涂布模塊的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種涂布模塊，適于將液體涂布至基材上。涂布模塊包括兩夾板以及導(dǎo)流結(jié)構(gòu)。夾板之間具有狹縫，狹縫具有狹縫入口與狹縫出口。夾板之一具有注入開口。導(dǎo)流結(jié)構(gòu)將注入開口連通至狹縫入口。液體適于經(jīng)由注入開口進入導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，并經(jīng)由導(dǎo)流結(jié)構(gòu)流動至狹縫入口，再經(jīng)由狹縫入口流入狹縫內(nèi)，并經(jīng)由狹縫出口流出狹縫以涂布至基材上。
【專利說明】涂布模塊
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種涂布模塊，且特別是有關(guān)于一種可更換夾板的涂布模塊。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，在工業(yè)處理中常利用涂布裝置進行涂膜處理，例如是在陶瓷電容上形成薄帶生胚，或是在基材上涂布光學(xué)保護膜等。以狹縫式的涂布裝置為例，狹縫式的涂布裝置可進行大面積的涂膜處理。涂布裝置具有狹縫區(qū)(Restrictor)，液體經(jīng)由定量泵而輸送至涂布裝置內(nèi)部，并從涂布裝置的狹縫出口流出。定量泵可提供穩(wěn)定的液體供應(yīng)。因此，涂布裝置涂布液體的均勻程度便取決于狹縫區(qū)的表面平整度。
[0003]涂布裝置通常是經(jīng)由兩個不銹鋼模塊夾持結(jié)構(gòu)模板(Shims)所構(gòu)成。結(jié)構(gòu)模板上具有狹縫區(qū)以及連接狹縫區(qū)的導(dǎo)流結(jié)構(gòu)例如是流道或是分流管(Manifold)，而導(dǎo)流結(jié)構(gòu)將液體引導(dǎo)至狹縫區(qū)。導(dǎo)流結(jié)構(gòu)主要包括三種類型:T型結(jié)構(gòu)(T-die)、魚尾型結(jié)構(gòu)(Fishtail)與衣架型結(jié)構(gòu)(Coat_hanger)。T型結(jié)構(gòu)的加工與制作較為容易且可使液體的流速均勻分布，但液體容易在分流管末端形成滯留區(qū)。魚尾型結(jié)構(gòu)可使液體均勻地在流道中擴散，但液體容易在導(dǎo)流結(jié)構(gòu)中形成回流區(qū)而影響流速。衣架型結(jié)構(gòu)可改善液體在T型結(jié)構(gòu)與魚尾型結(jié)構(gòu)中形成滯留區(qū)或回流區(qū)的狀況，但其設(shè)計較為復(fù)雜且生產(chǎn)成本較高。因此，涂膜處理通常是依照涂布液體的特性與涂布方式而選擇具有不同的導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的涂布裝置，使得涂布裝置在不同涂膜處理中的共用性極低。
[0004]另一方面，為使涂布裝置能均勻地涂布液體，結(jié)構(gòu)模板用以形成導(dǎo)流結(jié)構(gòu)與狹縫區(qū)的表面需具有高平整度，特別是狹縫區(qū)的表面。因此，結(jié)構(gòu)模板需經(jīng)由研磨拋光等處理加工而提高表面平整度。另一方面，若結(jié)構(gòu)模板具有設(shè)計較復(fù)雜的導(dǎo)流結(jié)構(gòu)時，結(jié)構(gòu)模板需進行額外的機械加工，并在每個加工面上進行研磨拋光，以使液體均勻地在結(jié)構(gòu)模板上流動。這些加工過程提高了涂布裝置的制造成本。此外，當此類涂布裝置的狹縫區(qū)磨損時，必須重新更換結(jié)構(gòu)模板，以確保涂布流體的均勻性。因此，此類涂布裝置的制造成本較高，使得經(jīng)由此類涂布裝置進行涂膜處理的產(chǎn)品的生產(chǎn)成本也間接提高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種涂布模塊，具有較低的生產(chǎn)成本與較佳的重復(fù)使用性。
[0006]本發(fā)明提出一種涂布模塊，適于將液體涂布至基材上。涂布模塊包括兩夾板以及導(dǎo)流結(jié)構(gòu)。夾板之間具有狹縫，狹縫的一端具有狹縫入口，狹縫的另一端具有狹縫出口。夾板之一具有注入開口。導(dǎo)流結(jié)構(gòu)將注入開口連通至狹縫入口。液體適于經(jīng)由注入開口進入導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，并經(jīng)由導(dǎo)流結(jié)構(gòu)流動至狹縫入口，再經(jīng)由狹縫入口流入狹縫內(nèi)，并經(jīng)由狹縫出口流出狹縫以涂布至基材上。
[0007]在本發(fā)明的一實施例中，上述夾板的材質(zhì)包括硅晶片或玻璃。
[0008]在本發(fā)明的一實施例中，上述導(dǎo)流結(jié)構(gòu)包括導(dǎo)流入口、導(dǎo)流流道以及分流管。導(dǎo)流入口連通注入開口。導(dǎo)流流道連通導(dǎo)流入口。分流管將導(dǎo)流流道連通至狹縫入口，而液體適于經(jīng)由分流管均勻地流動至狹縫入口。
[0009]在本發(fā)明的一實施例中，上述導(dǎo)流結(jié)構(gòu)具有導(dǎo)流圖案，導(dǎo)流圖案位在導(dǎo)流流道上，用以引導(dǎo)液體在導(dǎo)流流道上的流動。
[0010]在本發(fā)明的一實施例中，上述導(dǎo)流圖案包括分流島，分流島位在狹縫出口。
[0011]在本發(fā)明的一實施例中，上述涂布模塊還包括兩夾具，固定夾板于夾具之間。注入開口位在夾具之一上，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)由夾具之一的一部分所構(gòu)成并將注入開口連通至狹縫入□。
[0012]在本發(fā)明的一實施例中，上述各夾具具有定位凹槽，夾板分別可拆卸地設(shè)置在定位凹槽內(nèi)以形成狹縫。
[0013]在本發(fā)明的一實施例中，上述夾具分別具有多個氣孔、真空腔室以及真空通道。氣孔位在定位凹槽上且連通真空腔室，真空腔室連通真空通道，真空通道適于連接至真空裝置并經(jīng)由真空裝置將夾板分別吸附于定位凹槽內(nèi)以形成狹縫。
[0014]在本發(fā)明的一實施例中，上述各夾具具有彈性件，各彈性件位在對應(yīng)的夾板與對應(yīng)的定位凹槽之間以調(diào)整狹縫的寬度。
[0015]在本發(fā)明的一實施例中，上述導(dǎo)流結(jié)構(gòu)由夾板之一的一部分所構(gòu)成或由兩夾板的一部分所共同構(gòu)成并將注入開口連通至狹縫入口。
[0016]在本發(fā)明的一實施例中，上述具有導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的夾板為微加工夾板。
[0017]在本發(fā)明的一實施例中，上述涂布模塊還包括兩夾具以及密封軟墊。夾具固定夾板于夾具之間，其中夾具之一具有固定凹槽，夾板可拆卸地固定在固定凹槽內(nèi)。密封軟墊位在夾板之一與對應(yīng)的夾具之間。
[0018]在本發(fā)明的一實施例中，上述夾板之一與對應(yīng)的夾具的材料為透明材料，以便于觀測液體在導(dǎo)流結(jié)構(gòu)內(nèi)的流動。
[0019]在本發(fā)明的一實施例中，上述涂布模塊還包括真空腔室，位在夾具之一并連通固定凹槽，其中真空腔室適于連接至真空裝置，以在狹縫出口形成真空狀態(tài)。
[0020]在本發(fā)明的一實施例中，兩對上述夾板可拆卸地固定在固定凹槽內(nèi)，使得液體適于經(jīng)由狹縫出口流出狹縫以涂布至基材上。
[0021 ] 基于上述，本發(fā)明提出一種涂布模塊，其兩夾板之間具有狹縫，狹縫具有狹縫入口與狹縫出口。夾具固定夾板且具有注入開口。導(dǎo)流結(jié)構(gòu)將注入開口連通至狹縫入口。液體可經(jīng)由注入開口、導(dǎo)流結(jié)構(gòu)、狹縫入口而流入狹縫內(nèi)，再經(jīng)由狹縫出口流出涂布模塊。據(jù)此，涂布模塊可將液體涂布至基材上，而當涂布模塊的夾板磨損時，夾板可從夾具上移除并更換新的夾板。因此，涂布模塊具有較低的生產(chǎn)成本與較佳的重復(fù)使用性。
[0022]為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合附圖作詳細說明如下。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是本發(fā)明一實施例的涂布模塊應(yīng)用于涂布系統(tǒng)的示意圖；
[0024]圖2是本發(fā)明一實施例的涂布模塊應(yīng)用于另一涂布系統(tǒng)的示意圖；
[0025]圖3A是本發(fā)明一實施例的涂布模塊的爆炸圖；
[0026]圖3B是圖3A的涂布模塊在組合后的剖視圖；[0027]圖4A是本發(fā)明另一實施例的涂布模塊的爆炸圖；
[0028]圖4B是圖4A的涂布模塊在組合后的剖視圖；
[0029]圖5是圖4A的涂布模塊的前視圖；
[0030]圖6是本發(fā)明又一實施例的涂布模塊的示意圖；
[0031]圖7是本發(fā)明另一實施例的涂布模塊的爆炸圖；
[0032]圖8是圖7的涂布模塊在組合后的剖視圖；
[0033]圖9是本發(fā)明再一實施例的涂布模塊的爆炸圖；
[0034]圖10是圖9的涂布模塊在組合后的剖視圖；
[0035]圖11是本發(fā)明又一實施例的涂布模塊的剖視圖；
[0036]圖12是本發(fā)明另一實施例的涂布模塊的剖視圖；
[0037]圖13是本發(fā)明又一實施例的涂布模塊的剖視圖。
[0038]附圖標記說明:
[0039]50,60:涂布系統(tǒng)；
[0040]51,61:供液裝置；
[0041]52、92:真空裝置；
[0042]53:吸附平臺；
[0043]54:控制系統(tǒng)；
[0044]54a>54b>54c:移動平臺；
[0045]55:平臺控制器；
[0046]56,64:圖像獲取系統(tǒng)；
[0047]57、65:電腦；
[0048]62:滾輪系統(tǒng)；
[0049]63:滾輪控制器；
[0050]90:基材；
[0051]90a:條紋式薄膜；
[0052]100、100a、100b、100c、100d、200、200a、200b:涂布模塊；
[0053]110a、110b、210a、210b:夾板；
[0054]112、212:狹縫；
[0055]112a、212a:狹縫入口；
[0056]112b、212b:狹縫出口；
[0057]114、124、224:注入開口；
[0058]120a、120b、220a、220b:夾具；
[0059]122:固定凹槽；
[0060]126,228:真空腔室；
[0061]130、230:導(dǎo)流結(jié)構(gòu)；
[0062]132、232:導(dǎo)流入口；
[0063]134、234:導(dǎo)流流道；
[0064]136、236:分流管；
[0065]138:導(dǎo)流圖案；[0066]138a:分流島；
[0067]140:密封軟墊；
[0068]222a,222b:定位凹槽；
[0069]226:氣孔；
[0070]229:真空通道；
[0071]240a:彈性件；
[0072]d:凹槽深度；
[0073]t:夾板厚度；
[0074]wl、w2:狹縫寬度。
【具體實施方式】
[0075]圖1是本發(fā)明一實施例的涂布模塊應(yīng)用于涂布系統(tǒng)的示意圖。請參考圖1，涂布模塊100適于連接至涂布系統(tǒng)50，以將液體(未示出)涂布至基材90上。具體而言，涂布模塊100連接供液裝置51，以使液體從供液裝置51進入涂布模塊100的內(nèi)部?；?0經(jīng)由真空裝置52固定于吸附平臺53上，而吸附平臺53連接控制系統(tǒng)54。控制系統(tǒng)54提供分別沿著三個軸向移動的移動平臺54a、54b、54c，以使基材90可相對于涂布模塊100移動。
[0076]涂布模塊100的涂布速度與涂布位置取決于吸附平臺53的移動方向與速度。因此，吸附平臺53連接至平臺控制器55以控制吸附平臺53的位移量與位移速度。此外，涂布系統(tǒng)50還具有圖像獲取系統(tǒng)56，圖像獲取系統(tǒng)56連接至電腦57，以即時觀測涂布模塊100與基材90之間的間距以進行調(diào)整。
[0077]另一方面，圖2是本發(fā)明一實施例的涂布模塊應(yīng)用于另一涂布系統(tǒng)的示意圖。請參考圖2，涂布模塊100適于連接至涂布系統(tǒng)60，以將液體涂布至基材90上。具體而言，涂布模塊100連接供液裝置61，以使液體從供液裝置61進入涂布模塊100的內(nèi)部?；?0經(jīng)由滾輪系統(tǒng)62而相對于涂布模塊100移動。
[0078]涂布模塊100的涂布速度與涂布位置取決于滾輪系統(tǒng)62的移動方向與速度。因此，滾輪系統(tǒng)62連接滾輪控制器63以控制滾輪系統(tǒng)62的位移量與位移速度。此外，涂布系統(tǒng)60還具有圖像獲取系統(tǒng)64，圖像獲取系統(tǒng)64連接至電腦65，以即時觀測涂布模塊100與基材90之間的間距以進行調(diào)整。
[0079]圖3A是本發(fā)明一實施例的涂布模塊的爆炸圖。圖3B是圖3A的涂布模塊在組合后的剖視圖。請參考圖3A與圖3B，在本實施例中，涂布模塊100包括兩夾板IlOa及IlOb以及導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130。具體而言，夾板IlOa與夾板IlOb對向設(shè)置，且夾板IlOa與夾板IlOb之間具有狹縫112 (如圖3B所示)。狹縫112的一端具有狹縫入口 112a，而狹縫112的另一端具有狹縫出口 112b。
[0080]請參考圖3A與圖3B，在本實施例中，夾板I IOa具有注入開口 114，注入開口 114貫穿夾板IlOa而連通涂布模塊100的內(nèi)部與外部。因此，液體可經(jīng)由注入開口 114注入涂布模塊100的內(nèi)部，并經(jīng)由狹縫112而從狹縫出口 112b流出涂布模塊100。
[0081]另一方面，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130位在注入開口 114與狹縫112之間。在本實施例中，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130由夾板IlOa的一部分與夾板IlOb的一部分所共同構(gòu)成并將注入開口 114連通至狹縫入口 112a。換言之，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130位在夾板IlOa與夾板IlOb上，而狹縫112是位在夾板IlOa及IlOb的尾端并連通導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130。因此，在液體從注入開口 114進入導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130后，液體經(jīng)由位在夾板IlOa及IlOb上的導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130流動至狹縫入口 112a，再經(jīng)由狹縫入口 112a流入狹縫112內(nèi)，并經(jīng)由狹縫出口 112b流出涂布模塊100。
[0082]詳細而言，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130包括導(dǎo)流入口 132、導(dǎo)流流道134以及分流管136。導(dǎo)流入口 132連通注入開口 114。導(dǎo)流流道134連通導(dǎo)流入口 132。分流管136將導(dǎo)流流道134連通至狹縫入口 112a。在本實施例中，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130大部分位在夾板IlOb上。另一方面，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130可視為是位在夾板IlOb平面上的凹槽結(jié)構(gòu)。因此，當兩夾板IlOa與IlOb例如是經(jīng)由陽極接合而互相固定時，夾板IlOa抵靠夾板110b。此時，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130的凹槽結(jié)構(gòu)在緊貼的兩夾板IlOa及IlOb之間形成空間，如圖3B所示，使得液體可在導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130中流動。
[0083]同樣地，位在夾板IlOa及IlOb尾端并連通導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130的狹縫112也可視為是位在夾板IlOb上的凹槽結(jié)構(gòu)并連通位在夾板IlOb上的部分導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130。當夾板IlOa及IlOb互相抵靠時，夾板IlOa與夾板IlOb之間的尾端經(jīng)由凹槽結(jié)構(gòu)而形成狹縫112，而涂布模塊100可經(jīng)由調(diào)整夾板IlOb上的凹槽深度而控制狹縫112的狹縫寬度wl。
[0084]圖4A是本發(fā)明另一實施例的涂布模塊的爆炸圖。圖4B是圖4A的涂布模塊在組合后的剖視圖。請參考圖4A與圖4B，在本實施例中，涂布模塊IOOa與涂布模塊100的主要差異在于涂布模塊IOOa包括兩夾具120a及120b。夾具120a及120b對向設(shè)置而將夾板IlOa及IlOb固定于夾具120a與夾具120b之間，以經(jīng)由多個鎖固件(例如是螺絲)互相鎖固。據(jù)此，可使夾板IlOa及IlOb之間的結(jié)合關(guān)系更為穩(wěn)定。
[0085]此外，請參考圖4A與圖4B，在本實施例中，夾具120b具有固定凹槽122，而夾板IlOa及IlOb可拆卸地固定在固定凹槽122內(nèi)。因此，固定凹槽122可在夾具120a及120b固定夾板IlOa及IlOb時提供定位夾板IlOa及IlOb的功能。另外，夾具120a具有注入開口 124，注入開口 124貫穿夾具120a且對應(yīng)注入開口 114，以連通涂布模塊IOOa的內(nèi)部與外部。因此，液體可經(jīng)由注入開口 114注入涂布模塊IOOa的內(nèi)部，并經(jīng)由狹縫112而從狹縫出口 112b流出涂布模塊100a。
[0086]圖5是圖4A的涂布模塊的前視圖。下述有關(guān)夾板IlOa及IlOb與導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130的描述是以涂布模塊IOOa為例，但由于涂布模塊IOOa與涂布模塊100的主要差異處在于是否設(shè)置夾具120a與120b，因此下述有關(guān)夾板I IOa及IlOb與導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130的描述亦可應(yīng)用于涂布模塊100中。
[0087]請參考圖4A與圖5，在本實施例中，導(dǎo)流入口 132與注入開口 114是位在夾具120a上對應(yīng)注入開口 124的開孔，而狹縫112是由平板型的夾板IlOa及IlOb所構(gòu)成的細長型縫隙。因此，位在導(dǎo)流入口 132與狹縫112之間的導(dǎo)流流道134與分流管136需將流入導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130內(nèi)的液體從孔型均勻地分散成細長型，以使進入狹縫112內(nèi)的液體可以均勻地在狹縫112內(nèi)流動。
[0088]具體而言，在本實施例中，導(dǎo)流入口 132連接約略呈現(xiàn)魚尾型的導(dǎo)流流道134，以使流入導(dǎo)流入口 132的液體分散流動。分流管136為對應(yīng)狹縫入口 112a形狀的長條型凹槽且位在夾板IlOb上。在液體從導(dǎo)流流道134流出后，分流管136可擴大液體分散流動的效果，以使液體分散經(jīng)由分流管136均勻地流動至細長型的狹縫入口 112a。
[0089]此外，相較于導(dǎo)流入口 132以及導(dǎo)流流道134，分流管136的深度大于導(dǎo)流入口132以及導(dǎo)流流道134的深度。在本實施例中，分流管136也設(shè)置在夾板IlOa上對應(yīng)夾板IlOb的分流管136的位置。換言之，分流管136是由位在夾板IlOa及IlOb上的兩長條型凹槽所構(gòu)成，用以提高分流管136的深度。因此，經(jīng)由在夾板IlOa及IlOb上設(shè)置深度較深的分流管136，以分散從導(dǎo)流流道134流入分流管136的液體。
[0090]然而，在本發(fā)明其他實施例中，分流管136可僅設(shè)置于夾板IlOa及IlOb的其中之一上。另外，在本發(fā)明其他未示出的實施例中，整個導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130可僅位在夾板I IOa及I IOb的其中之一上，例如是位在夾板IIOa上，而導(dǎo)流入口 132貫穿夾板IIOa而直接連通注入開口 124。此時,夾板IlOb上不需設(shè)置任何凹槽而僅為平板。然而,本發(fā)明不以此為限制,在本發(fā)明其他實施例中，涂布模塊可依照需求選擇導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的位置。
[0091]此外，在本實施例中，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130具有導(dǎo)流圖案138。導(dǎo)流圖案138位在導(dǎo)流流道134且凸起于導(dǎo)流流道134上的條狀凸柱，用以引導(dǎo)液體在導(dǎo)流流道134上的流動。然而，本發(fā)明不限制據(jù)此導(dǎo)流圖案的形狀與設(shè)置與否，涂布模塊可依照需求調(diào)整導(dǎo)流圖案的形狀而調(diào)整液體在導(dǎo)流流道134上的流動或不設(shè)置導(dǎo)流圖案。
[0092]另一方面，在本實施例中，夾板IlOa與對應(yīng)的夾具120a可經(jīng)由透明材料制成。因此，當夾板IlOa及IlOb固定于夾具120a及120b之間且液體流入導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130時，液體在導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130中的流動情形可從涂布模塊IOOa外部觀測，但本發(fā)明不以此為限制。
[0093]請參考圖4A，在本實施例中，涂布模塊IOOa具有兩個密封軟墊140，其分別位在夾板IlOa與夾具120a之間以及夾板IlOb與夾具120b之間，以避免液體從夾板IlOa與夾具120a之間或是夾板IlOb與夾具120b之間滲漏。然而，在本發(fā)明其他實施例中，涂布模塊IOOa可不設(shè)置密封軟墊140，或僅設(shè)置一個密封軟墊140于夾板IlOa與夾具120a之間或者夾板IlOb與夾具120b之間，本發(fā)明不以此為限制。
[0094]在本實施例中，夾板IlOa及IlOb的材質(zhì)為硅晶片，而在本發(fā)明其他實施例中，夾板的材質(zhì)為玻璃或其他表面粗糙度為納米等級的材質(zhì)，本發(fā)明不以此為限制。利用表面平整度較高的材質(zhì)制作夾板IlOa及110b，使得液體能均勻地在狹縫112中流動而不受狹縫112表面粗糙粒子的干擾。因此，在液體經(jīng)由分流管136均勻地從狹縫入口 112a的各處流入狹縫112后，液體均勻地在狹縫112內(nèi)流動并經(jīng)由狹縫出口 112b的各處均勻地流出。
[0095]此外，由于本實施例的導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130位在夾板IlOa及IlOb上。因此，夾板IlOa及IlOb可經(jīng)由微加工處理(例如是微影及蝕刻處理)而形成在材質(zhì)為硅晶片的夾板IlOa及IlOb上。具體來說，以夾板IlOb而言，首先，形成光阻薄膜在夾板IlOb上。接著，將所需的導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130的圖案設(shè)置在光罩上，并經(jīng)由光罩對夾板IlOb上的光阻薄膜進行曝光，最后對曝光后的光阻薄膜進行顯影，以圖案化光阻薄膜。
[0096]另一方面，以圖案化的光阻薄膜為蝕刻罩幕來蝕刻夾板IlOb以在夾板IlOb上形成一部分的導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130。最后，移除圖案化的光阻薄膜。同樣地，亦可經(jīng)由上述的微加工處理(例如是微影及蝕刻處理)在夾板IlOa上形成其余部分的導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130，本發(fā)明不以此為限制。
[0097]據(jù)此，涂布模塊100與涂布模塊IOOa可依照需求在夾板I IOa及IlOb上設(shè)計不同導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130，例如是設(shè)置T型或衣架型的導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130，或者調(diào)整導(dǎo)流圖案138的圖案或排列方式。當涂布模塊100與涂布模塊IOOa欲進行不同液體的涂布，或者欲呈現(xiàn)不同的涂布效果時，涂布模塊100與涂布模塊IOOa只需更換具有不同導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130的夾板IlOa及IlOb即可。因此，涂布模塊100與涂布模塊IOOa具有較高的適用性。
[0098]圖6是本發(fā)明又一實施例的涂布模塊的示意圖。圖6僅示出涂布模塊IOOb的夾具120b與夾板110b，以使圖示更為清楚。請參考圖6，在本實施例中，涂布模塊IOOb與涂布模塊IOOa的主要差異處在于，涂布模塊IOOb的導(dǎo)流圖案138具有兩個分流島138a。分流島138a位在狹縫出口 112a，當液體經(jīng)由狹縫出口 112a流出涂布模塊IOOb而涂布至基材90上時，分流島138a可使液體形成條紋式薄膜90a，即多個涂布條紋。因此，通過在狹縫出口 112a設(shè)置不同數(shù)量的分流島138a，或者調(diào)整分流島138a的位置，可使涂布模塊IOOb涂布具有不同條紋數(shù)量與條紋間距的條紋式薄膜。
[0099]由此可知，當基材90上欲涂布不同性質(zhì)的液體，或者欲呈現(xiàn)不同的涂布效果例如是形成條紋式薄膜時，涂布模塊100只需更換具有不同導(dǎo)流結(jié)構(gòu)130的夾板IlOa及IlOb即可。此外，當表面平整度較高的夾板IlOa及IlOb經(jīng)由液體分子的流動而造成損傷時，夾板IlOa及IlOb可從固定凹槽122中拆除，并更換新的夾板IlOa及110b。由于涂布模塊100不需因為狹縫112表面磨損而更換整個涂布模塊100，僅需更換夾板IlOa及IlOb即可。因此，涂布模塊100具有較低的生產(chǎn)成本與較佳的重復(fù)使用性。
[0100]圖7是本發(fā)明另一實施例的涂布模塊的爆炸圖。圖8是圖7的涂布模塊在組合后的剖視圖。請參考圖7與圖8，在本實施例中，涂布模塊200包括兩夾板210a及210b、兩夾具220a及220b以及導(dǎo)流結(jié)構(gòu)230。夾板210a與夾板210b對向設(shè)置，且夾板210a與夾板210b之間具有狹縫212 (如圖8所示)。狹縫212的一端具有狹縫入口 212a，而狹縫212的另一端具有狹縫出口 212b。
[0101]另一方面，夾具220a與夾具220b對向設(shè)置。夾具220a及220b將夾板210a及210b固定于夾具220a及220b之間，其中夾具220a及220b上具有多個鎖固孔(例如是螺絲孔)，使得夾具220a及220b能經(jīng)由多個鎖固件(例如是螺絲)互相鎖固。
[0102]在本實施例中，夾具220a及220b分別具有定位凹槽222a及222b，而夾板210a及210b分別可拆卸地設(shè)置在定位凹槽222a及222b內(nèi)。具體而言，夾板210a可拆卸地設(shè)置在定位凹槽222a內(nèi)，而夾板210b可拆卸地設(shè)置在定位凹槽222b內(nèi)，而夾板210a及210b維持對向設(shè)置。因此，這些定位凹槽222a及222b可在夾具220a及220b固定夾板210a及210b時提供定位夾板210a及210b的功能。
[0103]此外，請參考圖8，在本實施例中，定位凹槽222a具有凹槽深度d，夾板210a具有夾板厚度t，而凹槽210a的凹槽深度d大于夾板210a的夾板厚度t。此外，在本實施例中，夾板210b的表面與定位凹槽222b外的夾具220b的表面齊平，但本發(fā)明不以此為限制。因此，當夾板210a及210b分別設(shè)置于對應(yīng)的定位凹槽222a及222b時，夾板210a完全位在定位凹槽222a內(nèi)，而夾板210b完全位在定位凹槽222b內(nèi)。當兩夾具220a及220b互相鎖固時，夾具220a抵靠夾具220b，但夾板210a不抵靠夾板210b。據(jù)此，夾板210a與夾板210b之間經(jīng)由凹槽深度d與夾板厚度t的尺寸差距而形成狹縫212。
[0104]另一方面，狹縫212具有狹縫寬度《2。當夾板210a及210b分別設(shè)置于對應(yīng)的定位凹槽222a及222b內(nèi)而使夾板210a與夾板210b之間形成狹縫212時，狹縫寬度w2取決于凹槽深度d與夾板厚度t的尺寸差距。因此，涂布模塊200可經(jīng)由調(diào)整凹槽深度d與夾板厚度t的尺寸差距而控制狹縫212的狹縫寬度w2。
[0105]請參考圖7與圖8，在本實施例中，夾具220a具有注入開口 224，注入開口 224貫穿夾具220a而連通涂布模塊200的內(nèi)部與外部。因此，液體可經(jīng)由注入開口 224注入涂布模塊200的內(nèi)部，并經(jīng)由狹縫212而從狹縫出口 212b流出涂布模塊200。
[0106]另一方面，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)230位在注入開口 224與狹縫212之間。在本實施例中，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)230由夾具220a的一部分所構(gòu)成并將注入開口 224連通至狹縫入口 212a。因此，在液體從注入開口 224進入導(dǎo)流結(jié)構(gòu)230后，液體經(jīng)由位在夾具220a上的導(dǎo)流結(jié)構(gòu)230流動至狹縫入口 212a，再經(jīng)由狹縫入口 212a流入狹縫212內(nèi)，并經(jīng)由狹縫出口 212b流出涂布模塊200。
[0107]詳細而言，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)230包括導(dǎo)流入口 232、導(dǎo)流流道234以及分流管236。導(dǎo)流入口 232連通注入開口 224。導(dǎo)流流道234連通導(dǎo)流入口 232。分流管236將導(dǎo)流流道234連通至狹縫入口 212a。在本實施例中，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)230位在夾具220a上，并將注入開口 224經(jīng)由連通至位在同一夾具220a上的定位凹槽222a而連通至狹縫入口 212a。換言之，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)230是位在夾具220a平面上的凹槽結(jié)構(gòu)。因此，當夾具220a抵靠夾具220b時，導(dǎo)流結(jié)構(gòu)230的凹槽結(jié)構(gòu)在緊貼的夾具220a及220b之間形成空間，使得液體可在導(dǎo)流結(jié)構(gòu)230中流動。
[0108]另一方面，請參考圖7，在本實施例中，導(dǎo)流入口 232是位在夾具220a上對應(yīng)注入開口 224的開孔，而狹縫212是由平板型的夾板210a及210b所構(gòu)成的細長型縫隙。因此，位在導(dǎo)流入口 232與狹縫212之間的導(dǎo)流流道234與分流管236需將流入導(dǎo)流結(jié)構(gòu)230內(nèi)的液體從孔型均勻地分散成細長型，以使進入狹縫212內(nèi)的液體可以均勻地在狹縫212內(nèi)流動。
[0109]具體而言，在本實施例中，導(dǎo)流入口 232連接略呈魚尾型的導(dǎo)流流道234，以使流入導(dǎo)流入口 232的液體分散流動。分流管236為對應(yīng)狹縫入口 212a形狀的長條型凹槽且位于定位凹槽222a內(nèi)。因此,夾板210a的長度小于夾板210b的長度。夾板210a可銜接于分流管236的底部，如圖7所示，使得分流管236連通至狹縫入口 212a。在液體從導(dǎo)流流道234流出后，分流管236可擴大液體分散流動的效果，以使液體分散經(jīng)由分流管236均勻地流動至細長型的狹縫入口 212a。
[0110]此外，相較于導(dǎo)流入口 232以及導(dǎo)流流道234，分流管236的深度大于導(dǎo)流入口232以及導(dǎo)流流道234的深度。因此，經(jīng)由在夾具220a上設(shè)置深度較深的分流管236，可分散從導(dǎo)流流道234流入分流管236的液體。
[0111]在本實施例中，夾板210a及210b的材質(zhì)為硅晶片，而在本發(fā)明其他實施例中，夾板的材質(zhì)為玻璃或其他表面粗糙度為納米等級的材質(zhì)，本發(fā)明不以此為限制。利用表面平整度較高的材質(zhì)制作夾板210a及210b，使得液體能均勻地在狹縫212中流動而不受狹縫212表面粗糙粒子的干擾。因此，在液體經(jīng)由分流管236均勻地從狹縫入口 212a的各處流入狹縫212后，液體均勻地在狹縫212內(nèi)流動并經(jīng)由狹縫出口 212b的各處均勻地流出。
[0112]另一方面，在本實施例中，夾板210a及210b可經(jīng)由粘著劑或其他貼合方式貼附至對應(yīng)的定位凹槽222a及222b內(nèi)。夾板210a及210b經(jīng)由粘貼而固定至定位凹槽222a及222b內(nèi)，并可經(jīng)由適當?shù)娜軇A板210a及210b從定位凹槽222a及222b內(nèi)移除。此處需注意的是，用以粘貼夾板210a及210b的粘著劑需不與在涂布模塊200內(nèi)流動的液體反應(yīng)，以避免液體流入涂布模塊200之后使粘著劑失效而造成夾板210a及210b的剝離。
[0113]圖9是本發(fā)明又一實施例的涂布模塊的爆炸圖。圖10是圖9的涂布模塊在組合后的剖視圖。在本發(fā)明又一實施例中，涂布模塊200a將夾板210a及210b設(shè)置于對應(yīng)的定位凹槽222a及222b內(nèi)的方式為經(jīng)由真空裝置92將夾板210a及210b吸附于定位凹槽222a及222b而固定夾板210a及210b。
[0114]具體而言，涂布模塊200a在夾具220a及220b分別設(shè)置多個氣孔226、真空腔室228以及真空通道229。以夾具220a而言，這些氣孔226位在定位凹槽222a上且連通真空腔室228。真空腔室228連通真空通道229，而真空通道229連通至夾具220a外部并連接真空裝置92。同樣地，夾具220b也經(jīng)由氣孔226、真空腔室228以及真空通道229連通至夾具220b外部并連接真空裝置92。
[0115]另一方面，為使氣孔226、真空腔室228以及真空通道229的制作更簡易，在本實施例中，各夾具220a及220b可個別分成二部分進行制作。以夾具220a而言，夾具220a可分成兩個固定模塊。定位凹槽222a位于靠近夾板210a的固定模塊上面對夾板210a的一側(cè)，而氣孔226從定位凹槽222a貫穿至此固定模塊的另一側(cè)。真空腔室228以及真空通道229位在另一個遠離夾板210a的固定模塊上并共同連通此固定模塊的相對兩側(cè)，如圖10所示。因此，當此二固定模塊連接而形成夾具220a時，氣孔226、真空腔室228以及真空通道229互相連通，使得夾板210a可經(jīng)由真空裝置92吸附于定位凹槽222a內(nèi)。
[0116]同樣地，夾板210b也可經(jīng)由真空裝置92吸附于定位凹槽222b內(nèi)。然而，本發(fā)明不限定氣孔226、真空腔室228以及真空通道229須先設(shè)置在兩個不同的固定模塊后再將兩固定模塊連接成夾具220a的制作方式。另外，當真空裝置92停止運作時，夾板210a及210b可從定位凹槽222a及222b內(nèi)移除。然而，本發(fā)明不以此為限制，在本發(fā)明其他實施例中，夾板可經(jīng)由其他方式可拆卸地設(shè)置于定位凹槽內(nèi)。
[0117]圖11是本發(fā)明又一實施例的涂布模塊的剖視圖。在本發(fā)明其他實施例中，涂布模塊200b的夾具220a及220b可分別在對應(yīng)的夾板210a及210b與對應(yīng)的定位凹槽222a及222b之間設(shè)置彈性件，或僅在其中一側(cè)設(shè)置彈性件，例如圖11僅在夾板210a與定位凹槽222a之間設(shè)置彈性件240a，但本發(fā)明不以此為限。換言之，彈性件240a設(shè)置在夾板210a與定位凹槽222a之間。
[0118]因此，當真空裝置92將夾板2IOa及210b分別吸附至對應(yīng)的定位凹槽222a及222b內(nèi)時，彈性件240a提供彈力而使夾板210a不緊貼定位凹槽222a。據(jù)此，選擇適當彈性系數(shù)的彈性件240a，可用以調(diào)整狹縫212的狹縫寬度w2。此外，本發(fā)明不限定彈性件的數(shù)量，涂布模塊200b可依據(jù)需求選擇彈性件的數(shù)量與設(shè)置位置。
[0119]由此可知，夾板210a及210b可固定在定位凹槽222a及222b內(nèi)，亦可從定位凹槽222a及222b內(nèi)移除。當表面平整度較高的夾板210a及210b經(jīng)由液體分子的流動而磨損時，夾板210a及210b可從定位凹槽222a及222b內(nèi)移除，并更換新的夾板210a及210b。涂布模塊200不需因為狹縫212表面磨損而更換整個涂布模塊200，僅需更換夾板210a及210b即可。因此，涂布模塊200具有較低的生產(chǎn)成本與較佳的重復(fù)使用性。
[0120]圖12是本發(fā)明另一實施例的涂布模塊的剖視圖。請參考圖12，在本實施例中，涂布模塊IOOc與涂布模塊IOOa的主要差異在于，涂布模塊IOOc還包括真空腔室126，位在夾具120b并連通固定凹槽122。有關(guān)涂布模塊IOOc的夾板IlOa及IlOb與夾具120a及120b的結(jié)構(gòu)與功能請參照前述對于涂布模塊IOOa的說明以及圖4A、圖4B與圖5，在此不多加贅述。[0121]具體而言，在本實施例中，真空腔室126連通固定凹槽122，并對應(yīng)地位在狹縫出口 112b的附近。真空腔室126適于連接至真空裝置92。當真空裝置92啟動時，鄰近狹縫112的狹縫出口 112b的區(qū)域形成真空狀態(tài)，如此可以薄化經(jīng)由狹縫出口 112b流出狹縫112并涂布至基材上的液體，但本發(fā)明并不限制真空裝置92的啟動與否，使用者可以依據(jù)需求選擇是否啟動真空裝置92。
[0122]圖13是本發(fā)明又一實施例的涂布模塊的剖視圖。請參考圖13，在本實施例中，涂布模塊IOOd與涂布模塊IOOa的主要差異在于，涂布模塊IOOd還包括兩對夾板IlOa及IlOb0有關(guān)涂布模塊IOOd的夾板IlOa及IlOb與夾具120a及120b的結(jié)構(gòu)與功能同樣可參照前述對于涂布模塊IOOa的說明以及圖4A、圖4B與圖5，在此不多加贅述。
[0123]具體而言，在本實施例中，兩對夾板IlOa及IlOb可拆卸地固定在固定凹槽122內(nèi)，且夾具120b也具有注入開口 124。各注入開口 124分別貫穿夾具120a與120b，且分別對應(yīng)于各對夾板IlOa及IlOb的注入開口 114，使得液體適于流出狹縫112以涂布至基材上。更具體而言，液體可以透過兩個注入開口 114注入涂布模塊IOOd內(nèi)，并經(jīng)由兩對夾板IlOa及IlOb的狹縫112而從狹縫出口 112b流出涂布模塊100d。據(jù)此，涂布模塊IOOd能夠涂布兩層液體至基材上，且上述的兩層液體可以是不同材質(zhì)的液體。同樣地，在其他實施例中，涂布模塊也可以包括多對夾板IlOa及110b，可拆卸地固定在固定凹槽122內(nèi)，以涂布多層不同的液體至基材上，但本發(fā)明并不以此為限制。
[0124]由此可知，當涂布模塊IOOc與IOOd的表面平整度較高的夾板IlOa及IlOb經(jīng)由液體分子的流動而造成損傷時，夾板IlOa及IlOb可從固定凹槽122中拆除，并更換新的夾板IlOa及110b。涂布模塊IOOc與IOOd不需因為狹縫112表面磨損而更換整個涂布模塊IOOc與100d，僅需更換夾板IlOa及IlOb即可。因此，涂布模塊IOOc與IOOd具有較低的
生產(chǎn)成本與較佳的重復(fù)使用性。
[0125]綜上所述，本發(fā)明提出一種涂布模塊，其兩夾板之間具有狹縫，狹縫具有狹縫入口與狹縫出口。夾具固定夾板且具有注入開口。導(dǎo)流結(jié)構(gòu)將注入開口連通至狹縫入口。液體可經(jīng)由注入開口進入涂布模塊的內(nèi)部，并經(jīng)由導(dǎo)流結(jié)構(gòu)、狹縫入口而流入狹縫內(nèi)，再經(jīng)由狹縫出口流出，以將液體涂布至基材上。此外，夾板可拆卸地設(shè)置在夾具的凹槽內(nèi)，當狹縫表面磨損時，可將夾板從夾具上移除并更換新的夾板，而不需更換整個涂布模塊。另外，涂布模塊可依照需求設(shè)計不同導(dǎo)流結(jié)構(gòu)。當涂布模塊欲涂布不同液體或者欲呈現(xiàn)不同的涂布效果時，涂布模塊只需更換具有不同導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的夾板即可。因此，涂布模塊具有較高的適用性，較低的生產(chǎn)成本與較佳的重復(fù)使用性。
[0126]最后應(yīng)說明的是:以上各實施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述各實施例對本發(fā)明進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實施例技術(shù)方案的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種涂布模塊，其特征在于，適于將液體涂布至基材上，該涂布模塊包括: 兩夾板，該些夾板之間具有狹縫，該狹縫的一端具有狹縫入口，該狹縫的另一端具有狹縫出口，而該些夾板之一具有注入開口 ；以及 導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，將該注入開口連通至該狹縫入口，該液體適于經(jīng)由該注入開口進入該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，并經(jīng)由該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)流動至該狹縫入口，再經(jīng)由該狹縫入口流入該狹縫內(nèi)，并經(jīng)由該狹縫出口流出該狹縫以涂布至該基材上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布模塊，其特征在于，該些夾板的材質(zhì)包括硅晶片或玻璃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布模塊，其特征在于，該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)包括: 導(dǎo)流入口，連通該注入開口 ； 導(dǎo)流流道，連通該導(dǎo)流入口 ；以及 分流管，將該導(dǎo)流流道連通至該狹縫入口，該液體適于經(jīng)由該分流管均勻地流動至該狹縫入口。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的涂布模塊，其特征在于，該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)具有導(dǎo)流圖案，該導(dǎo)流圖案位在該導(dǎo)流流道上，用以引導(dǎo)該液體在該導(dǎo)流流道上的流動。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂布模塊，其特征在于，該導(dǎo)流圖案包括分流島，該分流島位在該狹縫出口。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布模塊，其特征在于，還包括: 兩夾具，固定該些夾板在該些夾具之間，其中該注入開口位于該些夾具之一上，該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)由該些夾具之一的一部分所構(gòu)成并將該注入開口連通至該狹縫入口。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂布模塊，其特征在于，各該夾具具有定位凹槽，該些夾板分別可拆卸地設(shè)置在該些定位凹槽內(nèi)以形成該狹縫。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的涂布模塊，其特征在于，該些夾具分別具有多個氣孔、真空腔室以及真空通道，該些氣孔位于該些定位凹槽上且連通該真空腔室，該真空腔室連通該真空通道，該真空通道適于連接至真空裝置并經(jīng)由該真空裝置將該些夾板分別吸附于該些定位凹槽內(nèi)以形成該狹縫。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的涂布模塊，其特征在于，各該夾具具有彈性件，各該彈性件位于對應(yīng)的該夾板與對應(yīng)的該定位凹槽之間以調(diào)整該狹縫的寬度。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布模塊，其特征在于，該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)由該些夾板之一的一部分所構(gòu)成或由該些夾板的一部分所共同構(gòu)成并將該注入開口連通至該狹縫入口。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的涂布模塊，其特征在于，具有該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)的該夾板為微加工夾板。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的涂布模塊，其特征在于，還包括: 兩夾具，固定該些夾板于該些夾具之間，其中該些夾具之一具有固定凹槽，該些夾板可拆卸地固定在該固定凹槽內(nèi)；以及 密封軟墊，位在該些夾板之一與對應(yīng)的該夾具之間。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的涂布模塊，其特征在于，該些夾板之一與對應(yīng)的該夾具的材料為透明材料，以便于觀測該液體在該導(dǎo)流結(jié)構(gòu)內(nèi)的流動。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的涂布模塊，其特征在于，還包括: 真空腔室，位于該些夾具之一并連通該固定凹槽，其中該真空腔室適于連接至真空裝置，以在該狹縫出口形成真空狀態(tài)。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的涂布模塊，其特征在于，兩對夾板可拆卸地固定在該固定凹槽內(nèi)，使得 該液體適于經(jīng)由該些狹縫出口流出該些狹縫以涂布至該基材上。
【文檔編號】B05C11/10GK103599870SQ201310263753
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年6月27日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月29日
【發(fā)明者】王安邦, 謝育文, 劉祐汝 申請人:王安邦