專(zhuān)利名稱(chēng)：厚膠膜精密整平裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于精密機(jī)械，特別涉及一種厚膠膜精密整平裝置。
背景技術(shù)：
微細(xì)尺度零部件(如微流道、微探針、微反應(yīng)池等)和微細(xì)尺度金屬模具(如微齒輪模具等)在微機(jī)械、航空航天、醫(yī)藥、儀器儀表等領(lǐng)域有著廣泛而又關(guān)鍵性應(yīng)用，而其高質(zhì)量制造一直是微細(xì)與精密制造界的技術(shù)難點(diǎn)之一。LIGA(德文Lithographie，Galanoformung 和Abformung三個(gè)詞，即光刻、電鑄和注塑的縮寫(xiě))、UV (紫外光)-LIGA和Laser(激光)_LIGA 等技術(shù)是目前承載這些微結(jié)構(gòu)與零件、微模具制造任務(wù)的主要支撐技術(shù)。它們共同的工藝特征是需要采用厚膠(如PMMA (聚甲基丙烯酸樹(shù)脂)、SU-8膠或AZ膠等)來(lái)制備厚膠模。但是由于這些厚膠的粘度很高，經(jīng)過(guò)勻膠或攤膠、前烘等工藝環(huán)節(jié)后，膠膜表面常因存在褶皺、氣泡等缺陷而凹凸不平，且厚度極為不均，如200 μ m厚膠膜的高低不平度甚至超過(guò)100 μ m。上述膠膜缺陷的存在導(dǎo)致在后續(xù)的曝光環(huán)節(jié)因膠膜與掩模板之間存在很大的間隙而出現(xiàn)嚴(yán)重的衍射現(xiàn)象，造成膠模結(jié)構(gòu)圖形嚴(yán)重失真、微結(jié)構(gòu)零部件的幾何尺寸精度差甚至完全報(bào)廢。厚膠膜表面多種缺陷共存及膠膜厚度不均的問(wèn)題一直是困擾厚膠應(yīng)用界的棘手難題之一。目前，解決的辦法主要還是只能通過(guò)優(yōu)化勻/攤膠的工藝條件和參數(shù)控制膠膜的表面缺陷和不平度，但遠(yuǎn)不能滿(mǎn)足應(yīng)用要求。也有人嘗試采用醫(yī)用生理切片機(jī)精密銑切配合烘烤的方式來(lái)整平厚膠膜(參見(jiàn)文獻(xiàn)“張曄，陳迪，潘欣欣，等.UV-LIGA雙層微齒輪加工工藝研究.微細(xì)加工技術(shù)，2005，0):69-75. ”)，且獲得了較好的膠膜整平質(zhì)量，但因設(shè)備極其昂貴、切削效率較低，難以推廣應(yīng)用。目前國(guó)內(nèi)外尚無(wú)成本低、實(shí)用性強(qiáng)、工作高效的厚膠專(zhuān)用精密整平裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種成本低、加工效率高、能有效解決膠膜表面不平整且厚度難以精確控制等問(wèn)題的厚膠膜精密整平裝置。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案厚膠膜精密整平裝置，包括底座 1和數(shù)顯單元，底座1上后部設(shè)置的立柱組件5，底座1內(nèi)設(shè)有頂部凸出于底座1上表面的承片單元9，立柱組件5前側(cè)設(shè)有豎向進(jìn)給單元4，豎向進(jìn)給單元4上設(shè)有前端伸到承片單元9正上方的橫梁6，橫梁6上設(shè)有橫向進(jìn)給單元7，橫向進(jìn)給單元7下部設(shè)有膠膜刮平單元8，膠膜刮平單元8上設(shè)有氣嘴10。所述立柱組件5包括下端與底座1固定連接的立桿5-2和設(shè)在立桿5-2上端并向前伸的頂梁5-1，立桿5-2前側(cè)豎向設(shè)有雙V型導(dǎo)軌4-6 ；豎向進(jìn)給單元4包括與豎向V型導(dǎo)軌4-6滑動(dòng)配合的豎向滑塊4-5、設(shè)在頂梁5-1上的上軸承組件4-3和設(shè)在立桿5_2前側(cè)下部且與上軸承組件4-3上下同軸的下軸承組件4-7，上軸承組件4-3和下軸承組件4-7 之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有豎向精密絲杠4-2，豎向滑塊4-5前端與橫梁6后端固定連接，橫梁6后部通過(guò)其內(nèi)豎向設(shè)置的滾珠螺母4-1與豎向精密絲杠4-2螺接配合，豎向精密絲杠4-2上端設(shè)有豎向驅(qū)動(dòng)部件4-4，豎向精密絲杠4-2的下端連接有電磁離合器4-8，電磁離合器4-8后部與立桿5-2固定連接。所述橫梁6前部為方形中空結(jié)構(gòu)，橫梁6的中空部分左右兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)橫向V 型導(dǎo)軌7-4 ；橫向進(jìn)給單元7包括與兩橫向V型導(dǎo)軌7-4滑動(dòng)配合的橫向滑塊7-3、設(shè)在橫梁6的中空部分前側(cè)的前軸承組件7-1和設(shè)在橫梁6的中空部分后側(cè)且與前軸承組件7-1 前后同軸的后軸承組件7-7，前軸承組件7-1和后軸承組件7-7之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有橫向精密絲杠7-2，橫向精密絲杠7-2穿設(shè)在橫向滑塊7-3并與橫向滑塊7-3螺接配合，橫梁6左側(cè)或右側(cè)設(shè)有橫向驅(qū)動(dòng)部件7-6，橫向驅(qū)動(dòng)部件7-6通過(guò)精密錐齒輪副7-5與橫向精密絲杠7-2 后端傳動(dòng)連接。所述膠膜刮平單元8包括設(shè)在橫向進(jìn)給單元7下部的T形刀架8-2和刀架8_2上設(shè)置的刀片8-1，刀片8-1的刀刃朝下設(shè)置，刀架8-2前端設(shè)有扁平狀噴口朝下的氣嘴10， 氣嘴10的噴口下端高于刀片8-1的刀刃下端。所述承片單元9包括豎直設(shè)置在底座1內(nèi)的龍門(mén)支架9-9、承片軸承組件9-1和動(dòng)力輸出軸朝上電動(dòng)機(jī)9-8，龍門(mén)支架9-9上部與承片軸承組件9-1之間豎直轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有一根上端伸出龍門(mén)支架9-9上部的空心軸9-2，空心軸9-2上設(shè)有從動(dòng)皮帶輪9-3和通過(guò)卡銷(xiāo)9_4 傳動(dòng)連接的承片臺(tái)9-5，從動(dòng)皮帶輪9-3位于龍門(mén)支架9-9內(nèi)，承片臺(tái)9-5設(shè)在空心軸9_2 上端且凸出于底座1上表面，電動(dòng)機(jī)9-8的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有主動(dòng)皮帶輪9-6，主動(dòng)皮帶輪 9-6通過(guò)同步齒形帶9-7與從動(dòng)皮帶輪9-3傳動(dòng)連接，承片軸承組件9-1側(cè)部設(shè)有通過(guò)空心軸9-2與承片臺(tái)9-5連通的排氣口 9-1-1。所述數(shù)顯單元由設(shè)在底座1上的顯示器3、立桿5-2左側(cè)或右側(cè)設(shè)置的豎向光柵尺 3-1和橫梁6左側(cè)或右側(cè)設(shè)置的橫向光柵尺3-2組成。所述底座1上表面于承片臺(tái)9-5外部設(shè)有同軸的切削盤(pán)2。所述刀片8-1前角為7 15°，后角為15 25°，刀片8_1的刀刃與承片臺(tái)9_5 軸線(xiàn)垂直相交。所述承片臺(tái)9-5包括下部空心結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)軸17和上部的圓形平臺(tái)11，轉(zhuǎn)軸17側(cè)部開(kāi)設(shè)有與卡銷(xiāo)9-4配合的卡槽12，平臺(tái)11上由中心向外等距開(kāi)有不同直徑的環(huán)形槽13， 平臺(tái)11在直徑方向開(kāi)設(shè)有一條直槽14將所有環(huán)形槽13切斷為對(duì)稱(chēng)的兩部分，平臺(tái)11中心設(shè)有與空心軸9-2連通的通孔15，平臺(tái)11上表面一側(cè)設(shè)有一塊作為基片的定位基準(zhǔn)和防止基片扭轉(zhuǎn)的扇形凸起16，扇形凸起16的弧線(xiàn)與平臺(tái)11邊緣重合，扇形凸起16高度為 200 300μπιο所述切屑盤(pán)2邊緣高度高于平臺(tái)11上表面10 15mm，切屑盤(pán)2直徑為130 350mmo采用上述技術(shù)方案，將勻膠前烘后的基片放置在承片單元9上，利用數(shù)顯單元的測(cè)量反饋豎向進(jìn)給單元4和橫向進(jìn)給單元7工作狀態(tài)的功能，控制豎向驅(qū)動(dòng)部件4-4和橫向驅(qū)動(dòng)部件7-6的步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)，分別帶動(dòng)豎向精密絲杠4-2和橫向精密絲杠7-2旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)豎向滑塊4-5在豎向V型導(dǎo)軌4-6上豎向滑動(dòng)，橫向滑塊7-3在橫向V型導(dǎo)軌7_4 上前后滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)膠膜刮平單元8在豎直和前后方向的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，由固定在橫向滑塊7-3上的刀片8-1將膠膜刮平，刮削的同時(shí)從氣嘴10中噴出的氣體(空氣或氮?dú)?則將刮削下來(lái)的光刻膠吹下基片，完成膠膜表面的精密整平。豎向進(jìn)給單元4的豎向驅(qū)動(dòng)部件4-4的步進(jìn)電機(jī)工作時(shí)，電磁離合器4-8處于分離狀態(tài)，當(dāng)豎向驅(qū)動(dòng)部件4-4的步進(jìn)電機(jī)停止時(shí)，電磁離合器4-8立即閉合，電磁離合器4-8的作用是防止豎向驅(qū)動(dòng)部件4-4的步進(jìn)電機(jī)斷電時(shí)滾珠螺母4-1在橫梁6的自重作用下沿豎向精密絲杠4-2反轉(zhuǎn)，造成橫梁6下滑的情況發(fā)生。本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn)
(1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊。本發(fā)明所述的裝置采用單立桿5-2和橫梁6的“T”型布局，豎直方向進(jìn)給運(yùn)動(dòng)部件集成在立桿5-2上，橫向進(jìn)給運(yùn)動(dòng)部件集成在橫梁6上，整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊。(2)工作過(guò)程高效。利用本發(fā)明所述裝置，采用其專(zhuān)用刀具以刮削方式可一次性快速整平厚膠膜，且整個(gè)工作過(guò)程直接由設(shè)定程序驅(qū)動(dòng)自動(dòng)完成，工作效率高；橫向、豎直進(jìn)給行程定量精密可控，工作過(guò)程精度高。(3)制造成本低。本發(fā)明所述裝置大多數(shù)零部件(如V型導(dǎo)軌、錐齒輪、精密滾珠絲杠副等)均可采用標(biāo)準(zhǔn)件，降低了制造成本。(4)實(shí)用性強(qiáng)，能一機(jī)兩用。本發(fā)明所述裝置還可單獨(dú)作勻膠機(jī)使用，實(shí)現(xiàn)了勻膠和膠膜精密整平兩種功能的統(tǒng)一，做到了一機(jī)兩用，實(shí)用性強(qiáng)。


圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖2是本發(fā)明當(dāng)中豎向進(jìn)給單元的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是本發(fā)明當(dāng)中橫向進(jìn)給單元的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4是本發(fā)明當(dāng)中膠膜削平單元和氣嘴的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5是本發(fā)明當(dāng)中承片單元的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6是本發(fā)明當(dāng)中承片臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖7是本發(fā)明當(dāng)中刀片的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖1 圖7所示，本發(fā)明的厚膠膜精密整平裝置，包括底座1和數(shù)顯單元，底座1 上后部設(shè)置的立柱組件5，底座1內(nèi)設(shè)有頂部凸出于底座1上表面的承片單元9，立柱組件5 前側(cè)設(shè)有進(jìn)給精度為ι μ m的豎向進(jìn)給單元4，豎向進(jìn)給單元4上設(shè)有前端伸到承片單元9 正上方的橫梁6，橫梁6上設(shè)有進(jìn)給精度為10 μ m的橫向進(jìn)給單元7，橫向進(jìn)給單元7下部設(shè)有膠膜刮平單元8，膠膜刮平單元8上設(shè)有氣嘴10。立柱組件5包括下端與底座1固定連接的立桿5-2和設(shè)在立桿5-2上端并向前伸的頂梁5-1，立桿5-2前側(cè)豎向設(shè)有雙V型導(dǎo)軌4-6 ；豎向進(jìn)給單元4包括與豎向V型導(dǎo)軌 4-6滑動(dòng)配合的豎向滑塊4-5、設(shè)在頂梁5-1上的上軸承組件4-3和設(shè)在立桿5_2前側(cè)下部且與上軸承組件4-3上下同軸的下軸承組件4-7，上軸承組件4-3和下軸承組件4-7之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有豎向精密絲杠4-2，豎向滑塊4-5前端與橫梁6后端固定連接，橫梁6后部通過(guò)其內(nèi)豎向設(shè)置的滾珠螺母4-1與豎向精密絲杠4-2螺接配合，豎向精密絲杠4-2上端設(shè)有豎向驅(qū)動(dòng)部件4-4，豎向精密絲杠4-2的下端連接有電磁離合器4-8，電磁離合器4-8后部與立桿5-2固定連接。
橫梁6前部為方形中空結(jié)構(gòu)，橫梁6的中空部分左右兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)橫向V型導(dǎo)軌7-4 ；橫向進(jìn)給單元7包括與兩橫向V型導(dǎo)軌7-4滑動(dòng)配合的橫向滑塊7-3、設(shè)在橫梁 6的中空部分前側(cè)的前軸承組件7-1和設(shè)在橫梁6的中空部分后側(cè)且與前軸承組件7-1前后同軸的后軸承組件7-7，前軸承組件7-1和后軸承組件7-7之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有橫向精密絲杠 7-2，橫向精密絲杠7-2穿設(shè)在橫向滑塊7-3并與橫向滑塊7-3螺接配合，橫梁6左側(cè)或右側(cè)設(shè)有橫向驅(qū)動(dòng)部件7-6，橫向驅(qū)動(dòng)部件7-6通過(guò)精密錐齒輪副7-5與橫向精密絲杠7-2后端傳動(dòng)連接。豎向驅(qū)動(dòng)部件4-4和橫向驅(qū)動(dòng)部件7-6的步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)速可調(diào)范圍大。膠膜刮平單元8包括設(shè)在橫向進(jìn)給單元7下部的T形刀架8-2和刀架8_2上設(shè)置的刀片8-1，刀片8-1的刀刃朝下設(shè)置，刀架8-2前端設(shè)有扁平狀噴口朝下的氣嘴10，氣嘴10的噴口下端高于刀片8-1的刀刃下端。刀片8-1前角A為7 15°，后角B為15 25°，T形刀架8-2下有一處臺(tái)階定位面用來(lái)定位刀片8-1，保證刀片8-1的刀刃與承片臺(tái) 9-5軸線(xiàn)垂直相交。承片單元9包括豎直設(shè)置在底座1內(nèi)的龍門(mén)支架9-9、承片軸承組件9-1 (采用機(jī)械式動(dòng)密封或磁致動(dòng)密封)和動(dòng)力輸出軸朝上電動(dòng)機(jī)9-8，龍門(mén)支架9-9上部與承片軸承組件9-1之間豎直轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有一根上端伸出龍門(mén)支架9-9上部的空心軸9-2，空心軸9-2與龍門(mén)支架9-9之間設(shè)有軸承，空心軸9-2上設(shè)有從動(dòng)皮帶輪9-3和通過(guò)卡銷(xiāo)9-4傳動(dòng)連接的承片臺(tái)9-5，從動(dòng)皮帶輪9-3位于龍門(mén)支架9-9內(nèi)，承片臺(tái)9-5設(shè)在空心軸9_2上端且凸出于底座1上表面，電動(dòng)機(jī)9-8的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有主動(dòng)皮帶輪9-6，主動(dòng)皮帶輪9-6通過(guò)同步齒形帶9-7與從動(dòng)皮帶輪9-3傳動(dòng)連接，承片軸承組件9-1側(cè)部設(shè)有通過(guò)空心軸9-2與承片臺(tái)9-5連通的排氣口 9-1-1。承片臺(tái)9-5適用于放置有定位基準(zhǔn)的基片，承片臺(tái)9-5包括下部空心結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)軸 17和上部的圓形平臺(tái)11，轉(zhuǎn)軸17側(cè)部開(kāi)設(shè)有與卡銷(xiāo)9-4配合的卡槽12，平臺(tái)11上由中心向外等距開(kāi)有不同直徑的環(huán)形槽13，平臺(tái)11在直徑方向開(kāi)設(shè)有一條直槽14將所有環(huán)形槽 13切斷為對(duì)稱(chēng)的兩部分，平臺(tái)11中心設(shè)有與空心軸9-2連通的通孔15，平臺(tái)11上表面一側(cè)設(shè)有一塊作為基片的定位基準(zhǔn)和防止基片扭轉(zhuǎn)的扇形凸起16，扇形凸起16的弧線(xiàn)與平臺(tái)11邊緣重合，扇形凸起16高度為20(Γ300μπι。橫向進(jìn)給單元7的橫向滑塊7-3向前的最大進(jìn)給位置可以超過(guò)承片臺(tái)9-5的中心。底座1上表面于承片臺(tái)9-5外部設(shè)有同軸的切削盤(pán)2，切屑盤(pán)2邊緣高度高于平臺(tái) 11上表面10 15mm，切屑盤(pán)2直徑為130 350mm。數(shù)顯單元由設(shè)在底座1上的顯示器3、立桿5-2左側(cè)或右側(cè)設(shè)置的豎向光柵尺3-1 和橫梁6左側(cè)或右側(cè)設(shè)置的橫向光柵尺3-2組成。參照?qǐng)D2，豎向進(jìn)給單元4工作時(shí)，啟動(dòng)豎向驅(qū)動(dòng)部件4-4的步進(jìn)電機(jī)，此時(shí)位于豎向精密絲杠4-2下端的電磁離合器4-8處于分離狀態(tài)，步進(jìn)電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器帶動(dòng)豎向精密絲杠4-2旋轉(zhuǎn)一定角度，滾珠螺母4-1沿豎向精密絲杠4-2上下移動(dòng)，通過(guò)橫梁6帶動(dòng)豎向滑塊4-5沿V型導(dǎo)軌4-6上下運(yùn)動(dòng)。步進(jìn)電機(jī)斷電時(shí)，電磁離合器4-8迅速閉合，從而使豎向精密絲杠4-2不能在橫梁6的自重作用下反轉(zhuǎn)，使橫梁6保持準(zhǔn)確的位置。參照?qǐng)D3，橫向進(jìn)給單元7工作時(shí)，橫向驅(qū)動(dòng)部件7-6的步進(jìn)電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器帶動(dòng)精密錐齒輪副7-5旋轉(zhuǎn)一定角度，從而帶動(dòng)橫向精密絲杠7-2旋轉(zhuǎn)，橫向精密絲杠7-2的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)底部固定有刀架8-2的橫向滑塊7-3沿兩橫向V型導(dǎo)軌7-4前后滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)刀架8-2的橫向運(yùn)動(dòng)。參照?qǐng)D4，膠膜刮平單元8和氣嘴10工作時(shí)，基片以承片臺(tái)9-5的扇形凸起16作為定位基準(zhǔn)放置在承片臺(tái)9-5上，氣泵為氣嘴10提供空氣(或氮?dú)?動(dòng)力，真空泵與排氣口 9-1-1連接進(jìn)行抽氣，因負(fù)壓基片被吸附在承片臺(tái)9-5上，電動(dòng)機(jī)9-8通過(guò)主動(dòng)皮帶輪9-6、 同步齒形帶9-7、從動(dòng)皮帶輪9-3、空心軸9-2帶動(dòng)承片臺(tái)9-5旋轉(zhuǎn)，固定在橫向滑塊7-3上的刀架8-2在橫向進(jìn)給單元7的進(jìn)給作用下，從基片邊緣向基片中心進(jìn)給，固定在刀架8-2 上的刀片8-1將厚膠膜削平，氣泵中的高壓氣體經(jīng)過(guò)氣嘴10將切屑吹下基片。本發(fā)明在工作使用時(shí)，先將勻膠并前烘后的基片通過(guò)承片臺(tái)9-5上的定位基準(zhǔn)定位放置在承片臺(tái)9-5上，基片因負(fù)壓被吸附在承片臺(tái)9-5上，然后以承片臺(tái)9-5的圓形平臺(tái) 11的上表面和側(cè)面分別作對(duì)刀的豎向基準(zhǔn)和橫向基準(zhǔn)，結(jié)合數(shù)顯單元的豎向光柵尺3-1和橫向光柵尺3-2在顯示器3上顯示的測(cè)量反饋信息，控制豎向驅(qū)動(dòng)部件4-4和橫向驅(qū)動(dòng)部件7-5的步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)，完成對(duì)刀。然后利用基準(zhǔn)確定豎直方向刮削進(jìn)給量和橫向進(jìn)給量， 橫向進(jìn)給量要稍大于基片半徑。然后打開(kāi)氣嘴10開(kāi)關(guān)，氣嘴10噴出氣體(空氣或氮?dú)?。 單次刮削運(yùn)動(dòng)時(shí)，橫向驅(qū)動(dòng)部件7-6帶動(dòng)錐齒輪副7-5運(yùn)轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)橫向精密絲杠7-2旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)的橫向精密絲杠7-2帶動(dòng)底部固定有刀架8-2的橫向滑塊7-3沿兩橫向V型導(dǎo)軌 7-4向前滑動(dòng)，使刀架8-2上的刀片8-1由基片邊緣向基片中心進(jìn)給，利用刀片8-1刮削厚膠膜，氣嘴10中噴出的高壓氣體將切屑吹下基片。當(dāng)?shù)镀?-1經(jīng)過(guò)基片中心后豎向驅(qū)動(dòng)部件4的步進(jìn)電機(jī)反轉(zhuǎn)將橫梁6沿V型導(dǎo)軌升高，然后橫向驅(qū)動(dòng)部件7-5的步進(jìn)電機(jī)快速反轉(zhuǎn)，刀片8-1快速退回到基片外，實(shí)現(xiàn)退刀。然后豎向驅(qū)動(dòng)部件4-4的步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)相應(yīng)角度，帶動(dòng)豎向精密絲杠4-2旋轉(zhuǎn)相應(yīng)角度從而使橫梁6沿V型導(dǎo)軌4-6向下相對(duì)上次刮削滑動(dòng)單次刮削進(jìn)給量，刀片8-1再次橫向進(jìn)給，再次刮削膠膜。檢查經(jīng)刮削并后烘后的膠膜表面質(zhì)量及厚度均勻性，若不滿(mǎn)足要求，重復(fù)上述過(guò)程直至滿(mǎn)足要求。本發(fā)明所述裝置還可單獨(dú)作勻膠機(jī)使用，將橫梁6升起后，通過(guò)承片臺(tái)9-5上的定位基準(zhǔn)定位，將涂有厚膠的基片放置在承片臺(tái)9-5上，基片因負(fù)壓被吸附在承片臺(tái)9-5上。 設(shè)定好承片單元9的電動(dòng)機(jī)9-8的速度調(diào)整過(guò)程(啟動(dòng)、升速、勻速、降速)，電動(dòng)機(jī)9-8在程序的控制下調(diào)整轉(zhuǎn)速直至停止，關(guān)閉負(fù)壓開(kāi)關(guān)，取下基片，完成勻膠。
權(quán)利要求
1.厚膠膜精密整平裝置，其特征在于包括底座(1)和數(shù)顯單元，底座(1)上后部設(shè)置的立柱組件(5)，底座(1)內(nèi)設(shè)有頂部凸出于底座(1)上表面的承片單元(9)，立柱組件(5) 前側(cè)設(shè)有豎向進(jìn)給單元(4)，豎向進(jìn)給單元(4)上設(shè)有前端伸到承片單元(9)正上方的橫梁 (6)，橫梁(6)上設(shè)有橫向進(jìn)給單元(7)，橫向進(jìn)給單元(7)下部設(shè)有膠膜刮平單元(8)，膠膜刮平單元(8)上設(shè)有氣嘴(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚膠膜精密整平裝置，其特征在于所述立柱組件(5)包括下端與底座(1)固定連接的立桿(5-2 )和設(shè)在立桿(5-2 )上端并向前伸的頂梁(5-1)，立桿 (5-2)前側(cè)豎向設(shè)有雙V型導(dǎo)軌(4-6);豎向進(jìn)給單元(4)包括與豎向V型導(dǎo)軌(4-6)滑動(dòng)配合的豎向滑塊(4-5)、設(shè)在頂梁(5-1)上的上軸承組件(4-3)和設(shè)在立桿(5-2)前側(cè)下部且與上軸承組件(4-3)上下同軸的下軸承組件(4-7)，上軸承組件(4-3)和下軸承組件(4-7) 之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有豎向精密絲杠(4-2)，豎向滑塊(4-5)前端與橫梁(6)后端固定連接，橫梁(6) 后部通過(guò)其內(nèi)豎向設(shè)置的滾珠螺母(4-1)與豎向精密絲杠(4-2)螺接配合，豎向精密絲杠 (4-2)上端設(shè)有豎向驅(qū)動(dòng)部件(4-4)，豎向精密絲杠(4-2)的下端連接有電磁離合器(4-8)， 電磁離合器(4-8)后部與立桿(5-2)固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的厚膠膜精密整平裝置，其特征在于所述橫梁(6)前部為方形中空結(jié)構(gòu)，橫梁(6)的中空部分左右兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)橫向V型導(dǎo)軌(7-4);橫向進(jìn)給單元(7)包括與兩橫向V型導(dǎo)軌(7-4)滑動(dòng)配合的橫向滑塊(7-3)、設(shè)在橫梁(6)的中空部分前側(cè)的前軸承組件(7-1)和設(shè)在橫梁(6)的中空部分后側(cè)且與前軸承組件(7-1)前后同軸的后軸承組件(7-7)，前軸承組件(7-1)和后軸承組件(7-7)之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有橫向精密絲杠 (7-2)，橫向精密絲杠(7-2)穿設(shè)在橫向滑塊(7-3)并與橫向滑塊(7-3)螺接配合，橫梁(6) 左側(cè)或右側(cè)設(shè)有橫向驅(qū)動(dòng)部件(7-6 )，橫向驅(qū)動(dòng)部件(7-6 )通過(guò)精密錐齒輪副(7-5 )與橫向精密絲杠(7-2)后端傳動(dòng)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的厚膠膜精密整平裝置，其特征在于所述膠膜刮平單元(8) 包括設(shè)在橫向進(jìn)給單元(7)下部的T形刀架(8-2)和刀架(8-2)上設(shè)置的刀片(8-1)，刀片 (8-1)的刀刃朝下設(shè)置，刀架(8-2)前端設(shè)有扁平狀噴口朝下的氣嘴(10)，氣嘴(10)的噴口下端高于刀片(8-1)的刀刃下端。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的厚膠膜精密整平裝置，其特征在于所述承片單元(9)包括豎直設(shè)置在底座(1)內(nèi)的龍門(mén)支架(9-9)、承片軸承組件(9-1)和動(dòng)力輸出軸朝上電動(dòng)機(jī) (9-8)，龍門(mén)支架(9-9)上部與承片軸承組件(9-1)之間豎直轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有一根上端伸出龍門(mén)支架(9-9)上部的空心軸(9-2)，空心軸(9-2)上設(shè)有從動(dòng)皮帶輪(9-3)和通過(guò)卡銷(xiāo)(9_4) 傳動(dòng)連接的承片臺(tái)(9-5)，從動(dòng)皮帶輪(9-3)位于龍門(mén)支架(9-9)內(nèi)，承片臺(tái)(9-5)設(shè)在空心軸(9-2)上端且凸出于底座(1)上表面，電動(dòng)機(jī)(9-8)的動(dòng)力輸出軸上設(shè)有主動(dòng)皮帶輪 (9-6)，主動(dòng)皮帶輪(9-6)通過(guò)同步齒形帶(9-7)與從動(dòng)皮帶輪(9-3)傳動(dòng)連接，承片軸承組件(9-1)側(cè)部設(shè)有通過(guò)空心軸(9-2)與承片臺(tái)(9-5)連通的排氣口(9-1-1)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的厚膠膜精密整平裝置，其特征在于所述數(shù)顯單元由設(shè)在底座(1)上的顯示器(3)、立桿(5-2)左側(cè)或右側(cè)設(shè)置的豎向光柵尺(3-1)和橫梁(6)左側(cè)或右側(cè)設(shè)置的橫向光柵尺(3-2 )組成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的厚膠膜精密整平裝置，其特征在于所述底座(1)上表面于承片臺(tái)(9-5)外部設(shè)有同軸的切削盤(pán)(2)。
8.8、根據(jù)權(quán)利要求7所述的厚膠膜精密整平裝置，其特征在于所述刀片(8-1)前角為 7 15°，后角為15 25°，刀片(8-1)的刀刃與承片臺(tái)(9-5)軸線(xiàn)垂直相交。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的厚膠膜精密整平裝置，其特征在于所述承片臺(tái)(9-5)包括下部空心結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)軸(17)和上部的圓形平臺(tái)(11)，轉(zhuǎn)軸(17)側(cè)部開(kāi)設(shè)有與卡銷(xiāo)(9-4)配合的卡槽(12)，平臺(tái)(11)上由中心向外等距開(kāi)有不同直徑的環(huán)形槽(13)，平臺(tái)(11)在直徑方向開(kāi)設(shè)有一條直槽(14)將所有環(huán)形槽(13)切斷為對(duì)稱(chēng)的兩部分，平臺(tái)(11)中心設(shè)有與空心軸(9-2)連通的通孔(15)，平臺(tái)(11)上表面一側(cè)設(shè)有一塊作為基片的定位基準(zhǔn)和防止基片扭轉(zhuǎn)的扇形凸起(16)，扇形凸起(16)的弧線(xiàn)與平臺(tái)(11)邊緣重合，扇形凸起(16)高度為 200 300μπιο
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的厚膠膜精密整平裝置，其特征在于所述切屑盤(pán)(2)邊緣高度高于平臺(tái)(11)上表面10 15mm，切屑盤(pán)(2)直徑為130 350mm。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種厚膠膜精密整平裝置，包括底座(1)和數(shù)顯單元，底座(1)上后部設(shè)置的立柱組件(5)，底座(1)內(nèi)設(shè)有頂部凸出于底座(1)上表面的承片單元(9)，立柱組件(5)前側(cè)設(shè)有豎向進(jìn)給單元(4)，豎向進(jìn)給單元(4)上設(shè)有前端伸到承片單元(9)正上方的橫梁(6)，橫梁(6)上設(shè)有橫向進(jìn)給單元(7)，橫向進(jìn)給單元(7)下部設(shè)有膠膜刮平單元(8)，膠膜刮平單元(8)上設(shè)有氣嘴(10)。本發(fā)明所述裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、制造成本低、工作效率高、實(shí)用性強(qiáng)，能較好地解決厚膠膜表面不平整、膠膜厚度難以精確控制的問(wèn)題。
文檔編號(hào)B05C11/04GK102161032SQ201110070748
公開(kāi)日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2011年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月23日
發(fā)明者呂珍斌, 尚顯光, 明平美, 李新華, 李松昭, ?？∮? 王艷麗 申請(qǐng)人:河南理工大學(xué)