專利名稱：制備半導(dǎo)體材料的金屬有機(jī)源噴霧器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于真空應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種制備半導(dǎo)體材料的金屬有機(jī) 源噴霧器。
背景技術(shù)：
在真空狀態(tài)下制備半導(dǎo)體材料需要將不同反應(yīng)氣體分別送入反應(yīng)室，在送入反應(yīng) 室之前不同反應(yīng)氣體必須分層隔離且需要冷卻，在將不同氣體送入反應(yīng)室后，又要求反應(yīng) 氣體在襯底表面充分均勻混合，因而一般都采用噴霧器裝置進(jìn)行送氣?，F(xiàn)有技術(shù)中，如申請 號(hào)為200610046300. 9公開的一種制備聚光太陽電池疊層結(jié)構(gòu)金屬有機(jī)源噴霧器，其噴霧 頭由第一層氣室、第二層氣室、金屬源噴霧管、氫化物噴霧管和水套構(gòu)成，該結(jié)構(gòu)第一層氣 室連接第二層氣室，第二層氣室連接水套，與第一層氣室連通的氫化物噴霧管以及與第二 層氣室連通的金屬源噴霧管底部都置于水套之中，這種結(jié)構(gòu)存在的技術(shù)問題是，由于兩層 氣室與水套焊接成一體，一旦出現(xiàn)漏孔，就無法進(jìn)行補(bǔ)救，因而成品率低。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，在保證兩層氣體 送入反應(yīng)室之前分層隔離的要求，又保證兩層氣體在送入反應(yīng)室之前冷卻的技術(shù)條件下， 提供一種氣室與水套相分離的制備半導(dǎo)體材料的金屬有機(jī)源噴霧器。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案包括有氣盒和水冷盒，所述氣盒由氣盒上蓋、氣盒隔 板和氣盒下蓋組成，氣盒上蓋與氣盒隔板之間為上氣室，氣盒隔板與氣盒下蓋之間為下氣 室，上氣室與下氣室之間焊接有將上氣室與下氣室連接在一起的氣體導(dǎo)管，在氣盒上蓋上 加工有通孔，并在其中安裝與上氣室連通的上進(jìn)氣管，在氣盒上蓋和氣盒隔板對應(yīng)位置上 加工有通孔，并在其中安裝與下氣室連通的下進(jìn)氣管，在氣盒下蓋上和氣體導(dǎo)管上加工有 噴氣孔，在所述氣盒下面安裝有與氣盒相接觸的水冷盒，所述水冷盒由水冷盒上蓋和水冷 盒下蓋組成，在水冷盒上加工有與氣盒上的噴氣孔相對應(yīng)的起噴氣孔作用的水冷導(dǎo)氣管， 在水冷盒上蓋上連接有進(jìn)水管和出水管。所述水冷盒外側(cè)安裝有氣簾套筒，所述氣簾套筒用螺釘安裝在法蘭蓋上，在法蘭 蓋上加工有螺紋孔，并在法蘭蓋上安裝有氣簾進(jìn)氣管。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的有益效果是，在保證兩層氣體送入反應(yīng)室之前隔離 與冷卻的技術(shù)條件下，并具有以下優(yōu)點(diǎn)1.由于采用水冷盒與氣盒相分離的結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，加工方便，一旦出現(xiàn)漏孔，容 易進(jìn)行修補(bǔ)，因而成品率高；2.由于結(jié)構(gòu)簡單，可以制成大尺寸的噴霧器，提高了使用效率；3.在使用過程中如果出現(xiàn)焊點(diǎn)或焊縫水蝕缺陷，可以對水冷盒單獨(dú)進(jìn)行修補(bǔ)，提 高了產(chǎn)品的使用壽命。4.由于在水冷盒外側(cè)安裝有氣簾套筒，進(jìn)入氣簾套筒內(nèi)的氣簾用氣經(jīng)過與水冷盒的徑向間隙可以在反應(yīng)區(qū)形成一個(gè)充滿氣簾用氣的圓筒狀氣簾，可以把反應(yīng)氣體限制在反 應(yīng)區(qū)內(nèi)，使反應(yīng)氣體充分反應(yīng)。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的K向視圖；圖3是圖2的A-A剖視圖；圖4是圖2的B-B剖視圖；圖5是圖1的I部放大圖。圖中1、氣簾套筒，2、進(jìn)水管，3、氣盒上蓋，4、氣盒隔板，5、氣體導(dǎo)管，6、氣盒下蓋， 7、氣簾進(jìn)氣管，8、法蘭蓋，9、出水管，10、螺釘，11、上進(jìn)氣管，12、下進(jìn)氣管，13、水冷盒上蓋， 14、水冷盒下蓋，15、水冷導(dǎo)氣管，16-1下層氣噴氣孔，16-2上層氣噴氣孔。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案包括有氣盒和水冷盒，所述氣盒由氣盒上蓋3、氣盒隔 板4和氣盒下蓋6組成，氣盒上蓋3與氣盒隔板4之間為上氣室，氣盒隔板4與氣盒下蓋6 之間為下氣室，上氣室與下氣室之間焊接有將上氣室與下氣室連接在一起的氣體導(dǎo)管5，在 氣盒上蓋3上加工有通孔，并在其中安裝與上氣室連通的上進(jìn)氣管11，在氣盒上蓋3和氣 盒隔板4對應(yīng)位置上加工有通孔，并在其中安裝與下氣室連通的下進(jìn)氣管12，在氣盒下蓋6 上加工有下層氣噴氣孔16-1，在氣體導(dǎo)管5上加工有上層氣噴氣孔16-2 ；在所述氣盒下面 安裝有與氣盒相接觸的水冷盒，所述水冷盒由水冷盒上蓋13和水冷盒下蓋14組成，在水冷 盒上加工有與氣盒上的下層氣噴氣孔16-1和上層氣噴氣孔16-2相對應(yīng)的起噴氣孔作用的 水冷導(dǎo)氣管15，在水冷盒上蓋13上連接有進(jìn)水管2和出水管9。在水冷盒外側(cè)安裝有氣簾套筒1，所述氣簾套筒1用螺釘10安裝在法蘭蓋8上，在 法蘭蓋8上加工有螺紋孔，并在法蘭蓋8上安裝有氣簾進(jìn)氣管7。工作時(shí)，氣簾用氣通過氣簾進(jìn)氣管7進(jìn)入氣簾套筒1內(nèi)，經(jīng)過與水冷盒的徑向間隙 在反應(yīng)區(qū)形成一個(gè)充滿氣簾用氣的圓筒狀氣簾，目的是把反應(yīng)氣體限制在反應(yīng)區(qū)內(nèi)。氫化 物氣體通過上進(jìn)氣管11進(jìn)入上氣室，金屬源氣體通過下進(jìn)氣管12進(jìn)入下氣室，兩層氣體經(jīng) 過氣盒上的下層氣噴氣孔16-1、上層氣噴氣孔16-2和水冷盒上的水冷導(dǎo)氣管15噴向反應(yīng) 區(qū)。水冷盒屏蔽了反應(yīng)區(qū)對氣盒內(nèi)兩種氣體的熱影響。
權(quán)利要求一種制備半導(dǎo)體材料的金屬有機(jī)源噴霧器，包括有氣盒和水冷盒，所述氣盒由氣盒上蓋(3)、氣盒隔板(4)和氣盒下蓋(6)組成，氣盒上蓋(3)與氣盒隔板(4)之間為上氣室，氣盒隔板(4)與氣盒下蓋(6)之間為下氣室，上氣室與下氣室之間焊接有將上氣室與下氣室連接在一起的氣體導(dǎo)管(5)，在氣盒上蓋(3)上加工有通孔，并在其中安裝與上氣室連通的上進(jìn)氣管(11)，在氣盒上蓋(3)和氣盒隔板(4)對應(yīng)位置上加工有通孔，并在其中安裝與下氣室連通的下進(jìn)氣管(12)，在氣盒下蓋(6)上加工有下層氣噴氣孔(16-1)，在氣體導(dǎo)管(5)上加工有上層氣噴氣孔(16-2)，其特征在于，在所述氣盒下面安裝有與氣盒相接觸的水冷盒，所述水冷盒由水冷盒上蓋(13)和水冷盒下蓋(14)組成，在水冷盒上加工有與氣盒上的下層氣噴氣孔(16-1)和上層氣噴氣孔(16-2)相對應(yīng)的起噴氣孔作用的水冷導(dǎo)氣管(15)，在水冷盒上蓋(13)上連接有進(jìn)水管(2)和出水管(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備半導(dǎo)體材料的金屬有機(jī)源噴霧器，其特征在于，在 所述水冷盒外側(cè)安裝有氣簾套筒(1)，所述氣簾套筒(1)用螺釘(10)安裝在法蘭蓋(8)上， 在法蘭蓋(8)上加工有螺紋孔，并在法蘭蓋(8)上安裝有氣簾進(jìn)氣管(7)。
專利摘要一種制備半導(dǎo)體材料的金屬有機(jī)源噴霧器，克服了現(xiàn)有技術(shù)兩層氣室與水套焊接成一體，一旦出現(xiàn)漏孔，就無法進(jìn)行補(bǔ)救，因而加工成品率低的技術(shù)問題，特征是包括氣盒和水冷盒，所述氣盒由氣盒上蓋、氣盒隔板和氣盒下蓋組成，在所述氣盒下面安裝與氣盒相接觸的水冷盒，所述水冷盒由水冷盒上蓋和水冷盒下蓋組成，在水冷盒上加工有與氣盒上的噴氣孔相對應(yīng)的起噴氣孔作用的水冷導(dǎo)氣管，在水冷盒外側(cè)安裝有氣簾套筒，所述氣簾套筒用螺釘安裝在法蘭蓋上，并在法蘭蓋上安裝有氣簾進(jìn)氣管，有益效果是，在保證兩層氣體送入反應(yīng)室之前隔離與冷卻的技術(shù)條件下，具有結(jié)構(gòu)簡單、加工方便、成品率高，可以制成大尺寸的噴霧器，提高了使用效率和使用壽命。
文檔編號(hào)B05B7/04GK201618638SQ20102010970
公開日2010年11月3日 申請日期2010年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月9日
發(fā)明者董毅 申請人:沈陽慧宇真空技術(shù)有限公司