專利名稱：帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的頭單元的涂布機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明主要涉及一種用于將液晶或密封膠施加至基板以形成平板 顯示器的涂布機，更具體而言，涉及形成密封膠圖案或滴注液晶的涂布 頭單元在相對于基板移動時的構(gòu)形。
背景技術(shù)：
涂布機是通常用來在制造平板顯示器或半導(dǎo)體的工藝中，將密封膠 (密封劑)或液晶施加(或滴注)到基板上的設(shè)備。將涂布機構(gòu)造成利 用涂布頭單元將密封膠施加或?qū)⒁壕У巫⒌揭呀?jīng)放置在托臺上的基板 上。
下面將說明涂布機的重要組成部分。
托臺安裝在框架上，且用于支承涂布頭單元的頭支承件安裝至框
架。此處，定位在基板上方的涂布頭單元在沿X軸方向、Y軸方向或Z 軸方向相對于基板移動時，將密封膠或液晶施加至基板。為此，將托臺、 頭支承件和涂布頭單元構(gòu)造成以使它們沿至少一個方向相對于支承它 們的結(jié)構(gòu)移動。
隨著基板的尺寸增加，涂布機設(shè)置有多個涂布頭單元，以便在大基 板上同時形成多個密封膠圖案，并由此提高生產(chǎn)率。
此外，為了增加將要安裝的涂布頭單元的數(shù)目，可在涂布機上設(shè)置 多個頭支承件。
同樣，在將多個頭支承件安裝在托臺上方的情況下，當(dāng)由頭支承件 支承的涂布頭單元移動時，可能出現(xiàn)不必要的行程。為了防止這種不必 要的行程，需要更有效地布置涂布頭單元。

發(fā)明內(nèi)容
因此，考慮到現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)的上述問題已經(jīng)作出本發(fā)明，且本發(fā)明的目的是提供一種帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的涂布頭單元的涂布 機，其中涂布頭單元布置在兩個頭支承件上以具有鏡像構(gòu)形，從而在涂 布頭單元移動時防止出現(xiàn)不必要的行程，因此使得圖案能夠適當(dāng)形成， 使得能夠更容易地控制頭單元，并增大了基板上的密封膠圖案的有效面 積。
為了實現(xiàn)上迷目的，本發(fā)明提供一種帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的 涂布頭單元的涂布機，包括一對并排放置在其上安裝有基板的托臺上方 的頭支承件，其中在每個頭支承件上安裝有多個涂布頭單元，且將設(shè)置 在頭支承件上的涂布頭單元布置成關(guān)于頭支承件之間的中心線對稱，從 而使涂布頭單元處于鏡像構(gòu)形中。
每個涂布頭單元可包括用于排出密封膠的噴嘴、，沒置在噴嘴兩側(cè)以 測量噴嘴的出口和基板之間的間隙的激光位移傳感器、以及設(shè)置在激光 位移傳感器的第一側(cè)的位置測量相機。
某些涂布頭單元可包括設(shè)置在激光位移傳感器的第二側(cè)以測量施 加至基板的密封膠圖案的截面積傳感器。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的 涂布頭單元的涂布機，包括一對并排放置在其上安裝有基板的托臺上方 的頭支承件，其中在每個頭支承件上安裝有多個涂布頭單元，并且每個 涂布頭單元都包括用于排出密封膠的噴嘴、設(shè)置在噴嘴的兩側(cè)以測量噴 嘴的出口和基板之間的間隙的激光位移傳感器、以及布置在激光位移傳 感器的第一側(cè)的位置測量傳感器，并且噴嘴、激光位移傳感器和位置測 量傳感器中的至少一個以關(guān)于兩個頭支承件成鏡像構(gòu)形的方式布置。
設(shè)置在每個頭支承件上的涂布頭單元中的至少一個可包括位于激 光位移傳感器的第二側(cè)的截面積傳感器，以便測量施加至基板的密封膠 圖案，并且可將截面積傳感器布置成具有關(guān)于兩個頭支承件成鏡像構(gòu) 形。
涂布頭單元可以以彼此面對的方式布置在這對頭支承件上，或者可 布置在這對頭支承件的外表面上。


通過以下參考附圖進行的詳細(xì)說明，將更清楚地理解本發(fā)明的上述
和其它的目的、特征和優(yōu)點，附圖中
圖l是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的涂布機的立體圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的涂布機所包括的涂布頭單 元的立體圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的涂布機所包括的涂布頭單 元的主視圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的涂布機中，涂布頭單元以 鏡像構(gòu)形的方式布置的狀態(tài)的平面圖5是示出涂布頭單元未以鏡^^構(gòu)形的方式布置的狀態(tài)的平面圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實施方式的涂布機的立體圖7是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實施方式的涂布機中，涂布頭單元以 鏡像構(gòu)形的方式布置的狀態(tài)的平面圖。
具體實施例方式
在下文中，將參照

根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的涂布機。
圖1至圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的涂布機的視圖，其 中，圖l是示出整個涂布機的立體圖，圖2是示出涂布頭單元的立體圖， 圖3是示出涂布頭單元的主視圖，以及圖4是示出以鏡像構(gòu)形的方式布 置的涂布頭單元的平面圖。
此外，圖5是示出涂布頭單元未以鏡像構(gòu)形的方式布置的狀態(tài)的平 面圖。
根據(jù)本發(fā)明的第一實施方式的帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的涂布 頭單元的涂布機設(shè)置有設(shè)置在框架10上的托臺15，以便在托臺15上安 裝基板S?？蓪⑼信_15構(gòu)造成相對于框架10沿X軸方向、Y軸方向或 Z軸方向移動。在托臺15的上方設(shè)置有一對頭支承件20 ( 20A和20B )，以便將在 下面進行說明的多個涂布頭單元30 (30A和30B)安裝至頭支承件20， 從而在具有大面積的基板上同時密封膠圖案。在圖中示出具有兩個頭支 承件20A和20B的結(jié)構(gòu)。然而，本發(fā)明并不限于該結(jié)構(gòu)，并且可安裝 三個或多個頭支承件20A和20B。
將每個頭支承件20A或20B構(gòu)造成在其兩端支承在框架10上的同 時，它沿Y軸方向移動。
具體而言，多個涂布頭單元30A和30b安裝至每個頭支承件20A 和20B。在說明涂布頭單元30A和30B的構(gòu)形之前，將說明每個涂布頭 單元30A或30B的結(jié)構(gòu)。為了便于說明，將參照圖2和圖3說明安裝 至一個頭支承件20A的涂布頭單元30A。
將每個涂布頭單元30 (30A)安裝成沿X軸方向移動，即沿頭支承 件20 (20A)的縱向移動。此外，涂布頭單元30可通過Z軸驅(qū)動單元 32沿Z軸方向移動。
此類涂布頭單元30A包括由頭支承件20A支承的本體31，以及豎 直地安裝在本體31前面的頂板33。
Z軸驅(qū)動單元32聯(lián)接至本體31，以相對于頭支承件20A沿Z軸方 向移動涂布頭單元30A。
用于排出密封膠的噴嘴34、激光位移傳感器36、位置測量相機37 和截面積傳感器38安裝至頂板33。激光位移傳感器36放置在噴嘴34 的兩側(cè)，從而測量噴嘴34的出口和基板S之間的間隙。位置測量相機 37設(shè)置在激光位移傳感器36的一側(cè)。截面積傳感器38設(shè)置在激光位移 傳感器36的另一側(cè)，以測量施加至基板S的密封膠圖案。
此處，噴嘴34設(shè)置在存有密封膠的注射器35的一端。注射器35 豎直地安裝在頂板33的前面。
激光位移傳感器36測量噴嘴34的出口和基板之間的距離，從而在 保持出口和基板之間的距離恒定的同時，將密封膠施加至基板。激光位 移傳感器36包括朝向噴嘴34附近的基板發(fā)射激光的發(fā)射部36a，以及 接收從基板S反射的激光的接收部36b,從而測量基板S和出口之間的距離。
位置測量相機37是測量施加至基板S的密封膠所處位置的相機， 而截面積傳感器38是檢測包括施加至基板S的圖案的截面積的施加狀 態(tài)的傳感器。截面積傳感器38并不安裝至所有的涂布頭單元30，而是 僅安裝至某些涂布頭單元30。
這樣，涂布頭單元30A包括帶有噴嘴34的注射器35、激光位移傳 感器36、位置測量相機37和截面積傳感器38。如圖1和圖4中所示， 多個涂布頭單元安裝至每個頭支承件20A或20B。將安裝至一對頭支承 件20A和20B的涂布頭單元30A和30B布置成彼此面對。
具體而言，將安裝至這對頭支承件20A和20B的涂布頭單元30A 和30B布置成關(guān)于這對頭支承件20A和20B之間的中心線C對稱，以 使涂布頭單元30A和30B具有鏡像構(gòu)形。
即，如圖4中所示，將噴嘴34、激光位移傳感器36、位置測量相 機37和截面積傳感器38布置成具有關(guān)于頭支承件20A和20B之間的 中心線C成鏡4象構(gòu)形。
這樣，頭單元以鏡像構(gòu)形的方式布置，從而減少了設(shè)置在這對頭支 承件20A和20B上的涂布頭單元30A和30B的不必要的行程，因此增 加了密封膠施加操作的效率。
當(dāng)設(shè)置在這對頭支承件20A和20B上的涂布頭單元30A和30B未 以對稱的鏡像構(gòu)形的方式布置，而是如圖5中所示沿反向布置時，安裝 至一個頭支承件20A或20B的涂布頭單元30A或30B與安裝至另 一個 頭支承件20A或20B的涂布頭單元30A或30B在有效移動行程方面是 不同的。
即，如果沿反向布置涂布頭單元30A和30B的噴嘴34、激光位移 傳感器36和位置測量相機37，則不可避免地沿-X或+X方向改變移動 行程。安裝至一個頭支承件20A的每個涂布頭單元30A的位置測量相 機37位于右側(cè)，而安裝至另一個頭支承件20B的每個涂布頭單元30B 的位置測量相機37位于左側(cè)。因此，當(dāng)涂布頭單元30A和30B移動到 基板S的端部時，在移動行程方面產(chǎn)生差異，這種差異對應(yīng)于兩個涂布
8頭單元30A和30B的位置測量相機37之間在位置方面的差異St。
同樣，如果改變移動行程，則涂布頭單元30A和30B中的任一個具 有較大的移動行程，以致涂布頭單元30A和30B之間在移動行程方面 出現(xiàn)差異。因此，縮小了形成在基板的邊緣上的密封膠圖案的面積。
然而，由于在本發(fā)明中，當(dāng)涂布頭單元30A和30B以鏡4象構(gòu)形的方 式對稱布置時，涂布頭單元30A和30B具有相同的移動行程，因此由 于行程的縮短，使得易于控制涂布頭單元30A和30B，并使基板S上的 密封膠的有效面積最大化。
圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實施方式的涂布機的立體圖，且圖7 是示出以鏡像構(gòu)形的方式布置的涂布頭單元30A和30B的平面圖。
在已經(jīng)在上面說明的本發(fā)明的第一實施方式中，涂布頭單元30A和 30B以彼此面對的方式布置在這對頭支承件20A和20B上。此時，根據(jù) 本發(fā)明的第二實施方式，涂布頭單元30A和30B以定位在頭支承件20A 和20B的外表面上的方式安裝至頭支承件20A和20B。
將設(shè)置在外表面上的涂布頭單元30A和30B安裝成關(guān)于這對頭支承 件20A和20B之間的中心線C對稱，以使涂布頭單元30A和30B具有 鏡像構(gòu)形。
此時，在本發(fā)明的實施方式中，帶有噴嘴34的注射器35、激光位 移傳感器36、位置測量相機37和截面積傳感器38全部布置在頭支承件 20A和20B上以具有鏡1象構(gòu)形。但是，取決于實施條件，僅一個或多個 構(gòu)件可以以鏡像構(gòu)形的方式布置。
即，頭單元30A和30B的位置測量相機37和截面積傳感器38可沿 反向布置，并且只有每個都具有發(fā)射部和接收部的激光位移傳感器36 可以以鏡像構(gòu)形的方式布置。此外，激光位移傳感器36可沿反向布置， 并且只有位置測量相機37和截面積傳感器38可以以鏡像構(gòu)形的方式布 置。
此時，位置測量相機37、截面積傳感器38和激光位移傳感器36是 在每個涂布頭單元30A或30B中都需要的構(gòu)件。但是，對于涂布頭單 元30A或30B而言，并不必包括所有的上述構(gòu)件。如果有必要，可省
9略一個或多個構(gòu)件。盡管省略了某些構(gòu)件，但是位置測量相機37、截面 積傳感器38和激光位移傳感器36中的至少一個或全部可以以鏡像構(gòu)形 的方式布置在相應(yīng)的頭支承件20A和20B上。
如上所述，本發(fā)明提供一種帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的涂布頭單 元的涂布機，其中涂布頭單元設(shè)置在一對頭支承件上以具有鏡^象構(gòu)形， 從而防止設(shè)置在這對頭支承件上的涂布頭單元之間出現(xiàn)不必要的行程， 因此當(dāng)形成密封膠圖案時，顯著增加了基板上的密封膠圖案的有效截面 積，并使得能夠更容易地控制設(shè)置在兩側(cè)的頭單元。
于此所述的本發(fā)明的實施方式可單獨實施或互相結(jié)合。盡管已出于 說明性的目的公開了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將 會理解，在不背離于所附權(quán)利要求中所公開的本發(fā)明的范圍和精神的前 提下，多種改變、增加和替代是可能的。
權(quán)利要求
1.一種帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的涂布頭單元的涂布機，包括一對頭支承件，所述對頭支承件并排設(shè)置在其上安裝有基板的托臺上方，其中，在每個所述頭支承件上安裝有多個涂布頭單元，并且將設(shè)置在所述頭支承件上的所述涂布頭單元布置成關(guān)于所述頭支承件之間的中心線對稱，從而使所述涂布頭單元處于所述鏡像構(gòu)形中。
2. 如權(quán)利要求1所述的涂布機，其中 每個所述涂布頭單元都包括噴嘴，其用于排出密封膠；激光位移傳感器，其設(shè)置在所述噴嘴的兩側(cè)，從而測量所述噴嘴的出口與所述基板之間的間隙；以及位置測量相機，其設(shè)置在所述激光位移傳感器的第一側(cè)，并且 某些所述涂布頭單元包括設(shè)置在所述激光位移傳感器的第二側(cè)的截面積傳感器，以測量施加至所述基板的密封膠圖案。
3. —種帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的涂布頭單元的涂布機，包括 一對頭支承件，所述對頭支承件并排設(shè)置在其上安裝有基板的托臺上方，其中，在每個所述頭支承件上安裝有多個涂布頭單元，每個所述涂 布頭單元都包括噴嘴，其用于排出密封膠；激光位移傳感器，其設(shè)置在所述噴嘴的兩側(cè)，從而測量所述噴嘴的出口與所述基板之間的間隙；以及位置測量相機，其設(shè)置在所述激光位移傳感器的第一側(cè)，并且 所述激光位移傳感器和所述位置測量相機中的至少一個以及所述噴嘴以關(guān)于兩個頭支承件成鏡像構(gòu)形的方式布置。
4. 如權(quán)利要求3所述的涂布機，其中設(shè)置在每個所述頭支承件上的至少 一個所述涂布頭單元包括位于 所述激光位移傳感器的第二側(cè)的截面積傳感器，以便測量施加至所述基 板的密封膠圖案，并且所述截面積傳感器被布置成具有關(guān)于兩個頭支承件的鏡像構(gòu)形。
5. 如權(quán)利要求1至4中的任一項所述的涂布機，其中，所述涂布頭 單元以彼此面對的方式布置在所述對頭支承件上。
6. 如權(quán)利要求1至4中的任一項所述的涂布機，其中，所述涂布頭 單元布置在所述對頭支承件的外表面上。
全文摘要
一種帶有以鏡像構(gòu)形的方式布置的涂布頭單元的涂布機。該涂布機包括一對并排放置的頭支承件。在每個頭支承件上安裝有多個涂布頭單元，并且將設(shè)置在頭支承件上的涂布頭單元布置成關(guān)于頭支承件之間的中心線對稱，從而使涂布頭單元處于鏡像構(gòu)形中。該涂布機在涂布頭單元移動時防止出現(xiàn)不必要的行程，從而增大了基板上的密封膠圖案的有效面積，并使得能夠更容易地控制這些頭單元。
文檔編號B05C5/00GK101642745SQ20091016094
公開日2010年2月10日 申請日期2009年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月8日
發(fā)明者南嬉禎 申請人:塔工程有限公司