專利名稱：樹脂涂布裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及以覆蓋半導(dǎo)體晶片等工件(被加工物)的一個表面的方式涂布樹脂的樹脂涂布裝置。
背景技術(shù)：
為了除去用于半導(dǎo)體器件的制造上的工件的起伏和翹曲，提出有如下的方法在工件的一個表面涂布樹脂，并在使樹脂硬化后磨削工件從而將工件表面加工得平坦(例如，參考專利文獻(xiàn)I)。作為像這樣涂布樹脂的裝置，提出有如下的裝置在將工件載置于供給到載置臺上的液狀的樹脂上后，通過使按壓墊下降而朝向樹脂按壓工件，從而在工件的背面整體均勻地涂布樹脂(例如，參考專利文獻(xiàn)2)。專利文獻(xiàn)I :日本特開2009-148866號公報專利文獻(xiàn)2 :日本特開2010-155298號公報然而，現(xiàn)有的樹脂涂布裝置是通過使按壓墊下降至預(yù)先設(shè)定好的預(yù)定的位置來朝向樹脂按壓工件的結(jié)構(gòu)，因此由于工件厚度的不均或樹脂的量的增減，產(chǎn)生了樹脂無法恰當(dāng)?shù)財U(kuò)展、無法在工件的背面整體均勻地涂布樹脂這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于所述問題而完成的，其目的在于提供一種樹脂涂布裝置，能夠與工件厚度的不均或樹脂的量的增減無關(guān)地使樹脂恰當(dāng)?shù)財U(kuò)展。本發(fā)明的樹脂涂布裝置包括按壓部，所述按壓部具有能夠吸附保持工件的按壓面；載置臺，所述載置臺與所述按壓面對置地配設(shè)；樹脂供給部，所述樹脂供給部向所述載置臺的上表面供給液狀樹脂；移動部，所述移動部使所述按壓面相對于所述載置臺接近和離開；以及控制部，所述控制部控制所述移動部的動作，以保持于所述按壓面的所述工件對供給至所述載置臺的上表面的所述液狀樹脂自上方進(jìn)行按壓來使所述液狀樹脂在所述工件的下表面擴(kuò)展，其特征在于，所述按壓部具有檢測壓力的壓力傳感器，該壓力是在通過利用所述移動部使所述按壓面所保持的所述工件接近所述載置臺而使所述液狀樹脂在所述工件下表面擴(kuò)展時所述按壓面所受到的壓力，所述控制部基于所述壓力傳感器檢測出的壓力來控制所述移動部的動作。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于在以保持于按壓面的工件對供給至載置臺上表面的液狀樹脂自上方進(jìn)行按壓時能夠與按壓部所受到的壓力的變化對應(yīng)地調(diào)節(jié)按壓部的壓入量，因此能夠與樹脂厚度的不均和樹脂的量的增減無關(guān)地使樹脂恰當(dāng)?shù)財U(kuò)展。此外，優(yōu)選的是，在上述樹脂涂布裝置中，當(dāng)所述壓力傳感器檢測到的壓力在預(yù)先設(shè)定的壓力以上時，所述控制部停止利用所述移動部使所述按壓面所保持的所述工件接近所述載置臺。另外，優(yōu)選的是，在上述樹脂涂布裝置中，當(dāng)所述壓力傳感器檢測到的壓力在剛剛檢測到的壓力以下時，所述控制部停止利用所述移動部使所述按壓面所保持的所述工件接近所述載置臺。根據(jù)本發(fā)明，能夠與工件厚度的不均和樹脂的量的增減無關(guān)地使樹脂恰當(dāng)?shù)財U(kuò)展。


圖I是本實施方式的樹脂涂布裝置的立體圖。圖2是本實施方式的盒收納部的立體圖。圖3是本實施方式的盒收納部的剖視示意圖。圖4是本實施方式的外部門和內(nèi)部門的開閉動作的說明圖。圖5是本實施方式的粘貼裝置的剖視示意圖。圖6是本實施方式的粘貼裝置的粘貼動作的說明圖。圖7是示出本實施方式的按壓傳感器的測定值與從移動部的移動開始起經(jīng)過的經(jīng)過時間之間的一般性的關(guān)系的圖。圖8是示出本實施方式的按壓傳感器的測定結(jié)果的一例的圖。圖9是對表示本實施方式的與保持板-載置臺之間的間隙的變化對應(yīng)的壓力傳感器的測定結(jié)果的映射圖的一例進(jìn)行示出的圖。圖10是本實施方式的粘貼裝置的裝配作業(yè)的說明圖。圖11是本實施方式的薄膜供給部的側(cè)視示意圖。圖12是本實施方式的第一鼓風(fēng)部和第二鼓風(fēng)部的放大圖。圖13是本實施方式的卷裝薄膜支承部的局部剖視示意圖。圖14A是由本實施方式的薄膜供給部實現(xiàn)的薄膜切斷動作的說明圖。圖14B是由本實施方式的薄膜供給部實現(xiàn)的薄膜切斷動作的說明圖。圖15是由本實施方式的卷裝薄膜支承部實現(xiàn)的卷裝薄膜的鎖定動作和解鎖動作的說明圖。圖16是對表示本實施方式的與卷裝薄膜的變化對應(yīng)的光傳感器的測定結(jié)果的映射圖的一例進(jìn)行示出的圖。圖17是本實施方式的載置臺的示意圖。圖18是本實施方式的薄膜搬送部的剖視示意圖。圖19是由本實施方式的薄膜搬送部實現(xiàn)的薄膜的貼附動作的說明圖。圖20是使用變形例的薄膜保持部的、薄膜的貼附動作的說明圖。圖21是另一變形例的載置臺的剖視示意圖。標(biāo)號說明I :樹脂涂布裝置；2 :外部殼體；3 :底座臺；4、5 :盒;6 :控制部；100:盒收納部；
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200第一工件搬送部；
300第二工件搬送部；
400工件檢測部；
500薄膜切斷部；
600粘貼裝置；
601基座；
602載置臺；
603樹脂供給部；
604按壓部；
605立柱部；
606移動部；
611導(dǎo)軌；
612Z軸工作臺；
613支承部；
621底座部件；
622凹部；
623按壓板；
624保持板；
631流路；
632氣體抽吸部；
633壓力傳感器；
634按壓面；
635按壓傳感器；
636發(fā)光部；
637氣體供給部；
651凹部；
652第一保持面；
653第二保持面；
654側(cè)面；
655第一抽吸口；
656第二抽吸口；
657密閉空間；
700薄膜供給部；
800薄膜搬送部。
具體實施例方式下面，參考附圖詳細(xì)地說明本實施方式。圖I是本實施方式的樹脂涂布裝置的立體圖。另外，本實施方式的樹脂涂布裝置并不限定于圖I所示的結(jié)構(gòu)。樹脂涂布裝置只要是利用液狀樹脂在工件的一個面粘貼薄膜的話，可以具有任意的結(jié)構(gòu)。另外，在圖I中為了說明的方便，以虛線示出了樹脂涂布裝置的外部殼體。如圖I所示，樹脂涂布裝置I配置在磨削加工的前一階段，該樹脂涂布裝置I以利用液狀樹脂將薄膜S粘貼在工件W的下表面的方式構(gòu)成。該樹脂涂布裝置I以如下方式進(jìn)行動作向被吸附保持于載置臺602的薄膜S供給液狀樹脂，使在載置臺602的上方保持于按壓部604的工件W相對于薄膜S自上方進(jìn)行按壓。樹脂涂布裝置I通過相對于薄膜S按壓工件W而使液狀樹脂遍及器件表面的整個區(qū)域。工件W是形成器件圖案之前的工件，所述工件W可通過以鋼絲鋸切斷圓柱狀的結(jié)晶塊得到。在工件W的下表面粘貼有液狀樹脂以吸收由鋼絲鋸進(jìn)行切斷時發(fā)生的起伏和翹曲等。工件W在收納于盒4的狀態(tài)下被搬入到樹脂涂布裝置I。另外，工件W并不限定于硅晶片(Si)、砷化鎵(GaAs)JMt- (SiC)等晶片。例如也可以將陶瓷、玻璃、藍(lán)寶石(Al2O3)類的無機(jī)材料基板、板狀金屬或樹脂的延展性材料、要求微米級至亞微米級的平坦度(TTV Total Thickness Variation,總厚度偏差)的各種加工材料作為工件。另外，此處所稱的平坦度表示的是以工件W的被磨削面作為基準(zhǔn)面沿厚度方向進(jìn)行測定得到的高度中最大值與最小值的差。此外，薄膜S例如是聚對苯二甲酸乙二醇酯等具有彈性的柔軟的材料即可。樹脂涂布裝置I具有沿X軸方向延伸的長方體狀的外部殼體2。在外部殼體2的后端部設(shè)有盒收納部100，該盒收納部100具有上下兩層的盒座103 (參考圖2)。在上層的盒座103載置用于收納加工前的工件W的搬入側(cè)的盒4。在下層的盒座103載置用于收納帶薄膜S的工件W的搬出側(cè)的盒5。在外部殼體2內(nèi)，在盒收納部100的前方設(shè)有第一工件搬送部200，該第一工件搬送部200相對于盒4、5進(jìn)行工件W的搬入和搬出。第一工件搬送部200的前方空間由被立柱部605的背面支承的底座臺3上下地分開。在底座臺3的上表面設(shè)有工件檢測部400，該工件檢測部400檢測加工前的工件W的位置和朝向。在底座臺3的下表面設(shè)有薄膜切斷部500，該薄膜切斷部500將粘貼于工件W 的薄膜S沿工件W的外形切斷。第一工件搬送部200將加工前的工件W從上層的盒4內(nèi)搬送到工件檢測部400，并將帶薄膜S的工件W從薄膜切斷部500搬送到下層的盒5內(nèi)。在工件檢測部400和薄膜切斷部500的前方設(shè)有粘貼裝置600，該粘貼裝置600利用液狀樹脂將保護(hù)用的薄膜S粘貼于工件W。粘貼裝置600包括吸附保持薄膜S的載置臺602 ;和在載置臺602的上方吸附保持工件W的按壓部604。在載置臺602的附近設(shè)有樹脂供給部603，該樹脂供給部603向載置臺602上的薄膜S供給光硬化性的液狀樹脂。粘貼裝置600通過使保持著工件W的按壓部604接近被供給了液狀樹脂的薄膜S來進(jìn)行粘貼動作。此外，在粘貼裝置600的基座601內(nèi)設(shè)有發(fā)光部636 (參考圖5)，該發(fā)光部636隔著載置臺602向液狀樹脂照射光。在工件檢測部400和薄膜切斷部500的側(cè)方設(shè)有第二工件搬送部300，該第二工件搬送部300在工件檢測部400與粘貼裝置600之間以及粘貼裝置600與薄膜切斷部500 之間搬送工件W。第二工件搬送部300將加工前的工件W從工件檢測部400搬送至按壓部 604，并將帶薄膜S的工件W從載置臺602搬送至薄膜切斷部500。在粘貼裝置600的前方設(shè)有向粘貼裝置600供給薄膜S的薄膜供給部700。薄膜供給部700將從卷裝薄膜R送出的薄膜S以預(yù)定長度切斷。在薄膜供給部700的側(cè)方設(shè)有薄膜搬送部800，該薄膜搬送部800將來自薄膜供給部700的薄膜S搬送至粘貼裝置600。薄膜搬送部800對在薄膜供給部700以預(yù)定長度切斷了的薄膜S進(jìn)行保持并將該薄膜S搬送至載置臺602上。此外，在外部殼體2設(shè)有總體控制樹脂涂布裝置I的各部分的控制部6。控制部6由執(zhí)行樹脂涂布裝置I的各種處理的處理器、存儲器等構(gòu)成。存儲器根據(jù)用途不同而由ROM (Read Only Memory,只讀存儲器)、 RAM (Random Access Memory,隨機(jī)訪問存儲器)等的一個或多個存儲介質(zhì)構(gòu)成。在如此構(gòu)成的樹脂涂布裝置I中，從搬入側(cè)的盒4將加工前的工件W搬送至粘貼裝置600，并且從薄膜供給部700將薄膜S搬送至粘貼裝置600。接著，在粘貼裝置600將工件W與薄膜S貼合在一起，然后將帶薄膜S的工件W搬送至薄膜切斷部500。帶薄膜的工件W在薄膜切斷部500沿工件W的外形將薄膜S切斷，然后將帶薄膜的工件W搬送至搬出側(cè)的盒5。下面，分別說明構(gòu)成樹脂涂布裝置的各部分。首先，對盒收納部的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖2是本實施方式的盒收納部的立體圖。另外，在圖2中，為了說明方便，將盒收納部的殼體部分以虛線不出。如圖2所示，盒收納部100作為相對于樹脂涂布裝置I的盒4的搬入口和搬出口動作。盒收納部100具有構(gòu)成外部殼體2的后端側(cè)的側(cè)壁部的收納部主體101。在收納部主體101以上下兩層的形式形成有盒用的左右一對收納間102。在上層的兩個收納間分別收納搬入側(cè)的盒4，在下層的兩個收納間分別收納搬出側(cè)的盒5。各收納間102將樹脂涂布裝置I的內(nèi)側(cè)與外側(cè)連接起來，使工件W經(jīng)由裝置內(nèi)側(cè)的開口端相對于盒4、5出入，并經(jīng)由裝置外側(cè)的開口端搬入和搬出盒4、5。在各收納間102的底面設(shè)有載置盒4、5的盒座103。盒座103被安裝成能夠在各收納間102借助上下兩層的滑動板104、105而向裝置外側(cè)滑動。在收納部主體101設(shè)有 四個滑動式的外部門106，它們對各收納間102的裝置外側(cè)的開口進(jìn)行開閉；以及四個滑動式的內(nèi)部門107，它們對各收納間102的裝置內(nèi)側(cè)的開口進(jìn)行開閉。各外部門106安裝在收納部主體101的面對樹脂涂布裝置I的外部的側(cè)面，并由操作者手動開閉。各內(nèi)部門107 安裝在收納部主體101的面對樹脂涂布裝置I的內(nèi)部的側(cè)面，并且所述各內(nèi)部門107與樹脂涂布裝置I的動作配合地自動開閉。上層的收納間102的外部門106和內(nèi)部門107通過向上方的滑動而成為打開狀態(tài)，并通過向下方的滑動而成為關(guān)閉狀態(tài)。下層的收納間102的外部門106和內(nèi)部門107通過向上方的滑動而成為關(guān)閉狀態(tài)，并通過向下方的滑動而成為打開狀態(tài)。此外，在收納部主體101設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu)，該鎖定機(jī)構(gòu)將各外部門106和各內(nèi)部門107在關(guān)閉狀態(tài)下鎖定。鎖定機(jī)構(gòu)在對應(yīng)的外部門106和內(nèi)部門107中的任意一方為打開狀態(tài)的情況下，將任意另一方以關(guān)閉狀態(tài)鎖定。參考圖3，說明盒收納部的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。圖3是本實施方式的盒收納部的剖視示意圖。如圖3所示，盒座103具有上下兩層的滑動板104、105，該上下兩層的滑動板104、 105以能夠相對于各收納間102的底面滑動的方式配置。下層的滑動板104相對于各收納間102的底面以能夠朝向裝置外側(cè)滑動的方式卡合，上層的滑動板105相對于下層的滑動板104以能夠朝向裝置外側(cè)滑動的方式卡合。盒座103構(gòu)成為能夠在前位置和后位置之間滑動移動，所述前位置是能夠使第一工件搬送部200進(jìn)入盒4內(nèi)的位置，所述后位置是比該前位置要遠(yuǎn)離內(nèi)部門107的位置。更為詳細(xì)地來說，下層的滑動板104的靠內(nèi)部門107側(cè)的一端部111在收納間102 的底面上移動，并且該一端部111在收納間102的裝置內(nèi)側(cè)的開口端與相對于該開口端向裝置外側(cè)離開了的離開位置之間移動。此外，上層的滑動板105的靠內(nèi)部門107側(cè)的一端部112在下層的滑動板104上移動，并且該一端部112在下層的滑動板104的一端部111 與相對于該一端部111向裝置外側(cè)離開了的離開位置之間移動。由此，盒座103被大幅地朝向裝置外側(cè)拉出，提高了操作者所進(jìn)行的盒4、5的搬入作業(yè)和搬出作業(yè)的作業(yè)性。外部門106被安裝成能夠相對于收納部主體101的外側(cè)面沿上下方向滑動。外部門106通過操作者的手動操作而開閉。上層的外部門106被定位于使收納間102的裝置外側(cè)的開口端關(guān)閉的關(guān)閉位置和使收納間102的裝置外側(cè)的開口端打開的打開位置，所述打開位置從關(guān)閉位置向上方離開。下層的外部門106被定位于使收納間102的裝置外側(cè)的開口端關(guān)閉的關(guān)閉位置和使收納間102的裝置外側(cè)的開口端打開的打開位置，所述打開位置從關(guān)閉位置向下方離開。內(nèi)部門107被安裝成能夠相對于收納部主體101的內(nèi)側(cè)面沿上下方向滑動。內(nèi)部門107與樹脂涂布裝置I的動作配合地自動開閉。上層的內(nèi)部門107被定位于使收納間 102的裝置內(nèi)側(cè)的開口端關(guān)閉的關(guān)閉位置和使收納間102的裝置內(nèi)側(cè)的開口端打開的打開位置，所述打開位置從關(guān)閉位置向上方離開。下層的內(nèi)部門107被定位于使收納間102的裝置內(nèi)側(cè)的開口端關(guān)閉的關(guān)閉位置和使收納間102的裝置內(nèi)側(cè)的開口端打開的打開位置， 所述打開位置從關(guān)閉位置向下方離開。此外，在上層的外部門106和內(nèi)部門107的上端部形成有鎖定用的卡合孔113。在下層的外部門106和內(nèi)部門107的下端部形成有鎖定用的卡合孔113。這樣，在本實施方式的盒收納部100中，將內(nèi)部門107和外部門106設(shè)成橫向兩列且上下兩層，并且沿上下方向開閉。由此，能夠減小盒收納部100的左右方向的尺寸，縮窄操作者在多個加工裝置橫向并排地配置的工廠等中的移動范圍，能夠減輕操作者的負(fù)擔(dān)。鎖定機(jī)構(gòu)與各外部門106和各內(nèi)部門107分別對應(yīng)地具有設(shè)于收納部主體101的鎖定銷114和門傳感器115。上層的鎖定銷114與定位于關(guān)閉位置的外部門106和內(nèi)部門 107的上端部對應(yīng)地進(jìn)行配置。上層的門傳感器115在上層的鎖定銷114的附近相對于定位于打開位置的外部門106和內(nèi)部門107的上端部向上方偏離地進(jìn)行配置。下層的鎖定銷 114與定位于關(guān)閉位置的外部門106和內(nèi)部門107的下端部對應(yīng)地進(jìn)行配置。下層的門傳感器115在下層的鎖定銷114的附近相對于定位于打開位置的外部門106和內(nèi)部門107的下端部向下方偏離地進(jìn)行配置。鎖定銷114被設(shè)成能夠與門傳感器115的檢測對應(yīng)地借助未圖示的電磁線圈等相對于收納部主體101的外側(cè)面和內(nèi)側(cè)面進(jìn)出。鎖定銷114由未圖示的復(fù)位彈簧向收納部主體101內(nèi)側(cè)施力，并且通過使電磁線圈通電而克服復(fù)位彈簧的作用力向收納部主體101外突出。鎖定銷114通過與外部門106和內(nèi)部門107的卡合孔113卡合來將外部門106和內(nèi)部門107在關(guān)閉狀態(tài)下鎖定。門傳感器115例如是光傳感器，其通過被外部門106和內(nèi)部門107遮蔽來檢測外部門106和內(nèi)部門107的打開狀態(tài)。當(dāng)外部門106用的門傳感器115檢測到外部門106的打開狀態(tài)后，向同一收納間的內(nèi)部門107用的鎖定銷114供給驅(qū)動電流。相反地，當(dāng)內(nèi)部門107用的門傳感器115檢測到內(nèi)部門107的打開狀態(tài)后向同一收納間的外部門106用的鎖定銷114供給驅(qū)動電流。這樣，鎖定機(jī)構(gòu)根據(jù)外部門106用的門傳感器115檢測到外部門106這一情況，使與同一盒座103對應(yīng)的內(nèi)部門107用的鎖定銷114鎖定內(nèi)部門107。此外，鎖定機(jī)構(gòu)根據(jù)內(nèi)部門107用的門傳感器115檢測到內(nèi)部門107這一情況，使與同一盒座103對應(yīng)的外部門 106用的鎖定銷114鎖定外部門106。由此，當(dāng)外部門106和內(nèi)部門107中的任意一方從關(guān)閉位置滑動時，任意另一方不會從關(guān)閉位置滑動，提高了操作者的作業(yè)的安全性。參考圖4，說明外部門和內(nèi)部門的開閉動作。圖4是本實施方式的外部門和內(nèi)部門的開閉動作的說明圖。另外，在圖4中，對上層的外部門和內(nèi)部門的開閉動作進(jìn)行說明，下層的外部門和內(nèi)部門也是同樣的。如圖4的(a)所示，在初始狀態(tài)下，外部門106和內(nèi)部門107定位于關(guān)閉位置。在該情況下，外部門106用的鎖定銷114與外部門106的卡合孔113對位，內(nèi)部門107用的鎖定銷114與內(nèi)部門107的卡合孔113對位。各鎖定銷114借助復(fù)位彈簧的作用力被向收納部主體101內(nèi)施力，從而相對于對應(yīng)的卡合孔113離開。如圖4的(b)所示，當(dāng)由操作者使外部門106向上方(打開位置)滑動時，由外部門106將外部門106用的門傳感器115遮蔽。當(dāng)外部門106用的門傳感器115被遮蔽時， 檢測出外部門106的打開狀態(tài)，向包圍內(nèi)部門107用的鎖定銷114的電磁線圈接通驅(qū)動電流。接著，內(nèi)部門107用的鎖定銷114克服復(fù)位彈簧的作用力而被驅(qū)動，鎖定銷114向內(nèi)部門107的卡合孔113內(nèi)突出。由此，內(nèi)部門107在關(guān)閉狀態(tài)下被鎖定銷114鎖定。接著，由操作者將盒座103拉出到外部，將前門敞開的盒4載置到盒座103。此時， 由于樹脂涂布裝置I的內(nèi)側(cè)和外側(cè)由內(nèi)部門107分隔開，因此確保了操作者的作業(yè)的安全性。接著，當(dāng)由操作者將外部門106滑動到關(guān)閉位置時，外部門106用的門傳感器115露出， 從而停止對包圍內(nèi)部門107用的鎖定銷114的電磁線圈接通驅(qū)動電流。接著，內(nèi)部門107 用的鎖定銷114通過復(fù)位彈簧的作用力而被向收納部主體101側(cè)壓回，鎖定銷114從內(nèi)部門107的卡合孔113退避。由此，關(guān)閉狀態(tài)的內(nèi)部門107被解鎖。如圖4的(C)所示，當(dāng)利用第一工件搬送部200取出工件W時，使內(nèi)部門107向上方(打開位置)滑動，由內(nèi)部門107將內(nèi)部門107用的門傳感器115遮蔽。當(dāng)內(nèi)部門107 用的門傳感器115被遮蔽時，檢測出內(nèi)部門107的打開狀態(tài)，向包圍外部門106用的鎖定銷 114的電磁線圈接通驅(qū)動電流。接著，外部門106用的鎖定銷114克服復(fù)位彈簧的作用力而被驅(qū)動，鎖定銷114向外部門106的卡合孔113內(nèi)突出。由此，外部門106在關(guān)閉狀態(tài)下被鎖定銷114鎖定。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，當(dāng)?shù)谝还ぜ崴筒?00取出工件W時，操作者不能打開外部門106，因此確保了操作者的作業(yè)的安全性。接著，當(dāng)由第一工件搬送部200從盒4將所有的工件W 取出時，內(nèi)部門107滑動到關(guān)閉位置，內(nèi)部門107用的門傳感器115露出，從而停止對包圍外部門106用的鎖定銷114的電磁線圈接通驅(qū)動電流。接著，外部門106用的鎖定銷114 通過復(fù)位彈簧的作用力而被向收納部主體101側(cè)壓回，鎖定銷114從外部門106的卡合孔 113退避。由此，關(guān)閉狀態(tài)的外部門106被解鎖。另外，在本實施方式中，分別在上層的盒座103載置搬入側(cè)的盒4，并在下層的盒座103載置搬出側(cè)的盒5，然而并不限定于此。也可以在上層的盒座103載置搬出側(cè)的盒5，而在下層的盒座103載置搬入側(cè)的盒4。此外，也可以將搬入側(cè)的盒4和搬出側(cè)的盒5分開載置于左右的盒座103。此外，在本實施方式中，將盒用的左右一對收納間以上下兩層的方式形成為四個， 不過收納間的數(shù)量能夠適當(dāng)改變?？梢詢H形成兩個收納間，也可以形成四個以上收納間。此外，在本實施方式中，在收納間設(shè)有外部門106，然而也可以不設(shè)外部門106。此外，外部門106并不限定為滑動式的門，也可以是回轉(zhuǎn)式的門。此外，外部門106并不限定為以手動開閉的結(jié)構(gòu)，也可以是半自動地開閉的結(jié)構(gòu)。此外，在本實施方式中，將盒座103形成為通過上下兩層的滑動板104、105拉出的結(jié)構(gòu)，然而也可以是通過一個滑動板拉出的結(jié)構(gòu)。此外，也可以構(gòu)成為僅將下層的盒座103 向裝置外側(cè)拉出，而不將上層的盒座103向裝置外側(cè)拉出。此外，盒4也可以是伴隨著外部門106向打開位置的滑動而被拉到裝置外側(cè)。此外，在本實施方式中，鎖定機(jī)構(gòu)利用門傳感器115和鎖定銷114鎖定外部門106 和內(nèi)部門107，然而并不限定于此。鎖定機(jī)構(gòu)只要是在同一收納間102的外部門106和內(nèi)部門107中的任意一方處于打開狀態(tài)的時候使任意另一方以關(guān)閉狀態(tài)鎖定即可。此外，在本實施方式中，在收納部主體101設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu)，然而也可以是不設(shè)鎖定機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。此外，在設(shè)置鎖定機(jī)構(gòu)的情況下，至少在內(nèi)部門107處于打開狀態(tài)的時候使外部門106以關(guān)閉狀態(tài)鎖定即可?；氐綀D1，說明第一工件搬送部、工件檢測部、第二工件搬送部、薄膜切斷部。如圖 I所示，第一工件搬送部200構(gòu)成為被支承在一對導(dǎo)軌201上，并且能夠借助滾珠絲杠式的移動機(jī)構(gòu)沿Y軸方向移動，所述一對導(dǎo)軌201配置在外部殼體2的底壁部并與Y軸方向平行。此外，第一工件搬送部200包括支承臺202，其能夠沿上下方向移動；多節(jié)連桿機(jī)構(gòu) 203，其設(shè)于支承臺202上；以及工件保持部204，其設(shè)于多節(jié)連桿機(jī)構(gòu)203的末端。支承臺202借助未圖示的Z軸馬達(dá)而上下運(yùn)動，以使工件保持部204的高度方向?qū)ξ?。多?jié)連桿機(jī)構(gòu)203由三節(jié)連桿構(gòu)成，用于使工件保持部204的水平方向?qū)ξ?。通過控制滾珠絲杠式的移動機(jī)構(gòu)、支承臺202、多節(jié)連桿機(jī)構(gòu)203的驅(qū)動，第一工件搬送部200在搬入側(cè)的盒4與工件檢測部400之間、薄膜切斷部500與搬出側(cè)的盒5之間搬送工件W。工件檢測部400包括臨時放置工作臺401，其用于通過第一工件搬送部200臨時放置工件W ;以及拍攝部402，其拍攝臨時放置工作臺401上的工件W。臨時放置工作臺401 形成為比工件W直徑小的圓板狀。拍攝部402經(jīng)由L字狀的臂部403被支承在臨時放置工作臺401的上方，并且被配置成將臨時放置工作臺401上的工件W整體收入于拍攝范圍。拍攝部402讀取工件W的外形并將工件W的圖像數(shù)據(jù)輸出到控制部6?？刂撇?算出工件W 的水平方向的朝向和中心位置。第二工件搬送部300構(gòu)成為被支承在一對導(dǎo)軌301上，并且能夠借助滾珠絲杠式的移動機(jī)構(gòu)沿X軸方向移動，所述一對導(dǎo)軌301配置在外部殼體2的底壁部并與X軸方向平行。此外，第二工件搬送部300與第一工件搬送部200同樣地包括支承臺302、多節(jié)連桿機(jī)構(gòu)303以及工件保持部304。通過根據(jù)工件檢測部400的檢測結(jié)果控制滾珠絲杠式的移動機(jī)構(gòu)、支承臺302、多節(jié)連桿機(jī)構(gòu)303的驅(qū)動，第二工件搬送部300在工件檢測部400與按壓部604之間、載置臺602與薄膜切斷部500之間將工件W定位到恰當(dāng)?shù)陌崴臀恢?。薄膜切斷?00包括旋轉(zhuǎn)臺501，其安裝在底座臺3的下部；以及切割件502，其從旋轉(zhuǎn)臺501的外周面向外側(cè)突出。旋轉(zhuǎn)臺501形成為能夠繞Z軸旋轉(zhuǎn)且能夠沿Z軸方向移動。切割件502與工件W的外形尺寸配合地調(diào)整刃部的位置。薄膜切斷部500相對于配置在下方的帶薄膜S的工件W通過旋轉(zhuǎn)臺501的Z軸方向的移動來調(diào)整對薄膜S的切入深度，并通過旋轉(zhuǎn)臺501的旋轉(zhuǎn)來將薄膜S沿工件W的外形切斷。參考圖I和圖5，詳細(xì)地說明粘貼裝置。圖5是本實施方式的粘貼裝置的剖視示意圖。如圖I和圖5所示，粘貼裝置600具有大致長方體狀的基座601。在基座601上表面的大致前半部設(shè)置有載置臺602，該載置臺602對保護(hù)用的薄膜S進(jìn)行吸附保持。載置臺 602由石英玻璃等透光性材料形成為圓板狀。在載置臺602的上表面中央形成有俯視呈圓形形狀的凹部651。載置臺602利用該凹部651的階梯差一邊拉伸一邊吸附薄膜S以消除薄膜S的褶皺。在載置臺602的附近設(shè)有樹脂供給部603，該樹脂供給部603向薄膜S上表面供給液狀樹脂。樹脂供給部603被安裝成能夠與粘貼裝置600的動作配合地在基座601上表面的薄膜S的中央位置和相對于中央位置退避的退避位置之間回轉(zhuǎn)。作為液狀樹脂，采用紫外線硬化性樹脂等光硬化性樹脂，例如選擇具有大約50 30000[MPa]的粘度的樹脂。樹脂供給部603與設(shè)于基座601內(nèi)的未圖示的樹脂箱連接，并將從樹脂箱抽出的液狀樹脂供給到薄膜S上表面。在基座601上表面的大致后半部立起設(shè)置有立柱部605，該立柱部605將按壓部 604支承在載置臺602的上方。在立柱部605的前表面設(shè)有移動部606，該移動部606使按壓部604相對于載置臺602接近和離開。移動部606包括與Z軸方向平行的一對導(dǎo)軌611 ； 和被設(shè)置成能夠在一對導(dǎo)軌611上滑動的Z軸工作臺612。Z軸工作臺612構(gòu)成為能夠借助滾珠絲杠式的移動機(jī)構(gòu)沿Z軸方向移動。在Z軸工作臺612的前表面經(jīng)由支承部613支承有按壓部604。按壓部604具有安裝在支承部613的下部的底座部件621。在底座部件621的下表面形成有俯視呈圓形形狀的凹部622。在底座部件621的凹部622以防脫狀態(tài)收納有按壓板623。在按壓板623的下表面安裝有吸附保持工件W的保持板624。在保持板624形成有吸附保持工件W的抽吸口。抽吸口經(jīng)由設(shè)在粘貼裝置600內(nèi)的流路631與氣體抽吸部 632連接。氣體抽吸部632經(jīng)由流路631使保持板624的抽吸口產(chǎn)生抽吸力。在保持板624的抽吸口和氣體抽吸部632之間的流路631設(shè)有用于測定流路631 內(nèi)的壓力的壓力傳感器633。壓力傳感器633檢測保持板624的吸附力的降低和工件W從抽吸口偏離(位置錯開)等情況。按壓部604以將保持于保持板624的工件W向供給有液狀樹脂L的薄膜S按壓的方式進(jìn)行動作。即，保持板624的保持工件W的保持面成為向薄膜S按壓工件W的按壓面634。通過該結(jié)構(gòu)，液狀樹脂均勻地擴(kuò)展到工件W的下表面的整個區(qū)域。此外，在底座部件621的凹部622的內(nèi)底面和按壓板623的上表面之間設(shè)有作為壓力傳感器的按壓傳感器635。按壓傳感器635隔著保持板624和按壓板623測定從液狀樹脂作用于按壓面634的壓力的變化。作用于按壓面634的壓力伴隨著液狀樹脂L向工件 W的外緣的擴(kuò)展而增加，并且在從工件W的外緣溢出后開始降低。粘貼裝置600通過利用該特性而根據(jù)按壓力的變化調(diào)整移動部606的驅(qū)動量來使液狀樹脂L鋪滿至工件W的外緣。
另外，粘貼裝置600例如也可以是在由按壓傳感器635檢測到預(yù)先設(shè)定的閾值以上的壓力的時刻停止移動部606對按壓部604的驅(qū)動。此外，粘貼裝置600例如也可以是在由按壓傳感器635檢測出壓力的降低的時刻停止移動部606對按壓部604的驅(qū)動。這樣，本實施方式的粘貼裝置600根據(jù)液狀樹脂的壓力的變化而調(diào)整按壓部604的壓入量。由此， 不存在如根據(jù)按壓面634與載置臺602上表面之間的間隔來調(diào)整按壓部604的壓入量的情況那樣、由于工件W和薄膜S的尺寸誤差、樹脂的涂布量的誤差等而使得液狀樹脂的涂布范圍不均勻。S卩，在貼附樹脂時，如果存在未貼附有樹脂的部位的話，則在磨削時會發(fā)生工件 W的破裂等，如果考慮到這樣的情況而使溢出的樹脂的量過多的話，則不僅浪費(fèi)樹脂而且溢出的部分因氧氣阻礙而無法充分地被紫外線硬化，從而在搬送、磨削時產(chǎn)生問題。另外，還存在過度溢出的樹脂在磨削時被卷入而導(dǎo)致磨削異常的可能性?？紤]到這些情況，樹脂恰如其分地貼附于工件W的整個表面的狀態(tài)或者稍稍從工件W溢出的狀態(tài)被認(rèn)為是理想的， 如果根據(jù)壓力來調(diào)整按壓部604的壓入量的話，則能夠維持這樣的理想的貼附狀態(tài)。在基座601內(nèi)設(shè)置有發(fā)光部636，該發(fā)光部636朝向載置臺602照射紫外光等光。 發(fā)光部636通過利用隔著載置臺602照射的光使液狀樹脂L硬化，從而在工件W和薄膜S 之間形成樹脂膜。在按壓部604的按壓動作結(jié)束后、即按壓部604離開工件W后實施發(fā)光部636的照射。由此，能夠在工件W形成樹脂膜而不會在工件W殘留內(nèi)部應(yīng)力。此外，在粘貼裝置600設(shè)有間隔檢測構(gòu)件，該間隔檢測構(gòu)件檢測保持板624與載置臺602之間的間隔。間隔檢測構(gòu)件在從保持板624的抽吸口朝向載置臺602噴射空氣的狀態(tài)下使保持板624接近載置臺602并測定流路631內(nèi)的壓力變化，由此檢測保持板624與載置臺602之間的間隔。間隔檢測構(gòu)件構(gòu)成為包括氣體供給部637、上述的控制部6的處理器以及存儲器等，所述氣體供給部637經(jīng)由設(shè)于粘貼裝置600的流路631與抽吸口連接。壓力傳感器633兼用于在工件W的吸附時測定流路631內(nèi)的吸氣壓力，并且構(gòu)成為在間隔檢測時還能夠測定流路631內(nèi)的排氣壓力。此外，在存儲器存儲有表示與保持板 624和載置臺602之間的間隔的變化對應(yīng)的流路631內(nèi)的壓力變化的映射圖。該映射圖預(yù)先通過在從抽吸口噴射空氣的狀態(tài)下一邊使保持板624向載置臺602接近一邊利用壓力傳感器633測定流路631內(nèi)的壓力而生成。處理器基于存儲在存儲器中的映射圖和壓力傳感器633的測定結(jié)果，算出保持板624與載置臺602之間的間隔。粘貼裝置600通過利用間隔檢測構(gòu)件檢測保持板624與載置臺602之間的間隔， 從而實施運(yùn)行前的維護(hù)時的按壓部604的裝配(setup)作業(yè)。粘貼裝置600除了將壓力傳感器633作為測定流路631內(nèi)的吸氣壓力的傳感器使用之外，還將其作為背壓傳感器使用。 由此，利用保持板624的吸附工件W用的現(xiàn)有的流路631和壓力傳感器633，能夠構(gòu)成裝配機(jī)構(gòu)。這樣，本實施方式的粘貼裝置600無需新設(shè)置位置傳感器等，能夠通過廉價且簡易的結(jié)構(gòu)實施裝配作業(yè)。參考圖6和圖7說明粘貼裝置的粘貼動作。圖6是本實施方式的粘貼裝置的粘貼動作的說明圖。圖7是示出本實施方式的按壓傳感器的測定值與從移動部的移動開始起經(jīng)過的經(jīng)過時間之間的一般性的關(guān)系的圖。另外，在圖7中，縱軸表示按壓傳感器的測定值， 橫軸表示從移動部的移動開始起經(jīng)過的經(jīng)過時間。如圖6的(a)所示，在初始狀態(tài)下，薄膜S被吸附保持在載置臺602上，保持有工件W的按壓部604定位于載置臺602的上方。在薄膜S的中央形成有由樹脂供給部603供給的液狀樹脂L的液滴。從該狀態(tài)起，利用移動部606使按壓部604向下方移動，以便利用工件W將液狀樹脂L的液滴壓扁。如圖6的(b)所示，按壓部604向下方移動，當(dāng)工件W接觸到液狀樹脂L時，由工件W將液狀樹脂壓扁，液狀樹脂L開始沿工件W的下表面擴(kuò)展。此時，通過設(shè)于按壓部604 的按壓傳感器635，開始測定從液狀樹脂L隔著工件W作用于按壓面634的壓力變化。如圖 7所示，在從該初始狀態(tài)起到與圖6的(b)對應(yīng)的時刻A之間，通過工件W與液狀樹脂L的接觸，作用于按壓面634的載荷(壓力)平緩地增加。如圖6的(C)所示，當(dāng)從圖6的(b)所示的狀態(tài)起按壓部604進(jìn)一步向下方移動時，由工件W將液狀樹脂L進(jìn)一步壓扁，液狀樹脂L擴(kuò)展至工件W的外緣的附近。如圖7所示，在從與圖6的(b)對應(yīng)的時刻A到與圖6的(c)對應(yīng)的時刻t2之間，隨著液狀樹脂L 向工件W的外緣的擴(kuò)展，作用于按壓面634的載荷進(jìn)一步增加。如圖6的(d)所示，當(dāng)從圖6的(C)所示的狀態(tài)起按壓部604進(jìn)一步向下方移動時，由工件W將液狀樹脂L進(jìn)一步壓扁，液狀樹脂L從工件W的外緣稍稍溢出。此時，通過設(shè)于按壓部604的按壓傳感器635，測定出從液狀樹脂L隔著工件W作用于按壓面634的壓力的減小。如圖7所示，在從與圖6的(c)對應(yīng)的時刻t2到與圖6的(d)對應(yīng)的時刻t3 之間，在液狀樹脂L到達(dá)工件W的外緣為止，作用于按壓面634的載荷增加，而在液狀樹脂 L從工件W的外緣溢出的時刻，作用于按壓面634的載荷減小。這樣，作用于按壓面634的載荷以液狀樹脂L到達(dá)工件W的外緣的時刻為頂點進(jìn)行變化。因而，可以在該頂點之前預(yù)先設(shè)置閾值，并在通過按壓傳感器635檢測到閾值以上的載荷的時刻停止由移動部606實現(xiàn)的按壓部604的移動。例如，將與時刻t2對應(yīng)的載荷設(shè)為閾值，在時刻t2使按壓部604的移動停止。由此，能夠使液狀樹脂L擴(kuò)展至工件W的外緣附近為止，能夠使液狀樹脂L遍及工件W的大致整個區(qū)域。此外，由于作用于按壓面634的載荷以頂點為界降低，因此也可以在由按壓傳感器635檢測出載荷低于剛剛檢測到的載荷的時刻停止由移動部606實現(xiàn)的按壓部604的移動。例如，在載荷開始降低的時刻t3停止按壓部604的移動。由此，能夠使液狀樹脂L擴(kuò)展至從工件W的外緣稍稍溢出的程度，能夠使液狀樹脂L遍及工件W的下表面的整個區(qū)域。 另外，表示壓力的變化的曲線圖的曲線形狀隨樹脂的涂布量、粘度、樹脂擴(kuò)展的面積不同而變化。參考圖8，具體地說明按壓傳感器的測定結(jié)果的一例。圖8是示出本實施方式的按壓傳感器的測定結(jié)果的一例的圖。另外，在圖8中，縱軸表示按壓傳感器的測定值，橫軸表示從移動部的移動開始經(jīng)過的經(jīng)過時間。由粘貼裝置600實施粘貼動作，在大約2 4英寸的晶片的整個表面涂布用于形成大約100 1000 [ μ m]的厚度的膜的量的樹脂(粘度1500 [CPS]左右)，并利用按壓傳感器635測定作用于按壓面634的載荷，在這樣的情況下，得到如圖8所示的測定結(jié)果。另外， 在此，使由移動部606實現(xiàn)的按壓部604的移動的移動速度為O. I [mm/sec]，使按壓傳感器 635的測定頻率為每100[mSec] —次。在從0[sec]到25[sec]之間，載荷從0[kN]平緩地增加至O. l[kN]。在從25 [sec]到28 [sec]之間，載荷從O. I [kN]急劇地增加至1.3[kN]。 在28[sec]以后，載荷從1.3[kN]急劇地減小。根據(jù)該測定結(jié)果可知，在測定出I. 3[kN]的載荷的時刻，液狀樹脂L到達(dá)工件W的外緣。此外，在測定出1.2[kN]的載荷的時刻，與測定出1.3[kN]的載荷的時刻相比，按壓部604的移動位置基本沒有差別。因此，通過作為移動部606的停止條件而將閾值設(shè)定為 I. 2 [kN]，能夠在液狀樹脂L到達(dá)工件W的大致外緣的時刻使移動部606的驅(qū)動停止。參考圖9和圖10，對粘貼裝置的裝配作業(yè)進(jìn)行說明。圖9是對表示本實施方式的與保持板-載置臺之間的間隙的變化對應(yīng)的壓力傳感器的測定結(jié)果的映射圖的一例進(jìn)行示出的圖。圖10是本實施方式的粘貼裝置的裝配作業(yè)的說明圖。另外，在圖9中，縱軸示出壓力傳感器的測定值，橫軸示出保持部與載置臺之間的間隙。在裝配作業(yè)之前，在從抽吸口噴射空氣的狀態(tài)下，一邊使保持板624與載置臺602 之間的間隔變化一邊測定流路631內(nèi)的壓力，從而生成了圖9所示的映射圖。另外，在此，使來自氣體供給部637的氣體的供給流量為25[L/min]，使保持板624-載置臺602之間的間隙以10[μπι]的間隔縮窄，并由壓力傳感器633實施測定。如映射圖所示，壓力傳感器633 的測定值隨著保持板624接近載置臺602而增加。通過參考該映射圖將保持板624相對于載置臺602的預(yù)期的高度設(shè)定為粘貼裝置600的基準(zhǔn)位置，從而實施裝配作業(yè)。具體來說，如圖10的(a)所示，將保持板624定位于離開載置臺602足夠遠(yuǎn)的位置，并由氣體供給部637從抽吸口噴射空氣。此時，由于保持板624-載置臺602之間的間隙寬，因此確保了從抽吸口噴射的空氣的逃逸通道，流路631內(nèi)的壓力被保持得低。從該狀態(tài)起，當(dāng)驅(qū)動移動部606使保持板624朝向載置臺602接近時，保持板624-載置臺602之間的間隙逐漸縮窄。由此，從抽吸口噴射的空氣的逃逸通道變窄，流路631內(nèi)的壓力開始增加。如圖10的(b)所示，當(dāng)由壓力傳感器633測定到在映射圖中與保持板624-載置臺602之間的預(yù)期的間隙對應(yīng)的壓力時，停止移動部606的驅(qū)動。將此時的保持板624相對于載置臺602的高度位置設(shè)定為按壓方向的基準(zhǔn)位置。例如，在保持板624-載置臺602 之間的預(yù)期的間隙為10[ytm]的情況下，在由壓力傳感器633測定到96[kPa]的時刻停止移動部606的驅(qū)動，并將此時的按壓部604相對于載置臺602的高度設(shè)定為基準(zhǔn)高度(參考圖9)。另外，在本實施方式中，可以通過多孔材料等形成保持板624。即，形成于保持板 624的抽吸口可以利用設(shè)于多孔材料的細(xì)小的孔形成。此外，在本實施方式中，按壓傳感器635設(shè)于按壓板623與底座部件621之間,然而并不限定于此。按壓傳感器635只要能夠測定由液狀樹脂作用于按壓面634的壓力的話， 可以設(shè)置在任意的位置。此外，在本實施方式中，利用按壓傳感器635測定按壓面634受到的來自液狀樹脂的壓力，然而并不限定于此。也可以將按壓傳感器635設(shè)于保持板624的按壓面634來測定工件W受到的來自液狀樹脂的壓力。此外，在本實施方式中，液狀樹脂為光硬化性樹脂，然而并不限定于此。液狀樹脂只要是能夠?qū)⒐ぜ粘貼于薄膜S的樹脂即可，例如也可以是熱硬化性樹脂。此外，液狀樹脂并不限于完全的液狀的狀態(tài)，也包括凝膠狀的固體。此外，在本實施方式中，將樹脂供給部603以能夠回轉(zhuǎn)的方式安裝于基座601，然而并不限定于此。樹脂供給部603只要能夠向薄膜S供給液狀樹脂的話，可以是任意的結(jié)構(gòu)。
此外，在本實施方式中，作為按壓部604采用了在底座部件621設(shè)置按壓板623和保持板624的結(jié)構(gòu)，然而并不限定于此。按壓部604只要具有吸附保持工件W的按壓面634 即可。此外，在本實施方式中，在移動部606設(shè)有滾珠絲杠式的移動機(jī)構(gòu)，然而并不限定于此。移動部606只要是使按壓面634相對于載置臺602離開和接近的結(jié)構(gòu)即可。此外，在本實施方式中，以單一的壓力傳感器633測定流路631內(nèi)的吸氣壓力和排氣壓力，然而并不限定于此。也可以在粘貼裝置600設(shè)置吸氣用的壓力傳感器和排氣用的壓力傳感器。此外，可以取代壓力傳感器而采用能夠測定流體特性的變化的傳感器，例如可以采用流量傳感器。此外，在本實施方式中，形成為將保持板624-載置臺602之間的間隙與流路631 內(nèi)的壓力的關(guān)系以映射圖形式存儲在存儲器中的結(jié)構(gòu)，然而并不限定于此。存儲器只要存儲表示保持板624-載置臺602之間的間隙與流路631內(nèi)的壓力的關(guān)系的數(shù)據(jù)即可，例如可以以表格形式存儲保持板624-載置臺602之間的間隙與流路631內(nèi)的壓力的關(guān)系。此外，在本實施方式中，在裝配作業(yè)時，形成為利用氣體供給部637向載置臺602 吹送空氣的結(jié)構(gòu)，然而并不限定于此。只要是能夠向載置臺602吹送的氣體，氣體供給部 637可以吹送任意的氣體。參考圖11詳細(xì)地說明薄膜供給部。圖11是本實施方式的薄膜供給部的側(cè)視示意圖。圖12是本實施方式的第一鼓風(fēng)部和第二鼓風(fēng)部的放大圖。如圖11所示，薄膜供給部700以將薄膜S從卷裝薄膜R拉出并按照預(yù)定長度切斷的方式進(jìn)行動作。卷裝薄膜R通過將薄膜S卷繞于筒701而構(gòu)成。薄膜S例如是厚度為 50[ym]左右的聚對苯二甲酸乙二醇酯的膜。薄膜S并不限定為上述的膜，可以根據(jù)各種用途而適當(dāng)變更。筒701例如是由聚乙烯形成的直徑3英寸的樹脂管。筒701并不限定為上述的樹脂管，例如可以是由聚丙烯、ABS (Acrylonitrile Butadiene Styrene,丙烯腈-苯乙烯-丁二烯共聚物)樹脂等形成的樹脂管，也可以是紙管。薄膜供給部700具備卷裝薄膜支承部702，其用于安裝卷裝薄膜R ;以及薄膜拉出部703，其將薄膜S從卷裝薄膜R拉出。在卷裝薄膜支承部702與薄膜拉出部703之間， 由第一從動輥704、第二從動輥705和夾持部706形成薄膜S的搬送路徑。卷裝薄膜支承部 702貫穿插入至卷裝薄膜R的筒701，將卷裝薄膜R支承成能夠以筒701的伸長方向為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。卷裝薄膜支承部702構(gòu)成為能夠從內(nèi)側(cè)固定筒701，從而與卷裝薄膜R —體地旋轉(zhuǎn)。此外，當(dāng)卷裝薄膜支承部702向相對于搬送方向正向進(jìn)給的旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)時,通過張力施加部707對卷裝薄膜支承部702施加制動力(逆向進(jìn)給旋轉(zhuǎn)方向的旋轉(zhuǎn)力)。張力施加部707通過對卷裝薄膜支承部702施加制動力，從而對從卷裝薄膜R拉出的薄膜S 作用有張力。施加于卷裝薄膜支承部702的轉(zhuǎn)矩即便在以固定的力拉出薄膜S的情況下也隨著卷裝薄膜R的直徑而變化。由此，張力施加部707要與卷裝薄膜R的直徑的變化配合地調(diào)整制動力，以對薄膜S作用適度的張力。第一從動輥704、第二從動輥705在搬送路徑中配置在卷裝薄膜支承部702的下游。第一從動輥704、第二從動輥705分別與從卷裝薄膜R拉出的薄膜S的表面滾動接觸。 在搬送路徑中，在第一從動輥704、第二從動輥705之間配置有第一鼓風(fēng)部708、第二鼓風(fēng)部709。第一鼓風(fēng)部708與薄膜S的表面相對，通過吹送空氣來除去薄膜S的表面?zhèn)鹊漠愇铩?第二鼓風(fēng)部709與薄膜S的背面相對，通過吹送空氣來除去薄膜S的背面?zhèn)鹊漠愇?。如圖12所示，第一鼓風(fēng)部708、第二鼓風(fēng)部709包括塊體723，該塊體723形成有吹送側(cè)的流路721和抽吸側(cè)的流路722。流路721的吹出口附近急劇地變窄，從而提高了吹送到薄膜S的氣體的流速。該流路721的吹出口附近的間隙優(yōu)選為50 500 [ μ m]，更優(yōu)選為50 200 [μ m]。在本實施方式中，將流路721的吹出口附近的間隙設(shè)定為100 [ μ m]。塊體723靠近薄膜S地配置。未鼓風(fēng)的狀態(tài)下的塊體723與薄膜S之間的間隙優(yōu)選為O 100 [ μ m],更優(yōu)選為O 50[ μ m]。在本實施方式中，將未鼓風(fēng)的狀態(tài)下的塊體723與薄膜S之間的間隙設(shè)定為0[ μ m]。即使在將塊體723與薄膜S之間的間隙設(shè)定為O [ μ m]的情況下，也能夠通過進(jìn)行鼓風(fēng)而利用薄膜S的張力和鼓風(fēng)的風(fēng)量形成一定的間隙，從而能夠除去幾十[μπι]左右的異物。第一鼓風(fēng)部708、第二鼓風(fēng)部709通過向吹送側(cè)的流路721送入空氣并從抽吸側(cè)的流路722抽吸空氣，從而產(chǎn)生如箭頭Al所示的空氣的氣流。從吹送側(cè)的流路721吹出的空氣一邊在塊體723與薄膜S之間的間隙收進(jìn)異物一邊經(jīng)抽吸側(cè)的流路722排出。這樣，通過第一鼓風(fēng)部708、第二鼓風(fēng)部709來清洗薄膜S的兩面?；氐綀D11，在第二從動輥705的下游配置有夾持部706。夾持部706以通過上側(cè)板714和下側(cè)板715從上下夾緊薄膜S的方式進(jìn)行動作。上側(cè)板714由具有水平面的板材形成，并且安裝在位于搬送路徑的上方的驅(qū)動部716的桿717。下側(cè)板715由具有水平面的板材形成，并且安裝在位于搬送路徑的下方的驅(qū)動部718的桿719。上側(cè)板714和下側(cè)板 715通過桿717、719的驅(qū)動而分別上下運(yùn)動。上側(cè)板714和下側(cè)板715與薄膜S的拉出和切斷對應(yīng)地移動到恰當(dāng)?shù)母叨?。具體來說，上側(cè)板714和下側(cè)板715在上層位置731和下層位置732之間沿上下方向移動(參考圖14)，所述上層位置731為由薄膜拉出部703把持薄膜S的前端的位置，所述下層位置 732為由后述的切割部711將薄膜S切斷的位置。另外，對于上側(cè)板714和下側(cè)板715的動作的詳細(xì)內(nèi)容在后面敘述。在夾持部706的下游配置有切割部711。切割部711包括切割件735，其將薄膜 S沿與搬送方向正交的寬度方向切斷；以及保持部736，其吸附保持薄膜S的背面。切割件 735和保持部736以隔著薄膜S的搬送路徑在上下方向?qū)χ玫姆绞竭M(jìn)行配置。切割件735 位于薄膜S的上方，并且構(gòu)成為能夠借助切割件移動部746從薄膜S的寬度方向的一端側(cè)向另一端側(cè)移動。保持部736位于薄膜S的下方，并且形成為沿薄膜S的寬度方向延伸的長條狀。保持部736具有吸附保持薄膜S的背面的保持面737。保持面737水平地形成， 并且形成為與移動到下層位置的下側(cè)板715的上表面處于大致同一平面。在保持面737沿保持部736的延伸方向形成有供切割件502的刀尖退刀的退刀槽738。此外，在保持面737 的夾著退刀槽738的兩側(cè)沿退刀槽738形成有多個抽吸口 739。多個抽吸口 739經(jīng)由未圖示的流路與空氣的抽吸源和供給源連接。切割部711在切斷薄膜時通過多個抽吸口 739的抽吸來將拉出的薄膜S吸附在保持面737，并且在退刀槽738內(nèi)通過切割件移動部746的驅(qū)動而使切割件735的刀尖沿退刀槽738滑動移動，由此將薄膜S切斷。由此，能夠在將薄膜S保持于保持面737的狀態(tài)下
16將薄膜S切斷。此外，切割部711在拉出薄膜時通過從多個抽吸口 739吹送空氣來抑制薄膜S與保持面737的接觸。通過該空氣的吹送，防止了拉出薄膜時薄膜S與保持面737的摩擦。薄膜拉出部703包括把持部741，其把持薄膜S的前端；以及移動部742，其使把持部741向相對于桿717、719的驅(qū)動方向傾斜的傾斜方向移動。移動部742包括支承臺 743，其相對于水平面P傾斜設(shè)置；導(dǎo)軌744，其在支承臺743上與X軸方向平行；以及滑塊 745，其被設(shè)置成能夠沿導(dǎo)軌744滑動。滑塊745構(gòu)成為能夠借助滾珠絲杠式的移動機(jī)構(gòu)沿傾斜方向移動。在滑塊745的上表面安裝有底座板751。把持部741具有立起設(shè)置于底座板751的固定板752。固定板752以如下方式形成從底座板751的后端立起并向前方側(cè)彎折，進(jìn)而末端部753向下方彎折。此外，把持部 741具有相對于固定板752的末端部753接近和離開的可動板754。從側(cè)面觀察，可動板754 彎折成反L字狀，并且該可動板754具有與固定板752的末端部753對置的平板部755。可動板754安裝于在底座板751的后端側(cè)設(shè)置的驅(qū)動部756的桿757。把持部741通過使可動板754的平板部755接近固定板752的末端部753而把持薄膜S的前端，并且通過使可動板754的平板部755離開固定板752的末端部753而釋放薄膜S的前端。此外，把持部741朝向前方位置761向斜上方移動來把持薄膜S的前端，并且在把持薄膜S的前端的狀態(tài)下朝向后方位置762向斜下方移動，從而將薄膜S從卷裝薄膜R拉出(參考圖14)。此時，把持部741把持薄膜S的把持高度在前方位置761處與切割部711的上方的上層位置731大致一致，而在后方位置762處與利用切割部711切斷薄膜S的下層位置 732大致一致。即，把持部741在前方位置761處以不與保持部736沖突的方式把持薄膜 S，并從前方位置761移動到后方位置762，由此將薄膜S拉出，以使得薄膜S的背面與切割部711的保持面737處于同一平面。此外，在卷裝薄膜支承部702的附近配置有直徑檢測部712，該直徑檢測部712檢測卷裝薄膜R的直徑。直徑檢測部712例如包括反射型的光傳感器767和上述的控制部6 的存儲器，該反射型的光傳感器767是通過在發(fā)光部765的周圍設(shè)置受光部766而構(gòu)成的。 光傳感器767測定與卷裝薄膜R的直徑的變化相伴的受光量的變化。存儲器中例如存儲有表示受光量與卷裝薄膜R的直徑的關(guān)系的映射圖。該映射圖預(yù)先通過在使卷裝薄膜R的直徑變化的同時測定光傳感器767的受光量而生成。當(dāng)卷裝薄膜R的直徑減小時，光傳感器767與卷裝薄膜R的外周面之間的距離擴(kuò)大，因此由光傳感器767測定的受光量降低。此外，當(dāng)從卷裝薄膜R將薄膜全部拉出時，由于筒701的反射率與薄膜S的反射率不同，因此由光傳感器767測定的受光量大幅地變化。 直徑檢測部712利用這些特性并基于存儲在存儲器中的映射圖和光傳感器767的測定結(jié)果，來檢測卷裝薄膜R的直徑和薄膜S的有無。由直徑檢測部712檢測出的卷裝薄膜R的直徑被通知給張力施加部707。張力施加部707通過根據(jù)卷裝薄膜R的直徑調(diào)整制動力，從而使薄膜產(chǎn)生適度的張力。此外，由直徑檢測部712檢測出的薄膜S的有無被通知給監(jiān)視部768。監(jiān)視部768在檢測到卷裝薄膜 R中沒有薄膜S的情況時發(fā)出警報。參考圖13，說明卷裝薄膜支承部的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。圖13是本實施方式的卷裝薄膜支承部的局部剖視示意圖。如圖13所示，卷裝薄膜支承部702具有棒狀的軸部772，該棒狀的軸部772突出設(shè)置在圓板狀的抵接板771的板面。卷裝薄膜R以將軸部772貫穿插入到筒701內(nèi)并使該卷裝薄膜R抵接于抵接板771的方式被支承在卷裝薄膜支承部702。軸部772形成為中空，并且在內(nèi)部設(shè)有能夠沿軸向進(jìn)退的驅(qū)動桿773。此外，在軸部772設(shè)有一對爪部774，該一對爪部774通過驅(qū)動桿773的進(jìn)退而從筒701的內(nèi)側(cè)將卷裝薄膜R鎖定和解鎖。在軸部772形成有收納空間776，該收納空間776以使驅(qū)動桿773能夠進(jìn)退的方式收納該驅(qū)動桿773。收納空間776經(jīng)由貫穿插入孔777和一對長孔781與外部相連，所述貫穿插入孔777形成于軸部772的末端部，所述一對長孔781形成于軸部772的外周部。軸部772形成為驅(qū)動桿773的末端部778能夠經(jīng)由末端的貫穿插入孔777突出，并且一對爪部774能夠經(jīng)由外周面的一對長孔781與筒701的內(nèi)表面抵接。此外，在軸部772形成有空氣的供給空間783，該空氣的供給空間783與收納空間776的基端側(cè)相連。通過將驅(qū)動桿773收納到收納空間776而將供給空間783密閉。通過向供給空間 783供給空氣，驅(qū)動桿773向使末端部778突出到軸部772外的退出方向移動。此外，通過停止對供給空間783供給空氣，驅(qū)動桿773形成為能夠借助操作者的手動操作而向?qū)⒛┒瞬?78收納到貫穿插入孔777內(nèi)的進(jìn)入方向移動。此時，通過驅(qū)動桿773抵接于環(huán)狀塊體 775來限制驅(qū)動桿773的進(jìn)入位置，所述環(huán)狀塊體775在收納空間776和供給空間783之間從軸部772的內(nèi)周面突出。驅(qū)動桿773包括直徑形成得小的末端部778 ;以及直徑形成得比末端部778大的前方部785、中間部786、后方部787。在驅(qū)動桿773向退出方向移動時，末端部778經(jīng)由貫穿插入孔777從軸部772的末端面突出。末端部778的突出部分作為解除卷裝薄膜R的鎖定的解鎖用操作部發(fā)揮作用。前方部785和后方部787具有與形成于軸部772內(nèi)的圓柱狀的支承面788、789的內(nèi)徑尺寸大致相同的外徑尺寸，并且前方部785和后方部787由支承面788、789支承成能夠沿進(jìn)退方向滑動。中間部786配置在一對爪部774之間，該一對爪部774以能夠相對于軸部772開閉的方式安裝。在中間部786的前方部785側(cè)形成有朝向驅(qū)動桿773的進(jìn)入方向直徑變大的錐形面791。通過錐形面791與驅(qū)動桿773共同進(jìn)退，從而隔著一對爪部774的末端側(cè)地對置的錐形面791與筒701的內(nèi)表面之間的間隔發(fā)生變化。一對爪部774與一對長孔781對應(yīng)地配置在收納空間776內(nèi)，并且該一對爪部774 在一對長孔781的后方以能夠擺動的方式支承于軸部772。一對爪部774包括臂部792，其從基端部向前方延伸，該基端部被以能夠擺動的方式支承于擺動支點796 ;以及輥部793， 其設(shè)在臂部792的末端部。臂部792形成為從末端部朝向基端部寬度變窄，并且該臂部792 具有從基端部向軸部772的徑向內(nèi)側(cè)延伸的卡定部794。輥部793與中間部786的錐形面 791滾動接觸。當(dāng)驅(qū)動桿773向退出方向移動時，通過錐形面791將輥部793推向外側(cè)，臂部792 經(jīng)長孔781向朝向筒701側(cè)的外側(cè)擺動。由此，一對爪部774抵接于筒701的內(nèi)表面從而將卷裝薄膜R鎖定。此外，當(dāng)驅(qū)動桿773向進(jìn)入方向移動時，通過中間部786的后端面795將卡定部794推向進(jìn)入方向，臂部792向朝向驅(qū)動桿773側(cè)的內(nèi)側(cè)擺動。由此，一對爪部774 離開筒701的內(nèi)表面從而將卷裝薄膜R解鎖。另外，關(guān)于卷裝薄膜支承部702對卷裝薄膜R的鎖定和解鎖的詳細(xì)內(nèi)容在后面敘述。參考圖14A和圖14B，說明由薄膜供給部實現(xiàn)的薄膜切斷動作。圖14A和圖14B是由本實施方式的薄膜供給部實現(xiàn)的薄膜切斷動作的說明圖。如圖14A的(a)所示，上側(cè)板714和下側(cè)板715在下層位置732夾持薄膜S。在該情況下，薄膜S的前端位于切割部711 (保持部736)的保持面737上。此外，把持部741 在使固定板752的末端部753與可動板754的平板部755分離的狀態(tài)下于后方位置762待機(jī)。此時，把持部741的高度對準(zhǔn)能夠在下層位置732把持薄膜S的前端的高度。接著，如圖14A的(b)所示，上側(cè)板714和下側(cè)板715在夾持薄膜S的狀態(tài)下朝向上層位置731向箭頭A2方向移動。由此，薄膜S的前端移動到切割部711的保持面737的上方。接著，如圖14A的(c)所示，把持部741朝向前方位置761向斜上方(箭頭A3方向) 移動。當(dāng)把持部741定位于前方位置761時，薄膜S的前端被定位在固定板752的末端部 753與可動板754的平板部755之間。接著，如圖14B的(d)所示，可動板754的平板部755向固定板752的末端部753 接近(箭頭A4方向)，從而利用固定板752和可動板754把持薄膜S的前端。這樣，在前方位置761，把持部741的高度對準(zhǔn)能夠在上層位置731把持薄膜S的高度。接著，如圖14B的(e)所示，通過下側(cè)板715朝向下層位置732向箭頭A5方向移動來解除對薄膜S的夾持，并且通過把持部741朝向后方位置762向斜下方(箭頭A6方向) 移動來將薄膜S拉出。此時，把持部741在移動的同時將薄膜S的把持位置的高度從上層位置731改變至下層位置732。此外，在拉出薄膜S時，從在保持面737形成的多個抽吸口 739對薄膜S吹送空氣。通過該空氣的吹送來防止拉出薄膜S時薄膜S與保持面737的摩擦。接著，如圖14B的(f)所示，當(dāng)薄膜S的拉出結(jié)束時，通過多個抽吸口 739將薄膜S 吸附在保持面737，薄膜搬送部800自上方保持被拉出到把持部741與保持面737之間的薄膜S。接著，在利用薄膜搬送部800保持薄膜S的狀態(tài)下，切割件735沿形成于保持面737 的退刀槽738滑動，沿與搬送方向正交的寬度方向?qū)⒈∧切斷。由于是在沿退刀槽739 形成于退刀槽738兩側(cè)的多個抽吸口 739保持薄膜S的狀態(tài)下進(jìn)行切斷，因此能夠進(jìn)行穩(wěn)定的切斷。當(dāng)薄膜S被切斷后，解除把持部741對薄膜S的把持，利用薄膜搬送部800將薄膜 S搬送至載置臺602。此時，通過上側(cè)板714移動至下層位置732來夾持薄膜S，從而回到圖 14A的(a)所示的狀態(tài)。這樣，在本實施方式中，通過把持部741從前方位置761朝向后方位置762向斜后方移動，從而將薄膜S在改變高度的同時拉出。由此，只要使把持部741向斜方向這一軸方向移動即可，與使其向前后方向和上下方向這兩軸方向移動的結(jié)構(gòu)相比， 能夠通過廉價且簡易的結(jié)構(gòu)將薄膜S拉出。參考圖15說明卷裝薄膜支承部實現(xiàn)的卷裝薄膜的鎖定動作和解鎖動作。圖15是由本實施方式的卷裝薄膜支承部實現(xiàn)的卷裝薄膜的鎖定動作和解鎖動作的說明圖。如圖15的(a)所示，在卷裝薄膜R的解鎖時，驅(qū)動桿773被推向軸部772的收納空間776的深處，并與設(shè)于軸部772的內(nèi)周面的環(huán)狀塊體775抵接。一對爪部774以卡定部794與中間部786的后端面795抵接，從而如箭頭A7所示，使臂部792的末端側(cè)按壓在驅(qū)動桿773的外周面。此時，設(shè)于臂部792的末端部的輥部793與錐形面791的小徑側(cè)滾動接觸。在該卷裝薄膜R的解鎖狀態(tài)下，當(dāng)向供給空間783供給空氣時，驅(qū)動桿773開始向退出方向移動。當(dāng)驅(qū)動桿773開始朝向退出方向移動時，輥部793在錐形面791上從小徑側(cè)向大徑側(cè)移動。由此，臂部792如箭頭A8所示地以擺動支點796為中心向筒701側(cè)擺動。 接著，如圖15的(b)所示，當(dāng)驅(qū)動桿773被完全地向退出方向推出時，臂部792的末端側(cè)經(jīng)長孔781被嚙入到筒701的內(nèi)表面與錐形面791之間。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，筒701的內(nèi)表面被臂部792按壓，通過臂部792從筒701的內(nèi)側(cè)將卷裝薄膜R鎖定。在該情況下，臂部792如箭頭AS的擺動方向所示地自朝向抵接板771的斜方向抵接于筒701的內(nèi)表面。因此，卷裝薄膜R以抵接于抵接板771的狀態(tài)被一對爪部774 鎖定。此外，在卷裝薄膜R的鎖定狀態(tài)下，作為解鎖用的操作部的驅(qū)動桿773的末端部778 經(jīng)由軸部772的貫穿插入孔777突出到外部。在該鎖定狀態(tài)下，在停止向供給空間783供給空氣后，當(dāng)操作者按壓從軸部772突出了的驅(qū)動桿773的末端部778時，驅(qū)動桿773開始向進(jìn)入方向移動。當(dāng)驅(qū)動桿773開始朝向進(jìn)入方向移動時，臂部792的末端側(cè)被從卷裝薄膜R的筒701的內(nèi)表面與錐形面791 之間解除嚙入。接著，如圖15的(a)所示，當(dāng)驅(qū)動桿773被向進(jìn)入方向完全推入時，中間部 786的后端面795與一對爪部774的卡定部794抵接。通過該后端面795相對于卡定部794 的抵接，臂部792如箭頭A7所示地以擺動支點796為中心向驅(qū)動桿773側(cè)擺動。通過該結(jié)構(gòu)，臂部792完全從筒701的內(nèi)表面離開，從而卷裝薄膜R被解鎖。這樣， 由于通過操作者的手動操作進(jìn)行解鎖，因此不存在因空氣的供給停止等而自動地解除鎖定的情況。因此，在卷裝薄膜R的解鎖時一定要進(jìn)行操作者的操作，因此能夠抑制操作者無意識下的卷裝薄膜R的解鎖。參考圖16，說明直徑檢測部對卷裝薄膜的直徑檢測處理。圖16是對表示本實施方式的與卷裝薄膜的變化對應(yīng)的光傳感器的測定結(jié)果的映射圖的一例進(jìn)行示出的圖。另外， 在圖16中，卷裝薄膜為PET (polyethylene terephthalate,聚對苯二甲酸乙二醇酯)膜,筒為聚乙烯制成。此外，縱軸表示與受光量對應(yīng)的光傳感器的測定電壓，橫軸為從光傳感器到測定對象的距離。如圖16所示，在薄膜供給部700的驅(qū)動之前，在使光傳感器767與測定對象之間的距離變化的同時測定光傳感器767的測定電壓，從而得到了實線W1、虛線W2的測定結(jié)果。 在此，實線Wl為以卷裝薄膜R作為測定對象的情況下的測定結(jié)果，虛線W2為僅以筒701作為測定對象的情況下的測定結(jié)果。如實線Wl所示，隨著光傳感器767的受光面與卷裝薄膜 R的外周面之間的距離變遠(yuǎn)，光傳感器767的與受光量對應(yīng)的測定電壓降低。在圖示例中， 當(dāng)光傳感器767的受光面與卷裝薄膜R的外周面之間的距離從96[mm]增加到160[mm]時， 測定電壓從5. O [V]降低至I. 4 [V]。此外，如虛線W2所示，隨著光傳感器767的受光面與筒701的外周面之間的距離變遠(yuǎn)，光傳感器767的與受光量對應(yīng)的測定電壓降低。在圖示例中，當(dāng)光傳感器767的受光面與筒701的外周面之間的距離從45[mm]增加到160[mm]時，測定電壓從2. 4[V]降低至 1.2[V]。這樣，由于筒701比薄膜S的反射率低，因此與以卷裝薄膜R為測定對象的情況相比，測定電壓較低。映射圖存儲在控制部6的存儲器中。在薄膜供給部700的驅(qū)動時，直徑檢測部712參考存儲在存儲器中的映射圖，并基于來自卷裝薄膜R的反射光的受光量來檢測卷裝薄膜R的直徑。直徑檢測部712將檢測到的卷裝薄膜R的直徑輸出至張力施加部707。通過該結(jié)構(gòu)，張力施加部707能夠調(diào)整制動力，即使是在施加于卷裝薄膜支承部702的轉(zhuǎn)矩隨著卷裝薄膜R的直徑而變化的情況下，也能夠使薄膜S產(chǎn)生適度的張力。由此，避免了施加于薄膜S的張力過大而使薄膜S拉伸、或者在把持部741拉出薄膜S時有負(fù)荷作用而使動作變得不穩(wěn)定等的問題。此外，避免了當(dāng)施加于薄膜S的張力過小而使薄膜S松弛、對薄膜S的切割無法恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行等的問題。此外，直徑檢測部712參考存儲在存儲器中的映射圖，并根據(jù)卷裝薄膜R與筒701 的反射率的不同來檢測薄膜S的有無。在該情況下，直徑檢測部712將閾值設(shè)定在薄膜S 用盡前對卷裝薄膜R測定出的測定電壓與對此時的筒701測定出的測定電壓之間。并且， 直徑檢測部712在通過光傳感器767測定到閾值以下的測定電壓時，檢測出薄膜S已用盡。 在圖示例中，由于薄膜S在160[mm]處用盡，因此通過將閾值設(shè)定為I. 3[V]，來檢測薄膜S 的有無。直徑檢測部712將薄膜S的有無通知給監(jiān)視部768。監(jiān)視部768在檢測出卷裝薄膜R中的薄膜S已用盡時發(fā)出警報，敦促操作者進(jìn)行卷裝薄膜R的更換作業(yè)。另外，在本實施方式中，構(gòu)成為將受光量與卷裝薄膜R的關(guān)系以映射圖形式存儲在存儲器中，然而并不限定于此。存儲器只要存儲了表示受光量與卷裝薄膜R的關(guān)系的數(shù)據(jù)即可，例如也可以將受光量與卷裝薄膜R的關(guān)系以表格形式存儲。此外,在本實施方式中，直徑檢測部712基于反射型的光傳感器767的受光量檢測卷裝薄膜R的直徑，然而并不限定為光傳感器。直徑檢測部712只要具有能夠測定與卷裝薄膜R的直徑對應(yīng)的物理量的傳感器即可，例如也可以設(shè)置負(fù)載傳感器來根據(jù)卷裝薄膜R 的重量檢測卷裝薄膜R的直徑。在該情況下，將負(fù)載傳感器設(shè)置在卷裝薄膜支承部702。此外，在本實施方式中，將筒701以比卷裝薄膜R反射率低的材質(zhì)形成，然而并不限定于此。在檢測薄膜S的有無的情況下，筒701只要具有與卷裝薄膜R不同的反射率即可，例如也可以以比卷裝薄膜R反射率高的材質(zhì)形成。此外，在本實施方式中，通過張力施加部707對卷裝薄膜支承部702施加逆向進(jìn)給旋轉(zhuǎn)方向的旋轉(zhuǎn)力，從而對薄膜S施加張力，然而并不限定于此。張力施加部707只要是能夠?qū)Ρ∧施加適度的張力的結(jié)構(gòu)即可，例如也可以構(gòu)成為對卷裝薄膜支承部702作用摩擦力的結(jié)構(gòu)。此外，在本實施方式中，作為光傳感器767米用了在發(fā)光部636的周圍設(shè)置受光部 766的結(jié)構(gòu)，然而并不限定于此。光傳感器767也可以是在受光部766的周圍設(shè)置發(fā)光部 636的結(jié)構(gòu)。此外，在本實施方式中，構(gòu)成為將來自光傳感器767的輸出通知給張力施加部707 和監(jiān)視部768，然而并不限定于此。也可以是將來自光傳感器767的輸出通知給控制部6， 然后經(jīng)控制部6通知給張力施加部707和監(jiān)視部768。此外，在本實施方式中，利用一對爪部774將卷裝薄膜R鎖定在卷裝薄膜支承部 702，然而并不限定于此。卷裝薄膜支承部702只要是可鎖定卷裝薄膜R的結(jié)構(gòu)，則可以具有任意的結(jié)構(gòu)。此外，在本實施方式中，通過第一鼓風(fēng)部708、第二鼓風(fēng)部709向薄膜S噴射空氣來清洗薄膜S，然而并不限定于此。第一鼓風(fēng)部708、第二鼓風(fēng)部709也可以噴射空氣以外的氣體來清洗薄膜S。此外，在本實施方式中，通過從抽吸口 739吹送空氣來防止拉出薄膜S時薄膜S與保持面737的摩擦，然而并不限定于此。在拉出薄膜S時薄膜S與保持面737不摩擦的情況下，也可以不從抽吸口 739吹送空氣。此外，在本實施方式中，薄膜拉出部703構(gòu)成為在使把持部741把持薄膜S的前端的狀態(tài)下，通過使把持部741滑動來將薄膜S從卷裝薄膜R拉出，然而并不限定于此。薄膜拉出部703只要是能夠?qū)⒈∧從卷裝薄膜R拉出的結(jié)構(gòu)，則可以是任意的結(jié)構(gòu)。參考圖I、圖17和圖18，詳細(xì)地說明載置臺和薄膜搬送部。圖17是本實施方式的載置臺的示意圖。另外，在圖17中，(a)為載置臺的俯視示意圖，(b)為沿(a)中的Bl-Bl 線的剖視圖。圖18是本實施方式的薄膜搬送部的剖視示意圖。如圖17所示，載置臺602由透光性材料形成為圓板狀，其在上表面的除了外周區(qū)域以外的中央?yún)^(qū)域設(shè)有凹部651。載置臺602上表面通過凹部651形成為臺階狀，其在外周區(qū)域形成第一保持面652，在凹部651的內(nèi)底面形成第二保持面653，在凹部651的內(nèi)周面形成從第一保持面652到第二保持面653的側(cè)面654。在第一保持面652呈同心圓狀地形成有兩個第一抽吸口 655，該兩個第一抽吸口 655抽吸保持薄膜S的外周區(qū)域。在第二保持面653與側(cè)面654的角部形成有環(huán)狀的第二抽吸口 656 (抽吸口)，該環(huán)狀的第二抽吸口 656抽吸薄膜S的中央?yún)^(qū)域。第一抽吸口 655經(jīng)由形成于載置臺602內(nèi)部的流路與未圖示的抽吸源連接。第二抽吸口 656經(jīng)由形成于載置臺602內(nèi)部的流路與抽吸源連接。此外，在與第二抽吸口 656 相連的流路設(shè)有大氣敞開閥。載置臺602通過第一抽吸口 655的抽吸將薄膜S的外周區(qū)域吸附保持在第一保持面652。此時，通過薄膜S、第二保持面653和側(cè)面654形成密閉空間 657 (參考圖17的(b))。載置臺602通過第二抽吸口 656從該密閉空間657抽吸空氣，由此將薄膜S貼附在第二保持面653。當(dāng)從密閉空間657抽吸空氣時，薄膜S —邊借助第一保持面652與第二保持面653 的階梯差而被拉伸一邊沿第二保持面653緊貼。由于第二保持面653除了形成有第二抽吸口 656的外周緣之外均形成得平坦，因此提高了對薄膜S的緊貼性，并且能夠消除由發(fā)光部 636 (參考圖5)照射的光的散射。因此，能夠?qū)⑵教沟谋∧良好地粘貼于工件W。此外，通過將大氣敞開閥敞開，使空氣從第二抽吸口 656流入薄膜S與第二保持面 653之間，從而利用作用于薄膜S的張力(復(fù)原力)將薄膜S從第二保持面653剝離。這樣，本實施方式的載置臺602能夠?qū)⒈∧氣密地貼附于第二保持面653，并且能夠容易地將貼附于第二保持面653的薄膜S剝離。如圖I所示，薄膜搬送部800包括搬送臂部802，其從基座801內(nèi)突出，該基座801 配置在外部殼體2的底壁部；以及薄膜保持部803，其設(shè)于搬送臂部802的末端。搬送臂部 802構(gòu)成為能夠借助設(shè)于基座801內(nèi)的未圖示的移動機(jī)構(gòu)向X軸方向和Z軸方向移動。薄膜保持部803形成為俯視呈矩形形狀，并且該薄膜保持部803具有保持薄膜S的保持面。薄膜搬送部800借助于基座801內(nèi)的移動機(jī)構(gòu)在薄膜供給部700和載置臺602之間搬送薄膜 S。如圖18所示，在薄膜保持部803的下表面的除了外周區(qū)域以外的中央?yún)^(qū)域形成有凹部811。薄膜保持部803的下表面的外周區(qū)域作為保持面812，并形成有對薄膜S的外周區(qū)域進(jìn)行抽吸保持的抽吸口 813。抽吸口 813經(jīng)由在薄膜保持部803的內(nèi)部形成的流路與未圖示的抽吸源連接。在凹部811安裝有由伸縮材料形成的膨脹膜(膨脹部)814。膨脹膜 814隔開微小的間隙地安裝于凹部811的內(nèi)底面。在凹部811的內(nèi)底面形成有供給口 816，該供給口 816向膨脹膜814的中央部分供給空氣。供給口 816經(jīng)由在薄膜保持部803的內(nèi)部形成的流路與未圖示的供給源連接。通過經(jīng)由供給口 816向膨脹膜814供給空氣，膨脹膜814從中央部分開始鼓起并膨脹成圓頂狀。薄膜保持部803通過在將薄膜S保持于載置臺602上的第一保持面652的狀態(tài)下使膨脹膜814膨脹成圓頂狀，從而將薄膜S的中央部分按壓于載置臺602的第二保持面653。并且，被按壓在第二保持面653的薄膜S如上所述地通過第二抽吸口 656的抽吸而被吸附在第二保持面653。此時，由于薄膜S的中央部分被按壓在第二保持面653，因此薄膜S被以從中央向外側(cè)擠出氣泡的方式緊貼到第二保持面653。因此，抑制了氣泡進(jìn)入薄膜S與載置臺602之間，提高了第二保持面653與薄膜S的緊貼性。參考圖19，說明薄膜的貼附動作。圖19是由本實施方式的薄膜搬送部實現(xiàn)的薄膜的貼附動作的說明圖。 如圖19的(a)所示，薄膜保持部803從薄膜供給部700接收薄膜S，并將薄膜S定位于載置臺602的上方。在該情況下，薄膜S在由抽吸口 813將薄膜S的外周區(qū)域保持在保持面812的狀態(tài)下被搬送。薄膜保持部803在保持薄膜S的狀態(tài)下向下方移動，將薄膜 S載置于載置臺602的第一保持面652上。載置臺602在載置薄膜S后，利用第一抽吸口 655將薄膜S的外周區(qū)域吸附在第一保持面652。此時，通過薄膜S、第二保持面653和側(cè)面 654形成密閉空間657。接著，如圖19的(b)所示，當(dāng)將薄膜S的外周區(qū)域吸附于載置臺602的第一保持面652時，薄膜保持部803解除抽吸口 813對薄膜S的保持。接著，薄膜保持部803從供給口 816向膨脹膜814供給空氣，使膨脹膜814膨脹成圓頂狀。由此，薄膜S的中央部分被按壓在載置臺602的第二保持面653。接著，如圖19的(C)所示，載置臺602利用第二抽吸口 656從密閉空間657抽吸空氣，從而使薄膜S貼附在第二保持面653。此時，薄膜S —邊借助凹部651的階梯差而將褶皺拉伸，一邊由膨脹膜814以從中央部分向外側(cè)擠出氣泡的方式按壓擴(kuò)展。薄膜S通過利用第二抽吸口 656抽吸被擠出的氣泡，從而從內(nèi)側(cè)向外側(cè)逐漸緊貼到第二保持面653。由此，抑制了氣泡進(jìn)入薄膜S與載置臺602之間的情況。當(dāng)將薄膜S貼附到載置臺602上后， 薄膜保持部803從載置臺602上離開，然后對薄膜S實施上述的工件W的粘貼動作。接著，如圖19的(d)所示，當(dāng)工件W的粘貼動作結(jié)束后，載置臺602停止來自第二抽吸口 656的空氣的抽吸，打開大氣敞開閥，該大氣敞開閥將密閉空間657內(nèi)向大氣敞開。 通過大氣敞開閥的敞開，空氣從第二抽吸口 656流入薄膜S與第二保持面653之間，通過作用于薄膜S的張力(復(fù)原力)將薄膜S從第二保持面653剝離。這樣，即使是在薄膜S氣密地貼附于第二保持面653的情況下，也能夠容易地將薄膜S從第二保持面653剝離。另外，在本實施方式中，在薄膜保持部803設(shè)有膨脹膜814，然而并不限定于此。薄膜保持部803只要形成為能夠保持薄膜S即可，例如也可以如圖20那樣不設(shè)置膨脹膜814 而是在下表面整個區(qū)域形成保持面812。下面，參考圖20，說明使用變形例的薄膜保持部的薄膜的貼附動作。圖20是使用變形例的薄膜保持部的薄膜的貼附動作的說明圖。另外，在此，對相同名稱標(biāo)以相同標(biāo)號進(jìn)行說明。如圖20的(a)所示，薄膜保持部803從薄膜供給部700接收薄膜S，并將薄膜S定位于載置臺602的上方。在該情況下，薄膜S在由抽吸口 813保持在保持面812的狀態(tài)下被搬送。薄膜保持部803在保持薄膜S的狀態(tài)下向下方移動，將薄膜S載置于載置臺602 的第一保持面652上。載置臺602在載置薄膜S后，利用第一抽吸口 655將薄膜S的外周區(qū)域吸附在第一保持面652。接著，如圖20的(b)所示，當(dāng)將薄膜S的外周區(qū)域吸附于載置臺602的第一保持面652時，薄膜保持部803解除抽吸口 813對薄膜S的保持。接著，如圖20的(c)所示，載置臺602利用第二抽吸口 656從由薄膜S、第二保持面653和側(cè)面654構(gòu)成的密閉空間657 抽吸空氣，從而使薄膜S貼附在第二保持面653。此時，薄膜S借助凹部651的階梯差而將褶皺拉伸，并且薄膜S被緊貼到第二保持面653。當(dāng)將薄膜S貼附到載置臺602上后，薄膜保持部803從載置臺602上離開，然后對薄膜S實施上述的工件W的粘貼動作。接著，如圖20的(d)所示，當(dāng)工件W的粘貼動作結(jié)束后，載置臺602停止來自第二抽吸口 656的空氣的抽吸，打開大氣敞開閥，該大氣敞開閥將密閉空間657內(nèi)向大氣敞開。 通過大氣敞開閥的敞開，空氣從第二抽吸口 656流入薄膜S與第二保持面653之間，通過作用于薄膜S的張力(復(fù)原力)將薄膜S從第二保持面653剝離。這樣，即使是在薄膜S氣密地貼附于第二保持面653的情況下，也能夠容易地將薄膜S從第二保持面653剝離。此外，在本實施方式中，將載置臺602的第二保持面653形成得平坦，然而并不限定于此，第二保持面653也可以形成有到達(dá)第二抽吸口 656的槽。例如，如圖21所示，也可以以穿過第二保持面653的中心的方式在載置臺602形成槽901。在圖21中，(a)為載置臺的俯視示意圖，(b)為沿(a)中的B2-B2線的剖視圖。通過該結(jié)構(gòu)，在降低了從發(fā)光部 636(參考圖5)照射的光的散射的狀態(tài)下，減少了混入第二保持面653與薄膜S之間的氣泡，從而能夠提高薄膜S的吸附力。在該情況下，槽901只要是在第二保持面653上與第二抽吸口 656相連的結(jié)構(gòu)的話，可以任意地形成。另外，在本實施方式中，在與第二抽吸口656相連的流路設(shè)有大氣敞開閥，然而并不限定于此。只要通過第二抽吸口 656的抽吸將薄膜S吸附于第二保持面653的話，也可以是未設(shè)有大氣敞開閥的結(jié)構(gòu)。此外，在本實施方式中，將薄膜S利用第一抽吸口 655吸附保持在第一保持面652， 然而并不限定于此。只要將薄膜S的外周區(qū)域保持在第一保持面652即可，例如可以利用夾緊機(jī)構(gòu)等將薄膜S的外周區(qū)域機(jī)械地保持在第一保持面652。此外，在本實施方式中，薄膜S通過第二抽吸口 656吸附保持在第二保持面653，然而并不限定于此。第二保持面653只要是吸附保持薄膜S的中央?yún)^(qū)域的結(jié)構(gòu)即可，例如也可以由在第二保持面653和側(cè)面654的角部形成的多個孔構(gòu)成。此外，在本實施方式中，在第二保持面653和側(cè)面654的角部形成了第二抽吸口 656，然而并不限定于此。第二抽吸口 656只要至少形成于第二保持面653和側(cè)面654中的
一方即可。在此，參考圖1，說明樹脂涂布裝置I的整體性的動作的流程。首先，在運(yùn)行前的維護(hù)時，實施粘貼裝置600的裝配作業(yè)。由此，設(shè)定按壓部604在按壓操作時的基準(zhǔn)位置。當(dāng)樹脂涂布裝置I被驅(qū)動、并由操作者將搬入側(cè)的盒4收納到盒收納部100后，通過第一工件搬送部200從搬入側(cè)的盒4取出加工前的工件W，并臨時放置到臨時放置工作臺401。此時，在外部門106和內(nèi)部門107中的任意一方為打開狀態(tài)的情況下，將任意另一方以關(guān)閉狀態(tài)鎖定，從而確保了操作者的作業(yè)的安全性。臨時放置工作臺401上的工件W由拍攝部402拍攝，并在控制部6算出水平方向的朝向和中心位置。拍攝后的工件W基于算出的朝向和中心位置被第二工件搬送部300交接至按壓部604，并由按壓部604的按壓面634在載置臺602的上方進(jìn)行保持。另一方面， 與工件W向按壓部604的搬送并行地，通過薄膜供給部700從卷裝薄膜R拉出薄膜S。在拉出薄膜S時，與卷裝薄膜R的直徑的變化對應(yīng)地進(jìn)行調(diào)整，以對薄膜S作用適度的張力。由薄膜供給部700拉出的薄膜S被以預(yù)定長度切斷并由薄膜搬送部800搬送到載置臺602上。此時，通過設(shè)于薄膜搬送部800的膨脹膜814的膨脹和載置臺602的凹部651， 將薄膜S氣密地貼附到載置臺602。從樹脂供給部603向載置臺602上的薄膜S的中央部分供給液狀樹脂。接著，在向粘貼裝置600搬送薄膜S和工件W后，將保持在按壓面634的工件W按壓到供給了液狀樹脂的薄膜S。此時，根據(jù)按壓面634從液狀樹脂受到的壓力的變化來調(diào)整按壓部604的壓下量。由此，液狀樹脂鋪滿至工件W的外緣。當(dāng)工件W相對于薄膜S的按壓結(jié)束時，通過來自發(fā)光部636的光的照射使液狀樹脂硬化，從而在工件W與薄膜S之間形成樹脂膜。此時，由于是在工件W相對于薄膜S的按壓被解除的狀態(tài)下使液狀樹脂硬化，因此在工件W不會殘留內(nèi)部應(yīng)力。帶薄膜S的工件W 由第二工件搬送部300從載置臺602取出，并配置到薄膜切斷部500的下方。接著，帶薄膜 S的工件W在薄膜切斷部500被沿工件W的外形切除多余的薄膜S，然后由第一工件搬送部 200從薄膜切斷部500推入到搬出側(cè)的盒5中。如上所述，根據(jù)本實施方式的樹脂涂布裝置1，能夠在以保持在按壓面634的工件 W自上方按壓被供給至載置臺602上表面的液狀樹脂L時根據(jù)按壓部604受到的壓力變化來調(diào)節(jié)按壓部604的壓入量，因此能夠與工件W厚度的不均和液狀樹脂L的量的增減無關(guān)地使液狀樹脂L恰當(dāng)?shù)財U(kuò)展。此外，本次公開的實施方式中所有的方面都是示例，而并非限定于該實施方式。本發(fā)明的范圍并非僅由上述的實施方式的說明而是由權(quán)利要求書示出，在與權(quán)利要求書均等的含義以及范圍內(nèi)的所有變更均包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。工業(yè)上的可利用性如以上所說明的那樣，本發(fā)明具有能夠與工件厚度的不均和樹脂的量的增減無關(guān)地使樹脂恰當(dāng)?shù)財U(kuò)展的效果，特別對于以覆蓋半導(dǎo)體晶片等工件(被加工物)的一個面的方式涂布樹脂的樹脂涂布裝置是有用的。
權(quán)利要求
1.一種樹脂涂布裝置，該樹脂涂布裝置包括按壓部，所述按壓部具有能夠吸附保持工件的按壓面；載置臺，所述載置臺與所述按壓面對置地配設(shè)；樹脂供給部，所述樹脂供給部向所述載置臺的上表面供給液狀樹脂；移動部，所述移動部使所述按壓面相對于所述載置臺接近和離開；以及控制部，所述控制部控制所述移動部的動作，以保持于所述按壓面的所述工件對供給至所述載置臺的上表面的所述液狀樹脂自上方進(jìn)行按壓，從而使所述液狀樹脂在所述工件的下表面擴(kuò)展，所述樹脂涂布裝置的特征在于，所述按壓部具有檢測壓力的壓力傳感器，該壓力是在通過利用所述移動部使所述按壓面所保持的所述工件接近所述載置臺而使所述液狀樹脂在所述工件下表面擴(kuò)展時所述按壓面所受到的壓力，所述控制部基于所述壓力傳感器檢測出的壓力來控制所述移動部的動作。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的樹脂涂布裝置，其特征在于，當(dāng)所述壓力傳感器檢測到的壓力在預(yù)先設(shè)定的壓力以上時，所述控制部停止利用所述移動部使所述按壓面所保持的所述工件接近所述載置臺。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的樹脂涂布裝置，其特征在于，當(dāng)所述壓力傳感器檢測到的壓力在剛剛檢測到的壓力以下時，所述控制部停止利用所述移動部使所述按壓面所保持的所述工件接近所述載置臺。
全文摘要
本發(fā)明提供一種樹脂涂布裝置，其能夠與工件厚度的不均和樹脂的量的增減無關(guān)地使樹脂恰當(dāng)?shù)財U(kuò)展。本實施方式的樹脂涂布裝置(1)為以保持于按壓部(604)的按壓面(634)的工件(W)自上方按壓被供給至載置臺(602)的上表面的液狀樹脂(L)而使液狀樹脂(L)在工件(W)下表面擴(kuò)展的樹脂涂布裝置(1)，其構(gòu)成為在按壓部(604)具備檢測壓力的壓力傳感器(633)，該壓力是在通過利用移動部(606)使工件(W)接近載置臺(602)而使液狀樹脂(L)在工件(W)下表面擴(kuò)展時按壓面(634)所受到的壓力，控制部基于壓力傳感器(633)所檢測出的壓力來控制移動部(606)的動作。
文檔編號B05C5/00GK102580887SQ201210010370
公開日2012年7月18日 申請日期2012年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月13日
發(fā)明者桑名一孝 申請人:株式會社迪思科