專利名稱：藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液及其配制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液及其配制方法。
背景技術(shù)：
通常金剛石研磨液是采用金剛石粉和水進(jìn)行配置，使用時(shí)需要用手搖晃，這樣對(duì)于金剛石研磨液來(lái)說(shuō)，均勻度不好，有沉淀現(xiàn)象，不利于研磨。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液及其配制方法， 所得研磨液均勻度好，利于研磨。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液，由金剛石粉、水和懸浮液組成，金剛石粉、水和懸浮液的重量比=1 10 1，所述懸浮液由分散劑、懸浮劑和防銹劑組成，分散劑、懸浮劑和防銹劑的重量比=2 5 1，所述分散劑為高分子有機(jī)醇，所述懸浮劑為高分子化合物，所述防銹劑為堿。作為優(yōu)選，所述高分子有機(jī)醇為乙二醇。作為優(yōu)選，所述高分子化合物為硬脂酸。作為優(yōu)選，所述堿為氫氧化鈉。藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液的配制方法，包括以下步驟a、按照權(quán)利要求1所述配比稱取原料混合；b、將步驟a所得液體用超聲波振蕩儀振蕩10分鐘；C、將步驟b所得液體過(guò)濾；d、將步驟c所得液體用超聲波振蕩儀振蕩15分鐘。作為優(yōu)選，所述超聲波振蕩儀的頻率為^Wiz,功率為200w。本發(fā)明由于采用了上述技術(shù)方案，所得研磨液均勻度好，利于研磨，可使加工結(jié)束后的晶片表面粗糙度大為改善，且減少了塌邊的產(chǎn)生，大大提高加工效率，使得晶片平整度大為提高。
具體實(shí)施例方式藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液，由金剛石粉、水和懸浮液組成，金剛石粉、水和懸浮液的重量比=1 10 1，加入懸浮液，使研磨液粒徑分布更加均勻。所述懸浮液由乙二醇、 硬脂酸和氫氧化鈉組成，乙二醇、硬脂酸和氫氧化鈉的重量比=2 5 1。藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液的配制方法，包括以下步驟a、按照權(quán)利要求1所述配比稱取原料混合；b、將步驟a所得液體用超聲波振蕩儀振蕩10分鐘；C、將步驟b所得液體過(guò)濾；d、將步驟c所得液體用超聲波振蕩儀振蕩15分鐘。所述超聲波振蕩儀的頻率為 ^khz,功率為 200w。研磨液磨削效率較大，研磨過(guò)程中由于藍(lán)寶石晶片與研磨液中固體顆粒在運(yùn)動(dòng)中進(jìn)行不斷的摩擦，因而會(huì)產(chǎn)生大量的熱，若不及時(shí)將其分散帶走，產(chǎn)生的熱量堆積后會(huì)使其表面產(chǎn)生微小的形變，進(jìn)而影響研磨質(zhì)量；通過(guò)優(yōu)化研磨液的循環(huán)運(yùn)動(dòng)方式，將研磨過(guò)程中所產(chǎn)生的熱量帶走，從而有效解決研磨過(guò)程中的散熱問(wèn)題。散熱問(wèn)題解決后使用本發(fā)明的研磨液大大縮短了加工所需時(shí)間，使加工結(jié)束后的晶片表面粗糙度大為改善，且減少了塌邊的產(chǎn)生，大大提高加工效率，使得晶片平整度大為提高，晶片表面現(xiàn)象更加光滑，使加工結(jié)束后的晶片平整度彡2um(國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)彡15um)。
權(quán)利要求
1.藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液，其特征在于由金剛石粉、水和懸浮液組成，金剛石粉、 水和懸浮液的重量比=1 10 1，所述懸浮液由分散劑、懸浮劑和防銹劑組成，分散劑、懸浮劑和防銹劑的重量比=2 5 1，所述分散劑為高分子有機(jī)醇，所述懸浮劑為高分子化合物，所述防銹劑為堿。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液，其特征在于所述高分子有機(jī)醇為乙二醇。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液，其特征在于所述高分子化合物為硬脂酸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液，其特征在于所述堿為氫氧化鈉。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液的配制方法，其特征在于包括以下步驟a、按照權(quán)利要求1所述配比稱取原料混合；b、將步驟a所得液體用超聲波振蕩儀振蕩10分鐘；C、將步驟b所得液體過(guò)濾；d、將步驟c所得液體用超聲波振蕩儀振蕩15分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液的配制方法，其特征在于所述超聲波振蕩儀的頻率為^Wiz,功率為200w。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種藍(lán)寶石襯底片精磨研磨液，由金剛石粉、水和懸浮液組成，金剛石粉、水和懸浮液的重量比＝1∶10∶1，所述懸浮液由分散劑、懸浮劑和防銹劑組成，分散劑、懸浮劑和防銹劑的重量比＝2∶5∶1，所述分散劑為高分子有機(jī)醇，所述懸浮劑為高分子化合物，所述防銹劑為堿。本發(fā)明由于采用了上述技術(shù)方案，所得研磨液均勻度好，利于研磨，可使加工結(jié)束后的晶片表面粗糙度大為改善，且減少了塌邊的產(chǎn)生，大大提高加工效率，使得晶片平整度大為提高。
文檔編號(hào)C09K3/14GK102212333SQ201110097508
公開(kāi)日2011年10月12日 申請(qǐng)日期2011年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月19日
發(fā)明者李鵬 申請(qǐng)人:浙江露笑光電有限公司