有精度高、速度快等特點(diǎn)，被認(rèn)為是半導(dǎo)體封
3裝行業(yè)未來的膠液分配技術(shù)。
國際上，美國Asymtek公司(現(xiàn)歸屬Nordson公司)在非接觸式膠液分配技術(shù)(US 2006/0157517)研究和應(yīng)用方面走在了前列，并占領(lǐng)絕大部分市場(chǎng)。至今已經(jīng)推出了 DJ-2100、 DJ-2200、 DJ-9000以及DJ-9500系列噴射點(diǎn)膠頭。其中DJ9500是2008年最新產(chǎn)品，噴嘴直 徑在O. 05mm至lmm之間，最小噴射區(qū)間最小可至175 u m;最小噴射線寬為250 u m;最小噴 射點(diǎn)直徑為200um;噴射精度為1 nanoliter;噴射流線寬可達(dá)50ym。國內(nèi)非接觸式膠液 分配系統(tǒng)還處于比較低的起步階段，差距較大。
目前，非接觸式膠液分配技術(shù)無論是氣動(dòng)、電磁或壓電驅(qū)動(dòng)的針閥式和隔膜泵式點(diǎn)噴設(shè) 備或是霧噴設(shè)備，其液滴生成頻率均為主動(dòng)的外部驅(qū)動(dòng)頻率，噴射效果受到外部頻率(目前 最高270Hz/秒左右)、液體性質(zhì)等多重限制，同時(shí)設(shè)備復(fù)雜，維護(hù)困難，而噴射材料也受到 諸如粘性、表面張力等流體特性限制，設(shè)備適用范圍窄；而噴射霧化技術(shù)的最大問題是液滴 生成的尺寸分布和尺度特征是遠(yuǎn)非精確可控的，在這方面倒是可以借鑒非接觸式膠液分配技 術(shù)高精度、高可控的一些設(shè)計(jì)，并克服其液滴或顆粒產(chǎn)量少的缺點(diǎn)。
在以上的技術(shù)中，對(duì)流體特性的把握始終是個(gè)難點(diǎn)，特別是在對(duì)流動(dòng)現(xiàn)象不夠理解的情 況下技術(shù)的實(shí)現(xiàn)都會(huì)存在各種的缺陷和限制。如何將對(duì)材料的性質(zhì)和流動(dòng)的特點(diǎn)加以利用， 實(shí)現(xiàn)預(yù)定功效是一個(gè)非常有前途的著眼點(diǎn)。
本發(fā)明從流動(dòng)界面問題在微觀上的表象出發(fā)，考慮流體、氣體和導(dǎo)管、噴嘴材料之間三 相作用的接觸問題、氣體在流體中的運(yùn)動(dòng)特性以及氣體的可壓縮效應(yīng)等流動(dòng)現(xiàn)象的特點(diǎn)，并 充分利用這些特點(diǎn)來簡(jiǎn)化傳統(tǒng)噴射技術(shù)的復(fù)雜性，消除其應(yīng)用限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對(duì)已有技術(shù)存在的不足，提供一種氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置， 可以獲得高頻率、高精度和可控的點(diǎn)噴、霧噴效果。 為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的構(gòu)思是
本發(fā)明的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，具有液體輸入裝置。
液體輸入裝置提供了穩(wěn)定的液體來源，保障工作介質(zhì)的存在，液體輸入裝置的流速可調(diào) 控，為下游的流動(dòng)提供壓、動(dòng)力。
本發(fā)明的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，具有氣體輸送裝置。
氣體輸送裝置提供了穩(wěn)定的氣體來源，通過導(dǎo)管向液體中注入氣體，氣體的壓力可調(diào)控， 用以調(diào)節(jié)氣體液體的流量比重。
本發(fā)明的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴方法及裝置，具有導(dǎo)液管。導(dǎo)液管將由液體輸入裝置提供的液體和氣體輸送裝置提供的氣體向下游輸送。導(dǎo)液管分 為收縮段和等截面管段，由近疏液體材料制成。由液體輸入裝置提供的液體從導(dǎo)液管收縮段 開口處輸入，由氣體輸送裝置提供的氣體從導(dǎo)液管收縮段接近等截面管段處輸入或者中心輸 入。液體和氣體在收縮段和等截面管段銜接處附近相遇，液體擠壓氣體，當(dāng)氣體體積足夠大 時(shí)產(chǎn)生被液體隔離的氣泡，并在液體擠壓下進(jìn)入導(dǎo)液管等截面管段，液體在隔離氣泡的同時(shí) 也將等截面管段管內(nèi)的液滴封閉起來。這種過程隨液體和氣體的不斷輸入而不斷重復(fù)，從而 在導(dǎo)液管等截面管段內(nèi)形成氣泡、液滴相間隔的現(xiàn)象。通過調(diào)節(jié)氣體、液體的流速和流量比 可以控制氣泡、液滴的各自的尺寸大小和比例從而實(shí)現(xiàn)噴射頻率和噴射點(diǎn)大小。
本發(fā)明的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，具有內(nèi)置噴嘴。
內(nèi)置噴嘴內(nèi)徑向下游收縮后等直徑伸展，并按材料不同分為兩種類型， 一種是由近疏液 體材料制成的微點(diǎn)噴噴嘴，另一種是由近親液體材料制成的微霧噴噴嘴，噴嘴內(nèi)徑為微納量 級(jí)，內(nèi)置噴嘴與導(dǎo)液管在導(dǎo)液管末端連接。
微點(diǎn)噴噴嘴采用近疏液體材料制成內(nèi)置噴嘴，管內(nèi)壓力梯度較小，噴出液點(diǎn)為整體液滴， 液滴體積近似為導(dǎo)液管等截面管段管內(nèi)封閉獨(dú)立液滴體積，控制氣泡脫落頻率和液體流量可 以控制液滴的大?。晃㈧F噴噴嘴采用近親疏液體材料制成內(nèi)置噴嘴，管內(nèi)壓力梯度大，壓力 梯度可以通過調(diào)節(jié)噴口直徑?jīng)Q定，管內(nèi)氣泡被壓縮，并在噴嘴出口處快速膨脹，對(duì)噴出液體 產(chǎn)生沖擊和剪切破壞，形成破碎產(chǎn)生小液滴，以達(dá)到霧化效果。而調(diào)節(jié)液體輸入裝置和氣體 輸送裝置壓力輸入，可以使被壓縮氣體噴出時(shí)在出口處達(dá)到并超過聲速，達(dá)到超聲速霧化優(yōu) 良效果。
本發(fā)明的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，具有外置噴嘴。
外置噴嘴由近疏液體材料制成(對(duì)容易產(chǎn)生凝固液體可選)或者近親液體材料(不存在 凝固問題液體可選)或者中性材料制成，噴口向外擴(kuò)張呈一定角度。對(duì)存在凝固問題的液體， 采用近疏液體材料制成外置噴嘴可以維持設(shè)備在未工作狀態(tài)時(shí)對(duì)管內(nèi)液滴的支持，使管內(nèi)液 滴不會(huì)自然下落，而且避免液體在噴嘴表面的附著。外置噴嘴噴口的擴(kuò)張也可以為壓縮氣體 的運(yùn)動(dòng)提供達(dá)到超聲速的條件。
根據(jù)上述發(fā)明構(gòu)思，本發(fā)明采用下述方案 一種氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，包括液體輸入裝置、氣體輸送裝置、導(dǎo)液管、噴嘴、及 輸氣導(dǎo)管，其特征在于所述導(dǎo)液管由進(jìn)口收縮段連接等截面管段構(gòu)成，并在其進(jìn)口收縮段上 連接所述輸氣導(dǎo)管；所述噴嘴由一個(gè)內(nèi)置噴嘴外部套著一個(gè)外置噴嘴構(gòu)成，所述內(nèi)置噴嘴套 在所述導(dǎo)液管等截面管段的端部。所述液體輸入裝置和氣體輸送裝置分別提供穩(wěn)定的粘性液體和氣體供應(yīng)，液體直接進(jìn)入導(dǎo)液管，氣體經(jīng)由輸氣導(dǎo)管進(jìn)入導(dǎo)液管；所述導(dǎo)液管在下游與 內(nèi)置噴嘴相聯(lián)連接；導(dǎo)液管內(nèi)的被氣泡分隔的液滴經(jīng)由內(nèi)置噴嘴和外置噴嘴后噴向目標(biāo)基底， 實(shí)現(xiàn)噴射過程。
上述導(dǎo)液管材料為近疏液體材料，其收縮段收縮角度不大于45度，等截面管段直徑在毫 米、微米、納米量級(jí)。
上述內(nèi)置噴嘴內(nèi)徑向下游收縮后等直徑伸展，其材料為近疏液體材料構(gòu)成微點(diǎn)噴噴嘴， 或者為近親液體材料構(gòu)成微霧噴噴嘴；其噴嘴內(nèi)徑為微米、納米量級(jí)。 上述外置噴嘴材料為近疏液體材料，其噴口向外擴(kuò)張呈有效角度。
上述氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴方法及裝置可以通過調(diào)節(jié)入口氣體和液體流量來控制氣體 的脫落頻率及氣泡和液滴在導(dǎo)液管平行段中間隔分布的長(zhǎng)度和比例，從而實(shí)現(xiàn)出液的液點(diǎn)大 小和出液頻率的精確控制。
上述氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴方法及裝置通過更換內(nèi)置噴嘴的材質(zhì)或者噴嘴內(nèi)徑或者兩 者同時(shí)更換，包括近親液體和近疏液體材料，來實(shí)現(xiàn)點(diǎn)噴方式、霧噴方式之間切換。霧噴方 式通過調(diào)節(jié)液體輸入裝置和氣體輸送裝置壓力輸入，可以使被壓縮氣體噴出時(shí)在出口處達(dá)到 并超過聲速，達(dá)到超聲速霧化優(yōu)良效果。
上述液體輸入裝置是具有可調(diào)控液體流速、為下游的流動(dòng)提供壓力和動(dòng)力的穩(wěn)定液源裝 置，其輸出口連通所述導(dǎo)液管的進(jìn)口；所述氣體輸送裝置具有可調(diào)控氣體壓力的、從而達(dá)到 調(diào)節(jié)接入所述輸氣導(dǎo)管的氣體與所述導(dǎo)液管中的液體之間流量比的穩(wěn)定氣源裝置。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比較，具有如下顯而易見的突出實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和顯著優(yōu)點(diǎn)
采用本發(fā)明的裝置從流動(dòng)界面問題在微觀上的表象出發(fā)，利用流體、氣體和導(dǎo)管、噴嘴 材料之間三相作用的接觸問題、氣體在流體中的運(yùn)動(dòng)特性以及氣體的可壓縮效應(yīng)等流動(dòng)現(xiàn)象 的特點(diǎn)，大大簡(jiǎn)化了點(diǎn)噴、霧噴實(shí)現(xiàn)的途徑。
采用本發(fā)明的裝置實(shí)現(xiàn)點(diǎn)噴、霧噴的切換非常簡(jiǎn)單，只需改變內(nèi)置噴嘴的材質(zhì)及改變噴 嘴口徑，極大的簡(jiǎn)化了設(shè)備的研制、制造和維護(hù)成本。
采用本發(fā)明通過流動(dòng)的固有性質(zhì)來實(shí)現(xiàn)對(duì)流動(dòng)的控制，具有穩(wěn)定可靠的特點(diǎn)。流動(dòng)的穩(wěn) 定性使液滴脫落的可控和周期性得以保障。
采用本發(fā)明可以較少受到噴射液體材料的限制，它適用于各種用途，如粉末冶金、噴墨、 噴涂、噴膠、焊接等。
由此，采用本發(fā)明可獲得高頻率、高精度和可控的點(diǎn)噴、霧噴效果，應(yīng)用范圍非常廣泛， 具有重要市場(chǎng)價(jià)值。


圖l氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴方法及裝置結(jié)構(gòu)示意圖(a)側(cè)向注入式；(b)中心注入式。
圖2液滴在流道內(nèi)運(yùn)動(dòng)界面位置示意圖(a)點(diǎn)噴效果圖，內(nèi)置噴嘴4采用近疏液體材 料；(b)霧噴效果圖，內(nèi)置噴嘴4采用近親液體材料。
圖3側(cè)向氣體注入實(shí)驗(yàn)圖。
圖4中心氣體注入式管道模擬圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例結(jié)合

如下參見圖1， 一種氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置
由液體輸入裝置、氣體輸送裝置、導(dǎo)液管l、外置噴嘴2、內(nèi)置噴嘴4及輸氣導(dǎo)管5組成。液 體輸入裝置和氣體輸送裝置分別提供穩(wěn)定的粘性液體和氣體供應(yīng)，液體直接進(jìn)入導(dǎo)液管1，
氣體經(jīng)由輸氣導(dǎo)管5進(jìn)入導(dǎo)液管1;導(dǎo)液管1在下游與內(nèi)置噴嘴4相聯(lián)連接；內(nèi)置噴嘴4外
部套有外置噴嘴2，導(dǎo)液管1內(nèi)的被氣泡分隔的液滴經(jīng)由內(nèi)置噴嘴4和外置噴嘴2后噴向目 標(biāo)基底3，實(shí)現(xiàn)噴射過程。
參見圖2，上述內(nèi)置噴嘴4采用近疏液體材料制成，以實(shí)現(xiàn)圖2 (a)所示點(diǎn)噴效果或采 用近親液體材料制成，以實(shí)現(xiàn)圖2 (b)所示霧噴效果。
參見圖1和圖3，導(dǎo)液管為近親液材料制成。氣體注入導(dǎo)液管1收縮段管與等截面管段 銜接處附近液體中。氣體和液體被間隔封閉在等截面管段內(nèi)，其中L，^為封閉氣泡的長(zhǎng)度，
其中L皿為封閉液滴的長(zhǎng)度。實(shí)驗(yàn)表明，L，和L,是呈均勻間隔分布，具有準(zhǔn)確的周期特
性，而且非常穩(wěn)定。
參見圖4，中心氣體注入式管道模擬圖，尺寸如標(biāo)注所述。介質(zhì)為空氣和水，而空氣注入 水流。其它參數(shù)為空氣注入速度5m/s，水流入口速度lm/s，表面張力為73. 5dyn/cm，管道 接觸角90度。計(jì)算獲得的氣泡脫落時(shí)間為0.5e-4s，即脫落頻率為20， OOOHz，而管中封閉
液段長(zhǎng)度約O. 23咖，體積約為1.63e-4mm3，即0. 163nanoliter (納升)。就噴膠技術(shù)而言，
這個(gè)氣體注入式噴射技術(shù)的模擬結(jié)果指標(biāo)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越目前能夠達(dá)到的技術(shù)指標(biāo)和能力水平，對(duì) 比噴膠技術(shù)點(diǎn)膠最高頻率的270點(diǎn)/秒量級(jí)，氣體注入式噴射技術(shù)高出數(shù)個(gè)量級(jí)(本例為1 2)，而膠點(diǎn)體積的控制最高水平為1納升也輕易被突破。因而本發(fā)明提供了一種革命性的方 法和技術(shù)，非常具有工業(yè)價(jià)值和經(jīng)濟(jì)效益。因?yàn)楸灸M所選用的參數(shù)不具有非常特殊性，因 而技術(shù)水準(zhǔn)在實(shí)踐中存在很大的提升空間。
權(quán)利要求
1.一種氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，包括液體輸入裝置、氣體輸送裝置、導(dǎo)液管(1)、噴嘴及輸氣導(dǎo)管(5)，其特征在于所述導(dǎo)液管(1)由進(jìn)口收斂段連接等截面管段構(gòu)成，并在其進(jìn)口收縮段上連接或接入所述輸氣導(dǎo)管(5)；所述噴嘴由一個(gè)內(nèi)置噴嘴(4)外部套著一個(gè)外置噴嘴(2)構(gòu)成，所述內(nèi)置噴嘴(4)套在所述導(dǎo)液管(1)等截面管段的端部。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，其特征在于所述導(dǎo)液管(1)材料 為近疏液體材料(對(duì)容易產(chǎn)生凝固液體可選)或者近親液體材料(不存在凝固問題液體可 選)或者中性材料制成，其收縮段收縮角度不大于45度，等截面管段直徑在毫米、微米、 納米量級(jí)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，其特征在于所述內(nèi)置噴嘴(4)內(nèi) 徑向下游收縮后等直徑伸展，其材料為近疏親液體材料構(gòu)成微點(diǎn)噴噴嘴，或者為近親疏液 體材料構(gòu)成微霧噴噴嘴；其噴嘴內(nèi)徑為微米、納米量級(jí)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，其特征在于所述外置噴嘴(2)材 料為近疏液體材料(對(duì)容易產(chǎn)生凝固液體可選)或者近親液體材料(不存在凝固問題液體 可選)或者中性材料制成，其噴口向外擴(kuò)張呈有效角度。 '
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，其特征在于所述輸氣導(dǎo)管(5)與 導(dǎo)液管(1)收縮段呈有效角度連接或者輸氣導(dǎo)管(5)在導(dǎo)液管(1)中心注入。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，其特征在于通過更換內(nèi)置噴嘴 4的材質(zhì)或者噴嘴內(nèi)徑或者噴嘴4的材質(zhì)和噴嘴內(nèi)徑同時(shí)改變，來實(shí)現(xiàn)點(diǎn)噴方式、霧噴方 式之間切換。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，其特征在于通過調(diào)節(jié)入口氣體和液 體流量來控制氣體的脫落頻率及氣泡和液滴在導(dǎo)液管(1)平行段中間隔分布的長(zhǎng)度和比 例，實(shí)現(xiàn)出液的液點(diǎn)大小和出液頻率的精確控制。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置，其特征在于所述液體輸入裝置是具 有可調(diào)控液體流速、為下游的流動(dòng)提供壓力和動(dòng)力的穩(wěn)定液源裝置，其輸出口連通所述導(dǎo) 液管(1)的進(jìn)口；所述氣體輸送裝置具有可調(diào)控氣體壓力的、從而達(dá)到調(diào)節(jié)接入所述輸 氣導(dǎo)管(5)的氣體與所述導(dǎo)液管(1)中的液體之間流量比的穩(wěn)定氣源裝置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種氣泡注入式微點(diǎn)、霧雙噴裝置。它包括液體輸入裝置、氣體輸送裝置、導(dǎo)液管、噴嘴及輸氣導(dǎo)管，其特征在于所述導(dǎo)液管由進(jìn)口收斂段連接等截面管段構(gòu)成，并在其進(jìn)口收縮段上連接所述輸氣導(dǎo)管或者中心直接注入；所述噴嘴由一個(gè)內(nèi)置噴嘴外部套著一個(gè)外置噴嘴構(gòu)成，所述內(nèi)置噴嘴套在所述導(dǎo)液管等截面管段的端部。本發(fā)明可以應(yīng)用于粉末冶金、噴墨、噴涂、噴膠、焊接等液體射流噴射工藝；點(diǎn)噴方式、霧噴方式之間切換僅需更換內(nèi)置噴嘴的材質(zhì)或噴嘴內(nèi)徑或同時(shí)改變材質(zhì)和噴嘴內(nèi)徑，并調(diào)節(jié)液體和氣體輸入壓力或輸入流量或輸入流速即可，又由于微管道內(nèi)微流動(dòng)的穩(wěn)定性質(zhì)，氣泡的快速脫落的周期性和可控性使得高頻率、高精度和可控的點(diǎn)噴、霧噴效果得到保障。
文檔編號(hào)B05B7/02GK101524674SQ200910048328
公開日2009年9月9日 申請(qǐng)日期2009年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月26日
發(fā)明者王志亮 申請(qǐng)人:上海大學(xué)