一種化學(xué)機(jī)械研磨用研磨劑的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種化學(xué)機(jī)械研磨用研磨劑，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)：氧化鋯5-7份，二氧化硅11-21份，過氧化氫5-9份，硫酸鋅6-8份，硫酸鎂1-3份，硫酸銀4-9份，硫酸銅3-8份，分子篩2-3份，硅藻土5-12份，硼酸鈉3-10份，納米有機(jī)蒙脫土4-10份，滑石粉4-6份，硬脂酸鋅4-6份，硬脂酸鈣1-3份，硬脂酸4-10份，聚丙烯酯5-9份。本發(fā)明的有益效果是：腐蝕速度低，研磨效果好，對(duì)半導(dǎo)體損傷小。
【專利說明】—種化學(xué)機(jī)械研磨用研磨劑
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種化學(xué)機(jī)械研磨用研磨劑。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，伴隨著半導(dǎo)體集成電路(以下記作LSI)的高集成化，高性能化，開發(fā)了新型的細(xì)微加工技術(shù)，化學(xué)研磨法就是其中一種，特別是在多層布線形成工序中的層間絕緣膜的平坦化，金屬栓塞形成、埋入布線形成中頻繁地應(yīng)用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種化學(xué)機(jī)械研磨用研磨劑。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
一種化學(xué)機(jī)械研磨用研磨劑，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):氧化鋯5-7份，二氧化硅11-21份，過氧化氫5-9份，硫酸鋅6-8份，硫酸鎂1-3份，硫酸銀4_9份，硫酸銅3-8份，分子篩2-3份，硅藻土 5-12份，硼酸鈉3-10份，納米有機(jī)蒙脫土 4_10份，滑石粉4_6份，硬脂酸鋅4-6份，硬脂酸鈣1-3份，硬脂酸4-10份，聚丙烯酯5-9份。
[0005]本發(fā)明的有益效果是:腐蝕速度低，研磨效果好，對(duì)半導(dǎo)體損傷小。
【具體實(shí)施方式】
[0006]實(shí)施例1
一種化學(xué)機(jī)械研磨用研磨劑，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):氧化鋯5-7份，二氧化硅11-21份，過氧化氫5-9份，硫酸鋅6-8份，硫酸鎂1-3份，硫酸銀4_9份，硫酸銅3-8份，分子篩2-3份，硅藻土 5-12份，硼酸鈉3-10份，納米有機(jī)蒙脫土 4_10份，滑石粉4_6份，硬脂酸鋅4-6份，硬脂酸鈣1-3份，硬脂酸4-10份，聚丙烯酯5-9份。
【權(quán)利要求】
1.一種化學(xué)機(jī)械研磨用研磨劑，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):氧化鋯5-7份，二氧化硅11-21份，過氧化氫5-9份，硫酸鋅6-8份，硫酸鎂1-3份，硫酸銀4_9份，硫酸銅3-8份，分子篩2-3份，娃藻土 5-12份，硼酸鈉3-10份，納米有機(jī)蒙脫土 4_10份，滑石粉4-6份，硬脂酸鋅4-6份， 硬脂酸鈣1-3份，硬脂酸4-10份，聚丙烯酯5_9份。
【文檔編號(hào)】C09K3/14GK103436231SQ201310387828
【公開日】2013年12月11日 申請(qǐng)日期:2013年8月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月31日
【發(fā)明者】張竹香 申請(qǐng)人:青島承天偉業(yè)機(jī)械制造有限公司