專利名稱：金屬板與壓電體的粘接結(jié)構(gòu)及粘接方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及如使用于壓電微風(fēng)機(jī)(microblower)的驅(qū)動(dòng)體等的壓電振動(dòng)板的、金屬板與壓電體的粘接結(jié)構(gòu)及粘接方法，
背景技術(shù)：
作為用于有效地放出在便攜式電子設(shè)備的殼體內(nèi)部產(chǎn)生的熱量的送風(fēng)用風(fēng)機(jī)、或用于供給燃料電池中為了發(fā)電所需的氧氣的送風(fēng)用風(fēng)機(jī)，已知有壓電微風(fēng)機(jī)(參照專利文獻(xiàn)1)。壓電微風(fēng)機(jī)是利用根據(jù)施加電壓而進(jìn)行彎曲振動(dòng)的振動(dòng)板的一種泵，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、 結(jié)構(gòu)又小又薄、且功耗低的優(yōu)點(diǎn)。圖1表示使用于壓電微風(fēng)機(jī)的振動(dòng)板的一個(gè)示例。在圖1中，在金屬制膜片1上粘接有壓電體(壓電陶瓷板)2，在壓電體2的正面和反面具有電極3、4。一個(gè)電極3與膜片1電導(dǎo)通。通過對(duì)膜片1與壓電體2的電極4之間施加規(guī)定交流電壓，能使振動(dòng)板整體進(jìn)行彎曲振動(dòng)，且能送出空氣。另外，作為振動(dòng)板，不限于在膜片1上直接粘接壓電體2的形式，且可以有如下各種形式在膜片1上粘接其它金屬板、且在該其它金屬板上粘接壓電體2 ；或在膜片1的正反兩個(gè)表面上粘接壓電體2等。圖2 (a) (c)表示壓電體2的電極3與金屬板1(膜片)的粘接結(jié)構(gòu)的示例。圖2(a)是使用不具有導(dǎo)電性輔助劑的粘接劑5的示例，將壓電體2與金屬板1之間的粘接厚度減薄到極限為止，利用電極3與金屬板1的接觸(歐姆接觸)來獲得導(dǎo)通。圖2(b)是將碳球6添加到粘接劑5中作為導(dǎo)電性輔助劑，經(jīng)由碳球6來獲得導(dǎo)電性。碳球6的直徑例如約為20 μ m左右，且不與電極3與金屬板1直接導(dǎo)通。圖2 (c)是將平均粒子直徑為數(shù)十nm的碳黑7添加到粘接劑5中作為導(dǎo)電性輔助齊U，除了利用壓電體2的電極3與金屬板1之間的接觸的導(dǎo)電性之外，經(jīng)由碳黑7來獲得導(dǎo)電性。如圖2(a)所示，使用不具有導(dǎo)電性輔助劑的粘接劑5的情況下，存在如下問題在粘接后的潮濕試驗(yàn)中粘接劑膨脹濕潤(rùn)時(shí)，電阻值上升(導(dǎo)電性下降)。如圖2(b)所示在使用添加了碳球6的粘接劑5的情況下，存在如下問題在壓電體2中容易發(fā)生以碳球6作為起點(diǎn)的開裂，且粘接劑變厚，壓電體2的振動(dòng)特性變差。此外，還存在如下問題由于與電極的接觸成為點(diǎn)接觸，或最大粒子成為隔離件而小粒子直徑的粒子不參與導(dǎo)通，因此電阻值變高。如圖2(c)所示在使用了微小粒子直徑的碳黑7的情況下，存在如下問題根據(jù)碳黑 7的含量，對(duì)粘接劑的粘度/觸變性的影響大，對(duì)操作性/涂布性產(chǎn)生不良影響。而且，還存在如下問題在粘接后的潮濕試驗(yàn)中粘接劑膨脹濕潤(rùn)時(shí)，電阻值上升(導(dǎo)電性下降)。在專利文獻(xiàn)2中，公開了一種導(dǎo)電性粘接劑，該導(dǎo)電性粘接劑用來將儲(chǔ)能元件中的活性物質(zhì)層和集電體之間粘接起來。該粘接劑是含有作為導(dǎo)電材料的碳粉末(例如碳黑)、作為接合劑的樹脂、作為溶劑的水的糊料狀的導(dǎo)電性粘接劑，碳粉末的初級(jí)粒子的重量平均粒子直徑在5nm IOOnm的范圍內(nèi)，碳粉末量對(duì)于碳粉末和樹脂的總和量在5 50 重量％的范圍內(nèi)，糊料狀導(dǎo)電性粘接劑的含水率在70 95重量％的范圍內(nèi)。
圖2(d)表示使用專利文獻(xiàn)2所示的導(dǎo)電性粘接劑的粘接結(jié)構(gòu)的一個(gè)示例。這與圖2 (c)相同是將作為導(dǎo)電性輔助劑的碳黑7添加到粘接劑5中，電極3與金屬板1不直接導(dǎo)通，而是經(jīng)由碳黑7來獲得導(dǎo)電性。由于比圖2(c)添加更大量的碳黑7，因此可認(rèn)為導(dǎo)電性比圖2(c)有提高。然而，若在樹脂中含有5 50重量％的大量的5 IOOnm的碳黑7，則粘接劑的粘度或觸變性大大增加，對(duì)涂布穩(wěn)定性(涂布量偏差，涂布后的平整性)產(chǎn)生不良影響。因此，在專利文獻(xiàn)2中，通過在糊料中含水(70 95重量％ )來解決該問題。因而，在不使用水的反應(yīng)系統(tǒng)(環(huán)氧樹脂等)中不能解決上述問題。此外，由于隨著碳黑7的含量增大，樹脂含量相對(duì)減少，因此粘接力下降。而且，由于作為溶劑含有大量的水，因此存在如下問題 粘接劑固化時(shí)成為多孔狀，容易因吸水而使粘接劑膨脹濕潤(rùn)，長(zhǎng)期可靠性不佳?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 :W02008/069266專利文獻(xiàn)2 日本專利特開2001-316655號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題本發(fā)明的目的在于提供具有良好的導(dǎo)電性和粘接性的、壓電體與金屬板的粘接結(jié)構(gòu)和粘接方法。用于解決問題的方法為了實(shí)現(xiàn)上述目的，第一發(fā)明提供一種粘接結(jié)構(gòu)，該粘接結(jié)構(gòu)具備金屬板；在面向所述金屬板的面上具有電極的壓電體；以及導(dǎo)電性粘接劑，該導(dǎo)電性粘接劑包含作為導(dǎo)電輔助劑的碳黑，將所述金屬板與壓電體的電極進(jìn)行導(dǎo)電性粘接，該粘接結(jié)構(gòu)的特征在于， 固化前的所述導(dǎo)電性粘接劑包含平均粒子直徑在納米級(jí)別的碳黑，且所述導(dǎo)電性粘接劑呈糊料狀，其中該碳黑包含在無溶劑類或溶劑類樹脂中從而形成平均粒子直徑為ι μ m 50 μ m的凝聚體，在所述金屬板與壓電體的電極之間涂布所述糊料狀的導(dǎo)電性粘接劑，對(duì)所述金屬板與壓電體進(jìn)行加熱/加壓，從而在使所述碳黑凝聚體變形的狀態(tài)下，使所述導(dǎo)電性粘接劑固化。第二發(fā)明提供一種粘接方法，該粘接方法是對(duì)于金屬板、和在面向所述金屬板的面上具有電極的壓電體，使用包含作為導(dǎo)電輔助劑的碳黑的導(dǎo)電性粘接劑，來將所述金屬板和壓電體的電極進(jìn)行導(dǎo)電性粘接，該粘接方法的特征在于，包括涂布工序，在所述金屬板與壓電體的電極之間涂布糊料狀的所述導(dǎo)電性粘接劑，所述導(dǎo)電性粘接劑包含平均粒子直徑為納米級(jí)別的碳黑，且該碳黑包含在無溶劑類或溶劑類樹脂中以形成平均粒子直徑為 1 μ m 50 μ m的凝聚體；以及固化工序，在涂布了所述導(dǎo)電性粘接劑之后，對(duì)所述金屬板與壓電體進(jìn)行加熱/加壓，從而在使所述碳黑凝聚體變形的狀態(tài)下，使所述導(dǎo)電性粘接劑顯化。本發(fā)明的導(dǎo)電性粘接劑包含平均粒子直徑在納米級(jí)別的碳黑，且該導(dǎo)電性粘接劑是該碳黑包含在樹脂中從而形成平均粒子直徑為1 μ m 50 μ m的凝聚體的糊料狀。凝聚體，是指碳黑的初級(jí)粒子用分子間力等來結(jié)合、且成為平均粒子直徑在1 μ m以上的塊狀。因此，與相同量的碳黑以分散狀態(tài)包含在樹脂中的情況相比，對(duì)粘接劑的粘度或觸變性的影響較小，且操作性/涂布性較好。凝聚體本身沒有剛性，對(duì)金屬板和壓電體進(jìn)行加熱/加壓時(shí)，由于凝聚體仿照金屬板和壓電體的凹凸而變形，因此對(duì)壓電體的破壞較少，且不增加粘接劑厚度，并能賦予導(dǎo)電性。由于金屬板與壓電體的導(dǎo)通性不僅是經(jīng)由碳黑獲得，還通過金屬板和壓電體的電極直接接觸來獲得，因此能獲得高導(dǎo)通性(低電阻性)。本發(fā)明的平均粒子直徑，可通過如下步驟來求出例如拍攝粒子體的SEM圖像，對(duì)獲取的圖像進(jìn)行2值化處理來求出粒子體的面積，求出將該面積換算成圓時(shí)的直徑。用SEM 圖像既可以拍攝初級(jí)粒子，也可以拍攝次級(jí)粒子。如果凝聚體的粒子直徑不滿1 μ m,則由于樹脂粘度大大增加，因此下限尺寸優(yōu)選為1 μ m，另一方面，如果上限尺寸超過50 μ m,則由于凝聚體的大小比金屬板和電極的表面的凹凸要大，因此粘接劑厚度增加。因此，上限尺寸優(yōu)選設(shè)為50 μ m。在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中，由于碳黑不是分散狀態(tài)而是以凝聚體來固化，因此不像現(xiàn)有的利用碳黑的導(dǎo)電性粘接劑那樣金屬板與壓電體的電極全面地導(dǎo)通(各向同性導(dǎo)電性)，而是以島狀分散的狀態(tài)來導(dǎo)通(各向異性導(dǎo)通性)。即，金屬板與電極的相對(duì)的方向上有導(dǎo)電性，而在平面方向上沒有導(dǎo)電性。由于這種各向異性導(dǎo)電性結(jié)構(gòu)，與以分散狀態(tài)包含同等量的碳黑的情況相比，碳黑彼此之間的接觸概率大大提高，能獲得高導(dǎo)電性(低電阻值)。而且，粘接壓電體和金屬板時(shí)，由導(dǎo)電性粘接劑在壓電體周圍形成倒角 (fillet)，如果該倒角的一部分繞回到壓電體的上表面?zhèn)入姌O，則有可能發(fā)生短路。由于本發(fā)明所涉及的導(dǎo)電性粘接劑具有各向異性導(dǎo)電性，因此能可靠地防止如上所述的短路。作為本發(fā)明所涉及的導(dǎo)電性粘接劑，可使用無溶劑類或溶劑類，但是至少要將使用水類溶劑的導(dǎo)電性粘接劑排除在外。無溶劑類是在液體狀樹脂中添加了碳黑的導(dǎo)電性粘接劑，而溶劑類是在有機(jī)溶劑中溶解聚合物、并在其中添加了碳黑的導(dǎo)電性粘接劑。作為無溶劑類樹脂例如有環(huán)氧樹脂，作為溶劑類樹脂例如有丙烯酸樹脂等。無論對(duì)于任何情況，固化狀態(tài)下不會(huì)成為多孔狀，從長(zhǎng)期可靠性來看時(shí)，不容易發(fā)生因吸水而導(dǎo)致的粘接劑的膨脹濕潤(rùn)，不會(huì)發(fā)生導(dǎo)電性下降的問題。包含在導(dǎo)電性粘接劑中的碳黑的平均粒子直徑為納米級(jí)別，例如是5nm 300nm 的碳黑。將其添加到樹脂中，使得該碳黑的初級(jí)粒子在樹脂中形成平均粒子直徑在ι μ m 50 μ m的凝聚體。因此，優(yōu)選進(jìn)行適當(dāng)?shù)姆稚?混練處理，使碳黑在樹脂中形成具有目標(biāo)粒子直徑的凝聚體。優(yōu)選對(duì)金屬板與壓電體的電極加壓，使得它們之間的距離比凝聚體的平均粒子直徑要小。即，使金屬板與壓電體之間的距離小于糊料狀態(tài)的導(dǎo)電性粘接劑中的凝聚體的平均粒子直徑。由此，大多數(shù)凝聚體夾在金屬板與壓電體的電極之間，能得到可靠的導(dǎo)通性。包含在導(dǎo)電性粘接劑中的樹脂優(yōu)選使用如下樹脂該樹脂在固化狀態(tài)下組織致密，且耐氣候性、耐熱性好，粘接后的潮濕試驗(yàn)中也難以膨脹濕潤(rùn)。具體而言，有環(huán)氧樹脂、 丙烯酸樹脂、尿烷樹脂等。導(dǎo)電性粘接劑中的碳黑的量?jī)?yōu)選為對(duì)于碳黑和樹脂的總和量是1 10重量％。這樣，由于碳黑的含量少，因此粘接劑的粘度或觸變性降低，操作性/涂布性較好，并且即使碳黑的含量少，但通過制成凝聚體也能獲得良好的導(dǎo)通性。發(fā)明的效果
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，由于使用將碳黑添加到無溶劑類或溶劑類樹脂中以便形成平均粒子直徑在1 μ m 50 μ m的凝聚體的糊料狀導(dǎo)電性粘接劑，將導(dǎo)電性粘接劑涂布在金屬板與壓電體的電極之間，通過對(duì)金屬板和壓電體進(jìn)行加熱/加壓，來使導(dǎo)電性粘接劑固化，因此，凝聚體仿照金屬板和壓電體的電極的凹凸來變形，對(duì)壓電體的破壞少，且不增加粘接劑厚度，并能賦予良好的導(dǎo)電性。此外，由于在碳黑含量少的情況下獲得良好的導(dǎo)通性，因此能增加樹脂的絕對(duì)量，粘接劑粘度或觸變性降低，操作性/涂布性較好，并能在金屬板和壓電體之間取得良好的粘接力。而且，由于樹脂不含水，因此具有如下優(yōu)點(diǎn)在固化狀態(tài)下不會(huì)變成多孔狀，不會(huì)因吸水而導(dǎo)致粘接劑的膨脹濕潤(rùn)，能提高長(zhǎng)期的可靠性。


圖1是將壓電體與金屬板粘接的壓電振動(dòng)板的一個(gè)示例的結(jié)構(gòu)圖。圖2是表示現(xiàn)有粘接結(jié)構(gòu)的放大截面圖。圖3是本發(fā)明所涉及的粘接結(jié)構(gòu)的加熱/加壓前后的截面圖。圖4中，(a)是表示凝聚體尺寸和粘接劑粘度之間的關(guān)系的圖，(b)是表示凝聚體尺寸和粘接厚度之間的關(guān)系的圖。圖5是用于對(duì)使用導(dǎo)電性粘接劑將2片金屬板粘接起來的情況下的導(dǎo)電性進(jìn)行評(píng)價(jià)的圖。圖6是對(duì)添加了分散碳黑的情況、以及添加了凝聚碳黑的情況的粘度/觸變性、串聯(lián)電阻的特性進(jìn)行比較的圖。圖7是經(jīng)由中間板將壓電體與金屬板粘接的壓電振動(dòng)板的另一示例的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式圖3表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)板的粘接結(jié)構(gòu)，(a)是加熱/加壓前的圖，(b)是加熱/加壓后的圖。與圖1相同，在膜片等金屬板1上，經(jīng)由導(dǎo)電性粘接劑10粘接壓電體2，在該壓電體的2個(gè)表面上具有電極3、4。導(dǎo)電性粘接劑10是例如在環(huán)氧樹脂等無溶劑類樹脂11中添加了平均粒子直徑在5nm 300nm(優(yōu)選為5 IOOnm)的碳黑12a的糊料狀粘接劑，設(shè)碳黑12a的添加量相對(duì)于碳黑1 和樹脂11的總和量為1 10重量％。碳黑1 不作為初級(jí)粒子存在于樹脂11中，而是以塊狀存在于樹脂11中，以便主要形成平均粒子直徑在1 μ m 50 μ m的凝聚體12。所謂凝聚體12，是指碳黑12a的初級(jí)粒子用分子間力來結(jié)合、且其成為1 μ m以上大小的塊狀。在加熱/加壓之前的階段中，如圖3(a)所示，凝聚體12在樹脂11中處于浮游的狀態(tài)，且不與金屬板1或電極3接觸。因而，不與金屬板1和電極3相導(dǎo)通。由于導(dǎo)電性粘接劑10中包含的碳黑1 的含量較少，樹脂11的量較多，因此能降低粘接劑的粘度/觸變性，操作性/涂布性較好。一旦對(duì)金屬板1和壓電體2進(jìn)行加熱/加壓，則如圖3 (b)所示，凝聚體12仿照金屬板1和電極3的表面的凹凸而變形，凝聚體12被夾在金屬板1和電極3之間。因此，金屬板1和電極3可靠地導(dǎo)通。由于碳黑1 不是以分散狀態(tài)、而是保持凝聚體12的狀態(tài)來固化，因此金屬板1和壓電體2的電極3在島狀的多個(gè)位置處相導(dǎo)通(各向異性導(dǎo)通性)。 由于這種各向異性導(dǎo)電性的導(dǎo)通結(jié)構(gòu)，因此與以分散狀態(tài)包含同等量的碳黑12a的情況相比，碳黑1 彼此之間的接觸概率大大提高，能獲得高導(dǎo)電性(低電阻值)。在圖3(b)中，通過對(duì)金屬板1和壓電體2加壓而使它們之間的距離d小于凝聚體 12的平均粒子直徑，金屬板1和電極3不僅經(jīng)由凝聚體12相導(dǎo)通，還能使金屬板1和電極 3彼此直接接觸。因此，兩者的導(dǎo)電性進(jìn)一步提高。另外，在提取出圖3(b)的左右方向的規(guī)定長(zhǎng)度時(shí)，可以利用由金屬板1的表面和壓電體2的電極3的表面所包圍的區(qū)域(面積) 除以規(guī)定長(zhǎng)度時(shí)的值來求出金屬板1和壓電體2的電極之間的距離d。即，是對(duì)于金屬板表面的截面曲線的中心線的位置與對(duì)于壓電體的電極表面的截面曲線的中心線的位置之間的間隔。圖4表示凝聚體尺寸與粘接劑粘度之間的關(guān)系(a)、以及凝聚體尺寸與粘接厚度之間的關(guān)系(b)。另外，設(shè)碳黑的含量為3.0重量％。可從圖4(a)得知，如果凝聚體的粒子直徑小于1 μ m,則由于粘接劑的粘度急劇上升，因此凝聚體的粒子直徑優(yōu)選為1 μ m以上。 另一方面，可從圖4(b)得知，如果凝聚體的粒子直徑增大，則粘接厚度也相應(yīng)增加，尤其是如果超過50 μ m，則粘接厚度增加率增大，壓電體振動(dòng)難以傳遞到金屬板，因此產(chǎn)品特性變差。因此，凝聚體的平均粒子直徑優(yōu)選為1 50 μ m。圖5是用于對(duì)使用導(dǎo)電性粘接劑22將2片金屬板20、21粘接起來的情況下的導(dǎo)電性進(jìn)行評(píng)價(jià)的圖。為了進(jìn)行評(píng)價(jià)，假定粘接劑厚度有偏差，將直徑3 μ m的絕緣隔離件23 夾在中間用導(dǎo)電性粘接劑22來粘接以成為3μπι的厚度，并測(cè)定金屬板20、21之間的串聯(lián)電阻。表1示出評(píng)價(jià)結(jié)果。另外，設(shè)粘接劑中的成分比率是碳黑3重量％，環(huán)氧樹脂97重量％。假設(shè)碳黑(初級(jí)粒子)的平均粒子直徑為50nm，凝聚體的平均粒子直徑為5 μ m，球形碳的粒子直徑為3 μ m。[表 1]
權(quán)利要求
1.一種粘接結(jié)構(gòu)，該粘接結(jié)構(gòu)具備金屬板；在面向所述金屬板的面上具有電極的壓電體；以及導(dǎo)電性粘接劑，該導(dǎo)電性粘接劑包含作為導(dǎo)電輔助劑的碳黑，并將所述金屬板與壓電體的電極進(jìn)行導(dǎo)電性粘接，該粘接結(jié)構(gòu)的特征在于，固化前的所述導(dǎo)電性粘接劑包含平均粒子直徑在納米級(jí)別的碳黑，且該導(dǎo)電性粘接劑是在無溶劑類或溶劑類樹脂中包含該碳黑以便形成平均粒子直徑為1 μ m 50 μ m的凝聚體的糊料狀的導(dǎo)電性粘接劑，在所述金屬板與壓電體的電極之間涂布所述糊料狀的導(dǎo)電性粘接劑，對(duì)所述金屬板與壓電體進(jìn)行加熱/加壓，從而在使所述碳黑凝聚體變形的狀態(tài)下，使所述導(dǎo)電性粘接劑固化。
2.如權(quán)利要求1所述的粘接結(jié)構(gòu)，其特征在于，對(duì)所述金屬板與壓電體加壓，使得所述金屬板與壓電體的電極之間的距離小于所述凝聚體的平均粒子直徑。
3.如權(quán)利要求1或2所述的粘接結(jié)構(gòu)，其特征在于，處于固化狀態(tài)的所述導(dǎo)電性粘接劑具有各向異性導(dǎo)電性。
4.如權(quán)利要求1至3的任一項(xiàng)所述的粘接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)電性粘接劑中的碳黑的量相對(duì)于碳黑和樹脂的總和量是1 10重量％。
5.一種粘接方法，該粘接方法對(duì)于金屬板、和在面向所述金屬板的面上具有電極的壓電體，使用包含作為導(dǎo)電輔助劑的碳黑的導(dǎo)電性粘接劑，來將所述金屬板和壓電體的電極進(jìn)行導(dǎo)電性粘接，該粘接方法的特征在于，包括涂布工序，在所述金屬板與壓電體的電極之間涂布糊料狀的所述導(dǎo)電性粘接劑，所述導(dǎo)電性粘接劑包含平均粒子直徑為納米級(jí)別的碳黑，且該碳黑包含在無溶劑類或溶劑類樹脂中以形成平均粒子直徑為1 μ m 50 μ m的凝聚體；以及固化工序，在涂布了所述導(dǎo)電性粘接劑之后，對(duì)所述金屬板與壓電體進(jìn)行加熱/加壓， 從而在使所述碳黑凝聚體變形的狀態(tài)下，使所述導(dǎo)電性粘接劑固化。
6.如權(quán)利要求5所述的粘接方法，其特征在于，對(duì)所述金屬板與壓電體加壓，使得所述金屬板與壓電體的電極之間的距離小于所述凝聚體的平均粒子直徑。
全文摘要
提供一種壓電體與金屬板之間的導(dǎo)電性和粘接性優(yōu)異的粘接結(jié)構(gòu)。在用導(dǎo)電性粘接劑(10)將金屬板(1)和壓電體(2)的電極(3)進(jìn)行導(dǎo)電性粘接的粘接結(jié)構(gòu)中，導(dǎo)電性粘接劑(10)包含平均粒子直徑為納米級(jí)別的碳黑(12a)，且導(dǎo)電性粘接劑(10)是將碳黑包含在無溶劑類或溶劑類樹脂中以便形成平均粒子直徑在1μm～50μm的凝聚體(12)的糊料狀粘接劑。將導(dǎo)電性粘接劑(10)涂布在金屬板和壓電體的電極之間，對(duì)金屬板(1)和壓電體(2)進(jìn)行加熱/加壓以使碳黑凝聚體(12)變形，來使導(dǎo)電性粘接劑(10)固化。
文檔編號(hào)C09J201/00GK102473837SQ201080029008
公開日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2010年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月17日
發(fā)明者中越英雄, 北山裕樹, 栗原潔 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所