專利名稱：擴(kuò)散源噴涂機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散源噴涂機(jī)。
背景技術(shù)：
在晶體硅太陽電池制造過程中，通過擴(kuò)散工藝形成PN結(jié)是非常關(guān)鍵的步驟。擴(kuò) 散工藝包括鏈?zhǔn)綌U(kuò)散或管式擴(kuò)散，鏈?zhǔn)綌U(kuò)散具有工藝簡單高效的優(yōu)點。由于業(yè)界通常使用 P型摻雜的硅片制造晶體硅太陽電池，在鏈?zhǔn)綌U(kuò)散設(shè)備中進(jìn)行擴(kuò)散制結(jié)時，通常先通過擴(kuò)散 源噴涂機(jī)在硅片表面噴涂磷酸水溶液?，F(xiàn)有技術(shù)中，擴(kuò)散源噴涂機(jī)采用滾軸傳動，在滾軸上 套裝有一定數(shù)量的用于支撐硅片的滾輪環(huán)，滾輪環(huán)采用橡膠材料制成，滾軸轉(zhuǎn)動時，滾輪環(huán) 通過與硅片之間的摩擦力驅(qū)動硅片向前勻速運(yùn)動，同時硅片上方的噴頭將磷酸水溶液均勻 噴涂在硅片上。在具體生產(chǎn)過程中，前后兩塊硅片之間難免會存在間隙，會有少量的磷酸噴 到滾軸上的橡膠滾輪環(huán)上，隨后傳動來的硅片的背面會粘附有少量磷酸；硅片經(jīng)過后續(xù)的 PECVD (等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)鍍氮化硅膜工序后，硅片背面粘附有磷酸的部位會產(chǎn) 生白斑，導(dǎo)致硅片因外觀不合格而降級，造成大量返工，嚴(yán)重影響生產(chǎn)，增加了硅片的生產(chǎn) 成本。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種擴(kuò)散源噴涂機(jī)，所 述噴涂機(jī)的滾輪環(huán)不易粘附磷酸，可以有效克服硅片背面產(chǎn)生白斑的問題，并提高硅片外 觀合格率。按照本實用新型提供的技術(shù)方案，擴(kuò)散源噴涂機(jī)，包括滾軸，滾軸上套裝有用于支 撐和傳送硅片的滾輪環(huán)，所述滾輪環(huán)采用氟素塑料制成。優(yōu)選地，所述氟素塑料包括聚四氟乙烯和聚偏氟乙烯。優(yōu)選地，所述擴(kuò)散源為磷酸水溶液。優(yōu)選地，所述滾輪環(huán)依靠自身彈性箍緊在滾軸上。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，優(yōu)點在于滾輪環(huán)采用氟素塑料制成，磷酸不易粘附 在滾輪環(huán)上，硅片背面不易粘附上磷酸，硅片經(jīng)PECVD鍍氮化硅膜工序后，不會在背面產(chǎn)生 白斑，解決了硅片因外觀不合格而導(dǎo)致的降級現(xiàn)象，提高了所產(chǎn)出太陽電池的成品率。

圖1為擴(kuò)散源噴涂機(jī)的滾軸結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合具體附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明。本實用新型的擴(kuò)散源噴涂機(jī)用于在硅片進(jìn)鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐前向硅片上噴涂擴(kuò)散源，如 圖1所示擴(kuò)散源噴涂機(jī)采用滾軸1傳動，滾軸1上套裝有一定數(shù)量的用于支撐和傳送硅片3的滾輪環(huán)2，滾軸1轉(zhuǎn)動時，滾輪環(huán)2通過與硅片3之間的摩擦力驅(qū)動硅片3向前勻速運(yùn) 動，同時硅片3上方的噴頭噴出的磷酸水溶液均勻分布在硅片3上。 本實用新型中的滾輪環(huán)2采用氟素塑料制成，滾輪環(huán)2依靠自身彈性箍緊在滾軸 1上。所述氟素塑料為聚四氟乙烯或聚偏氟乙烯等。當(dāng)少量的磷酸從前后兩塊硅片3之間 的間隙噴到滾輪環(huán)2上時，磷酸不易吸附在滾輪環(huán)2上，隨后傳動來的硅片3的背面基本不 會粘附磷酸 ’硅片3經(jīng)過后續(xù)的PECVD鍍氮化硅膜工序后，不會在背面產(chǎn)生白斑，解決了硅 片3因外觀不合格而導(dǎo)致的降級現(xiàn)象，降低了生產(chǎn)成本。
權(quán)利要求1.擴(kuò)散源噴涂機(jī)，包括滾軸(1)，滾軸(1)上套裝有用于支撐和傳送硅片(3)的滾輪環(huán) (2)，其特征在于所述滾輪環(huán)(2)采用氟素塑料制成。
2.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散源噴涂機(jī)，其特征在于所述擴(kuò)散源為磷酸水溶液。
3.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散源噴涂機(jī)，其特征在于所述滾輪環(huán)(2)依靠自身彈性箍緊 在滾軸(1)上。
專利摘要本實用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散源噴涂機(jī)。按照本實用新型提供的技術(shù)方案，擴(kuò)散源噴涂機(jī)包括滾軸，滾軸上套裝有用于支撐和傳送硅片的滾輪環(huán)，所述滾輪環(huán)采用氟素塑料制成。本實用新型中的滾輪環(huán)采用氟素塑料制成，磷酸不易粘附在滾輪環(huán)上，硅片背面不易粘附上磷酸，硅片經(jīng)PECVD鍍氮化硅膜工序后，不會在背面產(chǎn)生白斑，解決了硅片因外觀不合格而導(dǎo)致的降級現(xiàn)象，降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號B05D7/24GK201921782SQ20112000252
公開日2011年8月10日 申請日期2011年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月6日
發(fā)明者左凱峰, 陳彥博, 高琦 申請人:無錫尚德太陽能電力有限公司