專利名稱：金屬件清洗方法及涂敷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種清洗向基板吐出涂敷液的金屬件的金屬件清洗方法、以及能夠?qū)嵤┰撉逑捶椒ǖ耐糠笱b置。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器等平板顯示器、太陽能電池面板等中使用形成有像素、電路圖案等的基板，這樣的基板例如通過使用涂敷抗蝕液(涂敷液)而進(jìn)行的光刻蝕技術(shù)來制作。作為對基板涂敷液的裝置，已知有具有在寬度方向上較長的縫隙形成于內(nèi)部的金屬件的涂敷裝置。根據(jù)該涂敷裝置，在使金屬件相對于基板水平移動的同時，從縫隙吐出涂敷液，從而能夠在基板表面形成涂敷液的膜。 利用該涂敷裝置長時間持續(xù)進(jìn)行涂敷作業(yè)時，有時涂敷液的固化物或者混入涂敷液的異物等粘著物會粘著在縫隙、縫隙開口的金屬件前端、以及金屬件前端的外側(cè)面等，這些粘著物可能會影響涂敷液的吐出，從而產(chǎn)生涂敷缺陷。因此，有人提出了例如專利文獻(xiàn)I中所公開的清洗金屬件的清洗裝置。該清洗裝置包括儲存清洗液并用于將金屬件前端浸潰在該清洗液中的清洗槽；以及用于使清洗液流入金屬件(縫隙)的流路。并且，在該流路的途中設(shè)置有對清洗液施加超聲波振動的超聲波振蕩器，通過該超聲波振動使金屬件內(nèi)部粘著的粘著物浮起，提高清洗效果?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本發(fā)明專利公開第2007 - 253093號公報(參照圖I、圖2、圖3)

發(fā)明內(nèi)容
采用專利文獻(xiàn)I所述的清洗裝置時，由于對清洗液施加超聲波振動的位置在清洗液流動的流路的途中遠(yuǎn)離金屬件(縫隙)，因此超聲波的振動能量衰減，不能期待其提高對金屬件的清洗效果。因此，為了使對清洗液施加超聲波振動的位置在金屬件前端附近，例如，考慮在用于儲存清洗液且用于使金屬件前端浸潰在該清洗液中的清洗槽的底部設(shè)置振子，通過該振子對清洗液施加振動波(超聲波振動)，從而進(jìn)行金屬件的清洗。但是，如上所述，利用在浸潰在清洗液中的金屬件前端附近設(shè)置的振子，只對清洗液施加振動波(超聲波振動)，雖然能夠清洗縫隙開口的金屬件前端及金屬件前端的外側(cè)面，但是，對清洗液施加的振動波(基于振動波的空穴現(xiàn)象)不能到達(dá)開口寬度非常窄的縫隙(特別是離金屬件前端遠(yuǎn)的縫隙內(nèi)部)，所以不能夠清洗縫隙的粘著物。因此，為使對清洗液施加的振動波(基于振動波的空穴現(xiàn)象)到達(dá)金屬件的縫隙(縫隙內(nèi)部)，可以考慮從金屬件前端吸引施加了振動波(超聲波振動)的清洗液的方法。但是，粘著有粘著物的區(qū)域由于粘著物的阻力，使清洗液難以流動，因此，僅從金屬件吸引含空穴現(xiàn)象的清洗液，清洗液避開粘著物而流動，空穴現(xiàn)象不能到達(dá)粘著物，因而不能有效地清洗粘著物。即，在現(xiàn)有技術(shù)中，清洗作用弱，在寬度方向上較長的縫隙(金屬件)的整體上難以得到?jīng)]有斑點的清洗結(jié)果，另外，為了得到期望的清洗結(jié)果，需要反復(fù)進(jìn)行清洗，需要大量的清洗時間。由于需要至重新開始涂敷作業(yè)為止的時間，因而妨礙生產(chǎn)效率的提高。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠使現(xiàn)有技術(shù)中由于振動波(基于振動波的空穴現(xiàn)象)的傳播不充分而殘留的粘著物浮起、能夠在短時間內(nèi)效率良好地得到?jīng)]有斑點的期望的清洗結(jié)果的金屬件清洗方法，以及能夠?qū)嵤┰撉逑捶椒ǖ耐糠笱b置。本發(fā)明的金屬件的清洗方法的特征在于，該金屬件內(nèi)形成有在該金屬件寬度方向上長、且在該金屬件的前端開口的縫隙，該清洗方法包括 第I流入工序，使金屬件前端浸 潰在清洗槽內(nèi)的施加了振動波的清洗液中，使該清洗液通過所述縫隙向金屬件內(nèi)部流入；氣體流入工序，從在所述第I流入工序中使清洗液向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，使氣體在縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內(nèi)部；以及第2流入工序，在所述氣體流入工序后，使所述金屬件前端浸潰在所述清洗槽內(nèi)的施加了振動波的清洗液中，使該清洗液通過所述縫隙向所述金屬件內(nèi)部流入。根據(jù)本發(fā)明，在第I流入工序中，通過使施加了振動波的清洗液向金屬件內(nèi)部流入，能夠使粘著在金屬件內(nèi)部的粘著物浮起。并且，通過從使清洗液向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，使氣體在縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入金屬件內(nèi)部，能夠使氣體和清洗液的氣液界面一齊在縫隙的寬度方向的全長移動。其結(jié)果，在金屬件內(nèi)部獲得粘著物剝離效果的同時，在第2流入工序中，在再次使施加了振動波的清洗液流向金屬件內(nèi)部之際，振動波(基于振動波的空穴現(xiàn)象)傳播的狀態(tài)(路徑)被從第I流入工序改變，能夠使因振動波的傳播不充分而殘留的粘著物浮起。其結(jié)果，能夠在短時間內(nèi)得到期望的清洗結(jié)果。另外，在所述氣體流入工序中，優(yōu)選通過使所述金屬件前端與所述清洗液的液面分離，從而使氣體在所述縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內(nèi)部。此時，只要從使金屬件前端浸潰在洗槽內(nèi)的清洗液中的狀態(tài)進(jìn)行將該金屬件前端和清洗液的液面分離的操作，就能夠簡單地使氣體在縫隙的寬度方向的全長通過縫隙流入金屬件內(nèi)部。從第I流入工序向氣體流入工序轉(zhuǎn)移時，由于向金屬件內(nèi)部一側(cè)流動的清洗液中含有較多的氣體，因此，由于氣體溶解在清洗液中，因而在將該清洗液直接返回到清洗槽之后進(jìn)行第I流入工序(或者第2流入工序)時，是對溶解氣體量增加的清洗液施加振動波。此時，可能由于溶解氣體而阻礙清洗液中振動波的空穴現(xiàn)象的產(chǎn)生，從而使得利用空穴現(xiàn)象使粘著物浮起的效果可能變?nèi)?。因此，?yōu)選所述金屬件的清洗方法還包括氣體排出工序，通過被在所述第I流入工序及所述第2流入工序中從所述縫隙流入的清洗液充滿的流路，將所述清洗液返回至所述清洗槽，并從所述流路將在所述氣體流入工序中流入的氣體通過與所述縫隙不同的排出流路排出?！胺祷氐角逑床鄣那逑匆骸笨梢允窃诘贗流入工序及第2流入工序中從縫隙流入的清洗液，或者也可以是新的清洗液。使從縫隙流入的清洗液返回時，使該清洗液中所含的氣體通過排出流路排出。使新的清洗液返回時，使從縫隙流入的清洗液中所含的氣體與該清洗液一起通過排出流路排出，新的清洗液代替該清洗液返回到清洗槽。
此時，即使將清洗液返回到清洗槽，也能夠抑制清洗槽內(nèi)的清洗液的溶解氣體量增加，即使之后進(jìn)行第I流入工序(或者第2流入工序)，也能夠防止利用振動波使粘著物浮起的效果減弱。另外，通過對清洗液施加振動波而使異物在清洗槽內(nèi)浮遊時，根據(jù)第I流入工序及第2流入工序中的一方或者雙方，該清洗槽內(nèi)的浮遊異物有可能隨清洗液一同被吸進(jìn)金屬件內(nèi)部一側(cè)。因此，優(yōu)選所述金屬件的清洗方法還包括整理工序，在使所述金屬件前端浸潰在所述清洗槽內(nèi)的清洗液中的狀態(tài)下，在所述第I流入工序及所述第2流入工序中的一方或者雙方中使清洗液向所述金屬件內(nèi)部一側(cè)流入后，從所述縫隙向該清洗槽吐出(從縫隙流入的或新的)清洗液；在該整理工序中，在對所述清洗槽中的清洗液施加振動波的狀態(tài)下，使浸潰在該清洗槽內(nèi)的清洗液中的所述金屬件前端從該清洗液的液面離開。此時，即使清洗槽內(nèi)的浮遊異物與清洗液一同被吸入到金屬件內(nèi)部一側(cè)，并粘著 在金屬件內(nèi)部的接液面(液體接觸面)，也能夠利用整理工序，通過使(從縫隙流入的或者新的)清洗液向清洗槽吐出，從而使粘著在金屬件內(nèi)部的接液面的清洗槽內(nèi)的異物利用振動波而浮起，并從金屬件內(nèi)部吐出。而且，由于在對清洗槽中的清洗液施加振動波的狀態(tài)下，使浸潰在清洗槽內(nèi)的清洗液中的金屬件前端離開該清洗液的液面，因此，能夠防止浮游在所述清洗槽內(nèi)的異物再次粘著在金屬件內(nèi)部和金屬件前端。其結(jié)果，清洗作業(yè)結(jié)束后，能夠不借助人手，迅速地向涂敷作業(yè)轉(zhuǎn)移。另外，在清洗槽內(nèi)浮遊的異物具有利用振動波容易在縫隙內(nèi)浮遊并容易向金屬件內(nèi)部侵入的形態(tài)(比重、大小等)時，特別是根據(jù)第I流入工序及第2流入工序中的一方或者雙方，該清洗槽內(nèi)的浮遊異物容易與清洗液一起被向金屬件內(nèi)部一側(cè)吸入。此時，優(yōu)選所述金屬件的清洗方法還包括整理工序，在使所述金屬件前端浸潰在所述清洗槽內(nèi)的清洗液中的狀態(tài)下，在所述第I流入工序及所述第2流入工序中的一方或者雙方中使(從縫隙流入的或新的)清洗液向所述金屬件內(nèi)部一側(cè)流入后，從所述縫隙向該清洗槽吐出清洗液；在該整理工序中，在使清洗液向所述清洗槽吐出的途中停止對該清洗槽內(nèi)的清洗液施加振動波。此時，即使清洗槽內(nèi)的浮遊異物與清洗液一起被向金屬件內(nèi)部一側(cè)吸入，也能夠利用該整理工序，通過在對清洗槽內(nèi)的清洗液施加振動波的期間向清洗槽吐出(從縫隙流入的或者新的)清洗液，從而簡單地使向金屬件內(nèi)部吸入的清洗槽內(nèi)的浮遊異物從金屬件內(nèi)部吐出。并且，此時，通過施加超聲波，能夠避免異物粘著在金屬件前端。而且，通過在使清洗液向清洗槽吐出的途中停止對清洗槽內(nèi)的清洗液施加振動波，從而使清洗槽內(nèi)的異物沉淀，能夠防止異物利用振動波在清洗槽內(nèi)浮遊，能夠避免異物向金屬件前端粘著。其結(jié)果，清洗作業(yè)結(jié)束后，能夠不借助人手，迅速地向涂敷作業(yè)轉(zhuǎn)移。另外，優(yōu)選所述金屬件的清洗方法還包括更換工序，在通過使超聲波振子以低頻率振動以產(chǎn)生所述振動波而進(jìn)行的所述第I流入工序及所述第2流入工序之后，在再次進(jìn)行所述第I流入工序的情況下，在再次進(jìn)行該第I流入工序前至少更換一部分所述清洗槽中的清洗液。此時，通過使超聲波振子以低頻率振動以產(chǎn)生振動波而進(jìn)行所述第I流入工序及所述第2流入工序，能夠進(jìn)一步提高金屬件的清洗效果。作為低頻率，為20kHz以上40kHz以下。但是，采用這樣的低頻率時，清洗液的溫度容易上升，通過再次進(jìn)行第I流入工序，使該清洗液向金屬件內(nèi)部一側(cè)流入，金屬件的溫度也上升。此時，金屬件發(fā)生熱膨脹，縫隙的尺寸發(fā)生變化，使用該金屬件立刻進(jìn)行涂敷作業(yè)時，有可能會影響涂敷的品質(zhì)。因此，有必要停止作業(yè)，直至清洗液的溫度降低至一定的溫度為止，因而造成時間的損失。因此，此時，利用所述更換工序至少更換一部分清洗槽中的清洗液，能夠防止利用溫度上升的清洗液再次進(jìn)行第I流入工序。另外，優(yōu)選所述金屬件的清洗方法還包括連續(xù)更換工序，在通過使超聲波振子以低頻率振動以產(chǎn)生所述振動波的期間，至少更換一部分所述清洗槽中的清洗液。此時，通過使超聲波振子以 低頻率(20kHz以上40kHz以下)振動以產(chǎn)生振動波，雖然能夠進(jìn)一步提高金屬件的清洗效果，但在采用這樣的低頻率時，清洗液的溫度易上升，然后使該清洗液流入金屬件內(nèi)部一側(cè)時，金屬件的溫度也上升。此時，金屬件發(fā)生熱膨脹，縫隙的尺寸發(fā)生變化，使用該金屬件立刻進(jìn)行涂敷作業(yè)時，有可能會影響涂敷的品質(zhì)。因此，有必要停止作業(yè)，直至清洗液的溫度降低至一定的溫度為止，因而造成時間的損失。因此，此時，利用所述連續(xù)更換工序至少更換一部分清洗槽中的清洗液，能夠不使用溫度上升的清洗液。另外，本發(fā)明的涂敷裝置的特征在于包括裝置主體，其具有金屬件，在該金屬件內(nèi)形成有在該金屬件的寬度方向上長、且在該金屬件前端開口的縫隙，從該縫隙向基板吐出涂敷液進(jìn)行涂敷；以及清洗結(jié)構(gòu)，其清洗所述金屬件。所述清洗結(jié)構(gòu)包括清洗槽，其儲存清洗液；振蕩裝置，其對所述清洗槽內(nèi)的所述清洗液施加振動波；輸液單元，其在使金屬件前端浸潰在所述清洗槽內(nèi)的施加了振動波的清洗液中的狀態(tài)下，使該清洗液通過所述縫隙向金屬件內(nèi)部流入；以及控制裝置，進(jìn)行控制，使得從通過所述輸液單元使清洗液向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，氣體在該縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內(nèi)部。根據(jù)本發(fā)明，通過使施加了振動波的清洗液向金屬件內(nèi)部流入，能夠使粘著在金屬件內(nèi)部的粘著物浮起。并且，通過從使清洗液向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，使氣體在縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入金屬件內(nèi)部，能夠使氣體與清洗液的氣液界面一齊在縫隙的寬度方向的全長移動。其結(jié)果，在金屬件內(nèi)部獲得粘著物剝離效果的同時，在再次使施加了振動波的清洗液向金屬件內(nèi)部流入時，沿著清洗液的流向的振動波(基于振動波的空穴現(xiàn)象)傳播的狀態(tài)(路徑)被改變，能夠使現(xiàn)有技術(shù)中因振動波的傳播不充分而殘留的粘著物浮起。其結(jié)果，能夠在短時間內(nèi)得到期望的清洗結(jié)果。另外，優(yōu)選所述涂敷裝置還包括位置變更單元，其變更所述清洗槽內(nèi)的清洗液的液面與所述金屬件前端的高度方向的相對位置；所述控制裝置控制所述位置變更單元，使所述金屬件前端與所述清洗液的液面在高度方向上分離，從而使氣體在所述縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內(nèi)部。此時，從使金屬件前端浸潰在清洗槽內(nèi)的施加了振動波的清洗液中的狀態(tài)，利用位置變更單元，使該金屬件前端和清洗液的液面在高度方向上分離，從而能夠使氣體在縫隙的寬度方向的全長通過縫隙流入金屬件內(nèi)部。另外，根據(jù)所述輸液單元，由于向金屬件內(nèi)部一側(cè)流入的清洗液中含有較多的氣體，因此，在使該清洗液直接返回到清洗槽后，在使金屬件前端浸潰在清洗槽內(nèi)的施加了振動波的清洗液中的狀態(tài)下，在使清洗液通過縫隙向金屬件內(nèi)部流入時，是對溶解氣體量增加的清洗液施加振動波。此時，可能由于溶解氣體而阻礙清洗液中振動波的空穴現(xiàn)象的產(chǎn)生，從而使得利用空穴現(xiàn)象使粘著物浮起的效果可能減弱。因此，優(yōu)選所述涂敷裝置還包括清洗液返回部，其利用所述輸液單元，通過被從所述縫隙流入的清洗液充滿的流路，將(從縫隙流入的或新的)清洗液返回到所述清洗槽；以及排出流路，其使從所述縫隙流入的氣體排出到所述清洗槽以外的區(qū)域。此時，即使使清洗液返回到清洗槽，也能夠抑制清洗槽內(nèi)的清洗液的溶解氣體量增加，能夠防止利用振動波使粘著物浮起的效果減弱。根據(jù)本發(fā)明，通過氣體與清洗液的氣液界面一齊在縫隙的寬度方向的全長移動，在金屬件內(nèi)部獲得粘著物剝離效果的同時，在再次使施加了振動波的清洗液向金屬件內(nèi)部流入時，振動波(基于振動波的空穴現(xiàn)象)傳播的狀態(tài)(路徑)被改變，能夠使現(xiàn)有技術(shù)中因 振動波的傳播不充分而殘留的粘著物浮起，能夠在短時間內(nèi)得到期望的清洗結(jié)果。


圖I是表示本發(fā)明的涂敷裝置的一種實施方式的示意圖；圖2是金屬件及清洗結(jié)構(gòu)的說明圖；圖3是說明清洗方法的流程圖；圖4是清洗方法中包括的工序的說明圖；圖5是金屬件及清洗槽的說明圖，(A)表示第I流入工序，(B)表示氣體流入工序，(C)和(D)表示第2流入工序；圖6是用于說明整理工序的金屬件及清洗槽的說明圖；圖7是說明氣體流入單元的其它例子的說明圖。附圖標(biāo)記說明I :涂敷裝置3:金屬件4 :驅(qū)動裝置(位置變更單元)5 :控制裝置6 :清洗機構(gòu)7 :縫隙8 :裝置主體9 :金屬件前端11 :清洗槽12a :振子13 :泵(清洗液返回部)21 :流路22 :排出流路a :氣體BI, B2 :氣液界面F :粘著物L(fēng) :清洗液
R :異物W :基板
具體實施例方式以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。〔關(guān)于涂敷裝置的結(jié)構(gòu)〕圖I是表示本發(fā)明的涂敷裝置I的一種實施方式的示意圖。該涂敷裝置I包括能夠載置基板(矩形的片材部件)W的操作臺(stage)2 ;在內(nèi)部形成有縫隙7的金屬件3 ;以及搭載該金屬件3，相對于操作臺2上的基板W使該金屬件3水平移動(X方向移動)的驅(qū)動裝置4。由這些部件構(gòu)成裝置主體8，根據(jù)該裝置主體8，驅(qū)動裝置4使金屬件3水平移動的 同時，通過從縫隙7對基板W吐出涂敷液并進(jìn)行涂敷，能夠在基板W上形成涂敷液的膜(涂膜)M。因此，金屬件3的移動方向為涂敷方向(X方向)。并且，涂敷裝置I還包括清洗金屬件3的清洗機構(gòu)6。另外，該涂敷裝置I還包括控制裝置主體8及清洗機構(gòu)6的工作的控制裝置5，控制裝置5進(jìn)行將涂敷液吐出在基板W上的涂敷工作的控制、及利用清洗機構(gòu)6進(jìn)行金屬件3的清洗工作的控制。形成于金屬件3的內(nèi)部的縫隙7在金屬件3的寬度方向上較長，在金屬件前端(金屬件下端)9開口。金屬件3的寬度方向為與涂敷方向(X方向)垂直的水平方向(Y方向)?？p隙7在涂敷方向上薄，與形成于金屬件3的內(nèi)部的分流流路(manifold) 10連接，涂敷液通過分流流路10及縫隙7從金屬件前端9被吐出。分流流路10也與縫隙7同樣，在寬度方向上較長。縫隙7開口的金屬件前端9 (縫隙7的開口端)水平地、直線地形成于寬度方向全長。清洗機構(gòu)6包括儲存有清洗金屬件3的清洗液L的清洗槽11，該清洗槽11設(shè)置在操作臺2的附近。涂敷工作結(jié)束后，通過驅(qū)動裝置4使金屬件3水平移動，能夠使金屬件3位于清洗槽11的上方。驅(qū)動裝置4也具有使金屬件3上下移動的功能，通過使金屬件3下降，能夠使金屬件前端9浸潰在清洗槽11內(nèi)的清洗液中。圖2是金屬件3及清洗機構(gòu)6的說明圖。清洗機構(gòu)6除了具有儲存清洗液L的所述清洗槽11以外，還包括對清洗槽11內(nèi)的清洗液L施加振動波的振蕩裝置12、以及通過金屬件3和配管Pl連接的泵13。并且，本實施方式的清洗機構(gòu)6還包括通過金屬件3和配管P2連接的廢液部(廢液瓶)14 ;包括將清洗槽11內(nèi)的清洗液L吸出的泵15a、構(gòu)成將所吸出的清洗液L向清洗槽11返回的流路的循環(huán)流路15 ;設(shè)置于循環(huán)流路15的途中、從清洗液L中進(jìn)行脫氣的脫氣模塊16 ;以及設(shè)置于循環(huán)流路15的途中、冷卻清洗液的熱交換機17。另外，在循環(huán)流路15中設(shè)置有槽24、過濾器18a，18b及三通閥19a，19b。另外，清洗機構(gòu)6還包括使清洗槽11升降的升降裝置20。泵13在使金屬件前端9浸潰在清洗槽11內(nèi)的清洗液L中的狀態(tài)下，能夠通過該金屬件前端9開口的縫隙7使清洗槽11內(nèi)的清洗液L向金屬件內(nèi)部流入，能夠暫時儲存所吸引的清洗液。另外，清洗機構(gòu)6具有通過泵13使向金屬件內(nèi)部一側(cè)流入的清洗液逆流、并返回到清洗槽11的清洗液返回部。在本實施方式中，泵13兼具該清洗液返回部的功能。S卩，泵13是使清洗液L向正逆兩方向輸送的輸液單元，通過轉(zhuǎn)換運轉(zhuǎn)狀態(tài)，利用其自身使向金屬件內(nèi)部一側(cè)流入的清洗液逆流，并返回到清洗槽11。并且，在進(jìn)行涂敷運轉(zhuǎn)的工作時，泵13還可以兼用作將涂敷液供給到金屬件3的供給泵。此時，未圖示的涂敷液儲存部、和從該涂敷液儲存部連接泵13的涂敷液的供給流路等，作為另外的流路與泵13連接。在本實施方式中，表示了使用泵13作為輸液單元的例子，但是，作為輸液單元，還可以是連接槽(未圖示)、并控制該槽內(nèi)的壓力的裝置。即，代替泵13而連接槽，并使該槽與真空源和加壓源連接。并且，通過真控制真空源，使清洗液流入金屬件內(nèi)部，通過控制加壓源，使金屬件內(nèi)部的清洗液逆流。另外，清洗機構(gòu)6還包括排出流路，其從通過該泵(清洗液返回部)13的功能而逆流的清洗液流動的流路分支，且將該逆流的清洗液中所含的氣體排出到清洗槽11以外的區(qū)域。在本實施方式中，如圖4中的(C)所示，上述的“逆流的清洗液流動的流路”為從泵 13經(jīng)金屬件內(nèi)部的分流流路10及縫隙7至清洗槽11中的清洗液L的流路21。并且，上述的排出流路22為從分流流路10分支、通向金屬件3的外部的廢液部(廢液瓶)14的流路，在該流路的途中設(shè)置有閥門(排氣閥)22a。根據(jù)圖2，所述配管P2構(gòu)成排出流路22的一部分。在圖2中，振蕩裝置12包括振子(超聲波振子)12a、和控制該振子12a的頻率(振蕩頻率)的控制器12b。該控制器12b與控制裝置5協(xié)同工作。振蕩裝置12通過使振子12a振動，對清洗槽11內(nèi)的清洗液L施加振動波。在本實施方式中，作為振動波，施加超聲波振動。特別是通過使振子以低頻率(20kHz 40kHz)振動，施加超聲波。在此，低于20kHz的頻率或者高于40kHz的頻率下，難以表現(xiàn)出使特別牢固地粘著的粘著物在短時間內(nèi)剝離所必須的空穴效果，因此，振子的頻率優(yōu)選為20kHz 40kHz。本實施方式的清洗槽11為二層式，包括儲存使振子12a的振動波傳播的溶劑S的溶劑槽Ila ;和設(shè)置在該溶劑槽Ila內(nèi)的、儲存清洗液L的本清洗槽lib。振子12a振動時，其超聲波(振動波)傳播至溶劑S，通過本清洗槽I Ib傳播至清洗液L。并且，在使金屬件前端9浸潰在該清洗液L中的狀態(tài)下，振子12a振動，對該清洗液L施加超聲波振動，能夠使該清洗液L向金屬件3的內(nèi)部流入。在通過超聲波振動而激烈地晃動的清洗液L中，正負(fù)壓力相互作用，在清洗液L中，負(fù)壓作用處出現(xiàn)真空的空洞(泡)，產(chǎn)生該空洞(泡)通過正壓消失的現(xiàn)象(空穴現(xiàn)象)。該空洞(泡)消失時，通過產(chǎn)生沖擊波而表現(xiàn)的空穴現(xiàn)象的效果，能夠使粘著物(污垢)從金屬件3的內(nèi)部的表面及金屬件前端9的外側(cè)面浮起。清洗槽11為二層式，所述循環(huán)流路15是本清洗槽Ilb內(nèi)的清洗液L通過泵15a被吸出、被吸出的清洗液L向本清洗槽Ilb返回的流路。另外，為了進(jìn)一步提高清洗液L的冷卻效果，溶劑槽Ila的溶劑S可以在溶劑槽Ila內(nèi)和溶劑槽Ila外之間循環(huán)，此時，使清洗液L及溶劑S在本清洗槽Ilb及溶劑槽Ila的雙方中循環(huán)。清洗槽11也可以為一層式，此時，振子12a設(shè)置于儲存清洗液L的清洗槽11。脫氣模塊16具有預(yù)先將向清洗槽11供給的清洗液脫氣的功能，能夠使溶解于清洗液L中的氣體減少。含有較多的溶解于清洗液L中的氣體時，由于溶解氣體而阻礙清洗液L中的空穴現(xiàn)象的產(chǎn)生，因此在清洗槽11中清洗效果降低?！碴P(guān)于金屬件的清洗方法〕對利用具有以上結(jié)構(gòu)的涂敷裝置I實施的金屬件3的清洗方法進(jìn)行說明。圖3為說明清洗方法的流程圖，圖4為清洗方法中包括的工序的說明圖?！睬逑礈?zhǔn)備工序及清洗工作工序〕利用金屬件3進(jìn)行的涂敷工作結(jié)束后，為了進(jìn)行該金屬件3的清洗，根據(jù)控制裝置5的指令信號，驅(qū)動裝置4 (參照圖I)使金屬件3移動至清洗槽11的上方，其后，使金屬件3下降，使金屬件前端9在其寬度方向的全長浸潰在清洗槽11 (本清洗槽Ilb)的清洗液L中(參照圖4中的(A):圖3的清洗準(zhǔn)備工序SI)。在此，涂敷工作結(jié)束后的金屬件3可以 為金屬件內(nèi)部被涂敷液充滿的狀態(tài)，也可以為排出涂敷液的空的狀態(tài)。金屬件內(nèi)部被涂敷液充滿時，清洗槽11內(nèi)的清洗液L容易被污染。金屬件內(nèi)部為空的狀態(tài)時，殘留在金屬件內(nèi)部的涂敷液干燥后產(chǎn)生新的粘著物。因此，優(yōu)選金屬件內(nèi)部為充滿清洗液的狀態(tài)。并且，通過振子12a對清洗液L施加超聲波振動(振動波)，泵13開始吸引工作，使清洗液L通過縫隙7在縫隙7的長度方向的全長流入金屬件內(nèi)部(圖3的第I流入工序S2 )。即，在對清洗液L施加超聲波振動的同時，使該清洗液L向金屬件內(nèi)部吸引。該第I流入工序S2連續(xù)進(jìn)行一定時間。根據(jù)該第I流入工序S2，如圖5中的(A)所示，通過施加了超聲波振動(振動波)的清洗液L，能夠使粘著在金屬件內(nèi)部(特別是縫隙7)的粘著物F浮起。并且，使該浮起的粘著物F與清洗液L 一同向泵13側(cè)吸入。根據(jù)該第I流入工序S2，在縫隙7中，在多個由超聲波振動產(chǎn)生的微小的泡(空穴現(xiàn)象)沖擊的區(qū)域，能夠使粘著物F浮起，向泵13側(cè)吸入，但是，在微小的泡(空穴現(xiàn)象)的沖擊弱的區(qū)域，粘著物F被殘留。根據(jù)清洗液L流動的狀態(tài)(路徑)及超聲波振動(基于超聲波的空穴現(xiàn)象)傳播的狀態(tài)，產(chǎn)生上述區(qū)域差。在向某區(qū)域產(chǎn)生由超聲波振動產(chǎn)生的微小的泡(空穴現(xiàn)象)時，該微小的泡向該區(qū)域效率良好地連續(xù)產(chǎn)生；但在微小的泡的產(chǎn)生效率不好的區(qū)域，其狀態(tài)根據(jù)繼續(xù)的狀態(tài)而定。特別是在非常薄形狀的縫隙7中存在較大的粘著物F時，該粘著物F不能通過超聲波振動完全浮起而殘留。如上所述，縫隙7中殘留有粘著物F時，由于殘留的粘著物F的阻力，清洗液L變得難以流動，因此清洗液L避開粘著物F而流動。其結(jié)果，該清洗液L避開的區(qū)域為微小的泡的沖擊(空穴現(xiàn)象)弱的區(qū)域(清洗效果差的區(qū)域)，粘著物F繼續(xù)殘留。并且，從在該第I流入工序S2中通過泵13使清洗液L向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，根據(jù)控制裝置5的指令信號，驅(qū)動裝置4使金屬件3上升，從而使縫隙7開口的金屬件前端9與清洗液L的液面分離。由此，使金屬件內(nèi)部為大氣開放狀態(tài)，從通過泵13使清洗液L向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，使氣體(大氣)通過縫隙7流入金屬件內(nèi)部(參照圖4中的(B):圖3的氣體流入工序S3)。即，在本實施方式中，驅(qū)動裝置4為使氣體在縫隙7的寬度方向的全長流入的氣體流入單元?？p隙7開口的金屬件前端9 (縫隙7的開口端)呈水平直線地被形成，因此，從使清洗液L向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，金屬件3上升，金屬件前端9與清洗液L的液面分離時，氣體由金屬件前端9通過縫隙7在縫隙7的寬度方向(長度方向)的全長流入金屬件內(nèi)部。在本實施方式中，氣體使用大氣，也可以使用氮氣等，只要是氣體，就沒有特別的限定。如上所述，從使清洗液L向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，使氣體在縫隙的寬度方向的全長通過縫隙7流入金屬件內(nèi)部，如圖5中的(B)所示，能夠使氣體a與清洗液L的氣液界面BI (由清洗液L向氣體a變化的界面)一齊且一樣在縫隙7的寬度方向的全長向分流流路10側(cè)移動。在該氣體流入工序S3中，所述氣液界面BI從縫隙7的開口端開始，由氣體a形成在寬度方向上較長的帶狀的空間，在該帶狀的氣體a (空間)能夠通過縫隙7的時間內(nèi)進(jìn)行該氣體流入工序S3即可，該時間為幾秒(2 3秒)左右足矣，在該時間內(nèi)使金屬件前端9從清洗液L的液面離開即可。該氣體流入工序S3為使金屬件前端9從液面暫時離開的工序。氣體流入工序S3后，根據(jù)控制裝置5的指令信號，驅(qū)動裝置4使金屬件3下降，使金屬件前端9再次浸潰在清洗槽11內(nèi)的施加了超聲波振動的清洗液L中，使清洗液L通過該縫隙7在縫隙7的長度方向的全長流入金屬件內(nèi)部(參照圖4中的(A):圖3的第2流入工序S4)。該第2流入工序S4持續(xù)進(jìn)行一定時間。 如上所述，通過再次使清洗液L通過縫隙7向金屬件內(nèi)部流入，如圖5中的(C)至圖5中的(D)所示，施加超聲波振動的清洗液L開始被吸引，使超聲波(基于超聲波的空穴現(xiàn)象)傳播的清洗液L流過縫隙7的狀態(tài)，與第I流入工序S2時相比發(fā)生變化。即，通過伴隨著由氣體a向清洗液L變化的氣液界面B2 (參照圖5中的(C))的移動的搖動效果，粘著物F完全浮起，或者由于一部分粘著物F浮起而使粘著物F縮小。因此，清洗液L流過縫隙7的狀態(tài)與第I流入工序時相比發(fā)生變化。其結(jié)果，可以期待在第I流入工序S2中微小的泡(空穴現(xiàn)象)的沖擊弱的區(qū)域,在第2流入工序S4中向多個微小的泡(空穴現(xiàn)象)沖擊的區(qū)域變化。根據(jù)以上的第I流入工序S2、氣體流入工序S3及第2流入工序S4，利用施加了超聲波振動的清洗液，能夠使粘著在金屬件內(nèi)部的粘著物F迅速有效地浮起。并且，由在第I流入工序S2中使清洗液L向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，使氣體a (參照圖5中的(B))通過縫隙7在縫隙7的寬度方向的全長流入金屬件內(nèi)部(氣體流入工序S3)，從而能夠使氣體a和清洗液L的氣液界面BI —齊且一樣在縫隙7的寬度方向的全長移動。并且，通過使清洗液L再次通過縫隙7在縫隙7的寬度方向的全長流入金屬件內(nèi)部(參照圖5中的(C)和(D)第2流入工序S4)，能夠使氣體a和清洗液L的氣液界面B2 —齊且一樣在縫隙7的寬度方向的全長移動。其結(jié)果，在金屬件內(nèi)部獲得粘著物F剝離效果的同時，在第2流入工序S4中，在再次使施加了振動波的清洗液L向金屬件內(nèi)部流入時，該清洗液L的流動狀態(tài)(路徑)及超聲波(基于超聲波的空穴現(xiàn)象)的傳播狀態(tài)(路徑)被改變，能夠使現(xiàn)有技術(shù)中因振動波的傳播不充分而殘留的粘著物浮起。另外，由第I流入工序S2向氣體流入工序S3轉(zhuǎn)移時，由于向金屬件內(nèi)部一側(cè)流動的清洗液中含有較多的氣體，因此，在將該清洗液直接向清洗槽11返回的情況下，其后再次進(jìn)行第I流入工序S2時，是對溶解氣體量增加的清洗液L施加振動波。此時，可能由于溶解氣體而阻礙清洗液L中的空穴現(xiàn)象的產(chǎn)生，從而使得利用超聲波振動使粘著物F浮起的效果可能減弱。因此，所述第2流入工序S4結(jié)束后，通過控制裝置5轉(zhuǎn)換泵13的運轉(zhuǎn)狀態(tài)，使在第I流入工序S2及第2流入工序S4中向金屬件內(nèi)部一側(cè)流入的清洗液逆流(參照圖4中的(C))。此刻，將所述閥門(排氣閥22a)轉(zhuǎn)換為開放狀態(tài)，從通過逆流使清洗液返回到清洗槽11的流路21的途中，將該清洗液中所含的氣體通過與縫隙7不同的排出流路22排出(圖3的氣體排出工序S5)。使閥門22a為開放狀態(tài)，只存在于該氣體排出工序S5，在其它工序中均為關(guān)閉狀態(tài)。該氣體排出工程S5實施至將泵13吸入的清洗液全部吐出為止。從泵13吐出的清洗液的一部分經(jīng)排出流路22，向廢液部14流入。相對于所述流路21中包含的縫隙7非常薄，排出流路22的流路截面大得多，通過縫隙7向清洗槽11逆流的清洗液的阻力比流過排出流路22的清洗液的阻力大。另外，分流流路10的排出流路22的分支部位于該分流流路10的上部。因此，逆流的清洗液中所含的氣體在分流流路10被收集，被收集的氣體能夠隨著一部分清洗液向排出流路22流動。并且，該氣體通過閥門22a向外排出。
根據(jù)該氣體排出工序S5，即使使通過泵13的吸引向金屬件內(nèi)部一側(cè)流動的清洗液逆流，返回到清洗槽11，也能夠抑制清洗槽11內(nèi)的清洗液L的溶解氣體量增加，即使之后進(jìn)行第I流入工序S2，也能夠防止利用超聲波振動使粘著物F浮起的效果減弱。以上，由第I流入工序S2至氣體排出工序S5為I個循環(huán)的清洗工作工序，該清洗工作工序也可以反復(fù)實施多個循環(huán)。即，在控制裝置5中，設(shè)定該清洗工作工序的實施次數(shù)，反復(fù)實施清洗工作工序至到達(dá)該次數(shù)為止(圖3的判斷工序S6為“否”時)。設(shè)定次數(shù)實施結(jié)束(判斷工序S6為“是”時)后，轉(zhuǎn)入整理工序S7?！舱砉ば?其I)〕圖I的涂敷裝置I被設(shè)置在潔凈室中，例如通過驅(qū)動裝置4等的驅(qū)動產(chǎn)生微小的金屬粉，該金屬粉在潔凈室中(大氣中)飛舞，有時會下落到清洗槽11 (本清洗槽Ilb)中。于是，該金屬粉在清洗槽11中作為異物R存在于清洗液L中。如上所述，在清洗槽11中存在異物R存在時，根據(jù)第I流入工序及第2流入工序，通過施加振動波，使異物R在清洗槽11內(nèi)浮遊，因此，該異物R與清洗液L 一同被向金屬件內(nèi)部一側(cè)吸入。因此，進(jìn)行將這樣的異物R從金屬件內(nèi)部一側(cè)排出的整理工序S7。如圖6中的(A)所示，在使金屬件前端9浸潰在清洗槽11內(nèi)的清洗液L中的狀態(tài)下，使在第I流入工序S2及第2流入工序S4中向金屬件內(nèi)部一側(cè)流入的清洗液利用泵13逆流，向清洗槽11吐出(圖3的整理工序S7)。此時，閥門22a為關(guān)閉狀態(tài)。并且，在該整理工序S7中，在通過振蕩裝置12對清洗槽11中的清洗液L施加超聲波振動的狀態(tài)下，從工序的途中，根據(jù)控制裝置5的指令信號，通過驅(qū)動裝置4使金屬件3上升，使浸潰在清洗槽11內(nèi)的清洗液L中的金屬件前端9從清洗液L的液面離開(參照圖6中的(B))。使金屬件前端9從清洗液L的液面離開的工作期間，為使金屬件內(nèi)部一側(cè)的清洗液吐出的狀態(tài)。此時，即使存在于清洗槽11中的異物R通過第I流入工序及第2流入工序，與清洗液L 一起向金屬件內(nèi)部一側(cè)被吸入，通過將該清洗液L向清洗槽11吐出，也能夠使異物R從金屬件內(nèi)部吐出。而且，由于在對清洗槽11中的清洗液L施加超聲波振動的狀態(tài)下，使浸潰在清洗槽11內(nèi)的清洗液中的金屬件前端9從清洗液L的液面離開，因此，能夠防止吐出的異物R再次粘著在金屬件前端9。另外，由于該工序S7在對清洗液L施加超聲波振動的狀態(tài)下進(jìn)行，因此，通過超聲波振動使在金屬件內(nèi)部堵塞的異物R浮起，降低與縫隙7的內(nèi)壁面之間的摩擦阻力，在此狀態(tài)下，通過吐出清洗液，所述異物R能夠有效地被排出，而不粘著在金屬件內(nèi)部?！舱砉ば?其2)〕對整理工序S7的其它例子進(jìn)行說明。存在于清洗槽11中的異物R具有通過超聲波振動容易在縫隙7內(nèi)浮遊并容易向金屬件內(nèi)部侵入的形態(tài)(比重、大小等)時，根據(jù)第I流入工序及第2流入工序，該異物R容易與清洗液一起向金屬件內(nèi)部一側(cè)被吸入。此時，優(yōu)選以下的整理工序S7。如圖6中的(A)所示，在使金屬件前端9浸潰在清洗槽11內(nèi)的清洗液L中的狀態(tài)下，使在第I流入工序S2及第2流入工序S4中向金屬件內(nèi)部一側(cè)流入的清洗液通過泵13逆流，向清洗槽11吐出(圖3的整理工序S7)。此時，閥門22a為關(guān)閉狀態(tài)。并且，在該整理工序S7中，在通過使清洗液逆流而向清洗槽11吐出的途中，停止 向清洗槽11內(nèi)的清洗液L施加超聲波振動(參照圖6中的(C))。此時，即使存在于清洗槽11中的異物R通過第I流入工序及第2流入工序，與清洗液L 一起向金屬件內(nèi)部一側(cè)被吸入，通過使該清洗液L向清洗槽11吐出，也能夠使異物R從金屬件內(nèi)部吐出。而且，由于在通過使清洗液L逆流而向清洗槽11吐出的途中，停止向清洗槽11內(nèi)的清洗液L施加超聲波振動(振動波)，因此,能夠防止異物R通過超聲波振動在清洗槽11內(nèi)浮遊，并向金屬件內(nèi)部侵入。以上的整理工序(其I或者其2)結(jié)束后，根據(jù)控制裝置5的指令信號，驅(qū)動裝置4(參照圖I)使金屬件3向裝置主體8側(cè)移動，進(jìn)行開始對保持在操作臺2上的基板W吐出涂敷液并進(jìn)行涂敷的涂敷工作的準(zhǔn)備(涂敷準(zhǔn)備工序S8)。在所述整理工序(其I或者其2)中，使清洗液向清洗槽11吐出，該清洗液不僅是向金屬件內(nèi)部一側(cè)吸入的清洗液，還可以是向金屬件3供給的新的清洗液。另外，在上述的各工序中，振蕩裝置12的振子12a的頻率是能夠使得到好的清洗效果的空穴現(xiàn)象產(chǎn)生的低頻帶(20kHz 40kHz)。通過根據(jù)該低頻率產(chǎn)生超聲波振動而進(jìn)行第I流入工序S2及第2流入工序S4，使得與以該頻帶以外的頻率振動進(jìn)行時相比，能夠進(jìn)一步提高金屬件前端9的清洗效果。但是，通過使這樣的振子12a以低頻率振動以產(chǎn)生超聲波振動而進(jìn)行第I流入工序S2及第2流入工序S4時，清洗液L的溫度容易上升。并且，根據(jù)圖3的判斷工序S6(在判斷工序S6中為否)，再次進(jìn)行第I流入工序S2，溫度上升的清洗液L向金屬件內(nèi)部一側(cè)流入時，金屬件3的溫度也上升。此時，金屬件3發(fā)生熱膨脹，縫隙7的尺寸產(chǎn)生變化，使用該金屬件3立刻進(jìn)行涂敷作業(yè)時，有可能會影響涂敷品質(zhì)。因此，有必要停止作業(yè)，直至清洗槽11中的清洗液L的溫度降低至一定的溫度為止，因而造成時間的損失。因此，優(yōu)選在再次進(jìn)行第I流入工序S2前，進(jìn)行至少更換一部分清洗槽11中的清洗液L的更換工序S9(參照圖3)。根據(jù)該工序S9，能夠防止利用溫度上升的清洗液L再次進(jìn)行第I流入工序S2。以下對更換工序S9的具體例子進(jìn)行說明。作為方法1，在圖2中，將利用泵15a吸出的清洗液通過三通閥19a作為廢液回收在槽23中。并且，通過三通閥19b供給替代作為廢液的清洗液的新的清洗液。在本實施方式中，新的清洗液經(jīng)脫氣模塊16后被供給到清洗槽11。由此，能夠?qū)⑶逑床?1中的使用完畢的清洗液L的一部分更換為新的清洗液，能夠防止清洗槽11中的清洗液L的溫度升高。
作為方法2，利用泵15a吸出的清洗液通過三通閥19a被輸送至熱交換機17并被冷卻。冷卻的清洗液通過循環(huán)流路15向清洗槽11返回。在本實施方式中，循環(huán)的清洗液經(jīng)脫氣模塊16后返回到清洗槽11。由此，使清洗槽11中的使用完畢的清洗液L的一部分循環(huán)，在該循環(huán)的途中進(jìn)行熱交換，在清洗槽11中更換為冷卻的清洗液L。另外，也可以在第I流入工序S2、氣體流入工序S3及第2流入工序S4的各工序中，或者在各工序后實施上述清洗液L的更換。在各工序中實 施時，本發(fā)明的金屬件的清洗方法成為包括在通過使超聲波振子12a以低頻率(20kHz 40kHz)振動以產(chǎn)生超聲波的期間，至少更換一部分清洗槽11中的清洗液L的工序(連續(xù)更換工序)的金屬件的清洗方法。以上，根據(jù)本實施方式的金屬件的清洗方法，如圖5中的(B)所示，使氣體a與清洗液L的氣液界面BI —齊在縫隙7的寬度方向的全長向上移動，另外，如圖5中的(C)所示，通過使氣體a與清洗液L的氣液界面B2 —齊在縫隙7的寬度方向的全長向上移動，在金屬件內(nèi)部獲得粘著物F剝離效果。并且，在再次使施加了超聲波振動的清洗液L流入金屬件內(nèi)部時，清洗液L的流動狀態(tài)(路徑)及超聲波(基于超聲波的空穴現(xiàn)象)的傳播狀態(tài)(路徑)被改變。因此，能夠使現(xiàn)有技術(shù)中因超聲波振動的傳播不充分而殘留的粘著物浮起。并且，通過再次使施加了超聲波振動的清洗液L向金屬件內(nèi)部流入，能夠清洗現(xiàn)有技術(shù)中可能殘留的粘著物。其結(jié)果，能夠在短時間內(nèi)得到期望的清洗結(jié)果。另外，由于清洗時間為短時間即可，因此，對清洗液L施加超聲波振動也可以在短時間內(nèi)結(jié)束，因而能夠抑制由超聲波振動帶來的金屬件3的發(fā)熱，能夠迅速開始涂敷作業(yè)。另外，優(yōu)選振子12a由中空的部件構(gòu)成，可以使致冷劑通過其內(nèi)部。優(yōu)選在中空的振子12a上設(shè)置供給致冷劑(例如氮氣)的連接口，使致冷劑通過該連接口在振子12a內(nèi)流動，使熱量不積蓄于振子12a及清洗液L。另外，本發(fā)明的涂敷裝置及金屬件的清洗方法并不限于圖示的方式，在本發(fā)明的范圍內(nèi)，還可以為其它方式。在上述實施方式中，在氣體流入工序中，為了使清洗槽11中的清洗液L的液面與金屬件前端9分離，將使金屬件3上下移動的驅(qū)動裝置4作為變更該液面與該金屬件前端9在高度方向上的相對位置的位置變更單元進(jìn)行了說明，還可以有其它方式，位置變更單元也可以是使清洗槽11升降的升降裝置20 (參照圖2)?；蛘?，雖然金屬件前端9與清洗槽11在高度方向上的相對位置未變化，但是，在氣體流入工序時，使清洗液L的液面的高度下降，其后，可以使該液面上升。其通過對清洗槽11排出或供給清洗液L而實現(xiàn)。另外，在氣體流入工序中，為了從通過泵13使清洗槽11內(nèi)的清洗液L向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，使氣體通過縫隙7在縫隙7的寬度方向的全長流入金屬件內(nèi)部，在上述實施方式中說明了通過變更相對于清洗液L的液面的金屬件前端9的高度來實現(xiàn)的方式，也可以有其它方式。例如，如圖7中的(A)所示，在本清洗槽Ilb內(nèi)設(shè)置有具有可以與金屬件前端9連接的連接端口 50a的氣體供給部50，從清洗槽11外向該氣體供給部50供給氣體。通過驅(qū)動裝置4 (參照圖1)，如圖7中的(B)所示，通過使金屬件3下降，金屬件前端9與連接端口 50a連接，使氣體由氣體供給部50通過縫隙7流入金屬件內(nèi)部。如圖7中的(C)所示，連接端口 50a設(shè)置在縫隙7 (金屬件前端9)的寬度方向的全長，能夠使氣體在縫隙7的寬度方向的全長流入。如上所述，為了從使清洗液L向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)(圖7中的(A))，使氣體通過縫隙7在縫隙7的寬度方向的全長流入金屬件內(nèi)部(圖7中的(B))，通過驅(qū)動裝置4使金屬件3下降即可，該下降可以通過控制裝置5的控制來實現(xiàn)。此時，驅(qū)動裝置4及氣體供給部50成為使氣體在縫隙7的寬度方向的全長流入金屬件內(nèi)部的氣體流入單元。另外，在上述實施方式中，在氣體排出工序、整理工序中對使流入金屬件內(nèi)部的清洗槽11中的清洗液L逆流并返回到清洗槽11的例子進(jìn)行了說明，但是，也可以在使清洗液L流入金屬件內(nèi)部后，使新的清洗液返回到清洗槽11。例如，如圖2所示，在配管Pl (金屬件3與泵13之間)上設(shè)置有閥門25，在泵13與清洗液供給槽28之間設(shè)置有三通閥27，該三通閥27的輸出端口之一與廢液槽23連接。另外，在三通閥27與泵13之間設(shè)置有閥門26。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠抑制清洗液L中所含的氣體(在氣體流入工序中由縫隙7吸入的氣體)返回到清洗槽11。S卩，使閥門25為開放狀態(tài)，使閥門26為關(guān)閉狀態(tài)，通過使泵13進(jìn)行吸引工作，金 屬件內(nèi)部的含有氣體的清洗液通過配管Pl被吸入泵13內(nèi)。關(guān)閉閥門25，打開閥門26，使三通閥27成為從泵13側(cè)向槽23連接的路徑(在圖2中為Cl路徑)，通過使泵13進(jìn)行吐出工作，泵13內(nèi)的清洗液被排出到槽23。即，能夠從被從縫隙7向泵13流入的清洗液充滿的流路(由縫隙7至泵13的流路)，將在氣體流入工序中流入的氣體與該清洗液一起通過由泵13至槽23的流路(排出流路)排出到該槽23。關(guān)閉閥門25，打開閥門26，使三通閥27轉(zhuǎn)換為從清洗液供給槽28向泵13側(cè)連接的路徑(在圖2中為C2路徑)，通過使泵13進(jìn)行吸引工作，清洗液供給槽28內(nèi)的新的清洗液被吸入到泵13。打開閥門25，關(guān)閉閥門26，通過使泵13進(jìn)行吐出工作，被吸入到泵13的新的清洗液通過配管Pl被供給到金屬件內(nèi)部。并且，通過使泵13連續(xù)工作，新的清洗液通過縫隙7被返回到清洗槽11。由此，能夠抑制通過氣體流入工序被吸收到清洗液中的氣體返回到清洗槽11，能夠抑制由于溶解氣體而阻礙清洗槽11內(nèi)的清洗液中的振動波的傳播，從而能夠抑制利用振動波使粘著物浮起的效果減弱。此時，優(yōu)選預(yù)先在清洗液供給槽28與泵13之間具有脫氣模塊16。另外，在上述實施方式中，關(guān)于清洗液的更換工序，對在第I流入工序及第2流入工序之后，在再次進(jìn)行第I流入工序的情況下，在再次進(jìn)行該第I流入工序前至少更換一部分清洗槽11中的清洗液L的例子進(jìn)行了說明，但是，也可以在所有的工序中連續(xù)進(jìn)行更換工序。具體而言，在各工序中，在使超聲波振子12a以低頻率振動以產(chǎn)生振動波的期間，經(jīng)常進(jìn)行更換工序。此時，能夠使清洗液經(jīng)常循環(huán)。根據(jù)清洗液的溫度，有時僅使金屬件3浸潰在清洗液中也會使金屬件3的溫度上升。此時，通過金屬件3發(fā)生熱膨脹，縫隙7的尺寸發(fā)生變化，有可能對涂敷品質(zhì)有影響。因此，在使超聲波振子12a以低頻率工作時，通過經(jīng)常使清洗液循環(huán)，使清洗液經(jīng)常冷卻。由此，能夠抑制清洗液的溫度上升，抑制金屬件3的溫度上升，能夠抑制對涂敷品質(zhì)的影響。對金屬件的清洗方法的參考發(fā)明進(jìn)行說明。該參考發(fā)明的目的是，為了使對清洗液施加超聲波振動的位置在金屬件前端附近，例如，考慮在用于儲存清洗液且用于使金屬件前端浸潰在該清洗液中的清洗槽的底部設(shè)置振子，通過該振子對清洗液施加振動波(超聲波振動)，從而進(jìn)行金屬件的清洗；但是，通過對清洗槽內(nèi)的清洗液施加振動波，異物在該清洗槽內(nèi)浮遊，在金屬件的清洗中，該浮遊的異物可能會向金屬件內(nèi)部侵入。
因此，參考發(fā)明涉及一種金屬件的清洗方法，該金屬件內(nèi)形成有在該金屬件寬度方向上長、且在該金屬件的前端開口的縫隙，該清洗方法包括清洗工序，使金屬件前端浸潰在清洗槽內(nèi)的施加了振動波的清洗液中，通過所述縫隙流過清洗液以進(jìn)行金屬件內(nèi)部的清洗；以及整理工序，在使所述金屬件前端浸潰在所述清洗槽內(nèi)的清洗液中的狀態(tài)下，在所述清洗工序中進(jìn)行所述金屬件內(nèi)部的清洗后，使清洗液從所述縫隙向該清洗槽吐出；在該整理工序中，在對所述清洗槽中的清洗液施加振動波的狀態(tài)下，使浸潰在該清洗槽內(nèi)的清洗液中的所述金屬件前端從該清洗液的液面離開。根據(jù)該參考發(fā)明，即使在清洗工序中，在清洗槽內(nèi)浮遊的異物向金屬件內(nèi)部侵入，并粘著在金屬件內(nèi)部的接液面，也能夠利用整理工序，通過使清洗液向清洗槽吐出，從而使粘著在金屬件內(nèi)部的接液面的異物利用振動波而浮起，并從金屬件內(nèi)部吐出。而且，由于在對所述清洗槽中的清洗液施加振動波的狀態(tài)下，使浸潰在清洗槽內(nèi)的清洗液中的金屬件前端從該清洗液的液面離開，因此，能夠防止在清洗槽內(nèi)浮遊的異物再次粘著在金屬件內(nèi)部和金屬件前端。由此，能夠迅速從清洗工序向涂敷運轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)移。 另外，對金屬件的清洗方法的其它參考發(fā)明進(jìn)行說明。該參考發(fā)明的目的是，為了使對清洗液施加超聲波振動的位置在金屬件前端附近，例如，考慮在用于儲存清洗液且用于使金屬件前端浸潰在該清洗液中的清洗槽的底部設(shè)置振子，通過該振子對清洗液施加振動波(超聲波振動)，從而進(jìn)行金屬件的清洗；但是，在清洗槽內(nèi)浮遊的異物具有利用振動波容易在縫隙內(nèi)浮遊并容易向金屬件內(nèi)部侵入的形態(tài)(比重、大小等)時，特別是在該清洗槽內(nèi)浮遊的異物有可能向金屬件內(nèi)部一側(cè)侵入并粘著。在此，參考發(fā)明涉及一種金屬件的清洗方法，該金屬件內(nèi)形成有在該金屬件寬度方向上長、且在該金屬件的前端開口的縫隙，該清洗方法包括清洗工序，使金屬件前端浸潰在清洗槽內(nèi)的施加了振動波的清洗液中，通過所述縫隙流過清洗液以進(jìn)行金屬件內(nèi)部的清洗；以及整理工序，在使所述金屬件前端浸潰在所述清洗槽內(nèi)的清洗液中的狀態(tài)下，在所述清洗工序中進(jìn)行所述金屬件內(nèi)部的清洗后，使清洗液從所述縫隙向該清洗槽吐出；在該該整理工序中，在清洗液向所述清洗槽吐出的途中，停止向該清洗槽內(nèi)的清洗液施加振動波。根據(jù)該參考發(fā)明，即使在清洗工序中，在清洗槽內(nèi)浮遊的異物向金屬件內(nèi)部一側(cè)侵入，也能夠利用整理工序，通過將清洗液向清洗槽吐出，從而能夠簡單地使所述異物從金屬件內(nèi)部吐出。并且，此時，通過施加超聲波，能夠避免異物粘著在金屬件前端。而且，由于在使清洗液向清洗槽吐出的途中停止對清洗槽內(nèi)的清洗液施加振動波，因此，能夠防止清洗槽內(nèi)的異物利用振動波在清洗槽內(nèi)浮遊，能夠避免異物向金屬件前端粘著。由此，能夠迅速從清洗工序向涂敷運轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)移。以上參考發(fā)明各自中的清洗工序與上述實施方式中說明的包括第I流入工序、氣體流入工序及所述第2流入工序的所述清洗工作工序相同，另外，參考發(fā)明各自中的清洗工序及整理工序可以適用在上述各實施方式的金屬件的清洗方法中說明的清洗工作工序及整理工序的各事項。
權(quán)利要求
1.一種金屬件的清洗方法，該金屬件內(nèi)形成有在該金屬件寬度方向上長、且在該金屬件的前端開口的縫隙，該清洗方法包括 第I流入工序，使金屬件前端浸潰在清洗槽內(nèi)的施加了振動波的清洗液中，使該清洗液通過所述縫隙向金屬件內(nèi)部流入； 氣體流入工序，從在所述第I流入工序中使清洗液向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，使氣體在縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內(nèi)部；以及 第2流入工序，在所述氣體流入工序后，使所述金屬件前端浸潰在所述清洗槽內(nèi)的施加了振動波的清洗液中，使該清洗液通過所述縫隙向所述金屬件內(nèi)部流入。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的金屬件的清洗方法，其中，在所述氣體流入工序中，通過使所述金屬件前端與所述清洗液的液面分離，從而使氣體在所述縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內(nèi)部。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或者2所述的金屬件的清洗方法，還包括 氣體排出工序，通過被在所述第I流入工序及所述第2流入工序中從所述縫隙流入的清洗液充滿的流路，將所述清洗液返回至所述清洗槽，并從所述流路將在所述氣體流入工序中流入的氣體通過與所述縫隙不同的排出流路排出。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任意一項所述的金屬件的清洗方法，還包括 整理工序，在使所述金屬件前端浸潰在所述清洗槽內(nèi)的清洗液中的狀態(tài)下，在所述第I流入工序及所述第2流入工序中的一方或者雙方中使清洗液向所述金屬件內(nèi)部一側(cè)流入后，從所述縫隙向該清洗槽吐出清洗液； 在該整理工序中，在對所述清洗槽中的清洗液施加振動波的狀態(tài)下，使浸潰在該清洗槽內(nèi)的清洗液中的所述金屬件前端從該清洗液的液面離開。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任意一項所述的金屬件的清洗方法，其中，還包括整理工序，在使所述金屬件前端浸潰在所述清洗槽內(nèi)的清洗液中的狀態(tài)下，在所述第I流入工序及所述第2流入工序中的一方或者雙方中使清洗液向所述金屬件內(nèi)部一側(cè)流入后，從所述縫隙向該清洗槽吐出清洗液； 在該整理工序中，在使清洗液向所述清洗槽吐出的途中停止對該清洗槽內(nèi)的清洗液施加振動波。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5中任意一項所述的金屬件的清洗方法，還包括 更換工序，在通過使超聲波振子以低頻率振動以產(chǎn)生所述振動波而進(jìn)行的所述第I流入工序及所述第2流入工序之后，在再次進(jìn)行所述第I流入工序的情況下，在再次進(jìn)行該第I流入工序前至少更換一部分所述清洗槽中的清洗液。
7.根據(jù)權(quán)利要求I 6中任意一項所述的金屬件的清洗方法，還包括 連續(xù)更換工序，在通過使超聲波振子以低頻率振動以產(chǎn)生所述振動波的期間，至少更換一部分所述清洗槽中的清洗液。
8.一種涂敷裝置，其特征在于，包括 裝置主體，其具有金屬件，在該金屬件內(nèi)形成有在該金屬件的寬度方向上長、且在該金屬件前端開口的縫隙，從該縫隙向基板吐出涂敷液進(jìn)行涂敷；以及 清洗結(jié)構(gòu)，其清洗所述金屬件， 所述清洗結(jié)構(gòu)包括清洗槽，其儲存清洗液； 振蕩裝置，其對所述清洗槽內(nèi)的所述清洗液施加振動波； 輸液單元，其在使金屬件前端浸潰在所述清洗槽內(nèi)的施加了振動波的清洗液中的狀態(tài)下，使該清洗液通過所述縫隙向金屬件內(nèi)部流入； 以及 控制裝置，進(jìn)行控制，使得從通過所述輸液單元使清洗液向金屬件內(nèi)部流入的狀態(tài)，氣體在該縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內(nèi)部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂敷裝置，還包括 位置變更單元，其變更所述清洗槽內(nèi)的清洗液的液面與所述金屬件前端的高度方向的相對位置； 所述控制裝置控制所述位置變更單元，使所述金屬件前端與所述清洗液的液面在高度方向上分離，從而使氣體在所述縫隙的寬度方向的全長通過所述縫隙流入所述金屬件內(nèi)部。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或者9所述的涂敷裝置，其中，還包括 清洗液返回部，其利用所述輸液單元，通過被從所述縫隙流入的清洗液充滿的流路，將清洗液返回到所述清洗槽；以及 排出流路，其使從所述縫隙流入的氣體排出到所述清洗槽以外的區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于在金屬件(3)中，能夠使現(xiàn)有技術(shù)中由于振動波(基于振動波的空穴現(xiàn)象)的傳播不充分而殘留的粘著物浮起，在短時間內(nèi)得到期望的清洗結(jié)果，其中該金屬件(3)內(nèi)形成有在該金屬件(3)寬度方向上長、且在該金屬件(3)的前端開口的縫隙(7)。本發(fā)明提供的金屬件的清洗方法包括使金屬件前端(9)浸漬在清洗槽(11)內(nèi)的施加了振動波的清洗液(L)中，使該清洗液(L)通過縫隙(7)向金屬件內(nèi)部流入；由此狀態(tài)，使氣體在縫隙(7)的寬度方向的全長通過縫隙(7)流入金屬件內(nèi)部；其后，使金屬件前端(9)浸漬在清洗槽(11)內(nèi)的施加了振動波的清洗液(L)中，使該清洗液L通過縫隙(7)向金屬件內(nèi)部流入。
文檔編號B05C9/08GK102873052SQ201210241658
公開日2013年1月16日 申請日期2012年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月12日
發(fā)明者林田健兒, 川竹洋, 堀內(nèi)展雄, 伊藤禎彥, 釜谷學(xué) 申請人:東麗株式會社, 東麗工程株式會社