專利名稱：一種涂布設備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及液晶面板及半導體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種涂布設備。
背景技術(shù)：
目前，在液晶面板以及半導體生產(chǎn)中，傳統(tǒng)工藝為在基板上均勻涂布感光材料，利用掩膜版(mask)進行紫外線曝光并隨后進行顯像等處理，最終得到相應掩膜版的圖案。以陣列(Array)基板為例，感光材料的涂布是陣列基板制造工藝過程中十分重要
的一道工序。通用的技術(shù)中使用的感光材料涂布方式有兩種。一種涂布方式為預先使用涂布設備將感光材料涂布于基板之上，之后將涂布有感光材料的基板放在離心設備上進行高速·旋轉(zhuǎn)，從而將基板上的感光材料通過旋轉(zhuǎn)的離心力甩勻，之后利用負壓進行低壓干燥，將邊緣感光材料去除，進入固化設備對基板上均勻的感光材料進行加熱固化，之后進行曝光，化學品顯像，最終得到相應掩膜版的圖案。另一種涂布方式為直接涂布方式，即使用涂布設備一次性將感光材料均勻的涂布于基板之上。上述感光材料的兩種涂布方式均是利用涂布設備涂布感光材料；涂布設備包括機架、噴嘴以及用于放置待涂布基板的涂布平臺；涂布平臺與機架固定連接，噴嘴可滑動地安裝于機架，涂布平臺水平放置，噴嘴位于涂布平臺的上方；在具體涂布過程中，先將待涂布的基板平整的放在涂布平臺上，利用涂布設備的噴嘴將感光材料均勻的涂布于基板上。噴嘴在噴涂感光材料時，噴嘴與基板的上表面之間的間隙非常小，一般情況下為O. 1-0. 3mm。在現(xiàn)有的技術(shù)中，使用噴嘴進行感光材料涂布時，經(jīng)常會出現(xiàn)基板與涂布平臺之間有異物，或基板的上表面上有異物，導致噴嘴在涂布感光材料時，噴嘴與基板的上表面或者基板上表面的異物發(fā)生碰撞，由于噴嘴噴涂感光材料的非常小，噴嘴與基板的上表面或者基板上表面的異物發(fā)生碰撞后會導致噴嘴發(fā)生變形，從而導致噴嘴受損或直接損壞，同時，噴嘴受損或者損壞后還會造成基板涂布工藝不良現(xiàn)象。噴嘴的維修費用很高，因此噴嘴的損壞會給廠家造成很大的經(jīng)濟損失；同時，基板的涂布工藝不良會直接影響基板產(chǎn)品的質(zhì)量，甚至造成基板產(chǎn)品的報廢，進一步給廠家造成經(jīng)濟損失。因此，如何提供一種能夠防止噴嘴與異物發(fā)生碰撞的涂布設備，以防止噴嘴在涂布時受到損傷，降低基板的涂布工藝不良，是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的技術(shù)問題之一。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種具有噴嘴前端防護裝置的涂布設備，能夠防止噴嘴與異物發(fā)生碰撞，防止噴嘴在涂布時受到損傷，降低基板因噴嘴損傷造成的涂布工藝不良。為達到上述目的，本實用新型提供以下技術(shù)方案一種涂布設備，包括噴嘴和用于放置待涂布基板的涂布平臺；還包括[0013]感應模塊，用于采集所述涂布平臺或基板上、位于所述噴嘴前方異物的信息；信號處理模塊，信號連接所述感應模塊，根據(jù)所述感應模塊采集的信息判斷存在異物時生成執(zhí)行信號；執(zhí)行模塊，信號連接所述信號處理模塊，根據(jù)所述信號處理模塊的執(zhí)行信號控制所述噴嘴停止涂布作業(yè)。優(yōu)選地，所述執(zhí)行模塊為噴嘴控制裝置，所述噴嘴控制裝置與所述信號處理模塊信號連接；和/或報警裝置，所述報警裝置與所述信號處理模塊信號連接。優(yōu)選地,所述感應模塊包括感應所述噴嘴行走方向前方光線的光感應器，設置于所述噴嘴上；第一支架，第一端設置于所述噴嘴上，第二端沿所述噴嘴的行走方向向前伸出且低于所述光感應器的安裝高度；擋板，位于所述光感應器前方，所述擋板的底端面不高于所述噴嘴的底端面，所述擋板的上端面位于所述光感應器的下端面和上端面之間，所述擋板與所述第一支架的第二端鉸接并可繞其鉸接軸線旋轉(zhuǎn)，所述鉸接軸線的延伸方向與噴嘴的行走方向垂直并且與涂布平臺所在的平面平行。優(yōu)選地，所述感應模塊還包括光源，所述光源設置于所述涂布平臺上；所述擋板位于所述光源與所述光感應器之間。優(yōu)選地，所述噴嘴的上端面可拆卸地固定安裝有第一固定塊，所述光感應器和所述第一支架設置于所述第一固定塊上。優(yōu)選地,所述感應模塊包括至少一個信號收發(fā)器，安裝于所述噴嘴前端面，用于向所述噴嘴行走方向前方的涂布平臺以及基板發(fā)射感應信號并接受涂布平臺以及基板的反饋信號。優(yōu)選地，所述感應模塊還包括第二支架，第一端設置于所述噴嘴上，第二端沿所述噴嘴的行走方向向前伸出；偏板，位于所述信號收發(fā)器前方，所述偏板的下端面不高于所述噴嘴的底端面，所述偏板與所述第二支架的第二端鉸接并可繞其鉸接軸線旋轉(zhuǎn)，所述鉸接軸線的延伸方向與噴嘴的行走方向垂直并且與涂布平臺所在的平面平行。優(yōu)選地，所述噴嘴的上端面可拆卸地固定安裝有第二固定塊，所述信號收發(fā)器和第二支架設置于第二固定塊上。優(yōu)選地,所述感應模塊包括信號發(fā)射器，用于向所述噴嘴行走方向前方發(fā)射感應信號；信號接收器，用于接收所述感應信號的反饋信號，并將接收的所述反饋信號傳遞給所述信號處理模塊；所述信號發(fā)射器安裝于噴嘴上，所述信號接收器安裝于涂布平臺上；或者，所述信號發(fā)射器安裝于涂布平臺上，所述信號接收器安裝于噴嘴上；所述信號發(fā)射器與信號接收器的安裝高度相同，且所述信號發(fā)射器的下端不高于所述噴嘴的底端面。優(yōu)選地，所述噴嘴的前端設置有向下延伸的第一擋板，所述信號發(fā)射器安裝于所述第一擋板的前端面上；所述涂布平臺的前端設置有向上延伸的第二擋板，所述信號接收器安裝于所述第二擋板的后端面上。本實用新型提供的涂布設備，包括噴嘴和用于放置待涂布基板的涂布平臺；還包括采集涂布平臺或基板上、位于所述噴嘴前方異物的信息的感應模塊；信號連接所述感應模塊，根據(jù)所述感應模塊采集的信息判斷存在異物時生成執(zhí)行信號的信號處理模塊；信號連接所述信號處理模塊，根據(jù)所述信號處理模塊的執(zhí)行信號控制所述噴嘴停止涂布作業(yè)的執(zhí)行模塊。 本實用新型提供的涂布設備，在噴嘴進行感光材料涂布時，首先將待涂布的基板放置于涂布平臺上，然后調(diào)節(jié)噴嘴與待涂布基板的上表面之間的距離，然后在信號處理模塊內(nèi)給感應模塊設定常規(guī)預定值，通過感應模塊采集涂布平臺或基板上、位于噴嘴前方的異物的信息，并將采集到的信息信號傳輸給信號處理模塊，當基板或者涂布平臺上存在異物時，感應模塊采集到的信息發(fā)生較大的異常，感應模塊反饋的信息超過常規(guī)預定值的警戒值，信號處理模塊生成執(zhí)行信號，并將執(zhí)行信號傳輸給執(zhí)行模塊，執(zhí)行模塊發(fā)出處理指令，停止噴嘴的涂布作業(yè)。由于感應模塊采集信息的異物處于噴嘴行走方向前方還未進行涂布的基板或者涂布平臺上，噴嘴還未涂布至異物處便已停止了涂布作業(yè)，因此能夠防止噴嘴與異物之間發(fā)生碰撞，防止噴嘴因為與異物之間的碰撞而造成損傷以及損壞。因此，本實用新型提供的涂布設備，能夠防止噴嘴與異物發(fā)生碰撞，防止噴嘴在涂布時受到損傷，降低基板的涂布工藝不良現(xiàn)象，進而減少廠家的經(jīng)濟損失。

圖I為本實用新型提供的涂布設備中噴嘴的一種工作結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型提供的涂布設備中第一種感應模塊工作結(jié)構(gòu)無異物時的狀態(tài)示意圖；圖3為本實用新型提供的涂布設備中第一種感應模塊工作結(jié)構(gòu)有異物時的狀態(tài)示意圖；圖4為本實用新型提供的涂布設備中第二種感應模塊工作結(jié)構(gòu)無異物時的狀態(tài)示意圖；圖5為本實用新型提供的涂布設備中第二種感應模塊工作結(jié)構(gòu)有異物時的狀態(tài)示意圖；圖6為本實用新型提供的涂布設備中第三種感應模塊工作結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。[0049]如圖I和圖3所示，圖I為本實用新型提供的涂布設備中噴嘴的一種工作結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型提供的涂布設備中第一種感應模塊工作結(jié)構(gòu)有異物時的狀態(tài)示意圖。本實用新型提供的涂布設備，包括噴嘴I和用于放置待涂布的基板7的涂布平臺10;還包括采集涂布平臺10或基板7上、位于噴嘴I前方異物8的信息的感應模塊4 ;信號連接感應模塊4，根據(jù)感應模塊4采集的信息判斷存在異物時生成執(zhí)行信號的信號處理模塊；信號連接信號處理模塊，根據(jù)信號處理模塊的執(zhí)行信號控制噴嘴I停止涂布作業(yè)的執(zhí)行模塊。如圖I所示，向量a的方向為噴嘴I的行走方向，為描述方便，指定噴嘴I的行走方向沿水平方向向前。本實用新型提供的涂布設備，在噴嘴I進行感光材料涂布時，首先將待涂布的基板7放置于涂布平臺10上，然后調(diào)節(jié)噴嘴I與待涂布的基板7的上表面之間的距離，然后在信號處理模塊內(nèi)給感應模塊4設定常規(guī)預定值，通過感應模塊4收集位于噴嘴I的涂布位置前方的涂布平臺10以及基板7上的異物信息，并將采集到的信息信號傳輸給信號處理模塊；當基板7或者涂布平臺10上存在異物8時，感應模塊4采集到的信息發(fā)生較大的異·常，感應模塊4反饋的信息超過常規(guī)預定值的警戒值，信號處理模塊生成執(zhí)行信號，并將執(zhí)行信號傳輸給執(zhí)行模塊，執(zhí)行模塊發(fā)出處理指令，停止噴嘴I的涂布作業(yè)。由于感應模塊4采集信息的異物8處于噴嘴I涂布位置前方的涂布平臺10以及基板7上，噴嘴I還未涂布至異物8處便已停止了涂布作業(yè)，因此能夠防止噴嘴I與異物8之間發(fā)生碰撞，防止噴嘴I因為與異物8之間的碰撞而造成損傷以及損壞。因此，本實用新型提供的涂布設備，能夠防止噴嘴I與異物8發(fā)生碰撞，防止噴嘴I在涂布時受到損傷，降低基板因噴嘴損傷造成的涂布工藝不良。優(yōu)選地，上述技術(shù)方案中提到的執(zhí)行模塊可以為噴嘴控制裝置，噴嘴控制裝置與信號處理模塊信號連接；當信號處理模塊將產(chǎn)生的執(zhí)行信號傳輸給噴嘴控制裝置時，噴嘴控制裝置直接控制噴嘴I停止涂布作業(yè)，防止噴嘴I與異物8發(fā)生碰撞。執(zhí)行模塊還可以為報警裝置，報警裝置與信號處理模塊信號連接。當信號處理模塊將產(chǎn)生的執(zhí)行信號傳輸給報警裝置時，報警裝置進行報警，通知涂布作業(yè)操作人員停止噴嘴I的涂布作業(yè)，防止噴嘴I與異物8發(fā)生碰撞。當然，執(zhí)行裝置還可以同時包括噴嘴控制裝置和報警裝置，噴嘴控制裝置和報警裝置分別與信號處理模塊信號連接。當信號處理模塊將產(chǎn)生的執(zhí)行信號傳輸給噴嘴控制裝置和報警裝置時，噴嘴控制裝置直接控制噴嘴I停止涂布作業(yè)，同時報警裝置進行報警，通知涂布作業(yè)操作人員對待涂布的基板7上的異物8進行清除。上述技術(shù)方案中提到的感應模塊4的工作結(jié)構(gòu)具體可以有多種選擇，如如圖2和圖3所示，圖2為本實用新型提供的涂布設備中第一種感應模塊工作結(jié)構(gòu)無異物時的狀態(tài)示意圖；感應模塊4的第一種工作結(jié)構(gòu)可以包括用于感應噴嘴I行走方向前方光線的光感應器41，設置于噴嘴I上；第一支架51,第一端設置于噴嘴I上,第二端沿噴嘴I的行走方向向前伸出且低于光感應器41的安裝高度；擋板61,位于光感應器41前方,擋板61的底端面不高于噴嘴I的底端面；擋板61的上端面位于光感應器41的上端面和下端面之間，即擋板61的上端面高于光感應器41的下端面，且不高于光感應器41的上端面，擋板61與第一支架51的第二端鉸接且可繞其鉸接軸線91旋轉(zhuǎn)，鉸接軸線91的延伸方向與噴嘴I的行走方向垂直并且與涂布平臺10所在的平面平行。當待涂布的基板7上不存在異物8時，擋板61在重力的作用下沿豎直方向延伸，由于擋板61的上端面高于光感應器41的下端面，且不高于光感應器41的上端面，所以，擋板61位于鉸接軸線91上方的部分可以將沿與噴嘴I的行走方向相反的方向水平射向光感應器41的光線93全部擋住或者擋住一部分，如圖2所示；當待涂布的基板7上存在異物8時，由于擋板61的底端面不高于噴嘴I的底端面，因此，擋板61的底端面可以與能夠和噴嘴I的底端面發(fā)生碰撞的異物8接觸，擋板61在異物8的阻擋下，其底端向靠近噴嘴I的方向偏轉(zhuǎn)，此時，擋板61的上端因發(fā)生偏轉(zhuǎn)，其最高點降低，從而導致?lián)醢?1的上端阻擋的光線93有一部分會照射到光感應器41上，如圖3所示，導致光感應器41的感光信號增強，超過信號處理模塊設置的常規(guī)預定值的警戒值，信號處理模塊生成執(zhí)行信號并信號傳輸給執(zhí)行模塊，執(zhí)行模塊發(fā)出處理指令，從而停止噴嘴I的涂布作業(yè)，防止噴嘴I與異物8發(fā)生 碰撞。當然，為了增強光感應器41上光線的變化強度，提高光感應器41采集的異物8的信息與信號處理模塊設定的常規(guī)預定值之間的差異，進而提高信號處理模塊的靈敏度，感應模塊4還包括光源，光源設置于涂布平臺10上；擋板61位于光源與光感應器41之間。進一步的，為了便于對感應模塊4進行調(diào)試和更換，噴嘴I的上端面可拆卸地固定安裝有第一固定塊31,光感應器41和第一支架51設置于第一固定塊31上。具體的，第一固定塊31可以通過固定部件2固定于噴嘴I上。如圖4和圖5所示，圖4為本實用新型提供的涂布設備中第二種感應模塊工作結(jié)構(gòu)無異物時的狀態(tài)示意圖；圖5為本實用新型提供的涂布設備中第二種感應模塊工作結(jié)構(gòu)有異物時的狀態(tài)示意圖。感應模塊4的第二種工作結(jié)構(gòu)包括至少一個信號收發(fā)器42，安裝于噴嘴I前端面，用于向噴嘴I行走方向前方的涂布平臺10以及基板7發(fā)射感應信號并接受涂布平臺10以及基板7的反饋信號。信號收發(fā)器42將感應信號向涂布平臺10以及基板7上表面的方向發(fā)射，并接受涂布平臺10以及基板7的反饋信號，例如，基板7的反饋信號為信號收發(fā)器42與基板7的上表面之間的距離，當基板7上存在異物8時，異物8處反饋的距離參數(shù)會小于信號處理模塊中的常規(guī)預定值的警戒值，信號處理模塊生成執(zhí)行信號并信號傳輸給執(zhí)行模塊，執(zhí)行模塊發(fā)出處理指令，從而停止噴嘴I的涂布作業(yè)，防止噴嘴I與異物8發(fā)生碰撞。當然，為了提高信號收發(fā)器42的反應靈敏度，同時為了更好地對基板7表面的異物8的信息進行收集，感應模塊4還包括第二支架52，第一端設置于噴嘴I上，第二端沿噴嘴I的行走方向向前伸出；偏板62，位于信號收發(fā)器42前方，偏板62的下端面不高于噴嘴I的底端面，偏板62與第二支架52的第二端鉸接且可繞其鉸接軸線92旋轉(zhuǎn)，鉸接軸線92的延伸方向與噴嘴I的行走方向垂直并且與涂布平臺10所在的平面平行。當涂布平臺10或者基板7的上表面存在異物8時，由于偏板62的下端面不高于噴嘴I的底端面，所以，偏板62先與能夠和噴嘴I碰撞的異物8發(fā)生碰撞,偏板62的下端向靠近噴嘴I的方向偏轉(zhuǎn)，直至擋住信號收發(fā)器42向基板7發(fā)出的感應信號，此時，信號收發(fā)器42發(fā)射的感應信號只能由偏板62進行反饋，如圖5所示。偏板62反饋的信號擴大了對異物8的反饋信號，從而提高了信號處理模塊的反應靈敏度；同時，偏板62的底端可以與基板7整個橫向上的異物8發(fā)生碰撞，不會發(fā)生感應遺漏現(xiàn)象，因此，信號收發(fā)器42能夠更好地對異物8的信息進行收集。同理，為了便于對感應模塊4進行更換，噴嘴I的上端面可拆卸地固定安裝有第二固定塊32，信號收發(fā)器42和第二支架52設置于第二固定塊32上。具體的，第二固定塊32可以通過固定部件2固定于噴嘴I上。如圖6所示，圖6為本實用新型提供的涂布設備中第三種感應模塊工作結(jié)構(gòu)示意圖。感應模塊4的第三種工作結(jié)構(gòu)包括信號發(fā)射器43,用于向噴嘴I行走方向前方發(fā)射感應信號；信號接收器44，用于接收感應信號的反饋信號，并將接收的反饋信號傳遞給信號處理模塊；信號發(fā)射器43安裝于噴嘴I上，信號接收器44安裝于涂布平臺10上；或者，信號發(fā)射器43安裝于涂布平臺10上，信號接收器44安裝于噴嘴I上；而且，信號發(fā)射器43和信號接收器44的下端均不高于噴嘴I的底端面，且信號發(fā)射器43與信號接收器44的安裝高度相同。在調(diào)整好噴嘴I與基板7之間的距離后，首先通過信號發(fā)射器43發(fā)射感應信號，若信號接收器44能夠接收到信號發(fā)射器43發(fā)射的全部感應信號，則涂布平臺10以及基板7的上表面沒有異物8 ;若信號接收器44接收的感應信號發(fā)生缺失，甚至接收不到，則說明涂布平臺10和/或基板7的上表面存在異物，將異常信號反饋至信號處理模塊，通過信號處理模塊向執(zhí)行模塊傳輸執(zhí)行信號，停止噴嘴I的涂布作業(yè)。優(yōu)選地,噴嘴I的前端設置有向下延伸的第一擋板63,信號發(fā)射器43安裝于第一擋板63的前端面上；涂布平臺10的前端設置有向上延伸的第二擋板64，信號接收器44安裝于第二擋板64的后端面上。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型實施例進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種涂布設備，包括噴嘴和用于放置待涂布基板的涂布平臺；其特征在于，還包括 感應模塊，用于采集所述涂布平臺或基板上、位于所述噴嘴前方異物的信息； 信號處理模塊，信號連接所述感應模塊，根據(jù)所述感應模塊采集的信息判斷存在異物時生成執(zhí)行信號； 執(zhí)行模塊，信號連接所述信號處理模塊，根據(jù)所述信號處理模塊的執(zhí)行信號控制所述噴嘴停止涂布作業(yè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的涂布設備，其特征在于，所述執(zhí)行模塊為噴嘴控制裝置，所述噴嘴控制裝置與所述信號處理模塊信號連接；和/或 報警裝置，所述報警裝置與所述信號處理模塊信號連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的涂布設備，其特征在于，所述感應模塊包括 感應所述噴嘴行走方向前方光線的光感應器，設置于所述噴嘴上； 第一支架，第一端設置于所述噴嘴上，第二端沿所述噴嘴的行走方向向前伸出且低于所述光感應器的安裝高度； 擋板，位于所述光感應器前方，所述擋板的底端面不高于所述噴嘴的底端面，所述擋板的上端面位于所述光感應器的下端面和上端面之間，所述擋板與所述第一支架的第二端鉸接并可繞其鉸接軸線旋轉(zhuǎn)，所述鉸接軸線的延伸方向與噴嘴的行走方向垂直并且與涂布平臺所在的平面平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的涂布設備，其特征在于，所述感應模塊還包括光源，所述光源設置于所述涂布平臺上；所述擋板位于所述光源與所述光感應器之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的涂布設備，其特征在于，所述噴嘴的上端面可拆卸地固定安裝有第一固定塊，所述光感應器和所述第一支架設置于所述第一固定塊上。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的涂布設備，其特征在于，所述感應模塊包括 至少一個信號收發(fā)器，安裝于所述噴嘴前端面，用于向所述噴嘴行走方向前方的涂布平臺以及基板發(fā)射感應信號并接受涂布平臺以及基板的反饋信號。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂布設備，其特征在于，所述感應模塊還包括 第二支架，第一端設置于所述噴嘴上，第二端沿所述噴嘴的行走方向向前伸出； 偏板，位于所述信號收發(fā)器前方，所述偏板的下端面不高于所述噴嘴的底端面，所述偏板與所述第二支架的第二端鉸接并可繞其鉸接軸線旋轉(zhuǎn)，所述鉸接軸線的延伸方向與噴嘴的行走方向垂直并且與涂布平臺所在的平面平行。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的涂布設備，其特征在于，所述噴嘴的上端面可拆卸地固定安裝有第二固定塊，所述信號收發(fā)器和第二支架設置于第二固定塊上。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的涂布設備，其特征在于，所述感應模塊包括 信號發(fā)射器，用于向所述噴嘴行走方向前方發(fā)射感應信號； 信號接收器，用于接收所述感應信號的反饋信號，并將接收的所述反饋信號傳遞給所述信號處理模塊； 所述信號發(fā)射器安裝于噴嘴上，所述信號接收器安裝于涂布平臺上；或者，所述信號發(fā)射器安裝于涂布平臺上，所述信號接收器安裝于噴嘴上； 所述信號發(fā)射器與信號接收器的安裝高度相同，且所述信號發(fā)射器的下端不高于所述噴嘴的底端面。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的涂布設備，其特征在于，所述噴嘴的前端設置有向下延伸的第一擋板，所述信號發(fā)射器安裝于所述第一擋板的前端面上； 所述涂布平臺的前端設置有向上延伸的第二擋板，所述信號接收器安裝于所述第二擋板的后端面上。
專利摘要本實用新型公開了一種涂布設備，包括噴嘴和用于放置待涂布基板的涂布平臺；還包括采集所述涂布平臺或基板上、位于所述噴嘴前方異物的信息的感應模塊；信號連接所述感應模塊，根據(jù)所述感應模塊采集的信息判斷存在異物時生成執(zhí)行信號的信號處理模塊；信號連接所述信號處理模塊，根據(jù)所述信號處理模塊的執(zhí)行信號控制所述噴嘴停止涂布作業(yè)的執(zhí)行模塊。感應模塊采集信息的異物處于噴嘴涂布位置前方的涂布平臺以及基板上，噴嘴還未涂布至異物處便已停止了涂布作業(yè)，因此能夠防止噴嘴與異物之間發(fā)生碰撞，防止噴嘴因為與異物之間的碰撞而造成損傷以及損壞。
文檔編號B05C11/10GK202683415SQ20122037089
公開日2013年1月23日 申請日期2012年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月27日
發(fā)明者劉昊, 焦宇, 姜健, 宋瑞濤 申請人:北京京東方光電科技有限公司