專利名稱：用于滴下液體的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于滴下液體的設(shè)備，且更特定來說涉及一種用于在多個(gè)墊塊 (head block)固定到臺(tái)架(gantry)的狀態(tài)下水平移動(dòng)卸料單元的同時(shí)在襯底上分配液晶 (liquid crystal)的設(shè)備。
背景技術(shù)：
通常，陰極射線管(cathode ray tube，CRT)被廣泛地用作顯示裝置。然而，CRT 具有各種缺點(diǎn)，例如體積相對(duì)較大且重量相對(duì)較重。因此，近些年來使用例如液晶顯示 器(liquid crystal display, LCD)裝置、等離子顯示面板(plasma display panel, PDP)裝置 或有機(jī)發(fā)光裝置(organic light emitting device，OLED)等平板顯示裝置。平板顯示裝置具
有例如重量相對(duì)較輕、厚度相對(duì)較薄且功耗相對(duì)較低等特性?？赏ㄟ^組合一對(duì)平坦的襯底來制造平板顯示裝置。換句話說，為了制造LCD裝 置，形成包含多個(gè)薄膜晶體管和多個(gè)像素電極的下部襯底，以及包含彩色濾光片(color filter)和共同電極的上部襯底。隨后，將液晶卸放到下部襯底上。下部襯底和上部襯底 彼此密封在一起以制造LCD裝置。可利用一種用于滴下液晶的設(shè)備以便將液晶滴到襯底 上。用于滴下液晶的設(shè)備包含多個(gè)墊塊，其各自具有經(jīng)配置以儲(chǔ)存液晶的容器和 注射器；多個(gè)卸料單元，其各自連接到每個(gè)墊塊的下部部分以將液晶卸放到襯底上。所 述設(shè)備進(jìn)一步包含驅(qū)動(dòng)單元，其經(jīng)配置以水平傳送墊塊。在墊塊水平移動(dòng)的同時(shí)，位于 墊塊下方的卸料單元將液晶提供到襯底的一部分上。通過重復(fù)卸料單元的操作和停止， 將液晶卸放到襯底的所有區(qū)域上。然而，每個(gè)包含容器和注射器的墊塊的重量可能相對(duì)較重。當(dāng)墊塊移動(dòng)時(shí)，墊 塊與驅(qū)動(dòng)單元之間的摩擦可產(chǎn)生粒子。粒子可滴下到襯底上而造成LCD裝置的故障。此 外，在沉重的墊塊移動(dòng)時(shí)，每個(gè)墊塊中包含的容器可能會(huì)搖晃，因而在容器中的液晶中 產(chǎn)生氣泡。因此，LCD裝置可能會(huì)出現(xiàn)缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種用于滴下液體的設(shè)備，其包含分別制造的多個(gè)墊塊和多個(gè)滴下 單元，使得所述滴下設(shè)備可在墊塊固定到臺(tái)架的狀態(tài)下水平移動(dòng)卸料單元的同時(shí)在襯底 的整個(gè)表面上滴下液晶。根據(jù)示范性實(shí)施例，一種用于滴下液體的設(shè)備包含臺(tái)，其經(jīng)配置以支撐襯 底；臺(tái)架，其定位于所述臺(tái)上；多個(gè)墊塊，其安裝在所述臺(tái)架上，所述墊塊在第一方向 上彼此間隔開布置著；多個(gè)卸料單元，其定位于所述墊塊下方，且與所述墊塊間隔開， 所述卸料單元在所述第一方向上彼此間隔開布置著，且所述卸料單元經(jīng)配置以將液體卸 放到所述襯底上；以及第一驅(qū)動(dòng)單元，其經(jīng)配置以水平傳送每個(gè)所述卸料單元。在一些實(shí)施例中，所述墊塊可固定到所述臺(tái)架，且每個(gè)所述卸料單元在所述第一驅(qū)動(dòng)單元水平傳送每個(gè)所述卸料單元的同時(shí)將所述液體卸放到所述襯底上。在其它實(shí)施例中，以上設(shè)備可進(jìn)一步包含第二驅(qū)動(dòng)單元，所述第二驅(qū)動(dòng)單元經(jīng) 配置以在與所述第一方向交叉的第二方向上水平傳送所述臺(tái)架。在另外其它實(shí)施例中，所述卸料單元可定位于所述臺(tái)架上且在所述墊塊下方。
在其它實(shí)施例中，所述卸料單元可在實(shí)質(zhì)上垂直于所述臺(tái)架水平移動(dòng)的方向的 所述第一方向上彼此間隔開布置。在另外其它實(shí)施例中，每個(gè)所述墊塊可包含容器，其經(jīng)配置以儲(chǔ)存所述液 體；注射器，其定位于所述容器下方，所述注射器經(jīng)配置以儲(chǔ)存從所述容器接收的液 體；以及固定部件，其經(jīng)配置以支撐所述容器和所述注射器，以將所述容器和所述注射 器固定到所述臺(tái)架。在另外的實(shí)施例中，以上設(shè)備可進(jìn)一步包含第一連接部件，其使所述容器與 所述注射器連通，以提供所述液體從所述容器到所述注射器的流動(dòng)路徑；以及第二連接 部件，其使所述注射器與每個(gè)所述卸料單元連通，以提供所述液體從所述注射器到每個(gè) 所述卸料單元的流動(dòng)路徑。在另外其它實(shí)施例中，每個(gè)所述卸料單元可包含噴嘴，其經(jīng)配置以將所述液 體滴下到所述襯底上；支撐部件，其經(jīng)配置以支撐所述噴嘴；以及移動(dòng)塊，其具有連接 到所述支撐部件的第一部分和連接到所述第一驅(qū)動(dòng)單元的第二部分，且所述移動(dòng)塊經(jīng)配 置以水平傳送所述支撐部件。在另外的實(shí)施例中，所述第一驅(qū)動(dòng)單元可包含磁性部分，其在所述第一方向 上延伸；導(dǎo)軌，其連接到每個(gè)所述卸料單元以導(dǎo)引每個(gè)所述卸料單元的移動(dòng)；以及驅(qū)動(dòng) 部分，其經(jīng)配置以沿著所述導(dǎo)軌傳送所述卸料單元，所述驅(qū)動(dòng)部分包含連接到所述磁性 部分的第一末端部分和連接到每個(gè)所述卸料單元中的每個(gè)移動(dòng)塊的第二末端部分。在其它實(shí)施例中，所述磁性部分可定位于所述臺(tái)架上且位在所述墊塊與所述卸 料單元之間，且所述磁性部分在所述第一方向上延伸。在另外其它實(shí)施例中，所述磁性部分可包含導(dǎo)引凹槽，使得所述第一驅(qū)動(dòng)單元 部分插入且安裝在所述導(dǎo)引凹槽中，且所述導(dǎo)引凹槽在所述第一方向上延伸。在其它實(shí)施例中，所述驅(qū)動(dòng)部分的上部部分可插入且安裝在所述導(dǎo)引凹槽中， 且所述驅(qū)動(dòng)部分的下部部分可連接到包含于每個(gè)所述卸料單元中的移動(dòng)塊的上部部分。在另外其它實(shí)施例中，所述導(dǎo)軌可定位于所述磁性部分下方且與所述磁性部分 間隔開，且所述導(dǎo)軌在所述第一方向上延伸。在另外的實(shí)施例中，所述卸料單元可布置于所述導(dǎo)軌上，且在所述第一方向上 彼此間隔開。在再另外的實(shí)施例中，所述液體可包含液晶。


包含附圖是為了有助于進(jìn)一步理解本發(fā)明的概念，附圖并入且構(gòu)成本說明書的 一部分。圖式說明本發(fā)明的概念的示范性實(shí)施例，且連同描述內(nèi)容一起用以解釋本發(fā)明 的概念的原理。在圖中圖1是說明根據(jù)示范性實(shí)施例的用于在襯底上滴下液體的設(shè)備的透視圖。
圖2是圖1所示的“A”部分的放大透視圖。圖3是圖1所示的“A”部分的放大橫截面圖。圖4A和圖4B是說明使用根據(jù)示范性實(shí)施例的用于滴下液體的設(shè)備在襯底上滴 下液體的方法的橫截面圖。
具體實(shí)施例方式下文將參照附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的概念的示范性實(shí)施例。然而本發(fā)明的概 念可以不同形式來實(shí)施，且不應(yīng)解釋為限于本文陳述的實(shí)施例。而是，提供這些實(shí)施例 是為了使本發(fā)明詳盡且完整，且將本發(fā)明的概念的范圍完整地傳達(dá)給所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員。在圖中，為了能清楚地說明而夸大了層和區(qū)的尺寸。還將了解，當(dāng)將一層(或 膜)稱為在另一層或襯底“上”時(shí)，其可直接在另一層或襯底上，或者也可能存在介入 層。此外將了解，當(dāng)將一層稱為在另一層“下方”時(shí)，其可直接位于下方，也可能存在 一個(gè)或一個(gè)以上介入層。另外，還將了解，當(dāng)將一層稱為在兩個(gè)層“之間”時(shí)，其可為 兩個(gè)層之間僅有的層，或者也可能存在一個(gè)或一個(gè)以上介入層。在全文中相同元件符號(hào) 指代相同元件。下文中將參照附圖來詳細(xì)描述本發(fā)明的概念的示范性實(shí)施例。圖1是說明根據(jù)示范性實(shí)施例的用于在襯底上滴下液體的設(shè)備的透視圖。圖2 是圖1所示的“A”部分的放大視圖。圖3是圖1所示的“A”部分的放大橫截面圖。參照?qǐng)D1到圖3，根據(jù)一些示范性實(shí)施例，用于在襯底上滴下液體的設(shè)備包含臺(tái) 100、臺(tái)架200、多個(gè)墊塊300、多個(gè)卸料單元400以及經(jīng)配置以移動(dòng)卸料單元400的第一 驅(qū)動(dòng)單元500。臺(tái)100支撐襯底S。臺(tái)架200定位于臺(tái)100上。墊塊300緊固到臺(tái)架200，且 在第一方向上彼此間隔開布置著。用于卸放液晶的卸料單元400定位于墊塊300下方， 且與墊塊300間隔開。此外，卸料單元400在第一方向上彼此間隔開。卸料單元400定 位于臺(tái)架200的下部部分上，且墊塊300定位于臺(tái)架200的上部部分上，使得每個(gè)卸料單 元400和每個(gè)墊塊300彼此垂直間隔開。在一些示范性實(shí)施例中，用于滴下液體的設(shè)備可進(jìn)一步包含定位于臺(tái)100上的 第二驅(qū)動(dòng)單元700。第二驅(qū)動(dòng)單元700經(jīng)配置以水平移動(dòng)臺(tái)架200。此外，液體可包含 液晶，可將液晶卸放到襯底S上，使得用于在襯底S上滴下液體的設(shè)備可對(duì)應(yīng)于用于在襯 底S上滴下液晶的設(shè)備?？刹捎酶鞣N液體以便在襯底S上分配液體。臺(tái)100的形狀可對(duì)應(yīng)于襯底S的形狀以支撐襯底S。舉例來說，當(dāng)襯底具有矩 形的板形狀時(shí)，臺(tái)100可具有矩形的板形狀。臺(tái)100可包含固持部分(未圖示)，其經(jīng)配 置以將襯底S固持到臺(tái)100的上表面。舉例來說，固持部分可包含靜電卡盤(electrostatic chuck)(未圖示)或真空固持器(vacuum holder)(未圖示)。當(dāng)固持部分包含真空固持器 時(shí)，真空固持器可包含真空泵(未圖示)和形成于臺(tái)100的上表面上的與真空泵連通的多 個(gè)真空孔(未圖示)。因此，真空固持器可將襯底S緊固到臺(tái)100的上表面。第二驅(qū)動(dòng)單元700可經(jīng)配置以在與卸料單元400移動(dòng)的第一方向交叉的第二方向 上傳送臺(tái)架200。舉例來說，第二方向可實(shí)質(zhì)上垂直于第一方向。第二驅(qū)動(dòng)單元700可包含多個(gè)第二導(dǎo)軌(guide rail) 710和多個(gè)第二驅(qū)動(dòng)部分720。第二導(dǎo)軌710定位于臺(tái)100的上表面上。第二導(dǎo)軌710彼此平行，且彼此間隔 開以形成一對(duì)第二導(dǎo)軌710。每個(gè)第二驅(qū)動(dòng)部分720定位于每個(gè)第二導(dǎo)軌710上以沿著第 二導(dǎo)軌710滑動(dòng)。第二導(dǎo)軌710可在實(shí)質(zhì)上垂直于卸料單元400水平移動(dòng)的第一方向的 第二方向上延伸。第二導(dǎo)軌710安裝在臺(tái)100上。每個(gè)第二驅(qū)動(dòng)部分720的上部部分連 接到臺(tái)架200的下部部分。因此，當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)部分720沿著第二導(dǎo)軌710滑動(dòng)時(shí)，連接 到第二驅(qū)動(dòng)部分720的臺(tái)架200在第二方向上水平移動(dòng)。在示范性實(shí)施例中，每個(gè)第二驅(qū)動(dòng)部分720可包含線性電動(dòng)機(jī)(linear motor)(未 圖示)或組合件(未圖示)，所述組合件包含滾珠螺桿(ball screw)(未圖示)和用于使?jié)L 珠螺桿旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)(未圖示)。各種部分可在所述部分沿著第二導(dǎo)軌710滑動(dòng)的條件下 配接至(adapted to)第二驅(qū)動(dòng)部分720。墊塊300定位于臺(tái)架200上。舉例來說，墊塊300安裝在臺(tái)架200的側(cè)壁上。 此外，墊塊300可在實(shí)質(zhì)上垂直于第二導(dǎo)軌710延伸的第二方向的第一方向上布置著。各 墊塊300彼此間隔開。在示范性實(shí)施例中，每個(gè)墊塊300包含用于儲(chǔ)存液體的容器310、注射器330、 經(jīng)配置以支撐容器310的第一支撐部件340、經(jīng)配置以支撐注射器330的第二支撐部件 350，以及固定部件360。注射器330定位于容器310下方。注射器330可從容器310接 收液體以用一預(yù)定體積儲(chǔ)存液體。第一支撐部件340與容器310的下表面接觸以支撐容 器310。第二支撐部件350定位于第一支撐部件340下方并面朝彼此。第二支撐部件350 與注射器330的上表面接觸以支撐注射器330。固定部件360連接到第一支撐部件340和 第二支撐部件350，以將容器310和注射器330固定到臺(tái)架200。容器310用以儲(chǔ)存將被提供到注射器330內(nèi)的液體。容器310可具有圓柱形形 狀。但容器310可具有各種形狀。在示范性實(shí)施例中，容器310可包含氣泡移除單元 (未圖示)，其具有真空部分，用以移除容器310中的液體中的氣泡。注射器330從容 器310接收液體，以便為卸料單元400提供液體。注射器330可連接到加壓?jiǎn)卧?未圖 示)，所述加壓?jiǎn)卧?jīng)配置以使用例如氮?dú)獾容d氣(carrier gas)來對(duì)注射器330中的液體 加壓，使得液體可在均勻的壓力下從注射器330流動(dòng)到卸料單元400。在示范性實(shí)施例中，用于滴下液體的設(shè)備還可包含使容器310與注射器330連通 的第一連接部件610，以及閥630。第一連接部件610定位于容器310與注射器330之 間。第一連接部件610可具有管的形狀。閥630定位于第一連接部件610與注射器330 之間。當(dāng)閥630打開時(shí)，經(jīng)由第一連接部件610將容器310中的液體提供到注射器330 中。卸料單元400可用以將液體卸放到定位于臺(tái)100上的襯底S上。舉例來說，卸 料單元400可在第一方向上水平移動(dòng)的同時(shí)將液體分配到襯底S上。卸料單元400定位 于墊塊300下方，且與墊塊300間隔開。此外，卸料單元400在第一方向上彼此間隔開。 卸料單元400定位于臺(tái)架200的下部部分上，且墊塊300定位于臺(tái)架200的上部部分上， 使得卸料單元400和墊塊300彼此垂直間隔開。此外，卸料單元400在實(shí)質(zhì)上垂直于第 二導(dǎo)軌710延伸的第二方向的第一方向上布置著。在一些示范性實(shí)施例中，每個(gè)卸料單元400包含噴嘴430、第三支撐部件420和移動(dòng)塊410。噴嘴430可在襯底S上分配液體。第三支撐部件420與噴嘴430連接以支 撐噴嘴430。移動(dòng)塊410將第三支撐部件420與第一驅(qū)動(dòng)單元500連接，以水平傳送第 三支撐部件420。卸料單元400的數(shù)目可對(duì)應(yīng)于墊塊300的數(shù)目。在一些示范性實(shí)施例 中，用于滴下液體的設(shè)備還可包含第二連接部件620，其定位于每個(gè)卸料單元400的噴嘴 430與每個(gè)墊塊300的注射器330之間。第二連接部件620使噴嘴430與注射器330連 通。閥630定位于第二連接部件620的末端部分處。閥630定位于第二連接部件630與 注射器330之間，以連接第二連接部件620與注射器330。閥630控制注射器330中的液 體是否經(jīng)由第二連接部件620而流入噴嘴330。第二連接部件620可具有管的形狀。第一驅(qū)動(dòng)單元500用以水平傳送每個(gè)將液體卸放到襯底S上的卸料單元400。在 一些示范性實(shí)施例中，第一驅(qū)動(dòng)單元500可包含磁性部分510、第一導(dǎo)軌530和第一驅(qū)動(dòng) 部分520。磁性部分510在第一方向上延伸。第一導(dǎo)軌530可連接到移動(dòng)塊410以導(dǎo)引卸料 單元400的移動(dòng)。第一驅(qū)動(dòng)部分520包含將連接到磁性部分510的第一部分，和將連接 到每個(gè)卸料單元400的移動(dòng)塊410以使得卸料單元400沿著第一導(dǎo)軌530而移動(dòng)的第二部 分。磁性部分510可在臺(tái)架200的位于墊塊300與卸料單元400之間的部分上延伸。磁 性部分510可在布置著卸料單元400的第一方向上延伸。在示范性實(shí)施例中，磁性部分 510具有導(dǎo)引凹槽511，使得第一驅(qū)動(dòng)部分520安裝在導(dǎo)引凹槽511中。導(dǎo)引凹槽511在 一個(gè)方向上延伸。導(dǎo)引凹槽511可在磁性部分510延伸的第一方向上延伸。舉例來說， 導(dǎo)引凹槽511形成于磁性部分510的下部部分處。因此，第一驅(qū)動(dòng)部分520的上部部分 插入且安裝在導(dǎo)引凹槽511中。此外，第一驅(qū)動(dòng)部分520的下部部分組合到移動(dòng)塊410 的上部部分。第一導(dǎo)軌530定位于磁性部分510下方。第一導(dǎo)軌530與磁性部分510間 隔開而延伸。第一導(dǎo)軌530可在磁性部分510延伸的第一方向上延伸。卸料單元400安 裝在第一導(dǎo)軌530上。卸料單元400在第一導(dǎo)軌530延伸的第二方向上布置著。各卸料 單元400彼此間隔開。在示范性實(shí)施例中，第一驅(qū)動(dòng)部分520可包含產(chǎn)生線性運(yùn)動(dòng)的線性電動(dòng)機(jī)(未圖 示)，或包含滾珠螺桿(未圖示)和使?jié)L珠螺桿旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)(未圖示)的組合件(未圖 示)。各種組合件可在組合件沿著第一導(dǎo)軌530滑動(dòng)的條件下配上第一驅(qū)動(dòng)部分520。當(dāng)?shù)谝或?qū)動(dòng)部分520操作以沿著形成于磁性部分510中的導(dǎo)引凹槽511而移動(dòng) 時(shí)，連接到第一驅(qū)動(dòng)部分520的卸料單元400沿著第一導(dǎo)軌530而水平移動(dòng)。圖4A和圖4B為說明使用根據(jù)示范性實(shí)施例的用于滴下液體的設(shè)備在襯底上滴 下液體的方法的橫截面圖。下文中，將參照?qǐng)D1到圖3來說明使用一種用于在襯底上滴 下液體的設(shè)備在襯底上滴下液晶的方法。為第一連接部件610提供包含于每個(gè)墊塊300中的容器310中的液晶。隨后， 打開閥630以使第一連接部件610與注射器330連通。因此，液晶經(jīng)由第一連接部件610 而從容器310流入注射器330。打開閥630以使注射器330與第二連接部件620連通。 因此，液晶從注射器330流動(dòng)到包含于每個(gè)卸料單元400中的噴嘴430。當(dāng)多個(gè)墊塊300 和多個(gè)卸料單元400安裝在臺(tái)架200上時(shí)，卸料單元400將大量液晶的液滴卸放到襯底S 上。如圖4A和圖4B所示，在卸料單元400水平移動(dòng)的同時(shí)，卸料單元400在墊塊300固定到臺(tái)架200的條件下將液晶卸放到襯底S上。換句話說，第一驅(qū)動(dòng)部分520操 作以沿著形成于磁性部分510中的導(dǎo)引凹槽511而移動(dòng)，使得連接到第一驅(qū)動(dòng)部分520的 卸料單元400在沿著第一導(dǎo)軌530的第一方向上水平移動(dòng)。在卸料單元400水平移動(dòng)的 同時(shí)，卸料單元400經(jīng)由噴嘴430而卸放液晶。雖然未圖示，但第二驅(qū)動(dòng)單元700傳送 連接墊塊300與卸料單元400的臺(tái)架200。舉例來說，第二驅(qū)動(dòng)單元700在實(shí)質(zhì)上垂直于 卸料單元400水平移動(dòng)的第一方向的第二方向上水平傳送臺(tái)架200。在第二驅(qū)動(dòng)單元700 將臺(tái)架200水平傳送預(yù)定距離之后，第二驅(qū)動(dòng)單元700停止。隨后卸料單元400在襯底 上卸放液晶。因此，將液晶卸放到襯底的一部分上的一個(gè)循環(huán)完成。通過重復(fù)循環(huán)，在 襯底S的整個(gè)表面上滴下液晶。根據(jù)示范性實(shí)施例，墊塊300和卸料單元400是分別制造的。此外，在卸料單 元400水平移動(dòng)且墊塊300固定到臺(tái)架200時(shí)，卸料單元400將液體卸放到襯底S上。 因此，重量相對(duì)較重的墊塊300無需移動(dòng)，借此可抑制由墊塊300的移動(dòng)而引起的粒子的 產(chǎn)生。此外，由于墊塊300不移動(dòng)，而是固定到臺(tái)架200，因此可防止在包含于每個(gè)墊 塊300中的容器310中產(chǎn)生氣泡。此外，由于重量相對(duì)較輕的卸料單元400移動(dòng)，因此 卸料單元可以相對(duì)高的速度而在襯底上卸放液體。如上文說明，根據(jù)一些示范性實(shí)施例的用于在襯底上滴下液體的設(shè)備在襯底S 上卸放液晶。然而，用于滴下液體的設(shè)備可適于滴下各種液體。根據(jù)一些示范性實(shí)施例，具有用于儲(chǔ)存液體的容器和注射器的多個(gè)墊塊以及用 于卸放液體的多個(gè)卸料單元是分別制造的。墊塊固定到臺(tái)架，且經(jīng)配置以傳送卸料單元 的驅(qū)動(dòng)單元定位于臺(tái)架上。因此，在墊塊固定到臺(tái)架且卸料單元水平移動(dòng)時(shí)，卸料單元 將液晶卸放到襯底的所有區(qū)域上。因此，重量相對(duì)較重的墊塊無需移動(dòng)，借此可抑制由 墊塊的移動(dòng)引起的粒子的產(chǎn)生。此外，由于墊塊不移動(dòng)，而是固定到臺(tái)架，因此可防止 在包含于每個(gè)墊塊中的容器中產(chǎn)生氣泡。此外，由于重量相對(duì)較輕的卸料單元移動(dòng)，因 此卸料單元可以相對(duì)高的速度而在襯底上卸放液體。雖然已參考具體實(shí)施例描述了用于滴下液體的設(shè)備，但所述設(shè)備不限于此。因 此所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將容易了解，在不脫離由所附權(quán)利要求書界定的本發(fā)明的精神和 范圍的情況下可對(duì)其做出各種修改和改變。
權(quán)利要求
1.一種用于滴下液體的設(shè)備，其包括 臺(tái)，上面放置襯底；臺(tái)架，其設(shè)置于所述臺(tái)上；多個(gè)墊塊，其安裝在所述臺(tái)架上，且在第一方向上彼此間隔開布置著； 多個(gè)卸料單元，其定位于所述墊塊下方，且與所述墊塊間隔開，所述卸料單元在所 述第一方向上彼此間隔開布置著，且所述卸料單元經(jīng)配置以將液體卸放到所述襯底上； 以及第一驅(qū)動(dòng)單元，其經(jīng)配置以水平傳送每個(gè)所述卸料單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述墊塊固定到所述臺(tái)架，且在所述第一驅(qū)動(dòng) 單元水平傳送每個(gè)所述卸料單元的同時(shí)，每個(gè)所述卸料單元將所述液體卸放到所述襯底上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其還包括第二驅(qū)動(dòng)單元，所述第二驅(qū)動(dòng)單元經(jīng)配置以 在與所述第一方向交叉的第二方向上水平傳送所述臺(tái)架。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述卸料單元定位于所述臺(tái)架上且在所述墊塊下方。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述卸料單元在實(shí)質(zhì)上垂直于所述臺(tái)架水平移動(dòng) 的方向的所述第一方向上彼此間隔開布置著。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中每個(gè)所述墊塊包括 容器，其經(jīng)配置以儲(chǔ)存所述液體；注射器，其定位于所述容器下，所述注射器經(jīng)配置以儲(chǔ)存從所述容器接收的所述液 體；以及固定部件，其經(jīng)配置以支撐所述容器和所述注射器，以將所述容器和所述注射器固 定到所述臺(tái)架。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其進(jìn)一步包括第一連接部件，其使所述容器與所述注射器連通，以提供所述液體從所述容器到所 述注射器的流動(dòng)路徑；以及第二連接部件，其使所述注射器與每個(gè)所述卸料單元連通，以提供所述液體從所述 注射器到每個(gè)所述卸料單元的流動(dòng)路徑。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中每個(gè)所述卸料單元包括 噴嘴，其經(jīng)配置以將所述液體滴下到所述襯底上；支撐部件，其經(jīng)配置以支撐所述噴嘴；以及移動(dòng)塊，其包含連接到所述支撐部件的第一部分和連接到所述第一驅(qū)動(dòng)單元的第二 部分，且所述移動(dòng)塊經(jīng)配置以水平傳送所述支撐部件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述第一驅(qū)動(dòng)單元包括 磁性部分，其在所述第一方向上延伸；導(dǎo)軌，其連接到每個(gè)所述卸料單元以導(dǎo)引每個(gè)所述卸料單元的移動(dòng)；以及 驅(qū)動(dòng)部分，其經(jīng)配置以沿著所述導(dǎo)軌傳送所述卸料單元，所述驅(qū)動(dòng)部分包含連接到 所述磁性部分的第一末端部分，和連接到每個(gè)所述卸料單元中的每個(gè)移動(dòng)塊的第二末端 部分。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其中所述磁性部分定位于所述臺(tái)架上且位在所述墊 塊與所述卸料單元之間，且所述磁性部分在所述第一方向上延伸。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其中所述磁性部分包括導(dǎo)引凹槽，使得所述第一驅(qū) 動(dòng)單元部分地插入且安裝到所述導(dǎo)引凹槽中，且所述導(dǎo)引凹槽在所述第一方向上延伸。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中所述驅(qū)動(dòng)部分的上部部分插入且安裝到所述導(dǎo) 引凹槽中，且所述驅(qū)動(dòng)部分的下部部分連接到包含在每個(gè)所述卸料單元中的移動(dòng)塊的上 部部分。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其中所述導(dǎo)軌定位于所述磁性部分下方且與所述磁 性部分間隔開，且所述導(dǎo)軌在所述第一方向上延伸。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其中所述卸料單元布置于所述導(dǎo)軌上，且在所述第 一方向上彼此間隔開。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述液體包括液晶。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于滴下液體的設(shè)備，其包含臺(tái)，其經(jīng)配置以支撐襯底；臺(tái)架，其定位于所述臺(tái)上；多個(gè)墊塊，其安裝在所述臺(tái)架上，所述墊塊在第一方向上彼此間隔開布置著；多個(gè)卸料單元，其定位于所述墊塊下方，且與所述墊塊間隔開，所述卸料單元在所述第一方向上彼此間隔開布置著，且所述卸料單元經(jīng)配置以將液體卸放到所述襯底上；以及第一驅(qū)動(dòng)單元，其經(jīng)配置以水平傳送每個(gè)所述卸料單元。因此，重量相對(duì)較高的所述墊塊不必移動(dòng)，以防止在卸料單元水平移動(dòng)并將所述液體卸放到所述襯底上時(shí)可能在所述墊塊移動(dòng)的同時(shí)產(chǎn)生的粒子。
文檔編號(hào)B05C11/11GK102019255SQ20101026292
公開日2011年4月20日 申請(qǐng)日期2010年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月22日
發(fā)明者李龍, 白種化, 邊世勛, 金光壽 申請(qǐng)人:Ap系統(tǒng)股份有限公司