噴霧噴嘴單元的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種噴霧噴嘴單元，該噴霧噴嘴單元包括：噴嘴主體、密封構(gòu)件、墊圈構(gòu)件、及彈簧構(gòu)件。噴嘴主體包括噴霧孔，該噴霧孔內(nèi)部地形成為豎直地穿透噴嘴主體并且蒸發(fā)的原材料經(jīng)過該噴霧孔，并且該噴嘴主體穿透地聯(lián)接至容置有原材料的腔室的外壁。密封構(gòu)件安裝在噴嘴主體與腔室的外壁之間，并且將噴嘴主體與腔室的外壁之間氣密地密封住以防止蒸發(fā)的原材料在噴嘴主體與腔室的外壁之間泄漏。墊圈構(gòu)件聯(lián)接至噴嘴主體的放置于腔室的內(nèi)部的下端部分。彈簧構(gòu)件安裝在墊圈構(gòu)件與腔室的外壁的內(nèi)表面之間，并且朝向腔室的外壁和墊圈構(gòu)件彈性地偏壓，使得噴嘴主體可緊密地接觸該腔室的外壁。
【專利說明】噴霧噴嘴單元
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種噴霧噴嘴單元，并且更具體地，涉及一種將蒸發(fā)的原材料噴灑到基片上以便將該原材料以薄膜的形式沉積在該基片上的噴霧噴嘴。
【背景技術(shù)】
[0002]可單獨地發(fā)光的有機發(fā)光顯示設(shè)備包括有機發(fā)光裝置，該有機發(fā)光裝置以矩陣的形式連接在掃描線與數(shù)據(jù)線之間以形成像素。該有機發(fā)光裝置包括陽極電極、陰極電極、和有機薄膜層，該有機薄膜層形成在陽極電極與陰極電極之間并包括電洞傳遞層(holetransfer layer)、有機發(fā)光層、和電子傳遞層。
[0003]與無機材料不同，在沉積該有機薄膜層的過程中所使用的有機材料并不需要高蒸汽壓力，而是在高溫下是易于被分解和變質(zhì)的。由于這種材料的特性，該有機薄膜通過下述方式沉積在基片上:為由鎢、鈦、不銹鋼(SUS)等制成的容器填充該有機材料，并且對該容器加熱以使該有機材料蒸發(fā)。
[0004]將被蒸發(fā)以用于沉積該有機薄膜層的原材料均勻地噴灑到該基片上。為此，噴霧噴嘴聯(lián)接至容置有蒸發(fā)的原材料的容器的外壁，并且該容器中的原材料通過該噴霧噴嘴并由此被蒸發(fā)到該基片上。
[0005]圖1是示出了常規(guī)噴霧噴嘴的示例的視圖。參照圖1，常規(guī)噴霧噴嘴10通過螺紋聯(lián)接部分12等聯(lián)接至腔室20的外壁21。
[0006]由于腔室20和噴霧噴嘴10接觸通過噴霧孔11的蒸發(fā)的原材料，因此，該腔室20和噴霧噴嘴10由于在沉積過程期間從蒸發(fā)的原材料傳遞的熱量而具有高溫，并且當(dāng)沉積過程完成時，該腔室20和噴霧噴嘴10返回至低溫。當(dāng)該沉積過程反復(fù)進行時，腔室20和噴霧噴嘴10由于熱量而受到在膨脹和收縮之間交替的反復(fù)性的載荷。這種由于加熱而造成的反復(fù)性的載荷可能使將噴霧噴嘴10聯(lián)接至該腔室的外壁21的螺紋聯(lián)接部分12變松或者破裂，并且可能在噴霧噴嘴10與腔室的外壁21之間導(dǎo)致微小的裂縫。
[0007]在噴霧噴嘴與腔室之間的聯(lián)接部分中發(fā)生的前述損壞可能導(dǎo)致腔室內(nèi)部的蒸發(fā)的原材料通過已損壞的部分泄漏，從而不僅損失昂貴的原材料而且也由于泄漏的原材料污染了除基片以外的其它區(qū)域。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]因此，本發(fā)明設(shè)想來解決前述問題，并且本發(fā)明的一方面提供了一種噴霧噴嘴單元，其中，用于噴灑蒸發(fā)的原材料的噴霧噴嘴和容置有原材料的腔室被密封住而不會受損，使得可防止昂貴的原材料泄漏，從而降低生產(chǎn)成本，并且可防止原材料沉積在除基片以外的區(qū)域以由此防止由于原材料而導(dǎo)致的污染。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種噴霧噴嘴單元，其包括:噴嘴主體，該噴嘴主體包括噴霧孔，該噴霧孔內(nèi)部地形成為豎直地穿透噴嘴主體并且蒸發(fā)的原材料經(jīng)過該噴霧孔，并且該噴嘴主體穿透地聯(lián)接至容置有原材料的腔室的外壁；密封構(gòu)件，該密封構(gòu)件安裝在噴嘴主體與腔室的外壁之間，并且將噴嘴主體與腔室的外壁之間氣密地密封住以防止蒸發(fā)的原材料在噴嘴主體與腔室的外壁之間泄漏；墊圈構(gòu)件，該墊圈構(gòu)件聯(lián)接至噴嘴主體的放置在腔室的內(nèi)部的下端部分；以及彈簧構(gòu)件，該彈簧構(gòu)件安裝在墊圈構(gòu)件與腔室的外壁的內(nèi)表面之間，并且朝向腔室的外壁和墊圈構(gòu)件彈性地偏壓，使得噴嘴主體可緊密地接觸該腔室的外壁。
[0010]噴嘴主體可包括:第一主體,該第一主體插置在形成于腔室的外壁中的通孔中并且朝向腔室的內(nèi)部突出；以及第二主體，該第二主體設(shè)置在第一主體的上部部分中，并且該第二主體具有比第一主體大的截面面積并且該第二主體朝向腔室的外部突出。
[0011]密封構(gòu)件可包括:第一密封構(gòu)件，該第一密封構(gòu)件安裝在第二主體與腔室的外壁的外表面之間；以及第二密封構(gòu)件，該第二密封構(gòu)件安裝在彈簧構(gòu)件與腔室的外壁的內(nèi)表面之間。
[0012]墊圈構(gòu)件可形成為具有“U”形形狀，噴嘴主體的下端部分可形成有從噴嘴主體的橫向側(cè)部凹陷的并且面朝彼此相反的方向的一對凹陷部分，并且墊圈構(gòu)件與噴嘴主體可以以將墊圈構(gòu)件裝配至凹陷部分的方式聯(lián)接。
[0013]密封構(gòu)件可由銅材料制成。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]結(jié)合附圖根據(jù)對示例性的實施方式進行的下列描述，本發(fā)明的上述和/或其它部分將變得清楚并且更容易被理解，其中:
[0015]圖1為示出了常規(guī)噴霧噴嘴的示例的視圖；
[0016]圖2為示出了根據(jù)本發(fā)明的實施方式的噴霧噴嘴單元的視圖；及
[0017]圖3為示出了將圖2的噴霧噴嘴單元的噴嘴主體與墊圈構(gòu)件裝配在一起的視圖。
【具體實施方式】
[0018]下面，將參照附圖對根據(jù)本發(fā)明的噴霧噴嘴單元的實施方式進行描述。
[0019]圖2為示出了根據(jù)本發(fā)明的實施方式的噴霧噴嘴單元的視圖；并且圖3為示出了將圖2的噴霧噴嘴單元的噴嘴主體與墊圈構(gòu)件裝配在一起的視圖。
[0020]參照圖2和圖3，根據(jù)本實施方式的噴射噴嘴單元100使蒸發(fā)的原材料噴灑在基片上以便將原材料以薄膜的形式沉積到基片上，該噴霧噴嘴單元100包括:噴嘴主體110、密封構(gòu)件120、墊圈構(gòu)件130、及彈簧構(gòu)件140。
[0021]用于將腔室20內(nèi)部蒸發(fā)的原材料傳遞并噴灑到基片上的噴嘴主體110聯(lián)接成穿透容置原材料的腔室20的外壁21。在該實施方式中，該噴嘴主體110包括噴霧孔111、第一主體112、及第二主體113。
[0022]噴霧孔111形成為豎直地穿透該噴嘴主體110的內(nèi)部，使得容置在腔室20中的蒸發(fā)的原材料可通過穿過噴霧孔111而被噴灑到基片上。容置在腔室20中的蒸發(fā)的原材料通過噴霧孔111并且隨后被噴灑到基片上。噴霧孔111的上端部分是錐形的以便擴散該原材料。
[0023]第一主體112插置在形成于腔室的外壁21上的通孔23中，并且朝向腔室的內(nèi)部22突出。[0024]第二主體113設(shè)置在第一主體112的上部部分中，并且具有比第一主體112大的截面面積。例如，第一主體112和第二主體113成形為類似于圓柱，并且第二主體113的直徑比第一主體112的直徑大，使得第二主體113的截面面積大于第一主體112的截面面積。因此，第二主體113并不插置在形成于腔室的外壁21上的通孔23中，而是當(dāng)噴嘴主體110聯(lián)接至腔室20的外壁21時暴露在腔室20的外側(cè)。
[0025]密封構(gòu)件120將噴嘴主體110與腔室20的外壁21之間密封住，使得蒸發(fā)的原材料不能在噴嘴主體110與腔室20的外壁21之間泄漏。密封構(gòu)件120設(shè)置在噴嘴主體110與腔室的外壁21之間。在本實施方式中，密封構(gòu)件120包括第一密封構(gòu)件121和第二密封構(gòu)件122。
[0026]第一密封構(gòu)件121捕捉在形成于第一主體112與第二主體113之間的突出部分中，并且安裝在第二主體113與腔室的外壁的外表面21a之間，從而防止蒸發(fā)的原材料通過腔室20的外壁21泄漏。
[0027]第二密封構(gòu)件122安裝在彈簧構(gòu)件140與腔室的外壁的內(nèi)表面21b之間，從而防止腔室20內(nèi)部的蒸發(fā)的原材料進入腔室的外壁的通孔23。由于附加地設(shè)置了第二密封構(gòu)件122，因此，確保防止原材料通過腔室的外壁的通孔23泄漏。
[0028]在本實施方式中，密封構(gòu)件120可以由金屬的并且具有高熱傳導(dǎo)性的銅制成。由銅制成的密封構(gòu)件120是很軟的，使得當(dāng)該密封構(gòu)件120由于彈簧構(gòu)件140的彈性而被噴嘴主體110按壓時，該密封能夠是更為有效的。
[0029]墊圈構(gòu)件130聯(lián)接至噴嘴主體110的放置在腔室的內(nèi)部22中的下端部分110b，并且支承該彈簧構(gòu)件140。
[0030]參照圖3，噴嘴主體110的放置在腔室的內(nèi)部22中的下端部分110b、即第一主體112的下端部分形成有從橫向側(cè)部凹陷的一對凹陷部分114。這對凹陷部分114形成為面向彼此相反的方向、即在周向方向上間隔開180度。
[0031]在本實施方式中，墊圈構(gòu)件130形成為具有“U”形形狀。當(dāng)將該墊圈構(gòu)件130裝配到形成在噴嘴主體Iio的下端部分IlOb中的一對凹陷部分114中時，該墊圈構(gòu)件130與噴嘴主體110相聯(lián)接。
[0032]彈簧構(gòu)件140迫壓噴嘴主體110以緊密地接觸該腔室的外壁21。
[0033]彈簧構(gòu)件140安裝在墊圈構(gòu)件130與腔室的外壁的內(nèi)表面21b之間，并且在其一端由腔室的外壁21支承的狀態(tài)下被朝向墊圈構(gòu)件130彈性地偏壓。由此，噴嘴主體110被朝向腔室的內(nèi)部22迫壓，使得第二主體113可緊密地接觸該腔室的外壁的外表面21a。當(dāng)?shù)诙黧w113緊密地接觸該腔室的外壁的外表面21a時，第一密封構(gòu)件121被按壓，從而完成了第二主體113與腔室20的外壁21之間的氣密密封。
[0034]另外，彈簧構(gòu)件140被朝向腔室的外壁的內(nèi)表面21b彈性地偏壓，使得第二密封構(gòu)件122可緊密地接觸該腔室的外壁的內(nèi)表面21b，從而完成了第一主體112與腔室20的外壁21之間的氣密密封。
[0035]在根據(jù)一種實施方式的具有前述結(jié)構(gòu)的噴霧噴嘴單元中，密封構(gòu)件插置在噴嘴主體與腔室的外壁之間，并且彈簧構(gòu)件的彈性用于按壓該密封構(gòu)件，使得將噴嘴主體與腔室的外壁之間密封住，從而即使長期使用也防止在噴霧噴嘴與腔室之間形成原材料可能通過其泄漏的裂縫。因此，可防止昂貴的原材料泄漏，從而降低生產(chǎn)成本，并且可防止原材料沉積到除基片以外的區(qū)域上以由此防止由于原材料而產(chǎn)生的污染。
[0036]另外，在根據(jù)一種實施方式的具有前述結(jié)構(gòu)的噴霧噴嘴單元中，密封構(gòu)件分別安裝至腔室的外壁的外表面和內(nèi)表面，從而在提高防止原材料從腔室泄漏的密封效率方面產(chǎn)生效果。
[0037]另外，在根據(jù)一種實施方式的具有前述結(jié)構(gòu)的噴霧噴嘴單元中，由相對軟的銅制成的密封構(gòu)件被彈簧構(gòu)件的彈性輕微地按壓，從而在氣密地密封住形成在噴嘴主體與腔室的外壁的通孔之間的裂縫方面產(chǎn)生效果。
[0038]圖2的實施方式示出了第一主體和第二主體被成形為類似于圓柱，但是并不限于此。作為選擇，第一主體和第二主體兩者都可被成形為類似于多棱柱。作為選擇，第一主體和第二主體中的一個可以被成形為類似于多棱柱，并且另一個被成形為類似于圓柱。
[0039]圖2的實施方式示出了墊圈構(gòu)件和噴嘴主體以具有“U”形形狀的墊圈構(gòu)件裝配至噴嘴主體的凹陷部分的方式聯(lián)接，但是不限于此。作為選擇，墊圈構(gòu)件和噴嘴主體以下述方式聯(lián)接:墊圈構(gòu)件和噴嘴主體的下端部分以螺紋或多種其它方法聯(lián)接。
[0040]在根據(jù)一種實施方式的噴霧噴嘴單元中，即使長時間使用也防止在噴霧噴嘴與腔室之間形成原材料可能通過其泄漏的裂縫，使得可防止昂貴的原材料泄漏，從而降低了生產(chǎn)成本，并且可防止原材料沉積到除基片之外的區(qū)域上以由此防止由于原材料而導(dǎo)致的污染。
[0041]另外，在根據(jù)一種實施方式的噴霧噴嘴單元中，提高用于防止原材料從腔室泄漏的氣密密封的效率是可能的。
[0042]另外，在根據(jù)一種實施方式的噴霧噴嘴單元中，使由于加熱和冷卻而導(dǎo)致的熱變形最小化從而防止噴嘴受損是可能的。
[0043]另外，在根據(jù)一種實施方式的噴霧噴嘴單元中，有助于受損的噴嘴的維修是可能的。
[0044]另外，在根據(jù)一種實施方式的噴霧噴嘴單元中，將噴嘴主體與腔室的外壁的通孔之間的裂縫氣密地密封住是可能的。
[0045]盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的一些示例性實施方式，但對于所屬領(lǐng)域技術(shù)人員而言將會明白的是，在不背離本發(fā)明的原理和精神的情況下可在這些實施方式中做出改變，本發(fā)明的范圍限定在所附權(quán)利要求及其等效物中。
【權(quán)利要求】
1.一種噴霧噴嘴單元，包括: 噴嘴主體，所述噴嘴主體包括噴霧孔，所述噴霧孔內(nèi)部地形成為豎直地穿透所述噴嘴主體并且蒸發(fā)的原材料經(jīng)過所述噴霧孔，并且所述噴嘴主體穿透地聯(lián)接至容置有所述原材料的腔室的外壁； 密封構(gòu)件，所述密封構(gòu)件安裝在所述噴嘴主體與所述腔室的所述外壁之間，并且將所述噴嘴主體與所述腔室的所述外壁之間氣密地密封住以防止所述蒸發(fā)的原材料在所述噴嘴主體與所述腔室的所述外壁之間泄漏； 墊圈構(gòu)件，所述墊圈構(gòu)件聯(lián)接至所述噴嘴主體的放置在所述腔室的內(nèi)部的下端部分；以及 彈簧構(gòu)件，所述彈簧構(gòu)件安裝在所述墊圈構(gòu)件與所述腔室的所述外壁的內(nèi)表面之間，并且所述彈簧構(gòu)件朝向所述腔室的所述外壁和所述墊圈構(gòu)件彈性地偏壓，使得所述噴嘴主體能夠緊密地接觸所述腔室的所述外壁。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴霧噴嘴單元，其中，所述噴嘴主體包括:第一主體，所述第一主體插置在形成于所述腔室的所述外壁中的通孔中并且朝向所述腔室的內(nèi)部突出；以及第二主體，所述第二主體設(shè)置在所述第一主體的上部部分中，所述第二主體具有比所述第一主體大的截面面積并且所述第二主體朝向所述腔室的外部突出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴霧噴嘴單元，其中，所述密封構(gòu)件包括:第一密封構(gòu)件，所述第一密封構(gòu)件安裝在所述第二主體與所述腔室的所述外壁的外表面之間；以及第二密封構(gòu)件，所述第二密封構(gòu)件安裝在所述彈簧構(gòu)件與所述腔室的所述外壁的內(nèi)表面之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴霧噴嘴單元，其中， 所述墊圈構(gòu)件形成為具有“U”形形狀； 所述噴嘴主體的所述下端部分形成有從所述噴嘴主體的橫向側(cè)部凹陷的并且面朝彼此相反的方向的一對凹陷部分；以及 所述墊圈構(gòu)件和所述噴嘴主體以將所述墊圈構(gòu)件裝配至所述凹陷部分的方式聯(lián)接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴霧噴嘴單元，其中，所述密封構(gòu)件包括銅材料。
【文檔編號】B05B15/00GK103623962SQ201310367263
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月22日
【發(fā)明者】鄭基澤, 崔虎重, 姜明成, 宋旭 申請人:Snu 精密股份有限公司