專利名稱：表面高光潔度的難熔金屬合金箔片零件及其制備方法
表面高光潔度的難熔金屬合金箔片零件及其制備方法本發(fā)明涉及難熔金屬合金箔片零件加工、表面處理技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是表面高光潔度的難熔金屬合金箔片零件及其制備方法。如今，高精密設(shè)備被廣泛用于各個領(lǐng)域，與此同時，設(shè)備對于零件的光潔度要求也越來越高，對于零件加工和表面處理的技術(shù)因此也在不斷的提高。如國內(nèi)申請CN101861231A公開了一種用于硬質(zhì)和/或脆性材料的研磨加工工藝，該工藝中的采用多種磨料顆粒粒徑組合，并且針對不同的材質(zhì)進行具體優(yōu)化，其中也公開了使用碳化硼的磨料顆粒，但是其研磨工藝無法用于箔片材料，在過程中還需要添加金屬 粘合劑等其他成分，制備出的產(chǎn)品也只能用于半導(dǎo)體晶片行業(yè)。本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中難熔金屬加工后表面光潔度不理想的缺陷，提供一種表面高光潔度的難熔金屬合金箔片零件及其制備方法。為實現(xiàn)上述目的設(shè)計一種表面高光潔度的難熔金屬合金箔片零件的制備方法，其特征在于該方法由以下步驟組成，a.選用厚度在O. 06 Imm范圍的難熔金屬的合金坯料，b.對所述的坯料進行壓力加工或機械加工，將坯料加工成板型并平整，c.根據(jù)要求加工成需要的尺寸和形狀的箔片零件，d.采用機械研磨和拋光對所述的箔片零件進行單面或雙面的表面處理，研磨和拋光均采用碳化硼拋光液，研磨和拋光壓力為5 50kg，研磨時間為l(Tl20min，拋光時間為10 240min。所述的研磨用的碳化硼拋光液中碳化硼的粒徑為5 16um。所述的拋光用碳化硼拋光液中碳化硼的粒徑為O. 3 5um。所述的平整為肉眼可見范圍內(nèi)的板面無缺陷，所述的缺陷為波浪、皺褶、裂紋。所述的機械加工采用電火花切割、車、銑、刨、磨中的一種或多種。本發(fā)明還包括一種用上述方法制得的合金箔片零件，其特征在于零件厚度為O. 05、. 8mm，零件表面粗糙度小于RaO. 002。所述的零件成分為100%wt的鎢，或100%wt的鑰，或由I 50%wt的銅和50 99%wt鶴組成的合金，或由l 50%wt的銅和50、9%wt鑰組成的合金。所述的零件形狀是圓形、正方形或長方形，或者是客戶指定其它形狀。所述的合金箔片零件用于電子、通訊、半導(dǎo)體、照明、安全、醫(yī)療、軍工、航天、航空、海洋領(lǐng)域的表面高光潔度的難熔金屬及其合金箔片產(chǎn)品。本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比，使用本發(fā)明的方法制備出的合金箔片零件的表面粗糙度能夠小于RaO. 002，能滿足大功率LED照明、電子通訊、半導(dǎo)體等行業(yè)對于高光潔度零件的需求，其制備方法簡單合理，成本低，能夠廣泛的用于各種領(lǐng)域。對本發(fā)明做進一步說明，本發(fā)明所用裝置的結(jié)構(gòu)和對本專業(yè)的人來說是非常清楚的。本發(fā)明的裝置和結(jié)構(gòu)包括但不限于下述實施例。實施例I市售100%wt鑰坯料，厚度為O. 06mm，采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為5噸，軋輥直徑為50mm，軋輥表面拋光處理，軋 制速度8m/s，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為直徑為50_的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼8um拋光液，研磨壓力為10Kg，研磨時間為30min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液米用立方碳化硼O. 5um拋光液,拋光壓力IOKg,拋光時間45min。獲得的鑰箔片零件的表面粗糙度為RaO. 0008。實施例2市售100%wt鑰坯料，厚度為O. 3mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為8噸，軋輥直徑為50mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度8m/s，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為直徑為50mm的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼5um拋光液，研磨壓力為20Kg，研磨時間為45min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液米用立方碳化硼O. 5um拋光液,拋光壓力15Kg,拋光時間60min。獲得的鑰箔片零件的表面粗糙度為RaO. 0008。實施例3市售100%wt鑰坯料，厚度為O. 6mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為10噸，軋輥直徑為50mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度8m/s，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為直徑為50_的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼IOum拋光液，研磨壓力為10Kg，研磨時間為30min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液米用立方碳化硼O. 5um拋光液,拋光壓力IOKg,拋光時間45min。獲得的鑰箔片零件的表面粗糙度為RaO. 0008。實施例4市售100%wt鑰坯料，厚度為1mm，采用平面磨的機械加工方法進行平整處理，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為邊長為80mm的方形零件；這個方形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼12um拋光液，研磨壓力為40Kg，研磨時間為90min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液采用立方碳化硼O. 8um拋光液，拋光壓力20Kg，拋光時間lOmin。獲得的鑰箔片零件厚度為O. 95mm、表面粗糙度為RaO. 001。實施例5市售100%wt鎢坯料，厚度為O. 07mm，采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為8噸，軋輥直徑為45mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度8m/s，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為邊長為50mm*25mm的長方形零件；這個長方形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼IOum拋光液，研磨壓力為20Kg，研磨時間為45min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液采用立方碳化硼O. 8um拋光液，拋光壓力20Kg，拋光時間60min。獲得的鎢箔片零件的表面粗糙度為RaO. 0008。
實施例6市售100%wt鎢坯料，厚度為O. 1_，采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為10噸，軋輥直徑為45mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度8m/s，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為邊長為50mm*25mm的長方形零件；這個長方形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼IOum拋光液，研磨壓力為30Kg，研磨時間為45min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理,拋光液米用立方碳化硼O. 8um拋光液,拋光壓力30Kg，拋光時間60min。獲得的鎢箔片零件的表面粗糙度為RaO. 0008。實施例7市售100%wt鎢坯料，厚度為O. 5mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為15噸，軋輥直徑為45mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度8m/s，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為邊長為50mm*25mm的長方形零件；這個長方形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼IOum拋光液，研磨壓力為40Kg，研磨時間 為45min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理,拋光液米用立方碳化硼O. 8um拋光液,拋光壓力35Kg，拋光時間60min。獲得的鎢箔片零件的表面粗糙度為RaO. 0008。實施例8市售100%wt鎢坯料，厚度為O. 8mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為15噸，軋輥直徑為45mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度8m/s，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為邊長為50mm*25mm的長方形零件；這個長方形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼IOum拋光液，研磨壓力為40Kg，研磨時間為45min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理,拋光液米用立方碳化硼Ium拋光液,拋光壓力40Kg，拋光時間60min。獲得的鎢箔片零件的表面粗糙度為RaO. 0008。實施例9市售100%wt鎢坯料，厚度為1mm，采用平面磨的機械加工方法進行平整處理，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為邊長為80mm的方形零件；這個方形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼16um拋光液，研磨壓力為50Kg，研磨時間為120min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液采用立方碳化硼Ium拋光液，拋光壓力30Kg，拋光時間30min。獲得的鎢箔片零件厚度為O. 95mm、表面粗糙度為RaO. 0008。實施例10市售25%wt銅75%wt鑰的板坯料，厚度為O. 2mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為6噸，軋輥直徑為70mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度10m/S，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為直徑為50mm的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼6um拋光液，研磨壓力為lOKg，研磨時間為30min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液采用立方碳化硼O. 3um拋光液，拋光壓力10Kg，拋光時間45min。獲得的銅鑰合金箔片零件厚度為O. 15mm、表面粗糙度為RaO. 001 ο實施例11市售25%wt銅75%wt鑰的板坯料，厚度為O. 4mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為6噸，軋輥直徑為70mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度10m/S，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為直徑為50mm的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼5um拋光液，研磨壓力為15Kg，研磨時間為30min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液采用立方碳化硼O. 3um拋光液，拋光壓力15Kg，拋光時間45min。獲得的銅鑰合金箔片零件厚度為O. 35mm、表面粗糙度為RaO. 001 ο實施例12市售25%wt銅75%wt鑰的板坯料，厚度為O. 6mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為10噸，軋輥直徑為70mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度10m/S，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為直徑為50mm的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼5um拋光液，研磨壓力為15Kg，研磨時間為30min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液采用立方碳化硼O. 3um拋光液，拋光壓力15Kg，拋光時間45min。獲得的銅鑰合金箔片零件厚度為O. 55mm、表面粗糙度為
RaO. 001 ο實施例13市售25%wt銅75%wt鑰的板還料，厚度為Imm,采用平面磨的機械加工方法進行平整處理，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為邊長為80mm的方形零件；這個方形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼6um拋光液，研磨壓力為20Kg，研磨時間為60min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液采用立方碳化硼O. 3um拋光液，拋光壓力20Kg，拋光時間30min。獲得的銅鑰合金箔片零件厚度為O. 95mm、表面粗糙度為RaO. 001。實施例14市售20%wt銅80%wt鎢的板坯料，厚度為O. 2mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為10噸，軋輥直徑為70mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度lOm/s，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為直徑為50mm的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼8um拋光液，研磨壓力為20Kg，研磨時間為45min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理,拋光液米用立方碳化硼O. 5um拋光液，拋光壓力20Kg，拋光時間60min。獲得的銅鎢合金箔片零件厚度為O. 15mm、表面粗糙度為RaO. 0008。實施例15市售20%wt銅80%wt鎢的板坯料，厚度為O. 3mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為15噸，軋輥直徑為70mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度lOm/s，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為直徑為50mm的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼8um拋光液，研磨壓力為25Kg，研磨時間為60min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理,拋光液米用立方碳化硼O. 5um拋光液，拋光壓力25Kg，拋光時間90min。獲得的銅鎢合金箔片零件厚度為O. 25mm、表面粗糙度為RaO. 0008。實施例16市售20%wt銅80%wt鎢的板坯料，厚度為O. 7mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為18噸，軋輥直徑為70mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度lOm/s，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為直徑為50mm的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼8um拋光液，研磨壓力為30Kg，研磨時間為60min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理,拋光液米用立方碳化硼O. 5um拋光液，拋光壓力30Kg，拋光時間90min。獲得的銅鎢合金箔片零件厚度為O. 65mm、表面粗糙度為RaO. 0008。實施例17
市售20%wt銅80%wt鎢的板坯料，厚度為1mm，采用平面磨的機械加工方法進行平整處理，平整處理后，坯料表面平整；采用線切割機加工為邊長為80mm的方形零件；這個方形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼8um拋光液，研磨壓力為30Kg，研磨時間為60min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液采用立方碳化硼O. 5um拋光液，拋光壓力30Kg，拋光時間45min。獲得的銅鎢合金箔片零件厚度為O. 95mm、表面粗糙度為RaO. 0008。實施例18市售20%wt銅40%wt媽40%wt鑰的板還料，厚度為O. 16mm,采用四棍軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為8噸，軋輥直徑為70mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度lOm/s，平整處理后，坯料表面平整；采用電火花線切割機加工為直徑為50mm的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼6um拋光液，研磨壓力為20Kg，研磨時間為45min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液采用立方碳化硼O. 5um拋光液，拋光壓力20Kg，拋光時間60min。獲得的銅鎢鑰合金箔片零件厚度為O. 12mm、表面粗糙度為RaO. 0008。實施例19市售20%wt銅40%wt鎢40%wt鑰的板坯料，厚度為O. 3mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為10噸，軋輥直徑為70mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度lOm/s，平整處理后，坯料表面平整；采用電火花線切割機加工為直徑為50mm的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼6um拋光液，研磨壓力為25Kg,研磨時間為45min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理,拋光液米用立方碳化硼O. 5um拋光液，拋光壓力25Kg，拋光時間60min。獲得的銅鎢鑰合金箔片零件厚度為O. 26mm、表面粗糙度為RaO. 0008。實施例20市售20%wt銅40%wt鎢40%wt鑰的板坯料，厚度為O. 8mm,采用四輥軋機的壓力加工方法進行平整處理，軋制壓力為12噸，軋輥直徑為70mm，軋輥表面拋光處理，軋制速度lOm/s，平整處理后，坯料表面平整；采用電火花線切割機加工為直徑為50mm的圓形零件；這個圓形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼6um拋光液，研磨壓力為30Kg，研磨時間為45min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理，拋光液采用立方碳化硼O. 5um拋光液，拋光壓力30Kg，拋光時間60min。獲得的銅鎢鑰合金箔片零件厚度為O. 76mm、表面粗糙度為RaO. 0008。實施例21市售20%wt銅40%wt媽40%wt鑰的板還料，厚度為Imm,采用平面磨的機械加工方法進行平整處理，平整處理后，坯料表面平整；采用電火花線切割機加工為邊長為80mm的方形零件；這個方形零件在機械研磨機中進行研磨處理，研磨液采用立方碳化硼6um拋光液，研磨壓力為30Kg,研磨時間為60min ;然后在機械拋光機中進行拋光處理,拋光液米用立方碳化硼O. 5um拋光液，拋光壓力 30Kg，拋光時間60min。獲得的銅鎢鑰合金箔片零件厚度為O. 95mm、表面粗糙度為RaO. 0008。
權(quán)利要求
1.一種表面高光潔度的難熔金屬合金箔片零件的制備方法，其特征在于該方法由以下步驟組成， a.選用厚度在O.06 Imm范圍的難熔金屬的合金坯料， b.對所述的坯料進行壓力或機械加工，將坯料加工成板型并平整， c.根據(jù)要求加工成需要的尺寸和形狀的箔片零件， d.采用機械研磨和拋光對所述的箔片零件進行單面或雙面的表面處理，研磨和拋光均采用碳化硼拋光液，研磨和拋光壓力為5飛0kg，研磨時間為l(Tl20min，拋光時間為10 240min。
2.如權(quán)I所述的表面高光潔度的難熔金屬合金箔片零件的制備方法，其特征在于所述的研磨用的碳化硼拋光液中碳化硼的粒徑為5 16um。
3.如權(quán)I所述的表面高光潔度的難熔金屬合金箔片零件的制備方法，其特征在于所述的拋光用碳化硼拋光液中碳化硼的粒徑為O. 3 5um。
4.如權(quán)I所述的表面高光潔度的難熔金屬合金箔片零件的制備方法，其特征在于所述的平整為肉眼可見范圍內(nèi)的板面無缺陷，所述的缺陷為波浪、皺褶、裂紋。
5.如權(quán)I所述的表面高光潔度的難熔金屬合金箔片零件的制備方法，其特征在于所述的機械加工采用電火花切割、車、銑、刨、磨中的一種或多種。
6.一種用權(quán)I方法制得的合金箔片零件，其特征在于零件厚度為O. 05、. 95mm，表面粗糙度小于RaO. 002。
7.如權(quán)6所述的合金箔片零件，其特征在于所述的零件成分為100%wt的鎢，或100%wt的鑰，或由l 50%wt的銅和5(T99%wt鎢組成的合金，或由l 50%wt的銅和5(T99%wt鑰組成的合金。
8.如權(quán)6所述的合金箔片零件，其特征在于所述的零件形狀是圓形、正方形、長方形。
9.權(quán)6所述合金箔片零件的應(yīng)用，其特征在于，所述的合金箔片零件用于電子、通訊、半導(dǎo)體、大功率LED照明芯片、安全、醫(yī)療、軍工、航天、航空、海洋領(lǐng)域的表面高光潔度的難熔金屬及其合金箔片產(chǎn)品。
全文摘要
本發(fā)明涉及難熔金屬合金箔片零件加工、表面處理技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是表面高光潔度的難熔金屬合金箔片零件及其制備方法，選用厚度在0.06～1mm范圍的難熔金屬的合金坯料，然后進行壓力或機械加工并平整，根據(jù)要求加工成需要的尺寸和形狀的箔片零件，采用機械研磨和拋光對所述的箔片零件進行單面或雙面的表面處理，研磨和拋光均采用碳化硼拋光液，研磨和拋光壓力為5~50kg，研磨時間為10~120min，拋光時間為10~240min，得到的產(chǎn)品零件厚度為0.05～0.95mm，表面粗糙度小于Ra0.002，本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比，能滿足大功率LED照明芯片、電子通訊、半導(dǎo)體等行業(yè)對于表面高光潔度零件的需求，其制備方法簡單合理，成本低，能夠廣泛的用于各種領(lǐng)域。
文檔編號C09G1/02GK102699811SQ201210170000
公開日2012年10月3日 申請日期2012年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月29日
發(fā)明者王濤 申請人:上海瑞鉬特金屬新材料有限公司