專利名稱：制備碳酸鈰的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制備碳酸鈰的方法、一種碳酸鈰粉末和一種使用所述碳酸鈰粉末 制備二氧化鈰粉末的方法。更具體而言，本發(fā)明涉及一種制備碳酸鈰的方法，其使得可通過 一種簡(jiǎn)化的方法制備六方碳酸鈰；涉及一種由此制備的碳酸鈰粉末以及一種使用所述碳酸 鈰粉末制備二氧化鈰粉末的方法。(b)
背景技術(shù)：
二氧化鈰為高功能性的陶瓷材料，廣泛用作催化劑、發(fā)光材料、化妝品、研磨劑等， 且最近作為用于半導(dǎo)體裝置領(lǐng)域中的CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)方法的研磨劑而備受關(guān)注。二氧化鈰通常由液相方法、氣相方法或固相方法制備。根據(jù)液相方法，將pH控制劑如氨加入到原料(即三價(jià)或四價(jià)鈰鹽)中，以直接由 鈰鹽制備二氧化鈰。盡管該方法因原料成本和設(shè)備成本較低而經(jīng)濟(jì)，但由于原料之間的反 應(yīng)易于由核化階段發(fā)生，因而難以控制顆粒生長(zhǎng)。并且，如果使用由液相方法制備的精細(xì)二 氧化鈰作為研磨劑，則拋光速率低，從而對(duì)連續(xù)法不利并且降低生產(chǎn)率。在氣相方法中，將鈰金屬鹽前體氣化然后與氧氣等化合以直接制備二氧化鈰。所 述方法包括火焰燃燒分解法(flame combustion decomposition)、氣體冷凝分解法(gas condensation decomposition)、等離子氣化法(plasma vaporization)、激光氣化法 (laser vaporization)等。然而，所述方法難以推廣，因?yàn)殁嫿饘冫}前體和設(shè)備的成本很 高，而且對(duì)其的研究仍在進(jìn)行中。同時(shí)，在固相方法中，將前體材料在高溫下燒結(jié)以制備二氧化鈰。碳酸鈰被大量用 作前體，并且二氧化鈰的特性和形狀根據(jù)碳酸鈰的類型和形狀而變化。因此，為了控制二氧 化鈰研磨劑的特性、形狀、磨損性等，需要控制碳酸鈰前體的類型或形狀。然而，尚未適當(dāng)?shù)亻_發(fā)出一種通過簡(jiǎn)化方法控制碳酸鈰類型或形狀的碳酸鈰制備 方法，尤其是，長(zhǎng)期需要一種能通過更簡(jiǎn)化的方法制備六方碳酸鈰的方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種制備碳酸鈰的方法，其使得可通過一種更簡(jiǎn)化的方法制備六方碳 酸鈰；并涉及一種由此制備的碳酸鈰粉末。另外，本發(fā)明提供一種使用所述碳酸鈰粉末制備二氧化鈰粉末的方法。此外，本發(fā)明提供含有由以上方法制備的二氧化鈰粉末的CMP (化學(xué)機(jī)械拋光)漿 料。具體而言，本發(fā)明提供一種制備碳酸鈰的方法，其包括以下步驟將正交碳酸鈰與 含重量比為1 0.1或更高的水和伯醇的伯醇水溶液于160°C或更高的溫度下進(jìn)行接觸反 應(yīng)，以形成六方碳酸鈰。本發(fā)明還提供一種由以上方法制備的碳酸鈰粉末，其包含體積比為99 1至 0 100的正交碳酸鈰和六方碳酸鈰。
另外，本發(fā)明提供一種制備二氧化鈰粉末的方法，包括將以上碳酸鈰粉末燒結(jié)的步驟。本發(fā)明還提供含有將以上方法制備的二氧化鈰粉末作為研磨劑的CMP(化學(xué)機(jī)械 拋光)漿料。


圖1示出了實(shí)施例1至4、比較實(shí)施例1和2中所制備的碳酸鈰粉末的XRD分析結(jié) 果，以及正交碳酸鈰和六方碳酸鈰的XRD參照值。圖2示出了根據(jù)實(shí)施例5，由實(shí)施例1至4、比較實(shí)施例1和2的碳酸鈰粉末所制 備的二氧化鈰粉末的XRD分析結(jié)果。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)將說明本發(fā)明具體實(shí)施方案中的一種制備碳酸鈰的方法、碳酸鈰粉末、一種制 備二氧化鈰粉末的方法以及CMP漿料。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案提供了一種制備碳酸鈰的方法，其包括以下步驟將正交 碳酸鈰與含有重量比為1 0.1或更高的水和伯醇的伯醇水溶液于160°C或更高的溫度下 進(jìn)行接觸反應(yīng)，以形成六方碳酸鈰。本發(fā)明發(fā)明人通過實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，正交碳酸鈰與含有特定重量比的水和伯醇的伯醇水 溶液于給定溫度下進(jìn)行接觸反應(yīng)能夠使碳酸鈰晶體結(jié)構(gòu)發(fā)生轉(zhuǎn)化，從而形成六方碳酸鈰。因此，根據(jù)該實(shí)施方案，原本難以制備的六方碳酸鈰可由可相對(duì)較易獲得的正交 碳酸鈰通過更簡(jiǎn)化的方法制備。特別是，根據(jù)該方法，正交碳酸鈰向六方碳酸鈰的轉(zhuǎn)化率可 通過控制接觸反應(yīng)的條件——如溫度、水與伯醇的重量比或者伯醇水溶液和碳酸鈰的含量 (重量比)等——而容易地控制。因此，能夠通過簡(jiǎn)化方法對(duì)碳酸鈰的類型或形狀進(jìn)行控制 而制備，并且具有合適特性或形狀的二氧化鈰可由碳酸鈰容易地制備并用于CMP漿料。現(xiàn)將詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方案的制備碳酸鈰的方法。根據(jù)鍵合至碳酸根官能團(tuán)上的氫氧根的量，可將碳酸鈰的晶體結(jié)構(gòu)分為正交形或 六方形；它們可通過使鈰前體與碳酸根前體發(fā)生沉淀反應(yīng)而制備。預(yù)計(jì)正交碳酸鈰根據(jù)以 下反應(yīng)式1制備，六方碳酸鈰根據(jù)以下反應(yīng)式2制備。[反應(yīng)式1]2 [Ce2 (H2O) n] 3++3C0廣一Ce2O (CO3) 2 · H2CHCO2+ (n_l) H2O[反應(yīng)式2][Ce (H2O) n] 3++H20 — [Ce (OH) (H2O) n_J 2++H30+[Ce (OH) (H2O) n_J 2++C032_ — Ce (OH) CO3+ (n_l) H2O因此，通常通過改變反應(yīng)條件來控制碳酸鈰的晶體結(jié)構(gòu)。然而，盡管已悉知正交碳 酸鈰可通過常規(guī)的沉淀反應(yīng)在水溶液中于相對(duì)較低的溫度下較容易地制備，但難以在水溶 液中制備六方碳酸鈰。具體而言，將鈰前體如鈰鹽和尿素溶解于水中并進(jìn)行反應(yīng)以形成六方碳酸鈰。為 了反應(yīng)形成六方碳酸鈰，應(yīng)當(dāng)先使鈰離子發(fā)生弱水解，然后再使CO32-與鈰離子結(jié)合(見以 上反應(yīng)式2)，因此需要在高溫下進(jìn)行上述反應(yīng)。然而，由于尿素可在高溫下分解生成氨和二氧化碳等(從而可產(chǎn)生氣體壓力)，因而以上反應(yīng)不得不在極高的壓力下進(jìn)行，例如壓力幾 乎達(dá)到100巴。然而，如果該反應(yīng)在高壓下進(jìn)行，則不可避免地存在由高壓帶來的風(fēng)險(xiǎn)，并且昂貴 設(shè)備的使用也降低了經(jīng)濟(jì)效率。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案，六方碳酸鈰可通過將正交碳酸鈰與含特定重量比的 水和伯醇的伯醇水溶液于給定溫度下進(jìn)行接觸反應(yīng)而簡(jiǎn)單地制備。這樣，由于無需使用尿 素，六方碳酸鈰即可在不那么高的壓力下獲得。此外，六方碳酸鈰還可通過更簡(jiǎn)化的方法獲 得，所述方法包括將正交碳酸鈰與一種伯醇水溶液進(jìn)行接觸反應(yīng)。因此，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案的方法可很大程度上有助于提高六方碳酸鈰制備方 法的經(jīng)濟(jì)效率和實(shí)用性。而且，所需類型和形狀的碳酸鈰可通過將正交碳酸鈰全部或部分 轉(zhuǎn)化為六方碳酸鹽而容易地獲得。在一個(gè)實(shí)施方案的制備碳酸鈰的方法中，正交碳酸鈰與伯醇水溶液之間的接觸反 應(yīng)在160°C或更高——優(yōu)選160-230°C——的溫度下進(jìn)行。本發(fā)明發(fā)明人通過實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)， 如果該接觸反應(yīng)溫度低于160°C，則正交碳酸鈰與伯醇水溶液的反應(yīng)性較低，從而大大降低 六方碳酸鈰的轉(zhuǎn)化率，或者幾乎不發(fā)生六方碳酸鈰的轉(zhuǎn)化。相反，如果接觸反應(yīng)溫度超過 230°C，則反應(yīng)壓力可能因反應(yīng)溫度升高而極大增加，并且提高六方碳酸鈰轉(zhuǎn)化率的附加效 果不顯著。此外，正交碳酸鈰與伯醇水溶液的重量比優(yōu)選為1 0.5至1 100。如果伯醇水 溶液與正交碳酸鈰的重量比低于以上范圍，則正交碳酸鈰可能轉(zhuǎn)化為二氧化鈰。如果伯醇 水溶液與正交碳酸鈰的重量比高于以上范圍，則六方碳酸鈰轉(zhuǎn)化率可能降低。正交碳酸鈰與伯醇水溶液的接觸時(shí)間可根據(jù)伯醇水溶液的組成、正交碳酸鈰與伯 醇水溶液的重量比、反應(yīng)溫度等，并考慮所需的六方碳酸鈰轉(zhuǎn)化率而進(jìn)行控制。優(yōu)選控制在 1小時(shí)至60小時(shí)內(nèi)。例如，六方碳酸鈰轉(zhuǎn)化時(shí)間可通過提高伯醇水溶液中醇的量或減小正 交碳酸鈰與伯醇水溶液的重量比而減少。此外，伯醇水溶液中伯醇與水的重量比為1 0.1或更高，優(yōu)選1 0. 1至1 4。 實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，如果水與伯醇的重量比小于1 0.1，則六方碳酸鈰轉(zhuǎn)化率大大降低，或者幾乎 不發(fā)生六方碳酸鈰的轉(zhuǎn)化。相反，如果水與伯醇的重量比超過1 4，則反應(yīng)壓力可能過于 增加，并且提高六方碳酸鈰轉(zhuǎn)化率的附加效果不顯著。伯醇水溶液中所含伯醇不受特別限制，只要其具有一個(gè)取代甲醇碳的烷基基團(tuán)即 可。其實(shí)例非限制性地包括甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等，并且優(yōu)選乙醇或丁醇。與伯醇水溶液進(jìn)行接觸反應(yīng)的正交碳酸鈰為Ce2O(CO3)2 · H2O形式，并且可通過 本領(lǐng)域已知的常規(guī)方法制備，包括使鈰前體與碳酸根前體如以上反應(yīng)式1所示進(jìn)行沉淀反應(yīng)?？墒褂煤腥齼r(jià)或四價(jià)鈰的鈰鹽作為鈰前體。其實(shí)例包括硝酸鈰 (Ce (NO3) 3 · xH20)、硫酸鈰(Ce(SO4)3 · χΗ20 或 Ce(SO4)2 · χΗ20)、氯化鈰(CeCl3 · χΗ20)或硝 酸鈰二銨(Ce (NH4) 2 (NO3) 6 或 Ce (NH4) 2 (NO3) 5 · χΗ20)(其中，χ為 0至 10 的常數(shù))?？墒褂媚蛩?CO(NH2)2)或碳酸鹽作為碳酸根前體，其也可用作PH控制劑。同時(shí)，還優(yōu)選進(jìn)一步包括將以上所制備的六方碳酸鈰分離、洗滌和干燥的步驟。所 述分離可通過本領(lǐng)域常規(guī)的分離方法進(jìn)行，例如通過冷卻或離心分離法進(jìn)行分離。所述洗滌優(yōu)選使用去離子(DI)水進(jìn)行，從而使離子值可為3mS或更小。由此，可適當(dāng)?shù)乜刂茻Y(jié) 粉末的晶體大小，并可避免研磨中的困難。所述干燥優(yōu)選在60°C或更高的溫度下進(jìn)行24小 時(shí)。根據(jù)上述制備碳酸鈰的方法，六方碳酸鈰可通過使伯醇水溶液與正交碳酸鈰發(fā)生 簡(jiǎn)單的接觸反應(yīng)而制備。特別是，包含合適比例的正交碳酸鈰和六方碳酸鈰的碳酸鈰粉末 可通過改變接觸反應(yīng)的反應(yīng)條件而獲得，所述反應(yīng)條件例如乙醇伯醇水溶液的組成、正交 碳酸鈰與乙醇伯醇水溶液的重量比或者反應(yīng)溫度范圍，從而控制正交碳酸鈰向六方碳酸鈰 的轉(zhuǎn)化率。由此，可獲得具有適當(dāng)控制的類型和形狀的碳酸鈰粉末，并且可由其獲得具有所 需特性和形狀的二氧化鈰粉末，并能夠容易地獲得含有所述二氧化鈰粉末的CMP漿料。本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方案提供一種由以上方法所制備的碳酸鈰粉末。所述碳酸 鈰粉末可包含由以上方法所制備的不同比例的正交碳酸鈰和六方碳酸鈰。例如，其可包含 99 1至0 100——優(yōu)選50 50至0 100——范圍內(nèi)的不同體積比的正交碳酸鈰和 六方碳酸鈰。具體而言，由于正交碳酸鈰和六方碳酸鈰的比例可以以不同的值容易地控制，因 而可容易地獲得碳酸鈰粉末的所需類型和形狀。由此，可容易地獲得滿足作為CMP研磨劑 的優(yōu)選特性和形狀的二氧化鈰粉末。本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方案提供了 一種制備二氧化鈰粉末的方法，其包括燒結(jié)以上 碳酸鈰粉末的步驟。所述燒結(jié)可通過本領(lǐng)域已知的制備二氧化鈰粉末中的常規(guī)燒結(jié)方法進(jìn)行。例如， 其可包括在600至1200°C下加熱的步驟。此外，燒結(jié)優(yōu)選進(jìn)行30分鐘至4小時(shí)。如果燒結(jié) 時(shí)間少于30分鐘，則所制備二氧化鈰粉末的結(jié)晶度較低，從而在用作CMP研磨劑時(shí)會(huì)降低 拋光速率。如果燒結(jié)時(shí)間超過4小時(shí)，則二氧化鈰的晶體生長(zhǎng)過度，從而在用作研磨劑時(shí)會(huì) 使拋光表面嚴(yán)重劃傷。通過控制前體碳酸鈰粉末中的正交碳酸鈰與六方碳酸鈰的體積比(正交碳酸鈰 向六方碳酸鈰的轉(zhuǎn)化率)，所得二氧化鈰粉末可表現(xiàn)出所需的拋光特性。例如，由六方碳酸 鈰作為前體制備的二氧化鈰粉末(或研磨劑)對(duì)于二氧化硅薄膜具有較高的拋光速率，而 對(duì)于氮化硅薄膜具有較低的拋光速率，從而在二氧化硅薄膜與氮化硅薄膜之間具有優(yōu)良的 拋光選擇性以及優(yōu)良的整體平面度(global planarization)。此外，由正交碳酸鈰作為前 體制備的二氧化鈰粉末(或研磨劑)還有利于高強(qiáng)度氮化硅薄膜的拋光。因此，根據(jù)以上實(shí)施方案，通過控制前體碳酸鈰粉末中正交碳酸鈰與六方碳酸鈰 的體積比，例如控制在99 1至0 100的范圍內(nèi)，則可容易地控制作為研磨劑的二氧化 鈰粉末的拋光特性、對(duì)于二氧化硅薄膜的拋光速率、對(duì)于氮化硅薄膜的拋光速率以及二氧 化硅薄膜與氮化硅薄膜之間的拋光選擇性或者整體平面度等。本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方案提供一種包含以上二氧化鈰粉末作為研磨劑的CMP漿 料。所述CMP漿料包含二氧化鈰粉末作為研磨劑，并且可還進(jìn)一步包含一種分散劑和/或 水。所述漿料中的二氧化鈰粉末的含量?jī)?yōu)選為0. 1至50重量份，基于100重量份的該 漿料。如果漿料中的研磨劑二氧化鈰粉末的含量小于0.1重量份，則難以使待拋光的表面 拋光；而如果該含量超過50重量份，則漿料的粘度會(huì)增加，從而降低分散穩(wěn)定性。
此外，以100重量份的研磨劑為基準(zhǔn)，該分散劑的優(yōu)選含量為0. 5至10重量份。如 果分散劑的含量小于0. 5重量份，則分散能力較低，會(huì)加速沉淀，因而漿料轉(zhuǎn)移時(shí)可能發(fā)生 沉淀，從而可造成研磨劑的非均勻供給。如果分散劑的含量超過10重量份，則可能在研磨 劑顆粒周圍較厚地形成作為緩沖物的分散劑層，由此使研磨劑的表面難以接觸到待拋光的 表面，從而降低拋光速率?？墒褂梅请x子聚合物分散劑或陰離子聚合物分散劑作為分散劑。非離子聚合物分 散劑可選自聚乙烯醇(PAA)、乙二醇(EG)、丙三醇、聚乙二醇(PEG)、聚丙二醇(PPG)、聚乙烯 吡咯烷酮(PVP)，及其混合物，陰離子聚合物分散劑可選自聚丙烯酸、聚丙烯酸銨鹽、聚丙烯 馬來酸，及其混合物。然而，分散劑并不限于此，并且可非限制性地使用多種已知可用于CMP 漿料的分散劑。優(yōu)選地，在二氧化鈰粉末、分散劑和水混合之后，將CMP漿料滴定到pH 6至8。該 滴定可使用IN KOH或IN HNO2進(jìn)行。在pH滴定后，為了提高分散性和貯存穩(wěn)定性，優(yōu)選實(shí)施分散穩(wěn)定方法。分散穩(wěn)定 方法優(yōu)選通過能精確并精細(xì)地控制粒徑的濕磨分散法——如球磨、精碎等——實(shí)施。通過分散穩(wěn)定法而最終制備的CMP漿料組合物優(yōu)選具有小于3 μ m的粒徑分布，以 及50至IOOOnm的平均粒徑。如果平均粒徑小于50nm，則待拋光表面的拋光速率太低；而 如果其超過lOOOnm，則拋光表面可產(chǎn)生精細(xì)劃痕，或漿料的貯存穩(wěn)定性可能劣化。粒徑分布 可通過粒徑分布分析儀(Horiba LA-910)測(cè)定。CMP漿料可還進(jìn)一步包含其它用以改善拋光性能或分散穩(wěn)定性的添加劑。實(shí)施例本發(fā)明將參照以下實(shí)施例進(jìn)行更詳細(xì)的說明。然而，這些實(shí)施例不應(yīng)以任何方式 解釋為限制本發(fā)明范圍?！刺妓徕嫹勰┑闹苽洹祵?shí)施例1將水和乙醇以1 0. 11的重量比混合以制備乙醇水溶液，然后將該乙醇水溶液和 正交碳酸鈰以10 1的重量比引入反應(yīng)器中，并攪拌10小時(shí)。將反應(yīng)溫度調(diào)節(jié)至200°C， 并將攪拌速度調(diào)節(jié)至200rpm。對(duì)所制備的碳酸鈰粉末進(jìn)行XRD分析，結(jié)果示于圖1中。通過該結(jié)果可證實(shí)，全部 正交碳酸鈰均轉(zhuǎn)化為六方碳酸鈰。實(shí)施例2通過與實(shí)施例1相同的方法制備一種碳酸鈰粉末，不同之處在于乙醇水溶液與正 交碳酸鈰的重量比變?yōu)? 0.67，而非10 1。對(duì)所制備的碳酸鈰粉末進(jìn)行XRD分析，結(jié)果示于圖1中。此外，碳酸鈰粉末中所包 含的正交碳酸鈰與六方碳酸鈰的體積比通過校準(zhǔn)曲線法進(jìn)行計(jì)算，結(jié)果示于以下表1中。 由該結(jié)果可證實(shí)，一部分正交碳酸鈰轉(zhuǎn)化為六方碳酸鈰。實(shí)施例3將水和乙醇以1 1的重量比混合以制備乙醇水溶液，然后將該乙醇水溶液和正 交碳酸鈰以1 0.3重量比引入反應(yīng)器中，并攪拌10小時(shí)。將反應(yīng)溫度調(diào)節(jié)至180°C，并將 攪拌速度調(diào)節(jié)至200rpm。
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對(duì)所制備的碳酸鈰粉末進(jìn)行XRD分析，結(jié)果示于圖1中。此外，碳酸鈰粉末中所包 含的正交碳酸鈰與六方碳酸鈰的體積比通過校準(zhǔn)曲線法進(jìn)行計(jì)算，結(jié)果示于以下表1中。 由該結(jié)果可證實(shí)，一部分正交碳酸鈰轉(zhuǎn)化為六方碳酸鈰。實(shí)施例4將水和丁醇以1 1的重量比混合以制備丁醇水溶液，然后將該丁醇水溶液和正 交碳酸鈰以10 1重量比引入反應(yīng)器中，并攪拌10小時(shí)。將反應(yīng)溫度調(diào)節(jié)至200°C，并將 攪拌速度調(diào)節(jié)至200rpm。 對(duì)所制備的碳酸鈰粉末進(jìn)行XRD分析，結(jié)果示于圖1中。由該結(jié)果可證實(shí)，全部正 交碳酸鈰轉(zhuǎn)化為六方碳酸鈰。比較實(shí)施例1-2通過與實(shí)施例1相同的方法制備一種碳酸鈰粉末，不同之處在于乙醇水溶液的組 成、正交碳酸鈰與乙醇水溶液的重量比或者反應(yīng)溫度如下表1中所示變化。對(duì)所制備的碳酸鈰粉末進(jìn)行XRD分析，結(jié)果與實(shí)施例1和2的結(jié)果一起示于圖1 中。由該結(jié)果可證實(shí)，在比較實(shí)施例1和2中，碳酸鈰的晶體結(jié)果未發(fā)生轉(zhuǎn)化。[表 1]
權(quán)利要求
一種制備碳酸鈰的方法，包括以下步驟將正交碳酸鈰與含有重量比為1∶0.1或更高的水和伯醇的伯醇水溶液于160℃或更高的溫度下進(jìn)行接觸反應(yīng)，以形成六方碳酸鈰。
2.權(quán)利要求1的方法，其中所述接觸反應(yīng)在160°C至230°C的溫度下進(jìn)行。
3.權(quán)利要求1的方法，其中所述正交碳酸鈰與所述伯醇水溶液以1 0.5至1 100 的重量比進(jìn)行接觸反應(yīng)。
4.權(quán)利要求1的方法，其中所述伯醇水溶液含有重量比為1 0. 1至1 4的水與伯
5.權(quán)利要求1的方法，其中所述接觸反應(yīng)進(jìn)行1至60小時(shí)。
6.權(quán)利要求1的方法，還包括以下步驟在接觸反應(yīng)步驟之前，將鈰前體與碳酸根前體 進(jìn)行沉淀反應(yīng)，以形成正交碳酸鈰。
7.權(quán)利要求1的方法，其中所述伯醇水溶液包括乙醇或丁醇水溶液。
8.由權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)的方法制備的碳酸鈰粉末，包括體積比為99 1至 0 100的正交碳酸鈰和六方碳酸鈰。
9.一種制備二氧化鈰粉末的方法，包括將權(quán)利要求8的碳酸鈰粉末燒結(jié)的步驟。
10.權(quán)利要求9的方法，其中所述燒結(jié)在600至1200°C的溫度下進(jìn)行30分鐘至4小時(shí)。
11.CMP漿料，包含由權(quán)利要求9的方法制備的二氧化鈰粉末作為研磨劑。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種制備碳酸鈰的方法，其使得可通過一種簡(jiǎn)化的方法制備六方碳酸鈰；涉及一種由此制備的碳酸鈰粉末以及一種使用所述碳酸鈰粉末制備二氧化鈰粉末的方法。用于制備碳酸鈰的方法包括以下步驟將正交碳酸鈰與含有重量比為1∶0.1或更高的水和伯醇的伯醇水溶液于160℃或更高的溫度下進(jìn)行接觸反應(yīng)，以形成六方碳酸鈰。
文檔編號(hào)C09K3/14GK101978017SQ200980109759
公開日2011年2月16日 申請(qǐng)日期2009年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月20日
發(fā)明者吳明煥, 崔相洵, 曹昇范 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Lg化學(xué)