專利名稱：預(yù)干燥裝置及預(yù)干燥方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在采用干燥裝置對通過涂布裝置而形成在基板上的涂布膜進(jìn)行干燥 之前進(jìn)行預(yù)干燥的預(yù)干燥裝置及預(yù)干燥方法。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器或等離子顯示器等平板顯示器中，使用基板上涂布有抗蝕劑液的 基板(稱之為涂布基板)。該涂布基板通過涂布裝置在基板上均勻涂布抗蝕劑液以形成涂 布膜、然后利用減壓干燥裝置使涂布膜干燥的方式被生產(chǎn)出來。如下述專利文獻(xiàn)1所示，干燥裝置在將通過涂布裝置而形成有涂布膜的基板容 納于腔室內(nèi)的狀態(tài)下，從排氣口排出腔室內(nèi)的大氣以減少腔室內(nèi)的壓力，由此使基板上 的涂布膜干燥。此時，如果將剛剛形成涂布膜的基板放置在腔室內(nèi)，并一下子排出腔室內(nèi)的大 氣，則受到腔室內(nèi)的大氣朝向排氣口的氣流的影響，在基板的涂布膜上產(chǎn)生所謂的風(fēng)斑 或凹凸斑等。因此，將基板容納在腔室內(nèi)后，緊接著進(jìn)行緩慢排出腔室內(nèi)大氣的緩慢排 氣工序，以使基板上的涂布膜得到一定程度的干燥，然后進(jìn)行急劇排出腔室內(nèi)大氣的主 排氣工序，以使基板上的涂布膜干燥。由此，能夠抑制在涂布膜上形成斑點。專利文獻(xiàn)1 特開2009-41790號公報

發(fā)明內(nèi)容
然而，若進(jìn)行緩慢排氣工序，則存在包括緩慢排氣工序的干燥工序的處理時間 會變長的問題。即，如果進(jìn)行腔室內(nèi)的排氣，則在腔室內(nèi)產(chǎn)生輕微的氣流，因此存在 涂布膜受到氣流影響的顧慮。因此，在緩慢排氣工序中，需要盡量緩慢地排出腔室內(nèi)大 氣，由此涂布膜的干燥速度也會變得緩慢。其結(jié)果導(dǎo)致下述問題即使對涂布膜進(jìn)行主 排氣工序，要達(dá)到涂布膜上不產(chǎn)生斑點程度的干燥狀態(tài)也需要比較長的時間，其結(jié)果所 產(chǎn)生的整個干燥時間的長時間化難以縮短處理時間，且為了使干燥時間與處理時間相適 應(yīng)不得不采取干燥裝置的腔室多層化或使用多個干燥裝置的方式，由此導(dǎo)致整個干燥裝 置的大型化和高價化。本發(fā)明鑒于上述問題點，其目的在于提供一種能夠抑制形成于涂布膜上的斑點 的發(fā)生，同時能夠縮短干燥工序所需的處理時間且使預(yù)干燥裝置的所需成本達(dá)到最低的 價格低廉的預(yù)干燥裝置及預(yù)干燥方法。為了解決上述問題，本發(fā)明的預(yù)干燥裝置，其特征在于為了通過對涂布在基 板上的涂布膜進(jìn)行干燥的主干燥裝置而使涂布膜干燥，對將所述基板輸送到主干燥裝置 的輸送部采取了朝向所述基板噴出氣體以使其浮起的同時輸送的浮起輸送方式，且上述 預(yù)干燥裝置包括浮起裝置，將氣體噴到上述基板中沒有形成涂布膜的面以浮起所述基 板；輸送裝置，將所述浮起的基板輸送到主干燥裝置；氣體供給裝置，將所述氣體供給 到所述浮起裝置；加熱裝置，使供給到所述浮起裝置的氣體處于高溫狀態(tài)，所述輸送部使通過所述加熱氣體進(jìn)行浮起輸送的所述基板通過，由此在高溫環(huán)境下對所述基板進(jìn)行 暴曬，從而對基板上的涂布膜進(jìn)行預(yù)干燥。另外，為了解決上述問題，本發(fā)明的預(yù)干燥方法，其特征在于為了通過對涂 布在基板上的涂布膜進(jìn)行干燥的主干燥裝置而使涂布膜干燥，對將所述基板輸送到主干 燥裝置的輸送部采取了朝向所述基板噴出氣體以使其浮起的同時輸送的浮起輸送方式， 且上述預(yù)干燥方法包括浮起單元，將氣體噴到上述基板中沒有形成涂布膜的面以浮起 所述基板；輸送單元，將所述浮起的基板輸送到主干燥裝置；氣體供給單元，將所述氣 體供給到所述浮起單元；加熱單元，使供給到所述浮起單元的氣體處于高溫狀態(tài)，所述 輸送部使通過所述加熱氣體進(jìn)行浮起輸送的所述基板通過，由此在高溫環(huán)境下對所述基 板進(jìn)行暴曬，從而對基板上的涂布膜進(jìn)行預(yù)干燥。根據(jù)上述預(yù)干燥裝置及預(yù)干燥方法，在對基板上的涂布膜進(jìn)行干燥的主干燥裝 置之前(用于對涂布膜進(jìn)行最終干燥的干燥裝置)，通過預(yù)干燥裝置對涂布膜進(jìn)行預(yù)干 燥，由此能夠抑制形成于涂布膜上的斑點。即，如果針對朝向主干燥裝置輸送的基板， 使通過所述加熱裝置而被加熱的氣體經(jīng)過所述氣體供給裝置并從所述浮起裝置噴出以使 該基板浮起的同時使其經(jīng)過輸送部，則基板在加熱氣體的高溫下被暴曬，由此形成于基 板上的涂布膜的部分溶劑蒸發(fā)，使涂布膜被預(yù)干燥，且氣體涂布膜的粘度得到提高。因 此，通過在主干燥裝置之前進(jìn)行預(yù)干燥，由此在主干燥裝置中即使在涂布膜附近發(fā)生氣 流的情況下，也能夠抑制因該氣流而形成于涂布膜上的干燥斑點。在此，預(yù)干燥是指， 沒有對涂布膜進(jìn)行完全干燥，而是其干燥程度達(dá)到不會因急劇排出腔室內(nèi)大氣時所產(chǎn)生 的氣流而在涂布膜上形成斑點的程度。因此，通過在將基板輸送到主干燥裝置之前，在 輸送部中利用加熱氣體對基板進(jìn)行暴曬的同時使基板經(jīng)過該輸送部以進(jìn)行預(yù)干燥，由此 能夠省去以往的緩慢排氣工序，所以能夠縮短主干燥裝置中干燥工序的處理時間。而 且，在所述預(yù)干燥裝置和所述預(yù)干燥方法中，按照利用基板輸送用裝置也進(jìn)行預(yù)干燥的 方式構(gòu)成，因此用來進(jìn)行預(yù)干燥的專用裝置可以設(shè)置成最小限度，能夠抑制整個裝置的 價格。另外，所述浮起裝置也可以由下述方式構(gòu)成具有與基板涂布面的背面相對置 的氣體噴出面，且沿著基板輸送方向形成有覆蓋部件，以覆蓋形成于該基板涂布面的背 面和氣體噴出面之間的間隙。根據(jù)該構(gòu)成，能夠避免為浮起基板而被供給的加熱氣體流出到所述浮起裝置的 氣體噴出面外側(cè)。即，加熱氣體從形成于浮起裝置的氣體噴出面的噴出孔噴出，并為 了使基板浮起而與基板涂布面的背面相抵接之后，朝向浮起裝置的氣體噴出面的外側(cè)流 出。另外，從位于浮起裝置端部的噴出孔噴出的部分氣體不用于浮起基板，而是直接流 出到浮起裝置的氣體噴出面的外側(cè)。因此，基板輸送部的整個環(huán)境溫度有可能無法充分 上升，而且在中央部和端部也可能產(chǎn)生溫度差。這有可能會導(dǎo)致預(yù)干燥不充分或產(chǎn)生干 燥斑點。因此，通過用來覆蓋形成于該基板涂布面的背面和氣體噴出面之間的間隙的沿 著基板輸送方向形成的覆蓋部件，以使加熱氣體能夠滯留在形成于該基板涂布面的背面 和氣體噴出面之間的整個間隙內(nèi)，使加熱氣體保持非常高的溫度狀態(tài)，同時能夠防止溫 度梯度，使環(huán)境溫度幾乎保持恒定。由此，能夠使涂布膜的預(yù)干燥狀態(tài)幾乎保持均勻， 且能夠抑制在涂布膜上產(chǎn)生斑點。
另外，從供給的難易程度和安全方面考慮，優(yōu)選所述加熱氣體為干燥清凈空氣 (CDA)。通過在加熱氣體上使用CDA，能夠防止給基板帶來不良影響的顆粒，同時防止 如氮氣等的缺氧事故的發(fā)生。根據(jù)本發(fā)明的預(yù)干燥裝置及預(yù)干燥方法，能夠抑制形成于涂布膜上的斑點的發(fā) 生，同時能夠縮短干燥工序所需的處理時間，而且通過兼有預(yù)干燥和基板輸送工序，由 此能夠?qū)㈩A(yù)干燥所需的裝置成本抑制到最低限度。


圖1為概略表示本發(fā)明一實施方式中預(yù)干燥裝置和具有該裝置的基板處理系統(tǒng) 的側(cè)視圖；圖2為從上方看到上述基板處理系統(tǒng)的涂布裝置的圖；圖3為從輸送方向看到上述預(yù)干燥裝置的圖；圖4為從上方看到上述基板處理系統(tǒng)的主干燥裝置的圖；圖5為表示上述基板處理系統(tǒng)動作的流程圖；圖6為表示預(yù)干燥裝置的另一方式的圖。附圖標(biāo)記說明1基板處理系統(tǒng)2涂布裝置3預(yù)干燥裝置4主干燥裝置5 基板32浮起裝置33加熱裝置34氣體供給裝置35a覆蓋部件35b覆蓋部件321氣體供給孔322加熱氣體
具體實施例方式利用附圖對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。圖1為概略表示本發(fā)明一實施方式中預(yù)干燥裝置和具有該預(yù)干燥裝置的基板處 理系統(tǒng)的圖；圖2為從上方看到上述基板處理系統(tǒng)的涂布裝置的圖；圖3為從輸送方向 看到上述預(yù)干燥裝置的圖；圖4為從上方看到上述基板處理系統(tǒng)的主干燥裝置的圖。如圖1 圖4所示，基板處理系統(tǒng)1包括涂布裝置2、預(yù)干燥裝置3和主干燥裝 置4，其中，如果在涂布裝置2中涂布膜51被形成在基板5上，則該涂布膜51通過預(yù)干 燥裝置3進(jìn)行預(yù)干燥，然后通過主干燥裝置4來進(jìn)行完全干燥。在此，預(yù)干燥是指，并 不是對涂布膜51進(jìn)行完全干燥，而是將基板5輸送到主干燥裝置4之前，干燥程度達(dá)到通過在主干燥裝置4中急劇排出腔室內(nèi)大氣時所產(chǎn)生的氣流也在涂布膜51上不形成斑點 的程度。另外，在本實施方式中，基板5依次輸送到涂布裝置2、預(yù)干燥裝置3和主干燥 裝置4，其中，以該基板5被輸送的方向作為X方向(也可稱為基板輸送方向)，以水平 面上與該X方向相正交的方向作為Y軸方向，以與X軸方向和Y軸方向均正交的方向作 為Z軸方向，而且將圖1中的右方向作為下游側(cè)，而將左方向作為上游側(cè)來進(jìn)行說明。涂布裝置2是將涂布有藥液或抗蝕劑液等涂布液的涂布膜51形成在基板5上的 裝置，該涂布裝置2包括基臺21、被載置在該基臺21上的載物臺22和將涂布液涂布在基 板5上的涂布單元23。上述載物臺22上具有位于被基臺21所支承的面的反對側(cè)、且沿X方向延伸的平 板狀的平坦部221，在該平坦部221上設(shè)置有將基板5以浮起的狀態(tài)保持且能夠沿著基板 輸送方向進(jìn)行輸送的輸送部24。在上述載物臺22的平坦部221上設(shè)置有多個未圖示的 氣墊，使得規(guī)定流量的氣體322(以下相同)從這些氣墊的表面朝向基板5噴出。在基板 5(以下相同)被搬入到載物臺22時和結(jié)束對基板的涂布后將基板朝向預(yù)干燥裝置3搬出 時，這些氣墊噴出規(guī)定流量的氣體，以使基板從平坦部按照規(guī)定高度上升，由此能夠進(jìn) 行相對于載物臺的搬入搬出。另外，輸送部24包括軌道241，在載物臺22的Y方向外側(cè)從涂布裝置2到預(yù) 干燥裝置3的基板輸送方向(X方向)上延伸；基板夾持部件242，按照沿著該軌道241 可移動的方式安裝，該輸送部24通過該基板夾持部件242來夾壓基板5，由此能夠在保 持基板5的狀態(tài)下進(jìn)行輸送。具體來說，基板夾持部件242由底座兼驅(qū)動單元242a、保 持板242b、擠壓板242c、鉸鏈部件242d構(gòu)成，以便通過規(guī)定擠壓力以夾住基板5的涂布 膜51之外的部分的狀態(tài)進(jìn)行輸送，一個軌道241上安裝有兩個夾持部件242。由此，如 果將各個基板夾持部件242移動到基板5被載物臺22所保持的位置，則各個基板夾持部 件242通過夾住基板涂布膜51之外的基板端部，由此形成可輸送基板5的狀態(tài)。而且， 通過在從氣墊吹出氣體的狀態(tài)下，使各個基板夾持部件242沿著軌道241移動，由此在從 載物臺22的平坦部221形成規(guī)定間隙的狀態(tài)下(使基板5浮起的狀態(tài)下)保持基板5并 將基板5朝向預(yù)干燥裝置3的方向輸送。另外，在本實施例中，輸送部僅設(shè)置在基板的 單側(cè)，但也可以是設(shè)置在基板的兩側(cè)以夾住基板兩端面的結(jié)構(gòu)。此時，雖然裝置成本增 加，但能夠更加穩(wěn)定地實施基板的輸送。另外，涂布單元23是朝向基板5排出涂布液以形成涂布膜51的裝置。如圖1、 圖2所示，該涂布單元23包括腳部231，與載物臺22相連接；驅(qū)動軌道232，使涂布 單元23在基板上進(jìn)行掃描以進(jìn)行涂布動作；管頭部25，在Y軸方向上延伸；上述涂布單 元23以橫跨Y軸方向的狀態(tài)進(jìn)行安裝。管頭部25是排出涂布液并在基板5上形成涂布膜51的部分。該管頭部25是具 有朝一個方向延伸的形狀的柱狀部件，且按照與基板輸送方向幾乎呈正交的方式設(shè)置。 該管頭部25中形成有沿長邊方向延伸的狹縫噴嘴25a，以使供給到管頭部25內(nèi)的涂布液 通過狹縫噴嘴25a而被排出。因此，通過在從該狹縫噴嘴25a排出涂布液的狀態(tài)下輸送 基板5，由此能夠在基板5上形成具有一定厚度的涂布膜51。該涂布裝置2的下游側(cè)依次配置有預(yù)干燥部3、主干燥裝置4。預(yù)干燥部3位于
6主干燥裝置4之前，是對涂布膜51進(jìn)行預(yù)干燥的部分，其中的干燥程度達(dá)到通過在急劇 排出主干燥裝置4的腔室內(nèi)大氣時所產(chǎn)生的氣流在涂布膜51上不形成斑點的程度。該預(yù) 干燥部3包括基臺架31、設(shè)置于該基臺架31上的浮起裝置32、朝向該浮起裝置32供給 氣體的氣體供給裝置34和對供給到浮起裝置32的氣體進(jìn)行加熱的加熱裝置33，在預(yù)干燥 部3中基板5上的涂布膜51被預(yù)干燥。具體來說，供給到浮起裝置32的氣體被加熱后 從浮起裝置32噴出，由此基板5被加熱、涂布膜51的溫度上升以便進(jìn)行預(yù)干燥。如圖1所示，浮起裝置32設(shè)置在基臺31上。浮起裝置32是使基板5浮起的裝 置，該裝置通過使氣體322從氣體噴出面38噴出的方式能夠浮起基板5。具體來說，如 圖1和圖2所示，在浮起裝置32中，于氣體噴出面38上以相等間隔的方式形成有多個供 給孔321以用來噴出氣體322。而且，該供給孔321形成為貫通浮起裝置32的結(jié)構(gòu)，以 使供給自浮起裝置32下面的流體氣體322朝向基板5的下面(涂布面的背面)噴出，且 該供給孔321與氣體供給裝置34相連通。在此，圖1和圖3中的浮起裝置32由實心塊 體形成，但浮起裝置32無需必須是實心塊體結(jié)構(gòu)，也可以是除了外面和供給孔321周邊 外由中空結(jié)構(gòu)構(gòu)成。另外，制造方法的選擇也可以是從鑄件到組裝結(jié)構(gòu)。而且，關(guān)于材 質(zhì)，也可以使用從金屬、陶瓷到纖維強(qiáng)化樹脂的多用途材料。然而，由于氣體322被加 熱，因此要求供給孔321周邊具有與所使用的氣體溫度相適宜的耐熱性。此時，可以由 耐熱性高的材料構(gòu)成氣體322所經(jīng)過的供給孔321周邊，而其它部分可以使用采用玻璃纖 維等來強(qiáng)化耐熱性的樹脂材料。供給孔321不僅需要通過氣體322來浮起基板且需要對基板進(jìn)行均勻干燥，以使 基板不發(fā)生干燥斑點，為此，在浮起裝置32的基板5的Y方向巾以內(nèi)，通過如圖2所示 的整列配置或千鳥狀配置(未圖示)，按照氣體能夠被均勻地供給到基板5的下面的方式 配置。由于氣體322通過供給孔321內(nèi)部，因此優(yōu)選其內(nèi)部成形為光滑的方式，由此不 會因氣體322而產(chǎn)生顆粒。而且，由于氣體322被加熱，因此供給孔321優(yōu)選使用如陶 瓷等絕熱性高的材料，由此熱不會被供給孔321奪走。此時，也可以是對含有供給孔321 的絕熱性管部件進(jìn)行成形且將其埋入到浮起裝置32內(nèi)的結(jié)構(gòu)。從浮起裝置32的供給孔321供給到基板5下面的氣體322從工廠設(shè)備等的外部 供給源一旦被輸送到供給部34后，經(jīng)過供給路36a、加熱裝置33和供給路36b后被供給 到浮起裝置32。在此，氣體供給裝置34為送出用來浮起基板5的氣體322的裝置，基 板5通過預(yù)干燥裝置3期間，氣體供給裝置34持續(xù)供給規(guī)定量的氣體以使基板5持續(xù)浮 起。另外，由于供給孔321的直徑較小且易產(chǎn)生氣體的壓力損失，因此需要在氣體供給 裝置34以加壓的方式供給氣體322。因此，作為用于氣體供給裝置34的供給機(jī)構(gòu)，優(yōu)選 使用能夠進(jìn)行連續(xù)輸出的泵或加壓送風(fēng)機(jī)。加熱裝置33是對氣體322進(jìn)行加熱的裝置，其被設(shè)置在浮起裝置32的附近用以 防止因氣體輸送而產(chǎn)生的熱損失。加熱方式可以為電阻式加熱器或電磁加熱器等各種方 式，利用未圖示的控制裝置，氣體322被加熱至規(guī)定溫度。另外，氣體322在加熱裝置 33內(nèi)移動的較短時間內(nèi)需要對氣體進(jìn)行加熱，因此從加熱裝置33的入口到出口之間的部 分呈如圖1或圖2所示的細(xì)長形狀。加熱裝置33和供給路36b的外部中的至少一部分被 未圖示的絕熱材料覆蓋以防止熱損失。氣體322是從供給孔321朝向基板5噴出供給的氣體，因此優(yōu)選其為不含顆粒的清凈氣體。因某種理由清凈氣體無法被供給時，可以在供給路上設(shè)置過濾器以達(dá)到清凈 化。作為氣體成分可以利用使用于半導(dǎo)體或液晶制造工序中的氣體，但在預(yù)干燥中，為 了在基板5上的涂布液層51不發(fā)生斑點，不進(jìn)行強(qiáng)制排出的情況也被考慮，因此優(yōu)選使 用CDA (干燥清凈空氣)。流體322是由位于基板下部的浮起裝置32朝向基板5供給的氣體，因此被供給 到基板端部側(cè)的氣體322容易與預(yù)熱裝置3以外的環(huán)境相混合。因此，被供給到基板5 端部的氣體322的溫度會低于基板5中央部的溫度。這會在基板5的中央部和端部發(fā)生 溫度梯度，成為在預(yù)干燥中發(fā)生干燥斑點的緣故。因此，在浮起裝置32中設(shè)置有覆蓋部件35a、35b，以用于抑制上述溫度梯度的 發(fā)生。如圖2、圖3所示，覆蓋部件35a是沿截面為L形狀的一個方向延伸的板狀部件， 在本實施方式中該覆蓋部件35a被安裝在基臺31上。具體來說，從基臺31的安裝位置 延伸至高于基板5的涂布面位置的壁面按照覆蓋形成于基板5與氣體噴出面之間的間隙的 方式沿著基板輸送方向設(shè)置在基臺31的整個基板輸送方向長度上。另外，覆蓋部件35b 與覆蓋部件35a相同地沿截面為L形狀的一個方向延伸的板狀部件，在本實施方式中被設(shè) 置在基板夾持部件242的下面。具體來說，從基板夾持部件242的下面延伸至比氣體噴 出面38還低的下側(cè)位置的壁面按照覆蓋形成于基板5和氣體噴出面之間的間隙的方式與 被夾在基板夾持部件242的基板5的基板輸送方向大小幾乎相同的大小來形成。而且， 由于被安裝在基板夾持部件242上，因此，在基板輸送方向上能夠與基板夾持部件242同 時移動，即使基板5在基板輸送方向上移動的情況下，一直也可以保持與基板5并排的狀 態(tài)。由此，通過覆蓋部件35a、35b，可以使加熱氣體322滯留在形成于基板5的涂布面 背面與氣體噴出面38之間的整個間隙內(nèi)，因此加熱氣體322朝氣體噴出面38的外側(cè)流出 以能夠抑制在基板5的中央部和端部發(fā)生溫度梯度，且能夠抑制預(yù)干燥中干燥斑點的發(fā) 生。在此，覆蓋部件35a優(yōu)選由片狀的金屬部件或樹脂部件來成形，且為了容易進(jìn)行 保養(yǎng)檢查，通過螺絲等緊固單元以在基臺31和各個基板夾持部件242上自由裝卸的方式 安裝。其中，雖然在基板5的前后無法設(shè)置覆蓋部件，但該部分是氣體322—直被供給， 因此不會像基板側(cè)面部那樣容易與環(huán)境相混合。另外，當(dāng)按照將輸送部24配置在基板兩 側(cè)的方式構(gòu)成時，也可以將覆蓋部件全部由35b的結(jié)構(gòu)來形成。配置在預(yù)干燥裝置3的下游側(cè)的主干燥裝置4是對基板5上的涂布膜51進(jìn)行最 終干燥的裝置。該主干燥裝置4包括基臺41、載置在基臺41上的腔室部42和用來輸送 基板5的VCD載置輸送部43。腔室部42是容納基板5且在減壓環(huán)境下使基板5上的涂布膜51干燥的部分，該 腔室部42包括腔主體421和相對于該腔主體421能夠進(jìn)行升降動作的腔蓋422。在腔主 體421中具有底壁部421a和從該底壁部421a朝上方延伸的側(cè)壁部421b，在側(cè)壁部421b 上設(shè)置有載置基板5的同時輸送基板5的VCD載置輸送部43。如圖4所示，在VCD載置輸送部43中，沿著基板輸送方向排列配置有用于載置 并輸送基板5的多個輸送滾子43a。具體來說，VCD載置輸送部43被配置在相當(dāng)于非涂 布區(qū)的基板5的兩端部分，基板5被載置在該輸送滾子43a上，通過旋轉(zhuǎn)輸送滾子43a能 夠沿著基板輸送方向輸送基板5。而且，輸送滾子43a的高度位置按照與預(yù)干燥裝置3的輸送部33的高度位置相同的方式進(jìn)行設(shè)定。由此，搬入自預(yù)干燥裝置3的輸送部33的 基板5不會改變方向，而是按照原來方向，通過VCD載置輸送部43進(jìn)行輸送。S卩，設(shè) 置于涂布裝置2和預(yù)干燥裝置3的輸送部的高度位置按照全部通用的方式設(shè)置，因此從涂 布裝置2到主干燥裝置4無需設(shè)置機(jī)器手等的中繼器，而能夠直接輸送基板5。另外，在底壁部421a上設(shè)置有排氣口(未圖示)，從該排氣口排出腔室部42的 大氣，由此腔室部42形成減壓狀態(tài)。S卩，在側(cè)壁部421中整個周邊設(shè)置有密封部件44， 如果使腔蓋422下降，則通過腔蓋44擠壓密封部件44而使腔室部42形成密封狀態(tài)。在 該狀態(tài)下，使與排氣口相連接的真空泵工作，由此吸引力產(chǎn)生在排氣口且腔室部42的大 氣被吸引。由此，腔室部42被減壓到小于大氣壓的壓力。因此，在VCD載置輸送部43 上載置基板5的狀態(tài)下，使腔室部42保持減壓環(huán)境，由此促進(jìn)涂布膜51的溶劑的蒸發(fā)， 最終基板5上的涂布膜51被干燥。以下，根據(jù)圖5所示的流程圖對基板處理系統(tǒng)1的動作進(jìn)行說明。首先，在涂布裝置2中進(jìn)行基板5的搬入(步驟Si)。具體來說，從載物臺22 的氣墊(未圖示)吹出氣體的狀態(tài)下，通過機(jī)器手而被保持的基板5被供給到載物臺22。 如果基板5通過氣體從機(jī)器手處脫離，則機(jī)器手從載物臺22處退避。然后，如果漸漸減 少來自氣墊的氣體供給，則基板5降落在載物臺22的平坦部21上。通過未圖示的定位 機(jī)構(gòu)來調(diào)整基板的方向和位置，然后通過設(shè)置在載物臺22的吸附機(jī)構(gòu)(未圖示)而將其 固定于載物臺22上(步驟S2)。其次，進(jìn)行涂布工序(步驟S3)。具體來說，在未圖示的待機(jī)位置上對涂布單 元23事先進(jìn)行初始化，然后使涂布單元23移動到涂布開始位置。在此，待機(jī)位置位于 基板搬入側(cè)，而涂布開始位置位于預(yù)干燥裝置3側(cè)。使管頭部25的狹縫噴嘴25a下降到 規(guī)定位置并從狹縫噴嘴25a處排出涂布液，由此形成狹縫噴嘴25a和基板5通過涂布液而 被連接的狀態(tài)。從該狀態(tài)開始移動涂布單元23并對基板5進(jìn)行掃描，由此在基板5上形 成厚度均勻的涂布膜51。然后，停止涂布液的排出并將涂布單元23移動到待機(jī)位置，由 此涂布動作結(jié)束。再次，將基板5輸送到預(yù)干燥裝置3中(步驟4)。具體來說，首先從氣墊吹出 氣體以使基板5從載物臺22的平坦部221浮起。然后將基板夾持部件242移動到基板5 的位置，且相對于保持板242b以鉸鏈部件242d為中心旋轉(zhuǎn)擠壓板242c，以使基板夾持部 件242夾住基板涂布膜51以外的基板端部。然后，從氣墊吹出氣體的狀態(tài)下，驅(qū)動底座 兼驅(qū)動單元242a，使各基板夾持部件242沿軌道241移動，由此從載物臺22的平坦部221 形成規(guī)定間隙的狀態(tài)下(使基板5浮起的狀態(tài)下)，基板5被輸送到預(yù)干燥裝置3中。然后，進(jìn)行預(yù)干燥工序(步驟5)。具體來說，在預(yù)干燥裝置3上浮起基板5的狀 態(tài)下，從浮起裝置32朝向基板5噴出通過加熱裝置33而被控制到固定溫度的氣體322， 同時輸送基板5，由此基板5被加熱。S卩，以一定速度浮起并輸送基板5的同時，在噴出 自浮起裝置32的氣體322的高溫環(huán)境下，對基板5進(jìn)行暴曬。然后不停止基板5的狀態(tài) 下從預(yù)干燥裝置3搬出基板5。由此，基板5上的涂布膜51在加熱氣體322的高溫環(huán)境 下被均勻暴曬，在整個涂布膜51上溶劑成分被蒸發(fā)。由此整個涂布膜51幾乎均勻地被 預(yù)干燥。然后，將基板5輸送到主干燥裝置4中(步驟6)。具體來說，驅(qū)動VCD載置輸送部43的輸送滾子43a，同時將搬出自預(yù)干燥裝置3的基板5輸送到下游側(cè)。然后， 如果基板5的一部分被載置在VCD載置輸送部43的輸送滾子43a上，則從主干燥裝置4 側(cè)開始依次打開基板夾持部件242。由此進(jìn)行基板5從預(yù)干燥裝置3到主干燥裝置4的交 接，基板5被輸送到主干燥裝置4中。然后，進(jìn)行主干燥工序(步驟7)。具體來說，驅(qū)動VCD載置輸送部43的輸送 滾子43a并將基板5輸送至腔室部42的規(guī)定位置。然后，使VCD載置輸送部43停止并 使腔蓋422下降，由此通過腔蓋422和腔主體421來對基板5進(jìn)行密封。從該狀態(tài)開始使 真空泵工作并從排氣口排出腔室部42內(nèi)的大氣以使腔室部42的內(nèi)部保持減壓環(huán)境。由 此使基板5上的涂布膜51干燥。然后，保持規(guī)定時間的減壓干燥狀態(tài)以使涂布膜51干燥，然后取出基板5 (步驟 8)。具體來說，通過往腔室部42供給氣體以使腔室部42回到大氣壓狀態(tài)并使腔蓋422 上升。然后，使VCD載置輸送部43工作并將基板5輸送到下游側(cè)。然后，通過位于主 干燥裝置4下游側(cè)的下個工序裝置或機(jī)器手等來交接基板5來搬出基板5。根據(jù)上述說明的預(yù)干燥裝置3和具有該裝置的基板處理系統(tǒng)1，在主干燥裝置4 之前通過預(yù)干燥裝置3使涂布膜51進(jìn)行預(yù)干燥，由此能夠抑制形成于涂布膜51的干燥斑 點。即，如果基板夾持部件242在輸送基板5的同時經(jīng)過預(yù)干燥裝置3，則基板5在預(yù)干 燥裝置3的高溫環(huán)境下被暴曬而使形成在基板5上的涂布膜51的部分溶劑蒸發(fā)，由此涂 布膜51被預(yù)干燥且涂布膜51的粘度得到提高。因此，通過在主干燥裝置4之前進(jìn)行預(yù) 干燥，由此即使在主干燥裝置4進(jìn)行減壓干燥時在涂布膜51附近產(chǎn)生氣流的情況下，能 夠抑制因該氣流在涂布膜51上形成斑點的現(xiàn)象，且比起以往的伴有緩慢排氣工序，能夠 縮短處理時間。另外，包括以往的緩慢排氣工序的干燥工序所需要的時間與通過涂布裝置2來 形成涂布膜51的涂布工序所需的時間相比非常長。因此，在主干燥裝置4中對一個基板 5進(jìn)行干燥時，該干燥工序進(jìn)行到一半時，新的基板5從涂布裝置2輸送過來。因此，相 對于一臺涂布裝置2，包括緩慢排氣工序的以往的主干燥裝置4采取具有多個腔室部42的 結(jié)構(gòu)，利用多個腔室部42對在涂布裝置2形成涂布膜51的基板5進(jìn)行有效地干燥。因 此，基于具有多個腔室部42的結(jié)構(gòu)，所以存在干燥裝置4所占的空間會變大，而且會加 大對腔室部42進(jìn)行減壓的真空泵的容量，或所謂增加真空泵的數(shù)量的設(shè)備成本變昂貴的 問題。但是，本發(fā)明在將基板5輸送到主干燥裝置4之前，在預(yù)干燥裝置3進(jìn)行預(yù)干燥， 由此能夠縮短干燥工序的處理時間，因此與以往的干燥裝置相比，能夠減少腔室部42的 數(shù)量且能夠減少設(shè)備成本。另外，在上述實施方式中，雖然是載物臺22和浮起裝置32上均設(shè)置有氣體供給 孔的結(jié)構(gòu)，但載物臺22和浮起裝置32的兩個或其中一個也可以由如利用陶瓷的多孔質(zhì)部 件來構(gòu)成。如果利用多孔質(zhì)部件，則能夠使氣體從基板5的整個面均勻噴出。另外，在上述實施方式中，雖然是將加熱裝置33設(shè)置在浮起裝置32之外的結(jié) 構(gòu)，但也可以是如圖6所示安裝在浮起裝置32內(nèi)部的結(jié)構(gòu)。在具有該結(jié)構(gòu)的情況下，供 給自氣體供給裝置34的氣體通過閥37而被分支，然后被供給到浮起裝置32并在浮起裝 置32內(nèi)通過加熱裝置33進(jìn)行加熱。由此，能夠使氣體到達(dá)浮起裝置32的氣體供給路無 需具有耐熱性。
而且，在工序步驟中，預(yù)干燥裝置3的氣體供給也可以是根據(jù)基板5的輸送情況 而依次實施的結(jié)構(gòu)。由此，僅向浮起輸送和預(yù)干燥中需要氣體的地方進(jìn)行氣體供給，能 夠在無需氣體的地方抑制不必要的消耗且有效使用加熱裝置33，由此能夠抑制能耗。另外，在上述實施方式中，涂布裝置2、預(yù)干燥裝置3和主干燥裝置4按直線形 狀來配置，且對基板5在各個輸送裝置中的輸送情況進(jìn)行了說明，但涂布裝置2和預(yù)干燥 裝置3之間、預(yù)干燥裝置3和主干燥裝置4之間也可以設(shè)置機(jī)器手等中繼器。此時，無 需使各個輸送路徑的高度位置相同，因此在各個裝置中能夠獲得設(shè)計上的自由度。而且，涂布裝置2也可以采取進(jìn)行浮起輸送的同時實施涂布的方式。此時，基 板5在浮起狀態(tài)下通過輸送裝置24被輸送到涂布裝置2，且當(dāng)經(jīng)過被固定的涂布單元23 時進(jìn)行對基板5的涂布。該結(jié)構(gòu)能夠省去機(jī)器人和涂布單元23的驅(qū)動軌道232。
權(quán)利要求
1.一種預(yù)干燥裝置，在通過對涂布于基板上的涂布膜進(jìn)行干燥的主干燥裝置而使涂 布膜干燥之前，對所述涂布膜進(jìn)行預(yù)干燥，其特征在于，所述預(yù)干燥裝置包括浮起裝置，通過噴出氣體使基板浮起；輸送裝置，將通過所述氣體浮起的所述基板輸送到主干燥裝置； 氣體供給裝置，將所述氣體供給到所述浮起裝置； 加熱裝置，對供給到所述浮起裝置的所述氣體進(jìn)行加熱。
2.如權(quán)利要求1所述的預(yù)干燥裝置，其特征在于，所述浮起裝置具有與基板涂布面的 背面相對置的氣體噴出面，且沿著基板輸送方向形成有覆蓋部件，以覆蓋形成在所述基 板涂布面的背面與氣體噴出面之間的間隙。
3.如權(quán)利要求1或2所述的預(yù)干燥裝置，其特征在于，所述氣體為干燥清凈空氣。
4.一種預(yù)干燥方法，其在通過對涂布在基板上的涂布膜進(jìn)行干燥的主干燥裝置而使 涂布膜干燥之前，對所述涂布膜進(jìn)行預(yù)干燥，其特征在于，所述預(yù)干燥方法包括浮起單元，通過噴出氣體使基板浮起；輸送單元，將通過所述氣體浮起的所述基板輸送到主干燥裝置； 氣體供給單元，將所述氣體供給到所述浮起單元； 加熱單元，對供給到所述浮起單元的所述氣體進(jìn)行加熱。
全文摘要
本發(fā)明提供一種預(yù)干燥裝置及預(yù)干燥方法，該裝置及方法能夠抑制形成于涂布膜的斑點且能夠縮短干燥工序所需要的處理時間。該預(yù)干燥裝置在通過對涂布在基板上的涂布膜進(jìn)行干燥的主干燥裝置而使涂布膜干燥之前，對所述涂布膜進(jìn)行預(yù)干燥，其特征在于，該預(yù)干燥裝置通過浮起輸送方式對基板進(jìn)行輸送的同時，利用進(jìn)行加熱的用來浮起基板的氣體在高溫環(huán)境下對該基板進(jìn)行暴曬，由此對基板上的涂布膜進(jìn)行預(yù)干燥。
文檔編號B05C5/00GK102009033SQ20101027287
公開日2011年4月13日 申請日期2010年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月7日
發(fā)明者池森一博 申請人:東麗工程株式會社