專利名稱：涂布機(jī)所用托臺(tái)及控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及涂布機(jī)所用托臺(tái)以及用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的
方法。
背景技術(shù)：
液晶是結(jié)晶固體與各向同性液體之間的中間相，并將晶體結(jié)構(gòu)的某些特性與可變 形流體的某些特性結(jié)合起來(lái)。LCD(液晶顯示器)利用了其液晶的流動(dòng)性以及與其結(jié)晶特性 相關(guān)聯(lián)的各向異性。LCD在移動(dòng)電話、便攜式計(jì)算機(jī)、臺(tái)式電腦顯示器以及LCD電視中都有應(yīng)用。LCD由薄膜晶體管(TFT)陣列基板和彩色濾光片陣列基板構(gòu)成，TFT陣列基板和彩 色濾光片陣列基板相互附接，同時(shí)在TFT陣列基板和彩色濾光片陣列基板之間夾置有密封 膠(或密封劑)圖案以及液晶層。通過(guò)控制施加在每一像素中的液晶層上的電壓，可允許不同量的光透過(guò)，從而產(chǎn) 生圖像。IXD的制造簡(jiǎn)略描述如下。多個(gè)TFT陣列形成在一個(gè)基板上。多個(gè)彩色濾光片陣列形成在另一個(gè)基板上。密 封劑(密封膠)涂布機(jī)涂布密封膠，以在這兩個(gè)基板中的任一基板上形成密封膠圖案。密 封膠圖案包括四條密封膠直線并在角部具有90度，每一個(gè)直線的長(zhǎng)度都和與其相對(duì)的直 線的長(zhǎng)度相同。LC(液晶)涂布機(jī)以液滴的形式在由基板上的密封膠圖案所限定的區(qū)域上 涂布液晶。兩個(gè)基板結(jié)合成為母板。此時(shí)，密封膠圖案被用作粘貼劑將兩基板相互連接在 一起。母板被分割為分離的LCD面板。密封劑涂布機(jī)以及LC涂布機(jī)可以具有托臺(tái)。為簡(jiǎn)潔起見(jiàn)，以LC涂布機(jī)(下文稱 為“涂布機(jī)”)為例來(lái)描述托臺(tái)。圖1為涂布機(jī)的一個(gè)例子的立體圖。如圖1所示，涂布機(jī)包括主框架100、托臺(tái) 200、第一驅(qū)動(dòng)單元300、涂布頭單元支承框架400、第二驅(qū)動(dòng)單元500、涂布頭單元600以及 第三驅(qū)動(dòng)單元700。主框架100上設(shè)有托臺(tái)200，設(shè)置方式為使托臺(tái)200可沿直線移動(dòng)。托臺(tái)200可以 固定地設(shè)置在主框架100上。第一驅(qū)動(dòng)單元300設(shè)置在主框架100上。第一驅(qū)動(dòng)單元300 移動(dòng)托臺(tái)200。涂布頭單元支承框架400包括兩個(gè)相互隔開(kāi)的豎直件410以及一個(gè)連接在兩個(gè)豎 直件410的上部之間的水平件420。涂布頭單元支承框架400設(shè)置在主框架100上，設(shè)置方 式為使涂布頭單元支承框架400可沿直線移動(dòng)。托臺(tái)200位于兩個(gè)豎直件410之間。第二驅(qū)動(dòng)單元500移動(dòng)涂布頭單元支承框架400。涂布頭單元600設(shè)置在涂布頭單元支承框架400的水平件420上，設(shè)置方式為使 涂布頭單元600可沿直線移動(dòng)。第三驅(qū)動(dòng)單元700設(shè)置在涂布頭單元支承框架400的水平件420上。第三驅(qū)動(dòng)單元700移動(dòng)涂布頭單元600。涂布頭單元支承框架400沿Y軸方向移動(dòng)，涂布頭單元600沿X軸方向移動(dòng)。涂布頭單元600包括噴嘴(未示出)。如圖2所示，托臺(tái)200包括底板210、一個(gè)或多個(gè)支承塊220，支承塊220與底板
210的上表面結(jié)合。支承塊布置為相互隔開(kāi)預(yù)定距離。支承塊220內(nèi)部具有真空通道221，并在上側(cè)中具有多個(gè)孔222，孔222連接到真空通道221。真空發(fā)生器(未示出)連接到真空通道221。基板G放置在支承塊220的上表面上。真空發(fā)生器運(yùn)行，以在真空通道221和多 個(gè)孔222內(nèi)產(chǎn)生真空，從而將基板的下表面緊密地拉向支承塊220的上表面。空間223存在于兩相鄰的支承塊220之間?？臻g223用于在將基板G放置在托臺(tái) 200上或者從托臺(tái)200上提舉基板G時(shí)放置機(jī)器人(未示出)的臂?，F(xiàn)在描述涂布機(jī)的操作。機(jī)器人通過(guò)臂提舉基板G，然后將基板G放置在托臺(tái)200上。真空發(fā)生器運(yùn)行，以 在真空通道221和多個(gè)孔222內(nèi)產(chǎn)生真空，從而將基板G的下表面緊密地拉向支承塊220 的上表面。如圖3所示，第一驅(qū)動(dòng)單元300沿正(+)Y軸方向的直線將托臺(tái)200移動(dòng)預(yù)定距離， 而涂布頭單元支承框架400保持不動(dòng)。在托臺(tái)200的這一移動(dòng)中，涂布頭單元600通過(guò)其 噴嘴滴注液晶液滴。向后移動(dòng)托臺(tái)200或者涂布頭單元600的方向定義為正(+)Υ軸方向。 向前移動(dòng)托臺(tái)200或者涂布頭單元600的方向定義為負(fù)(-)Υ軸方向。如圖4所示，第三驅(qū)動(dòng)單元700沿正(+) X軸方向的直線將涂布頭單元600移動(dòng)預(yù) 定距離。在移動(dòng)時(shí)，涂布頭單元600可以通過(guò)其噴嘴滴注液晶液滴。從左向右移動(dòng)托臺(tái)200 或涂布頭單元600的方向定義為正(+)Χ軸方向。從右向左移動(dòng)托臺(tái)200或涂布頭單元600 的方向定義為負(fù)(-)χ軸方向。如圖5所示，第一驅(qū)動(dòng)單元300沿負(fù)(_) Y軸方向的直線將托臺(tái)200移動(dòng)預(yù)定距離。 在托臺(tái)200的這一移動(dòng)中，涂布頭單元600通過(guò)其噴嘴滴注液晶液滴。如圖6所示，第三驅(qū)動(dòng)單元700沿正(+) X軸方向的直線將涂布頭單元600移動(dòng)預(yù) 定距離。在移動(dòng)時(shí)，涂布頭單元600可以通過(guò)其噴嘴滴注液晶液滴。如圖7所示，第一驅(qū)動(dòng)單元300沿正(+) Y軸方向的直線移動(dòng)托臺(tái)200，而涂布頭單 元支承框架400保持不動(dòng)。在移動(dòng)時(shí)，涂布頭單元600可以通過(guò)其噴嘴滴注液晶液滴。如上所述，以重復(fù)的方式移動(dòng)托臺(tái)200和涂布頭單元600，直到涂布頭單元600在 限定在基板G上的各面板區(qū)上滴注預(yù)定數(shù)目的液晶液滴。為了縮短涂布頭單元600在限定在基板G上的各面板區(qū)上滴注預(yù)定數(shù)目的液晶液 滴所用的時(shí)間，必須分別沿Y軸方向和沿X軸方向高速移動(dòng)托臺(tái)200和涂布頭單元600。此 時(shí)，必須通過(guò)利用真空，將基板G的下表面緊密地拉向托臺(tái)200的上表面。因此，即便在托 臺(tái)200的快速移動(dòng)中，基板也保持靜止。然而，只是托臺(tái)200沿Y軸方向移動(dòng)。因此，托臺(tái)200沿Y軸方向移動(dòng)的距離越長(zhǎng)， 支承托臺(tái)200所需要的主框架的長(zhǎng)度越長(zhǎng)。這就增加了主框架100的尺寸，轉(zhuǎn)而增加涂布 機(jī)的尺寸。托臺(tái)200或涂布頭單元600在靠近轉(zhuǎn)折點(diǎn)時(shí)不得不大大減小其速度，而在離開(kāi)轉(zhuǎn)折點(diǎn)時(shí)不得不大大增加其速度。轉(zhuǎn)折點(diǎn)是沿Y軸方向移動(dòng)的托臺(tái)必須停止而涂布頭單元 600必須開(kāi)始沿X軸方向移動(dòng)的地方，或者沿X軸方向移動(dòng)的涂布頭單元600必須停止而托臺(tái)200必須開(kāi)始沿Y軸方向移動(dòng)的地方。因?yàn)橥信_(tái)200或涂布頭單元600在轉(zhuǎn)折點(diǎn)附近大大減小或增大速度，所以托臺(tái)200 或涂布頭單元600振動(dòng)并遭受摩擦磨損，從而產(chǎn)生顆粒。托臺(tái)200的重量越重，托臺(tái)200在 減小或增大速度時(shí)振動(dòng)得越厲害。第一和第三驅(qū)動(dòng)單元300和700的每一個(gè)都需要高功率的電機(jī)。這是因?yàn)榈谝缓?第三驅(qū)動(dòng)單元300和700必須以高速分別移動(dòng)托臺(tái)200和涂布頭單元600。在支承塊220中的真空通道221和多個(gè)孔222釋放真空以后而機(jī)器人從托臺(tái)200 將基板G提舉起來(lái)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生靜電。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是盡可能地減小在涂布操作中的托臺(tái)振動(dòng)。本發(fā)明的另一個(gè)目的是防止在從托臺(tái)提舉起基板時(shí)靜電的發(fā)生。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種涂布機(jī)所用托臺(tái)，包括板；多個(gè)支承桿，設(shè)置 在板上，在支承桿上安裝基板；以及壓縮空氣供應(yīng)單元，向基板的下表面供應(yīng)壓縮空氣，以 支承基板。板內(nèi)部可以具有空氣通道，板的上表面可以具有孔，各空氣通道連接到各孔，壓縮 空氣供應(yīng)單元通過(guò)通道和孔將壓縮空氣供應(yīng)到基板的下表面。離子發(fā)生單元可以連接到板，以在板和基板之間產(chǎn)生離子。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng) 的方法，包括移動(dòng)托臺(tái)，并且同時(shí)沿托臺(tái)移動(dòng)方向的相反方向移動(dòng)具有噴嘴的涂布頭單兀。可以在Y軸方向上分別沿相反方向移動(dòng)托臺(tái)和具有噴嘴的涂布頭單元?？梢栽赬軸方向上分別沿相反方向移動(dòng)托臺(tái)和具有噴嘴的涂布頭單元。通過(guò)涂布頭單元的噴嘴，涂布頭單元將預(yù)定數(shù)目的液晶液滴滴注在限定在基板上 的各面板區(qū)上。涂布頭單元的數(shù)目可以為2或更多。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng) 的方法，包括第一步驟，沿Y軸方向?qū)⑵渖习惭b基板的托臺(tái)移動(dòng)第一預(yù)定距離，同時(shí)沿托 臺(tái)移動(dòng)方向的相反方向?qū)⒕哂袊娮斓耐坎碱^單元移動(dòng)第二預(yù)定距離；第二步驟，沿X軸方 向?qū)⒕哂袊娮斓耐坎碱^單元移動(dòng)第三預(yù)定距離；第三步驟，沿第一步驟中托臺(tái)移動(dòng)方向的 相反方向?qū)⑼信_(tái)移動(dòng)第四預(yù)定距離，同時(shí)沿托臺(tái)移動(dòng)方向的相反方向?qū)⒕哂袊娮斓耐坎碱^ 單元移動(dòng)第五預(yù)定距離；第四步驟，沿X軸方向?qū)⒕哂袊娮斓耐坎碱^單元移動(dòng)第六預(yù)定距 離；以及第五步驟，以重復(fù)的方式按預(yù)定數(shù)目的次數(shù)執(zhí)行第一至第四步驟，而在最后一次執(zhí) 行第一至第三步驟。在第二和第四步驟中，可以移動(dòng)具有噴嘴的涂布頭單元，同時(shí)可以沿具有噴嘴的 涂布頭單元移動(dòng)方向的相反方向?qū)⑼信_(tái)移動(dòng)預(yù)定距離。通過(guò)涂布頭單元的噴嘴，涂布頭單元將預(yù)定數(shù)目的液晶液滴滴注在限定在基板上的各面板區(qū)上。從以下本發(fā)明的詳細(xì)描述并結(jié)合附圖將更加明了本發(fā)明的前述和其它目的、特征、方面和優(yōu)點(diǎn)。


包含于本文用于提供本發(fā)明的進(jìn)一步理解并構(gòu)成說(shuō)明書一部分的附圖示出了本 發(fā)明的實(shí)施例，并與說(shuō)明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。附圖中圖1是涂布機(jī)的示例的立體圖；圖2是用于涂布機(jī)的現(xiàn)有托臺(tái)的立體圖；圖3至7是表示采用涂布機(jī)的現(xiàn)有操作方法時(shí)托臺(tái)和涂布頭單元移動(dòng)方向的視 圖；圖8是根據(jù)本發(fā)明的涂布機(jī)所用托臺(tái)的實(shí)施例的正視圖；圖9是采用根據(jù)本發(fā)明的操作涂布機(jī)的方法的一個(gè)實(shí)施例時(shí)托臺(tái)和涂布頭單元 移動(dòng)方向的視圖；圖10至13是表示采用根據(jù)本發(fā)明的操作涂布機(jī)的方法的另一個(gè)實(shí)施例時(shí)托臺(tái)和 涂布頭單元移動(dòng)方向的視圖；以及圖14是采用根據(jù)本發(fā)明的操作涂布機(jī)的方法時(shí)托臺(tái)和涂布頭單元移動(dòng)方向的放 大視圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在將詳細(xì)參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，其示例圖示在附圖中。涂布機(jī)包括主框架100、托臺(tái)800、第一驅(qū)動(dòng)單元300、涂布頭單元支承框架400、第 二驅(qū)動(dòng)單元500、涂布頭單元600和第三驅(qū)動(dòng)單元700。主框架100、第一驅(qū)動(dòng)單元300、涂 布頭單元支承框架400、第二驅(qū)動(dòng)單元500、涂布頭單元600和第三驅(qū)動(dòng)單元700與“背景技 術(shù)”中描述的相同。涂布機(jī)還可以包括沿X軸方向移動(dòng)托臺(tái)的第四驅(qū)動(dòng)單元(未示出)。如圖8所示，根據(jù)本發(fā)明的托臺(tái)包括板810、多個(gè)支承桿820、以及壓縮空氣供應(yīng)單 元 830。板810在其上表面中具有多個(gè)凹槽811。多個(gè)凹槽811布置為相互隔開(kāi)預(yù)定距離。 每一個(gè)凹槽811在一直線上。凹槽811的深度和寬度一致。四個(gè)支承桿820設(shè)置在板810的四個(gè)角上，每個(gè)角一個(gè)。支承桿820的上部可以
水平彎曲?；錑安裝在四個(gè)支承桿820的頂部。四個(gè)支承桿820對(duì)基板G的支承防止在基 板G安裝在四個(gè)支承桿820的頂部上或者從四個(gè)支承桿820的頂部提舉時(shí)產(chǎn)生靜電。各支承桿820內(nèi)部可以沿長(zhǎng)度具有沖孔。在此情況中，板810內(nèi)部具有連接到支 承桿820中的沖孔的通道。真空供應(yīng)單元(未示出)連接到通道。真空供應(yīng)單元運(yùn)行，以在板810中的通道和支承桿820中的沖孔內(nèi)產(chǎn)生真空。因 此，基板G的下表面被緊密地拉向支承桿820的頂部。壓縮空氣供應(yīng)單元830設(shè)置在板810上。板810內(nèi)部具有空氣通道812，板810的上表面具有孔813，各空氣通道812連接到各孔813。壓縮空氣供應(yīng)單元830通過(guò)空氣通道 812和孔813向基板G的下表面供應(yīng)壓縮空氣，以支承基板G。壓縮空氣供應(yīng)單元830連接到板810中的空氣通道812。作為一個(gè)例子，壓縮空氣 供應(yīng)單元830包括空氣壓縮機(jī)和連接到空氣通道812的管832。風(fēng)扇(未示出)可以設(shè)置在主框架100上。因壓縮空氣不斷地從板810的孔中流 出而在托臺(tái)周圍產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)氣流時(shí)，風(fēng)扇運(yùn)行，以使空氣自然循環(huán)。板810可以連接到離子發(fā)生單元(未示出)。在這一情況中，板810內(nèi)部具有離子通道840，板810的上表面具有離子孔，各離子通道840連接到各離子孔。離子發(fā)生單元連 接到離子通道840。離子發(fā)生單元通過(guò)離子通道840和離子孔向基板G的下表面供應(yīng)離子，以去除在 機(jī)器人的臂和基板G之間產(chǎn)生的靜電?，F(xiàn)在描述根據(jù)本發(fā)明用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法的第一 實(shí)施例。根據(jù)本發(fā)明，基板G安裝在托臺(tái)800上。如圖9所示，第一驅(qū)動(dòng)單元300沿Y軸方向移動(dòng)托臺(tái)800，同時(shí)，第二驅(qū)動(dòng)單元500 沿與托臺(tái)800移動(dòng)方向的相反方向移動(dòng)涂布頭單元支承框架400和涂布頭單元600。托臺(tái) 800和涂布頭單元600分別沿直線移動(dòng)。沿正(+)Y軸方向移動(dòng)托臺(tái)800，沿負(fù)(_)Y軸方向移動(dòng)涂布頭單元600。另外，可以沿負(fù)(-)Υ軸方向移動(dòng)托臺(tái)800，而沿正(+)Υ軸方向移動(dòng)涂布頭單元 600。涂布頭單元600的數(shù)目可以為2或更多。在沿正(+)Υ軸方向移動(dòng)托臺(tái)800和同時(shí)沿負(fù)(-)Υ軸方向移動(dòng)涂布頭單元600時(shí)， 涂布頭單元600通過(guò)其噴嘴滴注液晶液滴。在涂布頭單元600完成在限定在基板上的各面板區(qū)上滴注預(yù)定數(shù)目的液晶液滴 之后，機(jī)器人通過(guò)其臂將基板G提舉起來(lái)以向后續(xù)工藝的機(jī)器轉(zhuǎn)移。第一驅(qū)動(dòng)單元300沿X軸方向移動(dòng)托臺(tái)800，同時(shí)，第三驅(qū)動(dòng)單元700沿與托臺(tái)800 移動(dòng)方向相反的方向移動(dòng)具有噴嘴的涂布頭單元600?，F(xiàn)在描述用于控制托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法的第二實(shí)施例。根據(jù)本發(fā)明，基板G安裝在托臺(tái)800上。如圖10所示，第一驅(qū)動(dòng)單元300沿正(+)Υ軸方向?qū)⑼信_(tái)800移動(dòng)第一預(yù)定距離， 同時(shí)，第二驅(qū)動(dòng)單元500沿負(fù)(-)Y軸方向?qū)⑼坎碱^單元支承框架400與涂布頭單元600 — 起移動(dòng)第二預(yù)定距離，以使涂布頭單元600的噴嘴位于基板G上的面板區(qū)上的目標(biāo)點(diǎn)的正 上方(第一步驟)。第一預(yù)定距離可以與第二預(yù)定距離相同。在沿正(+)Υ軸方向移動(dòng)托臺(tái)800和同時(shí)沿負(fù)(-)Υ軸方向移動(dòng)涂布頭單元600時(shí)， 涂布頭單元600通過(guò)其噴嘴滴注液晶液滴。如圖11所示，第三驅(qū)動(dòng)單元700沿正(+)Χ軸方向——沿涂布頭單元支承框架400 的水平件420——將涂布頭單元600移動(dòng)第三預(yù)定距離，以使涂布頭單元600的噴嘴位于基 板G上的面板區(qū)上的另一個(gè)目標(biāo)點(diǎn)的正上方(第二步驟)。在沿正(+)Χ軸方向移動(dòng)時(shí)，涂 布頭單元600可以通過(guò)其噴嘴滴注液晶液滴，或者可以不這樣做。
如圖12所示，第一驅(qū)動(dòng)單元300沿負(fù)(-)Y軸方向?qū)⑼信_(tái)800移動(dòng)第四預(yù)定距離， 同時(shí)，第二驅(qū)動(dòng)單元500沿正(+) Y軸方向?qū)⑼坎碱^單元支承框架400與涂布頭單元600 — 起移動(dòng)第五預(yù)定距離，以使涂布頭單元600的噴嘴位于在基板G上的面板區(qū)上的另一個(gè)目 標(biāo)點(diǎn)的正上方(第三步驟)。第四預(yù)定距離可以與第五預(yù)定距離相同。在沿負(fù)(-)Υ軸方向移動(dòng)托臺(tái)800和同時(shí)沿正(+)Υ軸方向移動(dòng)涂布頭單元600時(shí)，涂布頭單元600通過(guò)其噴嘴滴注液晶液滴。如圖13所示，第三驅(qū)動(dòng)單元700沿正(+)Χ軸方向——沿涂布頭單元支承框架400 的水平件420——將涂布頭單元600移動(dòng)第六預(yù)定距離，以使涂布頭單元600的噴嘴位于基 板G上的面板區(qū)上的另一個(gè)目標(biāo)點(diǎn)的正上方(第四步驟)。在沿正(+)Χ軸移動(dòng)時(shí)，涂布頭 單元600可以通過(guò)其噴嘴滴注液晶液滴，或者可以不這樣做。以重復(fù)的方式按預(yù)定數(shù)目的次數(shù)執(zhí)行第一至第四步驟，而在最后一次執(zhí)行第一至 第三步驟(第五步驟)。第五步驟中的預(yù)定數(shù)目的次數(shù)根據(jù)滴注在限定在基板G上的各面板區(qū)上的液晶 液滴的預(yù)定數(shù)目確定。在第二步驟中，第三驅(qū)動(dòng)單元700可以沿正(+)Χ軸方向——沿涂布頭單元支承框 架400的水平件420——將涂布頭單元600移動(dòng)第三預(yù)定距離的一半，同時(shí)，第四驅(qū)動(dòng)單元 (未示出)可以沿負(fù)(-)Χ軸方向?qū)⑼信_(tái)800移動(dòng)第三預(yù)定距離的一半，以使涂布頭單元600 的噴嘴位于基板G上的面板區(qū)上的另一個(gè)目標(biāo)點(diǎn)的正上方。在第四步驟中，第三驅(qū)動(dòng)單元700可以沿正(+)Χ軸方向——沿涂布頭單元支承框 架400的水平件420——將涂布頭單元600移動(dòng)第六預(yù)定距離的一半，同時(shí)，第四驅(qū)動(dòng)單元 (未示出)可以沿負(fù)(-)Χ軸方向?qū)⑼信_(tái)800移動(dòng)第六預(yù)定距離的一半，以使涂布頭單元600 的噴嘴位于基板G上的面板區(qū)上的另一個(gè)目標(biāo)點(diǎn)的正上方。涂布頭單元600的數(shù)目可以為1或更多。在涂布頭單元600完成在限定在基板上的各面板區(qū)上滴注預(yù)定數(shù)目的液晶液滴 之后，機(jī)器人通過(guò)其臂將基板G提舉起來(lái)并向后續(xù)工藝的機(jī)器轉(zhuǎn)移。托臺(tái)800和涂布頭單元600可以沿直線或者沿曲線移動(dòng)?，F(xiàn)在描述用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法的第三實(shí)施例。第三實(shí)施例包括第一步驟、第二步驟和第三步驟。第三實(shí)施例中的第一至第三步 驟與第二實(shí)施例中的第一至第三步驟相同。因此，為簡(jiǎn)潔和一致起見(jiàn)，省略第三實(shí)施例中的 第一至第三步驟的描述?，F(xiàn)在描述用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法的第四實(shí)施例。第四實(shí)施例包括第一步驟、第二步驟、第三步驟、第四步驟和第五步驟。第四實(shí)施 例中的第一至第四步驟與第二實(shí)施例中的第一至第四步驟相同。因此，為簡(jiǎn)潔和一致起見(jiàn)， 省略第四實(shí)施例中的第一至第四步驟的描述。在第五步驟中，僅再次執(zhí)行第一步驟?，F(xiàn)在描述根據(jù)本發(fā)明的托臺(tái)以及用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的 方法的優(yōu)點(diǎn)。與托臺(tái)800和涂布頭單元600中的任一個(gè)不移動(dòng)的情況下托臺(tái)或涂布頭單元600 移動(dòng)的距離相比，托臺(tái)800和涂布頭單元600沿Y軸在相反方向上同時(shí)移動(dòng)的情況下托臺(tái) 或涂布頭單元600移動(dòng)的距離更短。因此，支承托臺(tái)800的主框架100可以做得尺寸較小，因?yàn)榕c現(xiàn)有托臺(tái)相比，托臺(tái)800沿Y軸方向移動(dòng)較短距離。另外，為使涂布頭單元600的噴嘴位于基板上的面板區(qū)上的預(yù)定點(diǎn)的正上方，相 比移動(dòng)托臺(tái)800和涂布頭單元600中的任一個(gè)，托臺(tái)800和涂布頭單元600可以以較低速度 移動(dòng)，因?yàn)樗鼈冄叵喾捶较蛞苿?dòng)預(yù)定距離的一半。托臺(tái)800和涂布頭單元600的較低速度 使它們?cè)诮咏螂x開(kāi)轉(zhuǎn)折點(diǎn)時(shí)以較小程度振動(dòng)。這就防止因托臺(tái)800的磨損而產(chǎn)生顆粒， 并防止因涂布頭單元600的噴嘴的搖晃而使液晶液滴滴注在面板區(qū)的錯(cuò)誤位置。托臺(tái)和涂 布頭單元600的較低速度使第一、第二和第三驅(qū)動(dòng)單元300、500和700要求較小的電機(jī)功 率。
在托臺(tái)800和涂布頭單元600以高速移動(dòng)時(shí)，涂布頭單元600用較少時(shí)間將預(yù)定 數(shù)目的液晶液滴滴注在基板G上的各面板區(qū)上。四個(gè)支承桿820對(duì)基板G的支承防止在將 基板G安裝在四個(gè)支承桿820的頂部或者從四個(gè)支承桿820的頂部提舉起來(lái)時(shí)發(fā)生靜電?？梢砸远喾N方式實(shí)施本發(fā)明而不脫離本發(fā)明的實(shí)質(zhì)或本質(zhì)特性，因此也可以理 解，除非特別指出，上述實(shí)施例并不受限于上述說(shuō)明中的細(xì)節(jié)，而是應(yīng)當(dāng)寬泛理解為如所附 權(quán)利要求限定的實(shí)質(zhì)和范圍內(nèi)，并且因此，落入權(quán)利要求保護(hù)范圍內(nèi)的所有變化或改變、或 該保護(hù)范圍的等同物都意在由所附權(quán)利要求涵蓋。
權(quán)利要求
一種涂布機(jī)所用托臺(tái)，包括板；多個(gè)支承桿，設(shè)置在板上，在支承桿上安裝基板；以及壓縮空氣供應(yīng)單元，向基板的下表面供應(yīng)壓縮空氣，以支承基板。
2.如權(quán)利要求1所述的涂布機(jī)所用托臺(tái)，其中，板內(nèi)部具有空氣通道，板的上表面具有 孔，各空氣通道連接到各孔，壓縮空氣供應(yīng)單元通過(guò)空氣通道和孔將壓縮空氣供應(yīng)到基板 的下表面。
3.如權(quán)利要求1所述的涂布機(jī)所用托臺(tái)，其中，離子發(fā)生單元連接到板，以在板和基板 之間產(chǎn)生離子。
4.一種用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法，包括移動(dòng)托臺(tái)，同時(shí)沿 托臺(tái)移動(dòng)方向的相反方向移動(dòng)具有噴嘴的涂布頭單元。
5.如權(quán)利要求4所述的用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法，其中，在Y 軸方向上分別沿相反方向移動(dòng)托臺(tái)和具有噴嘴的涂布頭單元。
6.如權(quán)利要求4所述的用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法，其中，在X 軸方向上分別沿相反方向移動(dòng)托臺(tái)和具有噴嘴的涂布頭單元。
7.一種用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法，包括第一步驟沿Y軸方向?qū)⑵渖习惭b基板的托臺(tái)移動(dòng)第一預(yù)定距離，同時(shí)沿托臺(tái)移動(dòng)方 向的相反方向?qū)⒕哂袊娮斓耐坎碱^單元移動(dòng)第二預(yù)定距離；第二步驟沿X軸方向?qū)⒕哂袊娮斓耐坎碱^單元移動(dòng)第三預(yù)定距離； 第三步驟沿第一步驟中托臺(tái)移動(dòng)方向的相反方向?qū)⑼信_(tái)移動(dòng)第四預(yù)定距離，同時(shí)沿 托臺(tái)移動(dòng)方向的相反方向?qū)⒕哂袊娮斓耐坎碱^單元移動(dòng)第五預(yù)定距離；第四步驟沿X軸方向?qū)⒕哂袊娮斓耐坎碱^單元移動(dòng)第六預(yù)定距離；以及 第五步驟以重復(fù)的方式按預(yù)定數(shù)目的次數(shù)執(zhí)行第一至第四步驟，而在最后一次執(zhí)行 第一至第三步驟。
8.如權(quán)利要求7所述的用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法，其中，在 第二步驟中，移動(dòng)具有噴嘴的涂布頭單元，同時(shí)沿具有噴嘴的涂布頭單元移動(dòng)方向的相反 方向?qū)⑼信_(tái)移動(dòng)預(yù)定距離。
9.如權(quán)利要求7所述的用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法，其中，在 第四步驟中，移動(dòng)具有噴嘴的涂布頭單元，同時(shí)沿具有噴嘴的涂布頭單元移動(dòng)方向的相反 方向?qū)⑼信_(tái)移動(dòng)預(yù)定距離。
10.如權(quán)利要求7所述的用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法，其中，在 第一步驟中，分別沿正(+)Y軸方向和負(fù)(-)Υ軸方向移動(dòng)托臺(tái)和具有噴嘴的涂布頭單元；在 第三步驟中，分別沿負(fù)(-)Υ軸方向和正(+)Y軸方向移動(dòng)托臺(tái)和具有噴嘴的涂布頭單元。
11.一種用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法，包括第一步驟沿正(+)Υ軸方向?qū)⑵渖习惭b基板的托臺(tái)移動(dòng)第一預(yù)定距離，同時(shí)沿負(fù)(-)Υ 軸方向?qū)⒕哂袊娮斓耐坎碱^單元移動(dòng)第二預(yù)定距離；第二步驟沿正(+)χ軸方向?qū)⒕哂袊娮斓耐坎碱^單元移動(dòng)第三預(yù)定距離；以及 第三步驟沿負(fù)(-)Υ軸方向?qū)⑼信_(tái)移動(dòng)第四預(yù)定距離，同時(shí)沿正(+)Υ軸方向?qū)⒕哂袊?嘴的涂布頭單元移動(dòng)第五預(yù)定距離。
全文摘要
提供一種涂布機(jī)所用托臺(tái)，包括板；多個(gè)支承桿，設(shè)置在板上，在支承桿上安裝基板；以及壓縮空氣供應(yīng)單元，向基板的下表面供應(yīng)壓縮空氣，以支承基板。只有支承桿對(duì)托臺(tái)進(jìn)行物理支承，可以將在機(jī)器人把基板從托臺(tái)提舉起來(lái)時(shí)發(fā)生的靜電減至最少。并且，提供一種用于控制涂布機(jī)中托臺(tái)和涂布頭單元的移動(dòng)的方法，包括移動(dòng)托臺(tái)，同時(shí)沿托臺(tái)移動(dòng)方向的相反方向移動(dòng)具有噴嘴的涂布頭單元。沿相反方向同時(shí)移動(dòng)托臺(tái)和涂布頭單元，使得托臺(tái)或涂布頭單元比其它情況下的托臺(tái)或涂布頭單元移動(dòng)較短距離。
文檔編號(hào)B05C11/00GK101804399SQ20101010640
公開(kāi)日2010年8月18日 申請(qǐng)日期2010年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月17日
發(fā)明者徐大勛 申請(qǐng)人:塔工程有限公司