專利名稱：一種用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種浸潤槽，尤其是指一種可減小噴頭和溶劑的接觸面積的接觸式浸潤槽。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的浸潤槽用于承載化學(xué)溶劑，供置于光阻涂布噴嘴在長時(shí)間不生產(chǎn)時(shí)，其噴頭浸泡在浸潤槽中，防止噴頭處的光阻揮發(fā)干燥，造成涂布不良。但現(xiàn)有的浸潤槽體積較大，所需化學(xué)溶劑量大，且噴頭與溶劑之間的接觸面較大，使得殘留在噴頭上的溶劑難于完全去除，對噴頭造成大面積腐蝕，且影響涂布的效果。且現(xiàn)有浸潤槽在加注溶劑時(shí)，液位難于控制，溶液流動(dòng)性強(qiáng)，難于精確控制噴頭和溶劑之間的接觸面積和范圍。

發(fā)明內(nèi)容
基于現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的主要目的在于提供一種可在光阻涂布過程中，可有效控制噴頭和溶劑之間的接觸面積，避免大量溶劑殘留在噴頭上的一種接觸式浸潤槽。本發(fā)明提供了一種用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，包括浸潤槽主體和涂布噴頭，所述涂布嗔頭的末端設(shè)有嗔嘴，在浸潤槽中增設(shè)有限定部件，限定部件夾持在涂布嗔頭的端部，使得僅所述涂布噴頭的噴嘴浸入浸潤槽主體承載的溶劑中。通過限定部件支撐所述噴頭，并將非噴嘴部分與溶劑相隔離，避免其他部分殘留溶劑。優(yōu)選地，所述限定部件和涂布噴頭的接觸面設(shè)于噴嘴上部，兩者之間無縫貼合在一起。所述限定部件包括相互分隔的左限定部和右限定部，其豎立于浸潤槽主體上，所述左限定部和右限定部的相對側(cè)均開設(shè)有與涂布噴頭形狀相適配的斜面，兩限定部的下端相互間隔，構(gòu)成溶劑收納部，所述噴嘴浸入溶劑收納部內(nèi)承載的溶劑中。所述限定部件起支撐噴頭并將非噴嘴部分與溶劑相隔離的作用。

優(yōu)選地，所述左限定部和右限定部之間的間距大于所述噴嘴的最小寬度，所述浸入溶劑中的噴嘴占整個(gè)噴嘴的比例十分之一以下,約1-2_。優(yōu)選地，在浸潤槽主體兩側(cè)壁外側(cè)安裝有水平調(diào)整機(jī)構(gòu)，以調(diào)整浸潤槽主體與噴頭之間的水平相對位置，以驅(qū)使限定部件和涂布噴頭緊密貼合，所述水平調(diào)整機(jī)構(gòu)為兩對，分別對稱地設(shè)于浸潤槽主體的側(cè)壁外側(cè)。在浸潤槽主體的底部設(shè)有垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)，以調(diào)整使得限定部件與涂布噴頭緊密貼合。所述水平調(diào)整機(jī)構(gòu)和垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)為彈簧。通過水平調(diào)整機(jī)構(gòu)和垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整浸潤槽主體和噴頭之間的相對位置，使得涂布噴頭更緊密地貼合限定部件上，保證兩者的接觸度。優(yōu)選地，所述浸潤槽主體的上方設(shè)有三個(gè)補(bǔ)液孔，下方設(shè)有廢液排放孔。通過多處補(bǔ)液以控制補(bǔ)液的流量和流速，使得浸潤槽內(nèi)補(bǔ)液過程中液面平穩(wěn)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明一種光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽通過在浸潤槽主體中增設(shè)限定部件，通過限定部件支撐所述噴頭，以使僅噴嘴部分浸入溶劑中，有效避免了濺上非噴嘴區(qū)域，減小了噴頭與溶劑的接觸面積；同時(shí)，在浸潤槽主體的側(cè)壁外部和底部設(shè)有水平調(diào)整機(jī)構(gòu)和垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)，以對浸潤槽主體和涂布噴頭之間的水平和垂直相對位置進(jìn)行調(diào)整，以使得限定部件可與涂布噴頭緊密結(jié)合，避免溶劑滲入噴頭外壁其他位置。另外，設(shè)有多處補(bǔ)液孔，以保持小流量且平穩(wěn)地向浸潤槽補(bǔ)液。


圖1為現(xiàn)有用于光阻涂布設(shè)備的浸潤槽的結(jié)果示意圖，圖2為現(xiàn)有用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽的側(cè)視圖；圖3為本發(fā)明一種用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明一種用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽的俯視圖；圖5為本發(fā)明一種用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽的浸潤槽主體的側(cè)視圖；圖6為本發(fā)明一種用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽的浸潤槽主體的俯視圖。
具體實(shí)施例方式參照圖3所 示，本發(fā)明提供了一種用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽100，包括浸潤槽主體I和涂布噴頭2，所述涂布噴頭2的末端設(shè)有噴嘴20，在浸潤槽主體I中增設(shè)有限定部件3，限定部件3夾持在涂布噴頭2的端部，使得僅所述涂布噴頭2的噴嘴20浸入浸潤槽主體I承載的溶劑中。其中，所述浸潤槽主體I為一長方形槽體，用于盛放涂布用的化學(xué)溶劑。所述涂布噴頭2垂直放置于浸潤槽主體I的上方,沿浸潤槽主體I的X方向延伸，其長度小于浸潤槽主體I的長度，其包括噴嘴20、光阻吸管22和吸液腔24，其中，所述噴嘴20裝配于吸液腔24的下方，其呈錐形結(jié)構(gòu)，兩者可一體成型或分體式組合，所述噴嘴20的底部開設(shè)有進(jìn)液口 202，所述光阻吸管22由噴嘴20的進(jìn)液口 202伸入噴嘴20的內(nèi)腔之中，通過進(jìn)液口 202將化學(xué)溶劑從浸潤槽主體I經(jīng)由噴嘴20吸入吸液腔24之中，光阻吸管22與進(jìn)液口 202無縫接合，使得吸液時(shí)具有良好氣密性。所述限定部件3包括相互分隔的左限定部30和右限定部32，其豎立于浸潤槽主體I上，所述左限定部30和右限定部32的相對側(cè)均開設(shè)有與涂布噴頭2形狀相適配的斜面，兩限定部的下端相互間隔，構(gòu)成溶劑收納部4，所述噴嘴20浸入溶劑收納部4內(nèi)承載的溶劑中。其中，所述限定部件3和涂布噴頭2的接觸面設(shè)于噴嘴20上部，兩者之間無縫貼合在一起，所述左限定部30和右限定部32之間的間距大于所述噴嘴20的最小寬度。所述左限定部30立于涂布噴頭2的左側(cè)，其右側(cè)設(shè)有與涂布噴頭2相貼合的斜面，所述右限定部32立于涂布噴頭2的右側(cè)，其左側(cè)設(shè)有與涂布噴頭2相貼合的斜面，通過所述左右限定部件3的接觸面將所述噴嘴20夾持并支撐，且所述兩限定部件3亦沿浸潤槽主體I的X方向延伸。在兩限定部件3之間設(shè)有缺口，當(dāng)兩限定部件3緊密貼合于涂布噴頭2上時(shí)，在兩限定部件3的下端與噴嘴20環(huán)繞而成溶劑收納部4。在本實(shí)施例中，所述溶劑收納部4呈梯形，所述噴嘴20浸入溶劑收納部4所承載的溶劑中，使得溶劑經(jīng)噴嘴20吸入，并經(jīng)由光阻吸管22吸入所述吸液腔24之中。所述浸入溶劑中的噴嘴部分占整個(gè)噴嘴20的比例是，通過限定部件承托所述涂布噴頭2，使得除噴嘴20的其他部分與化學(xué)溶劑相隔離，以避免溶劑殘留于涂布噴頭2上而造成腐蝕，且可精確地控制噴嘴20與溶劑接觸的面積和范圍。所述限定部件的材料可選用但不限于全氟材料(PERFLUO Elastomer)、乙丙橡膠(EF1DN)等耐腐蝕且具有一定硬度的彈性材料?？梢岳斫猓诒景l(fā)明中，所述限定部件3與涂布噴頭2之間接觸面的形狀不限，兩者緊密貼合以支撐所述涂布噴頭2即可。同樣地，所述溶劑收納部4的外形不受此限。參照圖4所示，為了對浸潤槽主體I與涂布噴頭2之間的水平相對位置進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整，在浸潤槽主體I兩側(cè)壁外側(cè)安裝有水平調(diào)整機(jī)構(gòu)5，以調(diào)整浸潤槽主體I與涂布噴頭2之間的水平相對位置。所述水平調(diào)整機(jī)構(gòu)5為兩對，分別對稱地設(shè)于浸潤槽主體I的側(cè)壁外側(cè)的兩端。安裝時(shí)，將浸潤槽主體I放入安裝空間內(nèi)，這時(shí)，水平調(diào)整機(jī)構(gòu)5抵持于安裝空間的內(nèi)側(cè)壁，所述水平調(diào)整機(jī)構(gòu)為彈簧，浸潤槽主體I可自由活動(dòng)，通過水平調(diào)整機(jī)構(gòu)5對浸潤槽主體I的水平位置進(jìn)行微調(diào)，以保障限定部件3和涂布噴頭2之間在水平方向(X方向)緊密貼合，并通過彈簧的彈性回復(fù)力使得兩者之間保持良好的接觸度。所述水平調(diào)整機(jī)構(gòu)5設(shè)置為兩對，可靈活地根據(jù)浸潤槽主體的位置對其兩側(cè)進(jìn)行同步調(diào)整或分別調(diào)難
iF.0參照圖5所示，為了對浸潤槽主體I與涂布噴頭2之間的垂直相對位置進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整，在浸潤槽主體I的底部增設(shè)有垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)6，以調(diào)整使得限定部件3與涂布噴頭2緊密貼合。同樣地，所述垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)6設(shè)為兩對，分別對稱地設(shè)于浸潤槽主體I的底部兩端。所述垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)為彈簧，通過垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)6對浸潤槽主體I的垂直位置(Z方向)進(jìn)行微調(diào)，以保障限定部件3和涂布噴頭2之間在垂直方向上緊密貼合，并通過彈簧的彈性回復(fù)力使得兩者之間保持良好的接觸度。由此，通過水平調(diào)整機(jī)構(gòu)5和垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)6可在X方向和Z方向上，對浸潤槽主體I和涂布噴頭2之間的水平和垂直相對位置進(jìn)行調(diào)整，以使得限定部件3可與涂布噴頭2緊密結(jié)合，避免溶劑滲入噴頭外壁其他位置。
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參照圖6示，所述浸潤槽主體I的上方設(shè)有至少一個(gè)補(bǔ)液孔7，下方設(shè)有廢液排放孔8。在本實(shí)施例中，所述補(bǔ)液孔7設(shè)為3個(gè)，所述廢液排放孔設(shè)為I個(gè)。在噴頭浸潤前，通過所述三個(gè)補(bǔ)液孔7灌入浸潤槽主體I之中，通過三處補(bǔ)液加注可有效解決補(bǔ)液波動(dòng)不穩(wěn)定的問題。由于浸潤槽主體I的體積較小，通過三處補(bǔ)液孔可使用較小流量進(jìn)行補(bǔ)液，保障液面的平穩(wěn)。若補(bǔ)液超過浸潤槽的高度時(shí)，溶劑會自動(dòng)溢出，以防止浸潤槽內(nèi)的液位過高。
權(quán)利要求
1.一種用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，包括浸潤槽主體和涂布噴頭，所述涂布噴頭的末端設(shè)有噴嘴，其特征在于:在浸潤槽中增設(shè)有限定部件，限定部件夾持在涂布噴頭的端部，使得僅所述涂布噴頭的噴嘴浸入浸潤槽主體承載的溶劑中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，其特征在于:所述限定部件和涂布噴頭的接觸面設(shè)于噴嘴上部，兩者之間無縫貼合在一起。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，其特征在于:所述限定部件包括相互分隔的左限定部和右限定部，其豎立于浸潤槽主體上，所述左限定部和右限定部的相對側(cè)均開設(shè)有與涂布噴頭形狀相適配的斜面，兩限定部的下端相互間隔，構(gòu)成溶劑收納部，所述噴嘴浸入溶劑收納部內(nèi)承載的溶劑中。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，其特征在于:所述左限定部和右限定部之間的間距大于所述噴嘴的最小寬度，所述浸入溶劑中的噴嘴占整個(gè)噴嘴的十分之一以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，其特征在于:在浸潤槽主體兩側(cè)壁外側(cè)安裝有水平調(diào)整機(jī)構(gòu)，以調(diào)整浸潤槽主體與噴頭之間的水平相對位置，以驅(qū)使限定部件和涂布噴頭緊密貼合。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，其特征在于:在浸潤槽主體的底部設(shè)有垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)，以調(diào)整使得限定部件與涂布噴頭緊密貼合。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，其特征在于:所述水平調(diào)整機(jī)構(gòu)為兩對，分別對稱地設(shè)于浸潤槽主體的側(cè)壁外側(cè)；所述垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)為兩對，分別對稱地設(shè)于浸潤槽底部的兩側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，其特征在于:所述水平調(diào)整機(jī)構(gòu)和垂直調(diào)整機(jī)構(gòu)為彈 簧。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，其特征在于:所述浸潤槽主體的上方設(shè)有三個(gè)補(bǔ)液孔，下方設(shè)有廢液排放孔。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，其特征在于:所述限定部件的材料選自全氟材料或乙丙橡膠。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于光阻涂布設(shè)備的接觸式浸潤槽，包括浸潤槽主體和涂布噴頭，所述涂布噴頭的末端設(shè)有噴嘴，在浸潤槽中增設(shè)有限定部件，限定部件夾持在涂布噴頭的端部，使得僅所述涂布噴頭的噴嘴浸入浸潤槽主體承載的溶劑中。通過限定部件支撐所述噴頭，并將非噴嘴部分與溶劑相隔離，避免其他部分殘留溶劑，所述限定部件和涂布噴頭的接觸面設(shè)于噴嘴上部，兩者之間無縫貼合在一起。
文檔編號B05C11/10GK103223396SQ201310173578
公開日2013年7月31日 申請日期2013年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2013年5月10日
發(fā)明者陳暉 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司