專利名稱：噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其調(diào)節(jié)直線靈活移動(dòng)的噴墨用涂布頭圍繞正交于其移動(dòng)方向上的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)。
背景技術(shù)：
眾所周知，為了不經(jīng)光刻步驟即可在基板上直接形成細(xì)微的導(dǎo)電圖形等，可使用噴墨式塗布裝置。并且，近年來，在大面積的薄膜晶體管基板的制作過程中，即可利用噴墨式塗布裝置形成數(shù)μ m的高精密的源/漏極圖形，也可利用噴墨式塗布裝置形成平板顯示器用的濾色片、定向膜或隔離層。作為這種涂布裝置的現(xiàn)有技術(shù)，從專利文件1記載的內(nèi)容可知包括吸附支持基板的臺(tái)架和噴墨用涂布頭。臺(tái)架沿一軸方向(Y軸方向)直線靈活移動(dòng)。此外，在臺(tái)架的移動(dòng)路徑上，以跨越該臺(tái)架的形態(tài)設(shè)置有門型的框架，涂布頭支持在框架上，可沿與臺(tái)架的移動(dòng)方向正交的方向(X軸方向)直線靈活移動(dòng)。此外，涂布頭，在與正交于X軸方向及Y軸方向的方向(Z軸方向)正交的方向上，排列設(shè)置有多個(gè)噴嘴。并且，涂布頭設(shè)為可圍繞Z 軸方向的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線靈活轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)，并可通過該轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)，改變噴嘴間間距的X軸方向成分。 這樣一來，通過使臺(tái)架沿Y軸方向移動(dòng)，在將來自各噴嘴的液滴涂布到基板上時(shí)，可將X軸方向的涂布間距壓縮到噴嘴間間距以下。然而，上述現(xiàn)有技術(shù)例的裝置存在以下問題其轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)源是在使涂布頭沿X軸方向直線移動(dòng)的機(jī)構(gòu)之外單獨(dú)設(shè)置，通過該轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使涂布頭圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行調(diào)節(jié)的，隨著裝置大型化，成本升高?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 專利公開2002-273868號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的技術(shù)問題鑒于上述問題，本發(fā)明的要解決的是提供一種小型且低價(jià)的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其無需在直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)之外單獨(dú)設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，便可轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)噴墨用涂布頭。解決技術(shù)問題的手段為解決上述問題，本發(fā)明是一種轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其調(diào)節(jié)直線靈活移動(dòng)的噴墨用涂布頭圍繞與該涂布頭的移動(dòng)方向的X軸方向正交的Z軸方向的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)。該轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的特征在于配置有可在X軸方向上通過各自的驅(qū)動(dòng)源做直線移動(dòng)的第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體；在第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體沿X軸方向同步移動(dòng)時(shí)，使前述噴墨用涂布頭沿X軸方向直線移動(dòng)，在兩個(gè)移動(dòng)體沿X軸方向相對(duì)移動(dòng)時(shí)，使該相對(duì)移動(dòng)變換為前述噴墨用涂布頭圍繞上述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)的變換機(jī)構(gòu)。若采用本發(fā)明，可通過使構(gòu)成直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)的第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體沿X軸方向相對(duì)移動(dòng)，通過變換機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)使噴墨用涂布頭圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)。這里，在本發(fā)明中，雖然需要有用于第1移動(dòng)體和用于第2移動(dòng)體的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)源，但是在第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體同步移動(dòng)過程中，由于噴墨用涂布頭沿X軸方向直線移動(dòng)，所以作用于各驅(qū)動(dòng)源的負(fù)載僅為噴墨用涂布頭直線移動(dòng)負(fù)載的一半。故而，各驅(qū)動(dòng)源用低功率的小型驅(qū)動(dòng)器便可滿足，并且與無需用于噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)源相結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)裝置小型化及低成本化。不過，雖然也可用旋轉(zhuǎn)編碼器檢出噴墨用涂布頭圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)角，但是要想高精度控制轉(zhuǎn)動(dòng)角，則須有高分辨率的編碼器，成本將升高。為此，在本發(fā)明中，優(yōu)選使用線性標(biāo)尺掌握第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體在X軸方向上的相對(duì)位置關(guān)系，并根據(jù)該相對(duì)位置關(guān)系，計(jì)算出噴墨用涂布頭圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)角。在此，在本發(fā)明中，為把第1和第2 兩個(gè)移動(dòng)體X軸方向上的相對(duì)移動(dòng)變換為噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)，可通過適當(dāng)獲取噴墨用涂布頭和兩個(gè)移動(dòng)體之間的距離，與兩個(gè)移動(dòng)體的X軸方向的相對(duì)位置偏差相比，以微小的角度使噴墨用涂布頭轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，即便用線性標(biāo)尺掌握的兩個(gè)移動(dòng)體X軸方向上的相對(duì)位置關(guān)系的分辨率不那么高，仍能夠以高分辨率檢出噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)角。此外，當(dāng)在X軸方向上并列設(shè)置多個(gè)噴墨用涂布頭的情況下，最好設(shè)置用于這些多個(gè)噴墨用涂布頭的多個(gè)變換機(jī)構(gòu)，使這些多個(gè)噴墨用涂布頭用的多個(gè)或者一個(gè)的第1移動(dòng)體沿X軸方向直線移動(dòng)的第1驅(qū)動(dòng)源；以及使這些多個(gè)噴墨用涂布頭用的多個(gè)或者一個(gè)的第2移動(dòng)體沿X軸方向直線移動(dòng)的第2驅(qū)動(dòng)源。這樣一來，通過用第1驅(qū)動(dòng)源和第2驅(qū)動(dòng)源使第1移動(dòng)體和第2移動(dòng)體沿X軸方向相對(duì)移動(dòng)，可以同時(shí)調(diào)節(jié)多個(gè)噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)，較有利。另外，通過把正交于X軸方向和Z軸方向的方向設(shè)為Y軸方向，在第1移動(dòng)體和第 2移動(dòng)體以隔著噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線面對(duì)Y軸方向的形態(tài)配置情況下，變換機(jī)構(gòu)可由下述部分構(gòu)成以和噴墨用涂布頭一體性圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的形態(tài)與噴墨用涂布頭連接的向Y軸方向延伸的連接桿；通過保持Y軸方向的移動(dòng)與圍繞Z軸方向的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的兩軸的靈活性，使連接桿的Y軸方向上的一端與第1移動(dòng)體連接的第1連接部；通過保持Y軸方向的移動(dòng)與圍繞Z軸方向的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的兩軸的靈活性，使連接桿的Y軸方向上的另一端與第2 移動(dòng)體連接的第2連接部。此外，當(dāng)?shù)?移動(dòng)體由支持噴墨用涂布頭圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線靈活轉(zhuǎn)動(dòng)的支持體構(gòu)成，第2移動(dòng)體配置在偏離噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的Y軸方向單側(cè)的情況下， 變換結(jié)構(gòu)可由下述部分構(gòu)成與噴墨用涂布頭一體性圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)而與噴墨用涂布頭連接的向Y軸方向一側(cè)延伸的連接桿；通過保持Y軸方向的移動(dòng)與圍繞Z軸方向的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的兩軸的靈活性，使連接桿的Y軸方向單側(cè)的端部與前述第2移動(dòng)體連接的連接部。另外，若噴墨用涂布頭配置了在正交于上述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的方向上排列的多個(gè)噴嘴， 則可通過調(diào)節(jié)涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)，改變噴嘴間間距的X軸方向成分，把X軸方向的涂布間距壓縮到噴嘴間間距以下。


[圖1]配置有本發(fā)明第1實(shí)施方式的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的涂布裝置的側(cè)視圖；[圖2]沿圖1的II-II線切割的切割面主視圖；[圖3]沿圖2的III-III線切割的切割面俯視圖；[圖4]沿圖2的IV-IV線切割的放大切割面?zhèn)纫昜圖5]與第2實(shí)施方式的圖4對(duì)應(yīng)的切割面?zhèn)纫晥D。
具體實(shí)施例方式圖1至圖3示出配置有本發(fā)明的實(shí)施方式的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的噴墨式涂布裝置。該涂布裝置包括平臺(tái)1，該平臺(tái)1上配置有長方形的底座2。底座2上支持著吸附并保持作為處理對(duì)象的基板S的臺(tái)架3，臺(tái)架3可沿固定在底座2上面的導(dǎo)軌4在水平的一軸方向(Y 軸方向)上靈活移動(dòng)。且臺(tái)架3可通過省略了圖示的馬達(dá)，經(jīng)進(jìn)給絲杠機(jī)構(gòu)在Y軸方向上往返移動(dòng)。在底座2上以跨越臺(tái)架3的移動(dòng)路徑的形態(tài)配置了向與Y軸方向正交的水平方向 (X軸方向)延伸的門型框架5。并且，在框架5的X軸方向上并列吊設(shè)了多個(gè)噴墨用涂布頭6.。各涂布頭6正如圖4所示，具有公知的結(jié)構(gòu)儲(chǔ)墨盒6a、噴嘴頭6c，其經(jīng)由墨腔6b 安裝在儲(chǔ)墨盒6a的下端；通過適當(dāng)驅(qū)動(dòng)設(shè)置在墨腔6b中的壓電元件，即可使收容在儲(chǔ)墨盒 6a中的處理液從噴嘴頭6c下面形成的噴嘴6d(參照?qǐng)D3)中滴下。噴嘴6d排列設(shè)置在與正交于X軸方向及Y軸方向的Z軸方向正交的方向上。而在各涂布頭6上設(shè)有一對(duì)噴嘴頭 6c，其在噴嘴6d的排列方向上彼此隔一定間隔。此處，在本實(shí)施方式中，把各涂布頭6設(shè)為可在X軸方向上靈活移動(dòng)的同時(shí)，還設(shè)為可靈活調(diào)節(jié)圍繞Z軸方向的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)。下面詳述該點(diǎn)。在各涂布頭6的儲(chǔ)墨盒6a 上設(shè)有垂直的Z軸方向的支承軸6e。在框架5上形成可插穿支承軸6e的向X軸方向延伸的微縫5a，位于微縫fe兩側(cè)、朝X軸方向延伸的一對(duì)導(dǎo)軌7固定在框架5上。并在支承軸 6e上設(shè)置吊掛可靈活轉(zhuǎn)動(dòng)的各涂布頭6的支持體8，使該支承體8經(jīng)由滑塊8a可靈活滑動(dòng)地結(jié)合到導(dǎo)軌7上。此外，在框架5上，在Y軸方向的一側(cè)和另一側(cè)，離開微縫5a，垂直設(shè)置了一對(duì)朝X 軸方向延伸的軌道支持板恥，各軌道支持板恥上固定著朝X軸方向延伸的上下一對(duì)導(dǎo)軌 9。并且設(shè)有第1移動(dòng)體IO1和第2移動(dòng)體102，第1移動(dòng)體IO1經(jīng)滑塊IOa可靈活滑動(dòng)地與固定在Y軸方向一側(cè)(圖4中的左側(cè))的軌道支持板恥上的導(dǎo)軌9結(jié)合，第2移動(dòng)體IO2 經(jīng)滑塊IOa可靈活滑動(dòng)地與固定在Y軸方向另一側(cè)(圖4中的右側(cè))的軌道支持板恥上的導(dǎo)軌9結(jié)合。第1移動(dòng)體101，與多個(gè)涂布頭6對(duì)應(yīng)設(shè)有多個(gè)，但這些多個(gè)第1移動(dòng)體10，可通過由線性馬達(dá)構(gòu)成的共用的第1驅(qū)動(dòng)源Il1，在X軸方向上同步移動(dòng)。與之相同，第2移動(dòng)體IO2與多個(gè)涂布頭6對(duì)應(yīng)設(shè)置了多個(gè)，但這些多個(gè)第2移動(dòng)體IO2可通過由線性馬達(dá)構(gòu)成的共用的第2驅(qū)動(dòng)源Il2在X軸方向上同步移動(dòng)。此外，還配置了變換機(jī)構(gòu)12，當(dāng)?shù)?和第2兩個(gè)移動(dòng)體IOp IO2、在X軸方向上同步移動(dòng)時(shí)，使涂布頭6在X軸方向上直線移動(dòng)，兩個(gè)移動(dòng)體IO1、IO2、在X軸方向上相對(duì)移動(dòng)時(shí)， 把該相對(duì)移動(dòng)變換為涂布頭6圍繞支承軸6e的軸線(轉(zhuǎn)動(dòng)軸線)的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)。該變換機(jī)構(gòu)12由下述各部分構(gòu)成朝Y軸方向上的連接桿13，其與支承軸6e連結(jié)，以便與涂布頭6 一體性圍繞延伸支承軸6e的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)；第1連接部H1，其以保持Y軸方向的移動(dòng)和圍繞Z 軸方向的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的兩軸的靈活性的形態(tài)將連接桿13的Y軸方向的一端與第1移動(dòng)體IO1 連接；第2連接部142，其以保持Y軸方向的移動(dòng)和圍繞Z軸方向的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的兩軸的靈活性的形態(tài)將連接桿13的Y軸方向的另一端與第2移動(dòng)體IO2連接。變換機(jī)構(gòu)12與多個(gè)涂布頭6對(duì)應(yīng)設(shè)置多個(gè)。第1和第2各連接部14工、142配置有滑塊142，142可靈活滑動(dòng)地吊掛在第1和第 2各移動(dòng)體IO1UO2上設(shè)置的、朝Y軸內(nèi)側(cè)方向延伸的導(dǎo)軌141上，將吊設(shè)在該滑塊142上的Z軸方向的軸部143可靈活轉(zhuǎn)動(dòng)地連接在連接桿13的端部。這樣一來，可通過滑塊142 確保Y軸方向上的移動(dòng)靈活性，并可通過軸部143確保圍繞Z軸方向的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的靈活性。若使第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體IO1UO2在X軸方向上同步移動(dòng)，則第1和第2兩個(gè)連接部142也在X軸方向上同步地移動(dòng)，涂布頭6即可經(jīng)連接桿13在X軸方向上直線移動(dòng)。另一方面，若使第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體IO1UO2在X軸方向上相對(duì)移動(dòng)，例如使第1移動(dòng)體IO1朝X軸方向一側(cè)移動(dòng)，使第2移動(dòng)體IO2朝X軸方向另一側(cè)移動(dòng)，則會(huì)產(chǎn)生第1和第2兩個(gè)連接部11、142在1軸方向上的相對(duì)位置偏差，通過使連接桿13圍繞支承軸6e的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)與該偏差相對(duì)應(yīng)的部分，涂布頭6亦與連接桿13 —體性轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，各軌道支持板恥上固定著線性標(biāo)尺15的刻度板15a，至少在一個(gè)第1移動(dòng)體IO1和第2移動(dòng)體IO2上固定著線性標(biāo)尺15的檢出頭15b。并通過線性標(biāo)尺15檢出第1 和第2各移動(dòng)體IO1UO2X軸方向上的位置，控制第1和第2各驅(qū)動(dòng)源Il1Ul215而在各涂布頭6上均設(shè)置了第1及第2各移動(dòng)體IO1UO2的情況下，可調(diào)節(jié)涂布頭6彼此間的間隔。為此，在本實(shí)施方式中，為了確認(rèn)調(diào)節(jié)后的各涂布頭6的位置，在每個(gè)涂布頭6上場均設(shè)置了線性標(biāo)尺15的檢出頭15b。此外，在進(jìn)行涂布頭6的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)時(shí)，通過從第1移動(dòng)體IO1用的線性標(biāo)尺15和第 2移動(dòng)體IO2用的線性標(biāo)尺15掌握第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體IO1UO2在X軸方向上的相對(duì)位置關(guān)系，根據(jù)該相對(duì)位置關(guān)系計(jì)算出涂布頭6的轉(zhuǎn)動(dòng)角，實(shí)施使第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體1(V IO2在X軸方向上相對(duì)移動(dòng)的控制，以便該轉(zhuǎn)動(dòng)角達(dá)到所需角度。此處，在本實(shí)施方式中，為把第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體IO1UO2在X軸方向上的相對(duì)移動(dòng)變換為涂布頭6的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)，通過適當(dāng)取得涂布頭6的支承軸6e和兩個(gè)移動(dòng)體IO1、IO2 的距離(連接桿13的長度)，便可用與兩個(gè)移動(dòng)體IO1UO2在X軸方向上的相對(duì)位置偏差相比微小的角度使涂布頭6轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，即便用線性標(biāo)尺15掌握的兩個(gè)移動(dòng)體IO1UO2在 X軸方向上的相對(duì)位置關(guān)系的分辨率不那么高，仍可高分辨率地檢出涂布頭6的轉(zhuǎn)動(dòng)角，高精度地進(jìn)行涂布頭6的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)。當(dāng)對(duì)基板S進(jìn)行涂布處理時(shí)，通過使臺(tái)架3在Y軸方向上移動(dòng)，使涂布頭6在Y軸方向上掃描基板S,以規(guī)定的圖形在基板S上涂布來自噴嘴6d的液滴。接著，使涂布頭6通過第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體IO1UO2的同步移動(dòng)在X軸方向上直線移動(dòng)規(guī)定距離，在該狀態(tài)下重復(fù)使臺(tái)架3在Y軸方向上的移動(dòng)。此處，在本實(shí)施方式中，通過如上所述轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)涂布頭6即可改變噴嘴間間距的X 軸方向成分。這樣一來，當(dāng)通過使涂布頭6在Y軸方向上掃描基板S,把來自各噴嘴6d的液滴涂布到基板S上時(shí)，可將X軸方向上的涂布間距壓縮到噴嘴間間距以下。此外，在本實(shí)施方式中，雖然需要第1移動(dòng)體IO1用的第1驅(qū)動(dòng)源Il1和第2移動(dòng)體IO2用的第2驅(qū)動(dòng)源Il2兩個(gè)驅(qū)動(dòng)源，但由于可通過第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體IO1UO2的同步移動(dòng)使涂布頭6在X軸方向上直線移動(dòng)，因而作用于各驅(qū)動(dòng)源Il1Ul2的負(fù)載僅為涂布頭 6直線移動(dòng)負(fù)載的一半。因此，各驅(qū)動(dòng)源Il1Ul2用低功率的小型驅(qū)動(dòng)器便可滿足，并且與無需涂布頭6的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)用的驅(qū)動(dòng)源相結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)裝置的小型化與低成本化。還有，在本實(shí)施方式中，由于是通過用共用的第1驅(qū)動(dòng)源Il1、使多個(gè)第1移動(dòng)體 IO1在X軸方向上移動(dòng)的同時(shí)，用共用的第2驅(qū)動(dòng)源Il2使多個(gè)第2移動(dòng)體IO2在X軸方向上移動(dòng)的，因而，通過使這些第1移動(dòng)體^^、第2移動(dòng)體IO2在X軸方向上同時(shí)相對(duì)移動(dòng)， 就可同時(shí)調(diào)節(jié)多個(gè)涂布頭6的轉(zhuǎn)動(dòng)。還可將第1和第2各移動(dòng)體IO1UO2設(shè)定為多個(gè)涂布頭共用的單體。然而，若照本實(shí)施方式，針對(duì)每個(gè)涂布頭均單獨(dú)設(shè)置第1和第2各移動(dòng)體IO1UO2^u涂布頭6的增設(shè)更加容易，因而較有利。下面說明圖5所示的第2實(shí)施方式。對(duì)與上述第1實(shí)施方式相同的部件，部位標(biāo)注與上述相同的標(biāo)號(hào)。在第2實(shí)施方式中，第1移動(dòng)體IO1由支持體8構(gòu)成，其將涂布頭6 可靈活轉(zhuǎn)動(dòng)地支持在支承軸6e上。并且將支持體8設(shè)定為可利用由線性馬達(dá)構(gòu)成的第1 驅(qū)動(dòng)源Il1來使之在X軸方向上直線移動(dòng)。第2移動(dòng)體IO2具有與上述第1實(shí)施方式相同的構(gòu)成。并且變換機(jī)構(gòu)12由連接桿13和連接部14構(gòu)成，連接桿13固定在涂布頭6的支承軸6e的上端，向第2移動(dòng)體IO2 一側(cè)、即Y軸方向一側(cè)延伸；連接部14通過保持Y軸方向的移動(dòng)和圍繞Z軸方向的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的兩軸的靈活性把連接桿13Y軸方向單側(cè)的端部連接到第2移動(dòng)體IO2上。而連接部14 與第1實(shí)施方式相同，配置有滑塊142，142可靈活滑動(dòng)地吊掛在第2移動(dòng)體IO2上設(shè)置的朝 Y軸方向內(nèi)側(cè)延伸的導(dǎo)軌141上；垂直設(shè)置在該滑塊142上的、Z軸方向的軸部143可靈活轉(zhuǎn)動(dòng)地連接在連接桿13的端部上。第2實(shí)施方式的裝置也一樣，若使作為第1移動(dòng)體IO1的支持體8和第2移動(dòng)體 IO2在X軸方向上同步移動(dòng)，則涂布頭6即在X軸方向上直線移動(dòng)，若使支持體8和第2移動(dòng)體IO2在X軸方向上相對(duì)移動(dòng)，則可通過涂布頭6圍繞支承軸6e的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，獲得與第1 實(shí)施方式相同的作用效果。上面參照

了本發(fā)明的實(shí)施方式，但本發(fā)明并不局限于此。例如，在上述實(shí)施方式中，是用線性馬達(dá)構(gòu)成第1和第2各驅(qū)動(dòng)源Il1Ul2的，但也可以用普通的伺服馬達(dá)構(gòu)成各驅(qū)動(dòng)源Il1Ul2，通過伺服馬達(dá)，經(jīng)進(jìn)給絲杠機(jī)構(gòu)使第1和第2各移動(dòng)體ΙΟρΚ^ Χ 軸方向上移動(dòng)。當(dāng)使用伺服馬達(dá)情況下，由于若針對(duì)每個(gè)涂布頭6均單獨(dú)設(shè)置第1及第2 各移動(dòng)體IO1UO2,就需要有與各移動(dòng)體對(duì)應(yīng)的進(jìn)給絲杠機(jī)構(gòu)，因而最好把第1移動(dòng)體IO1和第2移動(dòng)體IO2設(shè)定為采用針對(duì)多個(gè)涂布頭全體共用的單一結(jié)構(gòu)。附圖標(biāo)記說明6、噴墨用涂布頭，6d、噴嘴，8、支持體，^^、第1移動(dòng)體，IO2、第2移動(dòng)體，^”第1驅(qū)動(dòng)源，112、第2驅(qū)動(dòng)源，12、變換機(jī)構(gòu)，13、連接桿，叫、第1連接部，142、第2連接部，15、線性標(biāo)尺。
權(quán)利要求
1.一種噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其使直線靈活移動(dòng)的噴墨用涂布頭，圍繞與作為該涂布頭的移動(dòng)方向的X軸方向正交的Z軸方向的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)，該轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的特征在于，配置有在X軸方向上通過各自的驅(qū)動(dòng)源來直線移動(dòng)的第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體；在第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體沿X軸方向同步移動(dòng)時(shí)，使前述噴墨用涂布頭，沿X軸方向直線移動(dòng)，在兩個(gè)移動(dòng)體沿X軸方向相對(duì)移動(dòng)時(shí)，使該相對(duì)移動(dòng)變換為前述噴墨用涂布頭圍繞上述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)的變換機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于使用線性標(biāo)尺掌握前述兩個(gè)移動(dòng)體在X軸方向上的相對(duì)位置關(guān)系，并根據(jù)該相對(duì)位置關(guān)系，計(jì)算出前述噴墨用涂布頭圍繞前述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)角。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于當(dāng)在X軸方向上并列設(shè)置多個(gè)前述噴墨用涂布頭的同時(shí)，設(shè)置用于這些多個(gè)噴墨用涂布頭的多個(gè)前述變換機(jī)構(gòu)，包括使這些多個(gè)噴墨用涂布頭用的多個(gè)或者一個(gè)的前述第1移動(dòng)體沿X軸方向直線移動(dòng)的第1驅(qū)動(dòng)源；以及使這些多個(gè)噴墨用涂布頭用的多個(gè)或者一個(gè)的前述第2移動(dòng)體沿X軸方向直線移動(dòng)的第2驅(qū)動(dòng)源。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3所述的噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于把正交于X 軸方向和Z軸方向的方向設(shè)為Y軸方向，在前述第1移動(dòng)體和前述第2移動(dòng)體以隔著前述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線面對(duì)Y軸方向的形態(tài)配置，前述變換機(jī)構(gòu)可由下述部分構(gòu)成以和前述噴墨用涂布頭一體性圍繞前述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的形態(tài)與前述噴墨用涂布頭連接的向Y軸方向延伸的連接桿；通過保持Y軸方向的移動(dòng)與圍繞Z軸方向的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的兩軸的靈活性，使前述連接桿的Y軸方向上的一端與前述第1移動(dòng)體連接的第1連接部；通過保持Y軸方向的移動(dòng)與圍繞Z軸方向的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的兩軸的靈活性，使前述連接桿的Y軸方向上的另一端與前述第 2移動(dòng)體連接的第2連接部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 3所述的噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于把與X軸方向及Z軸方向正交的方向作為Y軸方向，前述第1移動(dòng)體由支持前述噴墨用涂布頭圍繞前述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線靈活轉(zhuǎn)動(dòng)的支持體構(gòu)成，前述第2移動(dòng)體配置在偏離前述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的Y軸方向單側(cè)，前述變換結(jié)構(gòu)可由下述部分構(gòu)成為使之與前述噴墨用涂布頭一體性圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)而與噴墨用涂布頭連接的向Y軸方向單側(cè)延伸的連接桿；以保持Y軸方向的移動(dòng)與圍繞Z軸方向的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的兩軸的靈活性的形態(tài)，使前述連接桿的Y軸方向單側(cè)的端部與前述第2移動(dòng)體連接的連接部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5所述的噴墨用涂布頭的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于前述噴墨用涂布頭配置了在正交于前述轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的方向上排列的多個(gè)噴嘴。
全文摘要
提供一種小型且低價(jià)的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其將直線靈活移動(dòng)的噴墨用涂布頭6設(shè)定為不必在直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)之外單獨(dú)設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，即可調(diào)節(jié)圍繞與噴墨用涂布頭作為移動(dòng)方向的X軸方向正交的Z軸方向轉(zhuǎn)動(dòng)軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)。配置有第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體101、102，其可通過各自的驅(qū)動(dòng)源111、112、在X軸方向上直線移動(dòng)；變換機(jī)構(gòu)12，其在第1和第2兩個(gè)移動(dòng)體101、102在X軸方向上同步移動(dòng)時(shí)，使噴墨用涂布頭6在X軸方向上直線移動(dòng)，在兩個(gè)移動(dòng)體101、102在X軸方向上相對(duì)移動(dòng)時(shí)，使該相對(duì)移動(dòng)變換為噴墨用涂布頭6圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)。
文檔編號(hào)B05C5/00GK102159328SQ201080002659
公開日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2010年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月6日
發(fā)明者佐藤誠一, 矢作充 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛發(fā)科